JP2776553B2 - Anti-reflective coating - Google Patents

Anti-reflective coating

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JP2776553B2
JP2776553B2 JP1111497A JP11149789A JP2776553B2 JP 2776553 B2 JP2776553 B2 JP 2776553B2 JP 1111497 A JP1111497 A JP 1111497A JP 11149789 A JP11149789 A JP 11149789A JP 2776553 B2 JP2776553 B2 JP 2776553B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、例えばプラスチックレンズ等のプラスチッ
ク基材上に設けられる反射防止膜に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an antireflection film provided on a plastic substrate such as a plastic lens.

[従来の技術] ジエチレングリコールビスアリルカーボネート樹脂
(一般にCR−39樹脂と呼ばれている)などのプラスチッ
ク基材の表面の反射特性を改善するために、このプラス
チック基材上に多層反射防止膜を設けることは良く知ら
れている。このような反射防止膜として、例えば特開昭
56−116003号公報には、基材側から数えて、二酸化ケイ
素からなる膜厚が3/2λの下地層と、二酸化ジルコニウ
ム層と二酸化ケイ素層によって構成される2層等価膜か
らなる合計膜厚が約λ/4の第1層と、二酸化ジルコニウ
ムからなる膜厚が約λ/2の第2層と、二酸化ケイ素から
なる膜厚が約λ/4の第3層とを有する反射防止膜が開示
されている。
[Prior Art] In order to improve the reflection characteristics of the surface of a plastic substrate such as diethylene glycol bisallyl carbonate resin (generally called CR-39 resin), a multilayer antireflection film is provided on the plastic substrate. It is well known. As such an antireflection film, for example,
Japanese Patent No. 56-116003 discloses that a total thickness of a two-layer equivalent film composed of a silicon dioxide layer and a zirconium dioxide layer and a base layer having a thickness of 3 / 2λ, which is made of silicon dioxide, counted from the substrate side. A first layer of about λ / 4, a second layer of zirconium dioxide having a thickness of about λ / 2, and a third layer of silicon dioxide having a thickness of about λ / 4, It has been disclosed.

[発明が開示しようとする課題] 特開昭56−116003号公報に開示されている反射防止膜
は、充分な耐擦傷性、密着性を有するが、耐熱性が不充
分で、この反射防止膜を設けたプラスチックレンズを加
熱して例えばセルロース製眼鏡フレームに枠入れする際
に、反射防止膜にクラックが生じやすいという問題点が
あった。またこの反射防止膜を施したプラスチックレン
ズの視感反射率は約1.5%であり、この反射防止膜付き
プラスチックレンズを眼鏡レンズとして使用した場合、
ゴースト現象は完全に解消されているとは言えないとい
う問題点があった。従ってファッション面から、プラス
チックレンズを基板としたときに、ゴースト現象が起り
にくい反射防止膜の開発が望まれていた。
[Problem to be disclosed by the invention] The antireflection film disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 56-116003 has sufficient scratch resistance and adhesion, but has insufficient heat resistance. When the plastic lens provided with is heated and framed in, for example, a spectacle frame made of cellulose, there is a problem that cracks easily occur in the antireflection film. The luminous reflectance of the plastic lens provided with the anti-reflection film is about 1.5%. When the plastic lens with the anti-reflection film is used as a spectacle lens,
There is a problem that the ghost phenomenon cannot be completely eliminated. Therefore, from the viewpoint of fashion, there has been a demand for the development of an antireflection film that does not easily cause a ghost phenomenon when a plastic lens is used as a substrate.

従って本発明の目的は、耐擦傷性、密着性等の基本的
性質を満足するだけでなく、基板をプラスチックレンズ
としたときに、従来の反射防止膜よりも耐熱性に優れ、
加熱時にクラックが生じることがなく、しかも反射防止
効果に優れ、ゴースト現象が起りにくい反射防止膜を提
供することにある。
Accordingly, the object of the present invention is to not only satisfy the basic properties such as scratch resistance and adhesion, but also, when the substrate is made of a plastic lens, is superior in heat resistance to the conventional antireflection film,
An object of the present invention is to provide an antireflection film which does not crack when heated, has an excellent antireflection effect, and hardly causes a ghost phenomenon.

[課題を解決するための手段] 本発明は上述の課題を解決するためになされたもので
あり、プラスチック基材上に設けられる反射防止膜にお
いて、基材側から数えて、二酸化ケイ素からなる膜厚0.
45〜0.55λの下地層;二酸化チタン層、二酸化ケイ素層
および二酸化チタン層によって構成される膜厚0.22〜0.
28λ、屈折率1.65〜1.80の3層等価膜からなる第1層;
二酸化チタンからなる膜厚0.45〜0.55λ、屈折率2.40〜
2.45の第2層;及び二酸化ケイ素からなる膜厚0.22〜0.
28λ、屈折率1.45〜1.47の第3層を有してなり、前記3
層等価膜からなる第1層中の二酸化チタン層および前記
第2層である二酸化チタン層が、前記基材に酸素イオン
ビームを照射しながら蒸着されたものであることを特徴
とする反射防止膜を要旨とするものである。
Means for Solving the Problems The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and in an antireflection film provided on a plastic substrate, a film made of silicon dioxide counted from the substrate side Thickness 0.
An underlayer having a thickness of 45 to 0.55λ; a film thickness of 0.22 to 0.2 constituted by a titanium dioxide layer, a silicon dioxide layer and a titanium dioxide layer.
A first layer comprising a three-layer equivalent film having a wavelength of 28λ and a refractive index of 1.65 to 1.80;
Titanium dioxide film thickness 0.45-0.55λ, refractive index 2.40-
A second layer of 2.45; and a film thickness of 0.22-0.
A third layer having a wavelength of 28λ and a refractive index of 1.45 to 1.47,
An anti-reflection film, wherein the titanium dioxide layer in the first layer and the titanium dioxide layer as the second layer are layer-evaporated while irradiating the substrate with an oxygen ion beam. It is the gist.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の反射防止膜は、プラスチック基材上に、下地
層を設け、次に反射防止効果を担う第1層、第2層及び
第3層を順次設けてなるものである。反射防止膜は実質
的にλ/4膜−λ/2膜−λ/4膜を基本膜設計とする反射防
止層を有するのが好ましい。
The antireflection film of the present invention is obtained by providing a base layer on a plastic base material, and then sequentially providing a first layer, a second layer, and a third layer having an antireflection effect. The anti-reflection film preferably has an anti-reflection layer having a substantially λ / 4 film-λ / 2 film-λ / 4 film as a basic film design.

先ず下地層は、二酸化ケイ素からなり、その膜厚は実
用上0.45〜0.55λの範囲が好ましい。下地層を設けた理
由は、基材と反射防止膜との密着性を高め、かつ反射防
止膜の硬度を向上させて耐摩耗性を高めるためである。
First, the underlayer is made of silicon dioxide, and its thickness is practically preferably in the range of 0.45 to 0.55λ. The reason for providing the underlayer is to increase the adhesion between the base material and the antireflection film, and to improve the hardness of the antireflection film to increase the wear resistance.

下地層を構成する物質として二酸化ケイ素を選択した
理由は、プラスチックは一般的に膨脹係数が大きく、石
英と比較すると、約2桁異なるが、二酸化ケイ素の蒸着
膜は、比較的にポーラスな膜であり、他の蒸着膜に比べ
プラスチックとの付着力が強く、また硬度が高いので優
れた耐摩耗性が得られ、しかも膨脹係数が大きいプラス
チックにも良く耐え、クラックが入りにくいからであ
る。またその膜厚の実用上好ましい範囲を0.45〜0.55λ
とした理由は、膜厚をこの範囲にすると基材と反射防止
膜との密着性が高まり、かつ反射防止膜の硬度も向上し
て耐摩耗性が高まるだけでなく、後記の第1層、第2層
および第3層の組み合せからなる反射防止層の反射防止
効果を最大限に発揮することができるからである。
The reason that silicon dioxide was selected as a material constituting the underlayer is that plastic generally has a large expansion coefficient and differs from quartz by about two orders of magnitude, but the deposited film of silicon dioxide is a relatively porous film. This is because, compared to other vapor-deposited films, the adhesiveness to plastic is higher and the hardness is higher, so that excellent abrasion resistance can be obtained. In addition, it can well withstand plastic having a large expansion coefficient and is less likely to crack. A practically preferable range of the film thickness is 0.45 to 0.55λ.
The reason is that when the film thickness is in this range, the adhesion between the base material and the antireflection film is increased, and the hardness of the antireflection film is also improved, so that the wear resistance is increased, and the first layer, which will be described later, This is because the antireflection effect of the antireflection layer composed of the combination of the second layer and the third layer can be maximized.

次に、前記の下地層の上に形成される第1層は、二酸
化チタン層、二酸化ケイ素層および二酸化チタン層によ
って構成される3層等価膜である。この3層等価膜は前
述のλ/4膜−λ/2膜−λ/4膜からなる基本膜設計におい
て、最初のλ/4膜に相当する。その膜厚は実用的には0.
22〜0.28λの範囲が好ましい。第1層を構成する物質と
して二酸化チタンと二酸化ケイ素とを選択し、下地層か
ら数えて二酸化チタン層、二酸化ケイ素層および二酸化
チタン層の順で成膜された3層等価膜とした理由は、以
下の(イ),(ロ)に述べる通りである。
Next, the first layer formed on the underlayer is a three-layer equivalent film composed of a titanium dioxide layer, a silicon dioxide layer and a titanium dioxide layer. This three-layer equivalent film corresponds to the first λ / 4 film in the basic film design including the λ / 4 film-λ / 2 film-λ / 4 film. Its film thickness is practically 0.
The range of 22 to 0.28λ is preferred. The reason for selecting titanium dioxide and silicon dioxide as the material constituting the first layer and forming a three-layer equivalent film formed in the order of a titanium dioxide layer, a silicon dioxide layer and a titanium dioxide layer, counting from the underlayer, is as follows. This is as described in (a) and (b) below.

(イ)これらの2物質からなる3層等価膜にすることに
より、第1層の屈折率を例えば1.65〜1.80に、そして膜
厚を例えば0.22〜0.28λとそれぞれ所望の値に調整で
き、この第1層と、下地層および第2層、第3層との組
み合せによって優れた反射防止効果が得られる。
(A) By forming a three-layer equivalent film composed of these two substances, the refractive index of the first layer can be adjusted to, for example, 1.65 to 1.80, and the film thickness can be adjusted to, for example, 0.22 to 0.28λ, to desired values. An excellent antireflection effect can be obtained by a combination of the first layer, the underlayer, the second layer, and the third layer.

(ロ)二酸化チタン層と二酸化ケイ素層によって形成さ
れる3層等価膜は耐熱性が高く、かつ前記下地層の二酸
化ケイ素に対しても後記第2層の二酸化チタンに対して
も付着力がある。
(B) The three-layer equivalent film formed by the titanium dioxide layer and the silicon dioxide layer has high heat resistance, and has an adhesive force to the silicon dioxide of the underlayer and the titanium dioxide of the second layer described later. .

次に前記の第1層の上に形成される第2層は、二酸化
チタンからなり、前述のλ/4膜−λ/2膜−λ/4膜からな
る基本膜設計において、λ/2膜に相当し、その膜厚は実
用的には0.45〜0.55λの範囲である。第2層を構成する
物質として、二酸化チタンを選択した理由は、以下に述
べる通りである。
Next, the second layer formed on the first layer is made of titanium dioxide. In the basic film design consisting of the λ / 4 film-λ / 2 film-λ / 4 film, the λ / 2 film is used. And the thickness is practically in the range of 0.45 to 0.55λ. The reason why titanium dioxide was selected as the material constituting the second layer is as described below.

(a)二酸化チタンは屈折率が約2.40と高屈折率物質で
あり、高屈折率の二酸化チタンからなる、この第2層
を、二酸化チタンと二酸化ケイ素とを用いた前記の低屈
折率の3層等価膜からなる第1層と後記の低屈折率の二
酸化ケイ素からなる第3層との間に配置させることによ
り、所望の反射防止効果が得られる。
(A) Titanium dioxide is a high-refractive-index substance having a refractive index of about 2.40, and is made of high-refractive-index titanium dioxide. By disposing between the first layer made of the layer equivalent film and the third layer made of silicon dioxide having a low refractive index described later, a desired antireflection effect can be obtained.

(b)二酸化チタンは第1層および第3層に対して付着
力がある。
(B) Titanium dioxide is adhesive to the first and third layers.

尚、実用的には第2層の屈折率は2.40〜2.45の範囲で
ある。
Incidentally, the refractive index of the second layer is practically in the range of 2.40 to 2.45.

次に前記の第2層の上に形成される第3層は、二酸化
ケイ素からなり、前述のλ/4膜−λ/2膜−λ/4膜からな
る基本膜設計において、最後のλ/4膜に相当し、その膜
厚は実用的には0.22〜0.28λの範囲である。第3層を構
成する物質として、二酸化ケイ素を選択した理由は、以
下に述べる通りである。
Next, the third layer formed on the second layer is made of silicon dioxide. In the basic film design consisting of the λ / 4 film-λ / 2 film-λ / 4 film, the last λ / This corresponds to four films, and the film thickness is practically in the range of 0.22 to 0.28λ. The reason why silicon dioxide was selected as the substance constituting the third layer is as described below.

二酸化ケイ素は屈折率約1.46の低屈折率物質であ
り、この屈折率の二酸化ケイ素からなる第3層を、低屈
折率の第1層上に設けられた高屈折率の第2層の上に設
けることにより、所望の反射防止効果が得られる。
Silicon dioxide is a low-refractive-index substance having a refractive index of about 1.46, and a third layer made of silicon dioxide having this refractive index is formed on a high-refractive-index second layer provided on a low-refractive-index first layer. By providing such a layer, a desired anti-reflection effect can be obtained.

二酸化ケイ素膜は膜強度が強く、かつ二酸化チタン
からなる第2層に対する付着力が強い。
The silicon dioxide film has high film strength and strong adhesion to the second layer made of titanium dioxide.

尚、実用的には第3層の屈折率は1.45〜1.47の範囲で
ある。
Incidentally, the refractive index of the third layer is practically in the range of 1.45 to 1.47.

上述の如く本発明の反射防止膜は、反射防止効果を担
う層が3層からなるが、3層に限定した理由は以下の通
りである。
As described above, the antireflection film of the present invention has three layers having an antireflection effect. The reason why the number of layers is limited to three is as follows.

(i)反射防止膜の層数を増していくと、一般に反射防
止域は広くなるが、層数が多い程、製品毎の反射防止膜
の膜厚の再現性が低下し、干渉色の再現性も悪化する。
例えば眼鏡レンズの場合、一対で使用するため左右のレ
ンズの膜厚の誤差が大きくて、干渉色の再現性が悪化す
ると、商品価値が低下してしまう。
(I) As the number of layers of the anti-reflection film increases, the anti-reflection area generally increases, but as the number of layers increases, the reproducibility of the thickness of the anti-reflection film for each product decreases, and the reproduction of interference colors The nature also worsens.
For example, in the case of a pair of spectacle lenses, the use of a pair of lenses causes a large error in the film thickness of the left and right lenses.

(ii)反射防止膜を構成する層の数を増していくと、一
般に反射防止膜にクラックが発生しやすくなるが、3層
からなる本発明の反射防止膜においてはクラックが発生
しにくい。
(Ii) When the number of layers constituting the antireflection film is increased, cracks generally tend to occur in the antireflection film, but cracks are less likely to occur in the three-layer antireflection film of the present invention.

(iii)物質および膜厚を上述の如く設定すれば、3層
でも充分な反射防止効果が得られる。
(Iii) If the material and the film thickness are set as described above, a sufficient antireflection effect can be obtained even with three layers.

本発明の反射防止膜においては、前記3層等価膜から
なる第1層中の二酸化チタン層および第2層の二酸化チ
タンの蒸着方法は、基材に酸素イオンビームを照射しな
がら蒸着するイオンビームアシスト法に限定される。そ
の理由は、このイオンビームアシスト法によらないと、
硬度が十分な二酸化チタン層を形成することができず、
また二酸化チタンの屈折率が2.40以上までにならないか
らである。このイオンビームアシスト法における条件
(例えば基材への酸素イオンビームの照射方法、原料で
ある二酸化チタンの蒸発方法など)は通常採用されてい
る条件の中から適宜選択される。
In the antireflection film of the present invention, the method of depositing the titanium dioxide layer in the first layer and the titanium dioxide layer in the second layer, which is composed of the three-layer equivalent film, comprises the steps of: Limited to the assist method. The reason is that without this ion beam assist method,
A titanium dioxide layer with sufficient hardness cannot be formed,
Also, the refractive index of titanium dioxide does not become 2.40 or more. Conditions in the ion beam assist method (for example, a method of irradiating the substrate with an oxygen ion beam, a method of evaporating titanium dioxide as a raw material, and the like) are appropriately selected from conditions generally employed.

なお、上述の如く第1層中の二酸化チタン層および第
2層の二酸化チタンの蒸着はイオンビームアシスト法に
より行なわれるが、残りの下地層の二酸化ケイ素、3層
等価膜からなる第1層中の二酸化ケイ素層、第3層の二
酸化ケイ素は、真空蒸着法、イオンプレーティング法、
スパッタリング法、CVD法などの通常の成膜手段により
形成される。
As described above, the titanium dioxide layer in the first layer and the titanium dioxide in the second layer are deposited by an ion beam assist method. Silicon dioxide layer, the third layer of silicon dioxide is a vacuum deposition method, an ion plating method,
It is formed by ordinary film forming means such as a sputtering method and a CVD method.

本発明の反射防止膜が形成されるプラスチック基材と
しては、プラスチックレンズを用いるのが好ましく、そ
の例としてセルロース系プラスチックレンズ、ジエチレ
ングリコールビスアリルカーボネート単独重合体又はジ
エチレングリコールビスアリルカーボネートと1種以上
の他のモノマーとの共重合体からなるプラスチックレン
ズ、ポリカーボネート系プラスチックレンズ、ポリスチ
レン系プラスチックレンズ、ポリウレタン系プラスチッ
クレンズ、ポリ塩化ビニル系プラスチックレンズ等が挙
げられる。
As the plastic substrate on which the antireflection film of the present invention is formed, it is preferable to use a plastic lens, for example, a cellulosic plastic lens, diethylene glycol bisallyl carbonate homopolymer or diethylene glycol bisallyl carbonate and one or more other materials. Plastic lenses, polycarbonate plastic lenses, polystyrene plastic lenses, polyurethane plastic lenses, polyvinyl chloride plastic lenses, etc. made of a copolymer with the above monomer.

これらのプラスチックレンズ基材は表面処理を施した
ものでも良く、表面処理の具体例としてはプラスチック
レンズ基材上に有機物(例えば有機ケイ素化合物)、無
機物(例えばコロイダルシリカ)またはこれらの混合物
からなる表面処理膜を形成することが挙げられる。
These plastic lens substrates may be subjected to a surface treatment. Specific examples of the surface treatment include a surface made of an organic substance (for example, an organosilicon compound), an inorganic substance (for example, colloidal silica), or a mixture thereof on the plastic lens substrate. Forming a treatment film may be mentioned.

[実施例] 以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、
本発明はこれらの実施例に限定されるもではない。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples.
The present invention is not limited to these examples.

なお実施例および比較例で得られた反射防止膜は、以
下に示す試験方法により、諸物性を測定した。
The physical properties of the antireflection films obtained in Examples and Comparative Examples were measured by the following test methods.

(a)耐擦傷性 #0000のスチールウールにより表面を往復回数で10回
こすって耐擦傷性を次のように判定した。
(A) Scratch resistance Scratch resistance was determined as follows by rubbing the surface 10 times with # 0000 steel wool in a reciprocating manner.

A:わずかに傷がつく B:多く傷がつく C:膜のはがれが生じる (b)密着性 JIS−Z−1522に従いゴバン目を10×10個作りセロフ
ァン粘着テープにより剥離試験を3回行ない、残ったゴ
バン目の数を数えた。
A: Slightly scratched B: Many scratches C: Peeling of the film occurs (b) Adhesion According to JIS-Z-1522, make 10 × 10 squares and perform the peeling test three times with cellophane adhesive tape. The number of remaining Goban eyes was counted.

(c)視感透過率、視感反射率 日立製作所製340自記分光光度計を用い、視感透過
率、視感反射率を測定した。
(C) Luminous transmittance and luminous reflectance The luminous transmittance and luminous reflectance were measured using a Hitachi 340 automatic recording spectrophotometer.

(d)耐熱性 電気炉内にて80℃で10分間加熱しクラックの発生を調
べ、次のように判定した。
(D) Heat resistance Heating was performed at 80 ° C. for 10 minutes in an electric furnace, and the occurrence of cracks was examined.

○:クラック発生せず ×:クラック発生 実施例1 プラスチックレンズとして、ジエチレングリコールビ
スアリルカーボネート重合体系プラスチックレンズ(HO
YA(株)製Hi−Lux、屈折率1.499)を用い、このプラス
チックレンズ上に先ず真空蒸着法(真空度2×10-5Tor
r)により二酸化ケイ素からなる下地層[屈折率1.46、
膜厚0.5λ(λは550nmである)]を形成した。
:: no cracks generated ×: cracks generated Example 1 As a plastic lens, a diethylene glycol bisallyl carbonate polymer-based plastic lens (HO
Using a Hi-Lux manufactured by YA Corporation (refractive index: 1.499), a vacuum evaporation method (degree of vacuum: 2 × 10 −5 Tor) was first formed on this plastic lens.
r) an underlayer consisting of silicon dioxide [refractive index 1.46,
0.5λ (λ is 550 nm)].

次にこの下地層の上に、プラスチックレンズを加熱し
た状態でプラスチックレンズに酸素イオンビームを照射
するイオンビームアシスト法にて二酸化チタンからなる
層(膜厚0.06λ)、真空蒸着法にて二酸化ケイ素からな
る層(膜厚0.12λ)、さらにイオンビームアシスト法に
て二酸化チタンからなる層(膜厚0.06λ)よりなる3層
等価膜である第1層[屈折率1.70、膜厚0.24λ]を形成
した。
Next, on this underlayer, a layer (thickness 0.06λ) of titanium dioxide is formed by an ion beam assist method in which the plastic lens is irradiated with an oxygen ion beam while the plastic lens is heated, and silicon dioxide is formed by a vacuum evaporation method. Layer (thickness 0.12λ) and a first layer [refractive index 1.70, thickness 0.24λ] which is a three-layer equivalent film composed of a layer (thickness 0.06λ) of titanium dioxide by an ion beam assist method. Formed.

次にこの第1層の上に、プラスチックレンズを加熱し
た状態でプラスチックレンズに酸素イオンビームを照射
するイオンビームアシスト法により二酸化チタンからな
る第2層(屈折率2.40、膜厚0.5λ)を形成した。
Next, a second layer (refractive index: 2.40, thickness: 0.5λ) made of titanium dioxide is formed on the first layer by an ion beam assist method in which the plastic lens is irradiated with an oxygen ion beam while the plastic lens is heated. did.

次にこの第2層の上に、真空蒸着法(真空度2×10-5
Torr)により二酸化ケイ素からなる第3層(屈折率1.4
6、膜厚0.25λ)を形成して、反射防止膜付きプラスチ
ックレンズを得た。
Next, on this second layer, a vacuum deposition method (degree of vacuum 2 × 10 −5)
Torr) to form a third layer of silicon dioxide (refractive index 1.4
6, and a film thickness of 0.25λ) to obtain a plastic lens with an antireflection film.

得られた反射防止膜付きプラスチックレンズの試験結
果を、表−1に示す。同表に示すように、実施例1で得
られた反射防止膜付きプラスチックレンズは、耐擦傷
性、密着性が良好であるだけでなく、耐熱性に優れ、視
感反射率が0.4%と反射防止効果に優れたものであっ
た。なお、実施例1で得られた反射防止膜付きプラスチ
ックレンズの反射率曲線を第1図に示す。
Table 1 shows the test results of the obtained plastic lens with an antireflection film. As shown in the table, the plastic lens with an antireflection film obtained in Example 1 not only has good scratch resistance and adhesion, but also has excellent heat resistance and a luminous reflectance of 0.4%. It was excellent in prevention effect. FIG. 1 shows the reflectance curve of the plastic lens with an antireflection film obtained in Example 1.

実施例2 プラスチックレンズとしてジエチレングリコールビス
アリルカーボネート共重合体系プラスチックレンズ(HO
YA(株)製Hi−Lux II、屈折率1.56)を用い、表−1に
示す膜構成にて反射防止膜付きプラスチックレンズを得
た。実施例2で得られた反射防止膜付きプラスチックレ
ンズも表−1に示すように、耐擦傷性、密着性が良好で
あるだけでなく、耐熱性に優れ、視感反射率が0.4%と
反射防止効果に優れたものであった。なお実施例2で得
られた反射防止膜付きプラスチックレンズの反射率曲線
を第2図に示す。
Example 2 As a plastic lens, a diethylene glycol bisallyl carbonate copolymer plastic lens (HO
Using YA Corporation Hi-Lux II, refractive index 1.56), a plastic lens with an antireflection film having the film configuration shown in Table 1 was obtained. As shown in Table 1, the plastic lens with an antireflection film obtained in Example 2 not only has good scratch resistance and adhesion, but also has excellent heat resistance and a luminous reflectance of 0.4%. It was excellent in prevention effect. FIG. 2 shows the reflectance curve of the plastic lens with an antireflection film obtained in Example 2.

比較例1 プラスチックレンズとしてジエチレングリコールビス
アリルカーボネート重合体系プラスチックレンズ(HOYA
(株)製Hi−Lux)を用いた。このプラスチックレンズ
上に、特開昭56−116003号公報に記載の反射防止膜と同
様に、二酸化ケイ素からなる下地層(膜厚1.5λ)を設
けた後、二酸化ジルコニウム層(膜厚0.06λ)と二酸化
ケイ素層(膜厚0.08λ)との2層等価膜からなる第1層
(合計膜厚0.14λ)、二酸化ジルコニウムからなる第2
層(膜厚0.5λ)および二酸化ケイ素からなる第3層
(膜厚0.25λ)を順次設けて、本比較例の反射防止膜付
きプラスチックレンズを得た。
Comparative Example 1 As a plastic lens, a diethylene glycol bisallyl carbonate polymer-based plastic lens (HOYA
(Hi-Lux, Inc.) was used. On this plastic lens, as in the case of the antireflection film described in JP-A-56-116003, an underlayer made of silicon dioxide (thickness: 1.5λ) is provided, and then a zirconium dioxide layer (thickness: 0.06λ) A first layer (total thickness 0.14λ) composed of a two-layer equivalent film of silicon and a silicon dioxide layer (thickness 0.08λ), and a second layer composed of zirconium dioxide.
A layer (thickness 0.5λ) and a third layer (thickness 0.25λ) made of silicon dioxide were sequentially provided to obtain a plastic lens with an antireflection film of this comparative example.

本比較例で得られた反射防止膜付きプラスチックレン
ズは、耐擦傷性、密着性は良好であったが、耐熱性が不
充分で、しかも視感反射率が1.5%と実施例1の反射防
止膜付きプラスチックレンズと比べ反射防止効果が劣る
ものであった。なお比較例1で得られた反射防止膜付き
プラスチックレンズの反射率曲線を第3図に示す。
The plastic lens with an antireflection film obtained in this comparative example had good scratch resistance and good adhesion, but had insufficient heat resistance and a luminous reflectance of 1.5%, which was the antireflection of Example 1. The antireflection effect was inferior to that of the plastic lens with a film. FIG. 3 shows a reflectance curve of the plastic lens with an antireflection film obtained in Comparative Example 1.

比較例2 プラスチックレンズとして、ジエチレングリコールビ
スアリルカーボネート重合体系プラスチックレンズ(HO
YA(株)製Hi−Lux)の代りにジエチレングリコールビ
スアリルカーボネート共重合体系プラスチックレンズ
(HOYA(株)製Hi−Lux II)を用いた以外は比較例1と
同様にして反射防止膜付きプラスチックレンズを得た。
本比較例で得られた反射防止膜付きプラスチックレンズ
は、耐擦傷性、密着性が良好であったが、耐熱性が不充
分で、しかも視感反射率が1.5%と実施例2の反射防止
膜付きプラスチックレンズと比べ反射防止効果が劣るも
のであった。なお比較例4で得られた反射防止膜付きプ
ラスチックレンズの反射率曲線を第4図に示す。
Comparative Example 2 As a plastic lens, a diethylene glycol bisallyl carbonate polymer-based plastic lens (HO
A plastic lens with an antireflection film in the same manner as in Comparative Example 1 except that a diethylene glycol bisallyl carbonate copolymer plastic lens (Hi-Lux II manufactured by HOYA Corporation) was used instead of the Hi-Lux manufactured by YA Corporation. I got
The plastic lens with an anti-reflection film obtained in this comparative example had good scratch resistance and adhesion, but had insufficient heat resistance and a luminous reflectance of 1.5%, which was the anti-reflection property of Example 2. The antireflection effect was inferior to that of the plastic lens with a film. FIG. 4 shows the reflectance curve of the plastic lens with the antireflection film obtained in Comparative Example 4.

[発明の効果] 以上詳述したように、本発明の反射防止膜は、これを
プラスチック基材上に設けたときに耐擦傷性、密着性が
良好であるばかりでなく、耐熱性が良好でクラックも発
生しにくく、また視感反射率が極めて低く、優れた反射
防止効果を有し、ゴースト現象も解消されるので、反射
防止能を有する眼鏡用レンズとして特に好適に用いるこ
とができる。
[Effects of the Invention] As described in detail above, the antireflection film of the present invention not only has good scratch resistance and adhesion when provided on a plastic substrate, but also has good heat resistance. Since cracks are hardly generated, luminous reflectance is extremely low, excellent antireflection effect is obtained, and ghost phenomenon is eliminated, the lens can be particularly suitably used as a spectacle lens having antireflection ability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は実施例1の反射防止膜付きプラスチックレンズ
における反射率曲線図、第2図は実施例2の反射防止膜
付きプラスチックレンズにおける反射率曲線図、第3図
は比較例1の反射防止膜付きプラスチックレンズにおけ
る反射率曲線図、第4図は比較例2の反射防止膜付きプ
ラスチックレンズにおける反射率曲線図である。
FIG. 1 is a reflectance curve diagram of a plastic lens with an antireflection film of Example 1, FIG. 2 is a reflectance curve diagram of a plastic lens with an antireflection film of Example 2, and FIG. FIG. 4 is a reflectance curve diagram of a plastic lens with an antireflection film of Comparative Example 2 and FIG. 4 is a reflectance curve diagram of a plastic lens with a film.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】プラスチック基材上に設けられる反射防止
膜において、基材側から数えて、二酸化ケイ素からなる
膜厚0.45〜0.55λの下地層;二酸化チタン層、二酸化ケ
イ素層および二酸化チタン層によって構成される膜厚0.
22〜0.28λ、屈折率1.65〜1.80の3層等価膜からなる第
1層;二酸化チタンからなる膜厚0.45〜0.55λ、屈折率
2.40〜2.45の第2層;及び二酸化ケイ素からなる膜厚0.
22〜0.28λ、屈折率1.45〜1.47の第3層を有してなり、
前記3層等価膜からなる第1層中の二酸化チタン層およ
び前記第2層である二酸化チタン層が、前記基材に酸素
イオンビームを照射しながら蒸着されたものであること
を特徴とする反射防止膜。
1. An anti-reflection film provided on a plastic substrate, comprising, as counted from the substrate side, an underlayer of silicon dioxide having a thickness of 0.45 to 0.55λ; a titanium dioxide layer, a silicon dioxide layer and a titanium dioxide layer. Constructed film thickness 0.
First layer consisting of a three-layer equivalent film having a refractive index of 22 to 0.28λ and 1.65 to 1.80; thickness of 0.45 to 0.55λ made of titanium dioxide, refractive index
A second layer of 2.40 to 2.45;
22 to 0.28 λ, having a third layer with a refractive index of 1.45 to 1.47,
The reflection, wherein the titanium dioxide layer in the first layer and the titanium dioxide layer as the second layer, each of which is composed of the three-layer equivalent film, are deposited while irradiating the substrate with an oxygen ion beam. Prevention film.
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