JP2775936B2 - Manufacturing method of ceramic electronic components - Google Patents

Manufacturing method of ceramic electronic components

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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば積層セラミックコンデンサのような
セラミック電子部品の製造方法に関するものであり、特
に薄膜セラミックの機械的強度の向上と電気的特性の向
上を図ることを目的とするものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic electronic component such as a multilayer ceramic capacitor, and more particularly to an improvement in mechanical strength and electrical characteristics of a thin film ceramic. The purpose is to achieve it.

従来の技術 積層セラミックコンデンサを例に挙げ説明すると、通
常の積層セラミックコンデンサの製造方法は、ポリエチ
レンテレフタレート(以下、PETと記す)等のキャリア
フィルム上に、誘電体セラミック粉末,有機バインダ,
及び有機溶媒からなるセラミックスラリーをドクターブ
レード法等の手段にて塗布して所定厚みのセラミックグ
リーンシートを形成する。その後、積層されるべきセラ
ミックグリーンシート上に内部電極ペーストをスクリー
ン印刷し、内部電極層が形成される。内部電極ペースト
には、内部電極となるべき金属粒子,有機バインダ,有
機溶媒が含有されている。前記内部電極層が形成された
セラミックグリーンシートをキャリアフィルムより剥離
して、内部電極が交互に異なる端部に導出されるよう複
数枚積み重ね加圧,圧着することにより積層体とし、所
定形状に切断する。切断後、前記積層体を焼成すると同
時に有機バインダを焼失させ、複数の内部電極を有する
セラミック焼成体を得、内部電極と電気的に接続される
外部電極を形成することにより、積層セラミックコンデ
ンサが得られる。
2. Description of the Related Art To explain a multilayer ceramic capacitor as an example, a general manufacturing method of a multilayer ceramic capacitor is to form a dielectric ceramic powder, an organic binder, and a dielectric film on a carrier film such as polyethylene terephthalate (hereinafter referred to as PET).
And a ceramic slurry comprising an organic solvent is applied by means such as a doctor blade method to form a ceramic green sheet having a predetermined thickness. Thereafter, the internal electrode paste is screen-printed on the ceramic green sheets to be laminated to form an internal electrode layer. The internal electrode paste contains metal particles to be used as internal electrodes, an organic binder, and an organic solvent. The ceramic green sheet on which the internal electrode layers are formed is peeled off from the carrier film, and a plurality of the internal electrodes are stacked and pressed and pressed so that the internal electrodes are alternately led out to different ends to form a laminate, which is cut into a predetermined shape. I do. After cutting, the laminate is fired and the organic binder is burned off at the same time to obtain a fired ceramic body having a plurality of internal electrodes.By forming external electrodes electrically connected to the internal electrodes, a multilayer ceramic capacitor is obtained. Can be

発明が解決しようとする課題 ところが、コンデンサの容量は、対向する一対の電極
の重なり面積,電極間距離,及び誘電体層の誘電率で決
定される。小形で大容量のコンデンサを得るためには誘
電体層の厚みを薄くする必要があり、近年、セラミック
シートの薄膜化が増々要求されている。しかしながら、
従来の技術では次のような課題があった。すなわち、従
来セラミックグリーンシートの厚みは30μm程度が限界
であったが、この限界よりさらに薄くすると、 (1) セラミックグリーンシート上に内部電極層を形
成する際、内部電極ペーストに含まれる有機溶剤がセラ
ミックグリーンシートを浸蝕する。特にセラミックグリ
ーンシートが10μm以下の厚みまで薄膜化されると、有
機溶剤浸蝕により、内部電極がグリーンシート中に拡散
して絶縁抵抗値を低下させるなど信頼性の低下を招く。
Problems to be Solved by the Invention However, the capacitance of a capacitor is determined by the overlapping area of a pair of opposing electrodes, the distance between the electrodes, and the dielectric constant of the dielectric layer. In order to obtain a small-sized and large-capacity capacitor, it is necessary to reduce the thickness of the dielectric layer. In recent years, there has been an increasing demand for thinner ceramic sheets. However,
The conventional technology has the following problems. That is, the thickness of the ceramic green sheet has conventionally been limited to about 30 μm. However, if the thickness is further reduced, (1) when forming the internal electrode layer on the ceramic green sheet, the organic solvent contained in the internal electrode paste is The ceramic green sheet is eroded. In particular, when the ceramic green sheet is thinned to a thickness of 10 μm or less, the internal electrodes are diffused into the green sheet due to the erosion of the organic solvent, thereby lowering the insulation resistance and lowering the reliability.

(2) セラミックグリーンシート薄膜化を伴う、機械
的強度の低下により、剥離不良を招き量産性を損ねる。
(2) Due to the decrease in mechanical strength accompanying the thinning of the ceramic green sheet, peeling failure is caused and mass productivity is impaired.

などの課題を有していた。And other issues.

そこで本発明は、薄膜化セラミックグリーンシートの
取扱いに優れ、かつ信頼性の向上を図るセラミック積層
体の製造方法を提供するものである。
Accordingly, the present invention provides a method for manufacturing a ceramic laminate which is excellent in handling of thinned ceramic green sheets and improves reliability.

課題を解決するための手段 前記課題を解決するために本発明の製造方法は、キャ
リアフィルム上にバインダ膜を形成し、この被膜上に所
定厚みのセラミックグリーンシートを成形し、この後、
有機バインダ及びセラミックグリーンシートの2層から
成るシートをキャリアフィルムより剥離して形成されて
いるバインダ膜表面上に内部電極を形成した三層構造の
シートを加熱圧着することにより、複数層の積層体を得
るようにしたことを特徴とするものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the problems, the production method of the present invention forms a binder film on a carrier film, and forms a ceramic green sheet of a predetermined thickness on the film, and thereafter,
A laminate having a plurality of layers is formed by heat-pressing a three-layered sheet having an internal electrode formed on a surface of a binder film formed by peeling a sheet composed of two layers of an organic binder and a ceramic green sheet from a carrier film. Is obtained.

作用 本発明によれば、セラミックグリーンシートに被膜さ
れたバインダ膜上に内部電を形成するため、内部電極ペ
ースト中に含まれる有機溶剤によるセラミックグリーン
シートの浸蝕が緩和される。すなわち、バインダ層にお
いて内部電極中の有機溶剤を吸収し、セラミックグリー
ンシートへの有機溶剤の浸透を極力抑制し、セラミック
グリーンシートの浸蝕を防止することが可能となる。ま
た、セラミックグリーンシートにバインダ膜が被覆され
ているので、セラミックグリーンシートの薄膜化にとも
なう機械的強度を補うことができ、キャリアフィルムか
らの剥離不良の低減を図ることができる。
According to the present invention, since the internal electricity is formed on the binder film coated on the ceramic green sheet, the erosion of the ceramic green sheet by the organic solvent contained in the internal electrode paste is reduced. That is, the organic solvent in the internal electrode is absorbed in the binder layer, the penetration of the organic solvent into the ceramic green sheet is suppressed as much as possible, and the erosion of the ceramic green sheet can be prevented. Further, since the ceramic green sheet is coated with the binder film, the mechanical strength accompanying the thinning of the ceramic green sheet can be compensated for, and the peeling failure from the carrier film can be reduced.

実施例 以下、本発明を積層セラミックコンデンサを例に挙げ
図面を参照しながら詳細に説明する。まず、第2図に示
すように、PET等のキャリアフィルム1上に厚み4μm
の有機バインダ膜2をブチラール樹脂及びメチルエチル
ケトンのスラリーを用いて形成する。この被膜上にチタ
ン酸バリウムを主成分とする誘電体セラミック粉末、有
機バインダとして同じブチラール樹脂、及び有機溶媒と
してメチルエチルケトンを用いて混練したセラミックス
ラリーを10μmの厚みにキャスティング法により塗布し
てセラミックグリーンシート3を成形する。次に、キャ
リアフィルム1から剥離した2層構造のシートの有機バ
インダ膜2上に内部電極4を形成する。内部電極材には
パラジウムペーストを用い、スクリーン印刷により乾燥
厚み1.5μmの内部電極とし、第1図に示されるような
三層構造のシート5を得る。このようにして得られた三
層構造のシート5を内部電極が交互に異なる端部に導出
されるように複数積み重ね、加熱圧着し、第3図に示さ
れる積層体を形成する。三層構造シート5を60枚、上下
に内部電極の印刷されていない有機バインダが被覆され
ているセラミックシートを各10枚積み重ね、40℃〜80
℃,0.4〜0.8ton/cm2条件で加熱圧着して一体化し、この
後、第3図に示す切断方向6に沿って切断して積層体よ
り独立したコンデンサ素子7を得る(第4図)。そし
て、それぞれ独立した積層体グリーンチップを200℃〜4
50℃で20時間の条件で有機バインダ類を燃焼・消失さ
せ、更に1350℃で2時間焼成して素子を得る。この素子
の内部電極が露出している端部に銀ペーストを塗布し、
850℃で焼付けし、外部電極を形成し、積層セラミック
コンデンサを得ることができる。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings, taking a multilayer ceramic capacitor as an example. First, as shown in FIG. 2, a 4 μm-thick
Is formed using a slurry of butyral resin and methyl ethyl ketone. A ceramic green sheet obtained by applying a dielectric ceramic powder containing barium titanate as a main component, the same butyral resin as an organic binder, and a ceramic slurry kneaded using methyl ethyl ketone as an organic solvent to a thickness of 10 μm by a casting method. Form 3 Next, the internal electrodes 4 are formed on the organic binder film 2 of the two-layered sheet peeled from the carrier film 1. A palladium paste is used as an internal electrode material, and an internal electrode having a dry thickness of 1.5 μm is obtained by screen printing to obtain a sheet 5 having a three-layer structure as shown in FIG. A plurality of the sheets 5 having the three-layer structure obtained in this manner are stacked and heated and pressed so that the internal electrodes are alternately led out to different ends, thereby forming a laminate shown in FIG. 60 sheets of the three-layer structure sheet 5 and 10 sheets of the ceramic sheet covered with the organic binder on which the internal electrode is not printed on the upper and lower sides are stacked at 40 ° C. to 80 ° C.
C., at 0.4 to 0.8 ton / cm 2 under heat and pressure to be integrated, and then cut along the cutting direction 6 shown in FIG. 3 to obtain a capacitor element 7 independent of the laminate (FIG. 4). . Then, each independent green chip at 200 ° C ~ 4
The organic binders are burned / dissipated at 50 ° C. for 20 hours, and then fired at 1350 ° C. for 2 hours to obtain a device. A silver paste is applied to the end of the element where the internal electrodes are exposed,
By baking at 850 ° C. to form external electrodes, a multilayer ceramic capacitor can be obtained.

ここで、内部電極が形成された三層構造シート5に於
いては、内部電極ペーストの有機溶剤により有機バイン
ダ層2が浸蝕され変形等を起こすが、その後の加熱圧着
及び焼成時に燃焼・消失するものであり、セラミックグ
リーンシート3への有機溶剤の浸透を抑制し、セラミッ
クグリーンシートへの電極の拡散を防止し、絶縁抵抗値
の向上を図ることが可能となる。また、セラミックグリ
ーンシートに有機バインダが被覆される構造となること
から、剥離工程などに於ける量産性の向上にも寄与す
る。
Here, in the three-layer structure sheet 5 on which the internal electrodes are formed, the organic binder layer 2 is eroded and deformed by the organic solvent of the internal electrode paste, but burns and disappears during the subsequent heat compression bonding and firing. Thus, it is possible to suppress the penetration of the organic solvent into the ceramic green sheet 3, prevent the electrode from diffusing into the ceramic green sheet, and improve the insulation resistance value. In addition, since the organic binder is coated on the ceramic green sheet, it contributes to improvement in mass productivity in a peeling step and the like.

なお、本実施例に於いては、有機バインダ層とセラミ
ックグリーンシートに用いる樹脂は同一のブチラール樹
脂を使用したが、本発明の効果はこれらバインダの組合
せに限定されるものではない。すなわち、有機バインダ
層とセラミックグリーンシートのバンインダに異種バイ
ンダを用いても、また、一方に水溶系バインダアクリル
樹脂,溶媒として水、他方に有機溶媒系バインダを用い
ても発明の効果には何ら変りはない。また、両者に同系
統のバインダを用いた場合、有機バインダ層側を高重合
度のものに、セラミックグリーンシート側を低重合度の
ものにすると、有機バインダ層側の浸蝕度が低下し発明
の効果は大きくなる。ところで、本実施例に於いては有
機バインダ層の厚みは2〜5μmとしているが、2μm
未満ではバインダ層厚みの均一性が得にくいこと、ま
た、シートの機械的強度の向上にさほどの効果が得られ
ない。また逆に、5μmを越える厚みとなると、有機バ
インダ燃焼時の発熱等により焼結体内に内部層状欠陥
(デラミネーション)の発生が起る可能性がある。従っ
て2〜5μmの有機バインダ層とすることで、本発明の
効果を得ることができる。
In this embodiment, the same butyral resin is used as the resin for the organic binder layer and the ceramic green sheet. However, the effect of the present invention is not limited to the combination of these binders. That is, even if a different kind of binder is used for the organic binder layer and the band binder of the ceramic green sheet, or a water-based binder acrylic resin is used for one, water is used for the solvent, and an organic solvent-based binder is used for the other, the effect of the invention is not changed. There is no. Also, when the same type of binder is used for both, when the organic binder layer side has a high degree of polymerization and the ceramic green sheet side has a low degree of polymerization, the erosion degree on the organic binder layer side is reduced and the invention is described. The effect is greater. By the way, in the present embodiment, the thickness of the organic binder layer is set to 2 to 5 μm.
If it is less than 1, the uniformity of the binder layer thickness is hardly obtained, and the effect of improving the mechanical strength of the sheet is not so large. Conversely, if the thickness exceeds 5 μm, internal layer-like defects (delamination) may occur in the sintered body due to heat generated during combustion of the organic binder. Therefore, the effect of the present invention can be obtained by using an organic binder layer having a thickness of 2 to 5 μm.

発明の効果 以上のように、本発明によるセラミック電子部品の製
造方法によれば、セラミックグリーンシートに被覆され
た有機バインダ層上に内部電極を設ける三層構造シート
を用いた積層体に於いて、シートの取扱いが容易となり
量産性の向上を図ることができ、かつ、内部電極材の拡
散を防止でき、絶縁抵抗の向上等の信頼性の向上を図る
ことが可能となる。
Effect of the Invention As described above, according to the method for manufacturing a ceramic electronic component of the present invention, in a laminate using a three-layer structure sheet provided with internal electrodes on an organic binder layer coated on a ceramic green sheet, The handling of the sheet is facilitated, the mass productivity can be improved, the diffusion of the internal electrode material can be prevented, and the reliability such as the insulation resistance can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明によるセラミックグリーンシートに被覆
された有機バインダ層上に、内部電極が形成された三層
構造シートを表わす断面図、第2図はPETキャリアフィ
ルム上に有機バインダ層が形成され、その上にセラミッ
クグリーンシートが成形された状態を示す断面図、第3
図は三層構造シートが複数積層された状態を示す断面
図、第4図は独立した積層体を示す断面図である。 1……PETキャリアフィルム、2……有機バインダ層、
3……セラミックグリーンシート、4……内部電極層、
5……三層構造シート、6……切断方向を示す位置線、
7……焼成されたセラミック焼結体。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a three-layer structure sheet having an internal electrode formed on an organic binder layer coated on a ceramic green sheet according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing an organic binder layer formed on a PET carrier film. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which a ceramic green sheet is formed thereon,
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a plurality of three-layer sheets are stacked, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing an independent stacked body. 1 ... PET carrier film, 2 ... Organic binder layer,
3 ... ceramic green sheet, 4 ... internal electrode layer,
5 ... three-layer structure sheet, 6 ... position line indicating cutting direction,
7: Fired ceramic sintered body.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】キャリアフィルム上にバインダ膜を形成
し、この被膜上に所定厚みのセラミックグリーンシート
を成形し、次に前記キャリアフィルムから剥離して形成
されているバインダ膜の表面に内部電極を設けた三層構
造のシートを、前記内部電極が交互に異なる端部に導出
されるように複数枚積層して加熱圧着することにより積
層体とし、所定の形状に切断後、前記積層体を焼成する
と同時にバインダを焼失させて複数の内部電極を有する
セラミック焼結体とし、前記焼成された積層体に内部電
極と電気的に接続される外部電極を形成することを特徴
とするセラミック電子部品の製造方法。
1. A binder film is formed on a carrier film, a ceramic green sheet having a predetermined thickness is formed on the film, and an internal electrode is formed on the surface of the binder film formed by peeling off the carrier film. A plurality of sheets of the provided three-layer structure are laminated and heat-pressed so that the internal electrodes are alternately led out to different ends to form a laminate. After cutting into a predetermined shape, the laminate is fired. Simultaneously producing a ceramic sintered body having a plurality of internal electrodes by burning out a binder, and forming external electrodes electrically connected to the internal electrodes on the fired laminate. Method.
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