JP2769591B2 - 低温液化ガスの水分管理方法 - Google Patents
低温液化ガスの水分管理方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体の製造ライン等
において使用する低温液化ガスの水分管理方法に関する
ものである。
において使用する低温液化ガスの水分管理方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】低温液化ガスを使用する用途において
は、該低温液化ガスの水分管理を行うことが必要とな
る。
は、該低温液化ガスの水分管理を行うことが必要とな
る。
【０００３】従来、低温液化ガスの水分管理は、低温液
化ガスの一部を気化したのち水分計等で水分を測定する
方法が採用されている。
化ガスの一部を気化したのち水分計等で水分を測定する
方法が採用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】低温液化ガスの水分
は、蒸気圧が極めて低いために大部分が微細な氷である
氷結水分として存在する。そこで従来のように低温液化
ガスの一部を気化したのち水分計で低温液化ガス中の水
分を測定する場合、水分計に導入される低温液化ガス量
は液状態で通常１分間当り１０ｃｃ以下であり、低温液
化ガス供給量に比べて極めて少ない流量である。そのた
め、氷結水分が均一に気化配管に導入されなかったり、
水分が気化配管内壁に付着したりする結果、水分計で計
測される水分濃度が実際よりも低い値を示すという欠点
があった。
は、蒸気圧が極めて低いために大部分が微細な氷である
氷結水分として存在する。そこで従来のように低温液化
ガスの一部を気化したのち水分計で低温液化ガス中の水
分を測定する場合、水分計に導入される低温液化ガス量
は液状態で通常１分間当り１０ｃｃ以下であり、低温液
化ガス供給量に比べて極めて少ない流量である。そのた
め、氷結水分が均一に気化配管に導入されなかったり、
水分が気化配管内壁に付着したりする結果、水分計で計
測される水分濃度が実際よりも低い値を示すという欠点
があった。
【０００５】この欠点を解消するため、低温液化ガスの
気化量を多くし、その気化ガスの一部を前述の水分計に
導入して水分濃度を測定する方法も考えられている。し
かしながらこの方法は、低温液化ガスのロスが大きくな
る上、多大の気化エネルギーが必要となるため、実用的
な方法ではなかった。
気化量を多くし、その気化ガスの一部を前述の水分計に
導入して水分濃度を測定する方法も考えられている。し
かしながらこの方法は、低温液化ガスのロスが大きくな
る上、多大の気化エネルギーが必要となるため、実用的
な方法ではなかった。
【０００６】本発明者らは、先に出願した特願平３−２
３３９２０号およびその国内優先権主張出願（平成４年
８月２０日出願）において、低温液化ガス中に含まれる
氷結水分をフィルタで捕捉することによって該低温液化
ガス中の水分を低減する方法を見い出しているが、その
際のフィルタ捕捉水分量を測定することで低温液化ガス
の水分管理を行いうるのではないかとの着想を抱いた。
３３９２０号およびその国内優先権主張出願（平成４年
８月２０日出願）において、低温液化ガス中に含まれる
氷結水分をフィルタで捕捉することによって該低温液化
ガス中の水分を低減する方法を見い出しているが、その
際のフィルタ捕捉水分量を測定することで低温液化ガス
の水分管理を行いうるのではないかとの着想を抱いた。
【０００７】本発明は、このような背景下において、低
温液化ガス中の水分を簡便かつ正確に管理できる工業的
方法を提供することを目的になされたものである。
温液化ガス中の水分を簡便かつ正確に管理できる工業的
方法を提供することを目的になされたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の低温液化ガスの
水分管理方法は、フィルタに低温液化ガスを通液して該
低温液化ガス中に含まれる氷結水分をフィルタで捕捉
し、その際のフィルタ捕捉水分量の測定値に基いて低温
液化ガスの水分管理を行うことを特徴とするものであ
る。
水分管理方法は、フィルタに低温液化ガスを通液して該
低温液化ガス中に含まれる氷結水分をフィルタで捕捉
し、その際のフィルタ捕捉水分量の測定値に基いて低温
液化ガスの水分管理を行うことを特徴とするものであ
る。
【０００９】以下本発明を詳細に説明する。
【００１０】〈低温液化ガス〉 本発明の方法に適用できる低温液化ガスとしては、液体
窒素、液体酸素、液体アルゴン、液体ヘリウム、液体水
素などがあげられ、そのほか臨界温度が０℃以下のガス
も適用できる。
窒素、液体酸素、液体アルゴン、液体ヘリウム、液体水
素などがあげられ、そのほか臨界温度が０℃以下のガス
も適用できる。
【００１１】〈フィルタ〉 本発明の方法に適用できるフィルタは、耐低温性、耐圧
性、耐閉塞性を有するものであれば任意のものが使用で
きる。フィルタのフィルタエレメントとしては、たとえ
ば、金属（ステンレス鋼等）、プラスチックス（フッ素
系樹脂等）、セラミックス（アルミナ等）などでできた
焼結体、フッ素系樹脂などでできたメンブランがあげら
れ、場合によっては金属メッシュも用いられる。フィル
タハウジングの材質はステンレス鋼等の金属が好ましい
が、他の材質のものを用いることもできる。市販のガス
用フィルタであってもよいが、絶対孔径は小さいものが
好ましい。
性、耐閉塞性を有するものであれば任意のものが使用で
きる。フィルタのフィルタエレメントとしては、たとえ
ば、金属（ステンレス鋼等）、プラスチックス（フッ素
系樹脂等）、セラミックス（アルミナ等）などでできた
焼結体、フッ素系樹脂などでできたメンブランがあげら
れ、場合によっては金属メッシュも用いられる。フィル
タハウジングの材質はステンレス鋼等の金属が好ましい
が、他の材質のものを用いることもできる。市販のガス
用フィルタであってもよいが、絶対孔径は小さいものが
好ましい。
【００１２】〈フィルタ捕捉水分量測定〉 フィルタに低温液化ガスを一定量通液して該低温液化ガ
ス中に含まれる氷結水分をフィルタで捕捉し、フィルタ
に捕捉された氷結水分を気化させて水分計で水分量を測
定することにより、低温液化ガスの水分管理を行うこと
ができる。
ス中に含まれる氷結水分をフィルタで捕捉し、フィルタ
に捕捉された氷結水分を気化させて水分計で水分量を測
定することにより、低温液化ガスの水分管理を行うこと
ができる。
【００１３】フィルタに捕捉された氷結水分の気化方法
としては、除湿した圧縮ガスを通気する方法が好適に採
用される。なお圧縮ガスの除湿は、圧縮ガスを合成ゼオ
ライトやゲッターを通すことにより容易に達成できる。
としては、除湿した圧縮ガスを通気する方法が好適に採
用される。なお圧縮ガスの除湿は、圧縮ガスを合成ゼオ
ライトやゲッターを通すことにより容易に達成できる。
【００１４】水分計としては、静電容量式、水晶発振式
など市販のものを用いることができる。
など市販のものを用いることができる。
【００１５】
【作用】本発明の方法に従って、フィルタに低温液化ガ
スを通液し、その際のフィルタ捕捉水分量を測定するこ
とにより、低温液化ガスの水分管理を容易に行うことが
できる。この方法は、低温液化ガスの一部を気化したの
ち水分計等で水分を測定する従来の方法に比し、正確
性、簡便性、経済性の点ですぐれているものである。
スを通液し、その際のフィルタ捕捉水分量を測定するこ
とにより、低温液化ガスの水分管理を容易に行うことが
できる。この方法は、低温液化ガスの一部を気化したの
ち水分計等で水分を測定する従来の方法に比し、正確
性、簡便性、経済性の点ですぐれているものである。
【００１６】
【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。
る。
【００１７】図１は、フィルタ捕捉水分量測定方式を採
用した本発明の水分管理方法の一例を示した実施系統図
である。
用した本発明の水分管理方法の一例を示した実施系統図
である。
【００１８】〈構成部材の説明〉 図１ において、（Ｌ）は低温液化ガス、（１），（３）
は低温液化ガス供給管である。（２）はフィルタであ
り、低温液化ガス供給管（１），（３）内に１個設置し
てある。（Ｇ）は除湿した圧縮ガス、（４）は除湿ガス
供給元、（５）は除湿ガス供給管、（６）は水分計サン
プリング用気化管、（７）はフィルタパージガス放出管
である。（８）は低温液化ガス供給容器、（９）は圧力
計、（１０）は液面計である。（１１）は流量計、（１
２）は水分計である。（１３）は低温液化ガス供給弁、
（１４）は低温液化ガスフィルタ入口弁、（１５）は低
温液化ガスフィルタ出口弁、（１６）は除湿ガス供給
弁、（１７）は水分計サンプリング弁である。
は低温液化ガス供給管である。（２）はフィルタであ
り、低温液化ガス供給管（１），（３）内に１個設置し
てある。（Ｇ）は除湿した圧縮ガス、（４）は除湿ガス
供給元、（５）は除湿ガス供給管、（６）は水分計サン
プリング用気化管、（７）はフィルタパージガス放出管
である。（８）は低温液化ガス供給容器、（９）は圧力
計、（１０）は液面計である。（１１）は流量計、（１
２）は水分計である。（１３）は低温液化ガス供給弁、
（１４）は低温液化ガスフィルタ入口弁、（１５）は低
温液化ガスフィルタ出口弁、（１６）は除湿ガス供給
弁、（１７）は水分計サンプリング弁である。
【００１９】〈測定方法〉 図１に 示すようなフィルタを設置した系においては、低
温液化ガス供給弁（１３）の開放により、低温液化ガス
供給容器（８）から供給された低温液化ガス（Ｌ）は低
温液化ガス供給管（１）を経てフィルタ（２）へ通液さ
れる。
温液化ガス供給弁（１３）の開放により、低温液化ガス
供給容器（８）から供給された低温液化ガス（Ｌ）は低
温液化ガス供給管（１）を経てフィルタ（２）へ通液さ
れる。
【００２０】図１においては、低温液化ガス（Ｌ）を一
定量フィルタ（２）に通液したのち、低温液化ガスフィ
ルタ入口弁（１４）および低温液化ガスフィルタ出口弁
（１５）を閉じると共に、除湿ガス供給弁（１６）、水
分計サンプリング弁（１７）を開放して除湿ガス（Ｇ）
でパージを行い、パージガスの水分濃度を水分計（１
２）で測定して、フィルタ捕捉水分量を求める。
定量フィルタ（２）に通液したのち、低温液化ガスフィ
ルタ入口弁（１４）および低温液化ガスフィルタ出口弁
（１５）を閉じると共に、除湿ガス供給弁（１６）、水
分計サンプリング弁（１７）を開放して除湿ガス（Ｇ）
でパージを行い、パージガスの水分濃度を水分計（１
２）で測定して、フィルタ捕捉水分量を求める。
【００２１】〈操作条件〉 低温液化ガス（Ｌ）の供給圧力は圧力計（９）によって
計測され、１．４ｋｇ／ｃｍ２Ｇに調整されている。構
成配管は全てＳＵＳ３１６Ｌ電解研磨管からなり、フィ
ルタ（２）には絶対孔径約１μｍのオールステンレス鋼
フィルタが使用されている。フィルタ（２）への低温液
化ガス（Ｌ）の通液量は０．３リットル／ｍｉｎ、除湿
ガス（Ｇ）のフィルタパージ流量は１リットル／ｍｉｎ
であり、水分計（１２）は三菱化成株式会社製のカール
フィッシャー式水分計ＫＦ−０５を用いている。なお、
カールフィッシャー式水分計ＫＦ−０５のサンプリング
量は、ガス状態で０．５リットル／ｍｉｎである。
計測され、１．４ｋｇ／ｃｍ２Ｇに調整されている。構
成配管は全てＳＵＳ３１６Ｌ電解研磨管からなり、フィ
ルタ（２）には絶対孔径約１μｍのオールステンレス鋼
フィルタが使用されている。フィルタ（２）への低温液
化ガス（Ｌ）の通液量は０．３リットル／ｍｉｎ、除湿
ガス（Ｇ）のフィルタパージ流量は１リットル／ｍｉｎ
であり、水分計（１２）は三菱化成株式会社製のカール
フィッシャー式水分計ＫＦ−０５を用いている。なお、
カールフィッシャー式水分計ＫＦ−０５のサンプリング
量は、ガス状態で０．５リットル／ｍｉｎである。
【００２２】〈測定結果〉 低温液化ガス（Ｌ）として液体窒素を用い、図１の方法
に従って低温液化ガス（Ｌ）の水分管理を行った。
に従って低温液化ガス（Ｌ）の水分管理を行った。
【００２３】表１は、図１の方法に従って低温液化ガス
（Ｌ）の水分管理を行ったものである。
（Ｌ）の水分管理を行ったものである。
【００２４】
【表１】
【００２５】表１から明らかなように、フィルタに低温
液化ガスを通液し、その際のフィルタ捕捉水分量を測定
することにより、低温液化ガスの水分管理を行うことが
できる。
液化ガスを通液し、その際のフィルタ捕捉水分量を測定
することにより、低温液化ガスの水分管理を行うことが
できる。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、低温液化ガス中の水分
を簡便かつ正確に管理できる。本発明の方法は、低温液
化ガスの一部を気化したのち水分計等で水分を測定する
従来の方法に比し、正確性、簡便性、経済性の点ですぐ
れているものである。
を簡便かつ正確に管理できる。本発明の方法は、低温液
化ガスの一部を気化したのち水分計等で水分を測定する
従来の方法に比し、正確性、簡便性、経済性の点ですぐ
れているものである。
【図１】フィルタ捕捉水分量測定方式を採用した本発明
の水分管理方法の一例を示した実施系統図である。
の水分管理方法の一例を示した実施系統図である。
（Ｌ）…低温液化ガス、 （Ｇ）…除湿した圧縮ガス、 （１）…低温液化ガス供給管（フィルタ上流側）、 （２）…フィルタ、 （３）…低温液化ガス供給管（フィルタ下流側）、（４） …除湿ガス供給元、（５） …除湿ガス供給管、（６） …水分計サンプリング用気化管、（７） …フィルタパージガス放出管、（８） …低温液化ガス供給容器、（９） …圧力計、（１０） …液面計、（１１） …流量計、（１２） …水分計、（１３） …低温液化ガス供給弁、（１４） …低温液化ガスフィルタ入口弁、（１５） …低温液化ガスフィルタ出口弁、（１６） …除湿ガス供給弁、（１７） …水分計サンプリング弁
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 7/00 G01N 15/06
Claims (1)
- 【請求項１】フィルタに低温液化ガスを通液して該低温
液化ガス中に含まれる氷結水分をフィルタで捕捉し、そ
の際のフィルタ捕捉水分量の測定値に基いて低温液化ガ
スの水分管理を行うことを特徴とする低温液化ガスの水
分管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4293794A JP2769591B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 低温液化ガスの水分管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4293794A JP2769591B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 低温液化ガスの水分管理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117991A JPH06117991A (ja) | 1994-04-28 |
| JP2769591B2 true JP2769591B2 (ja) | 1998-06-25 |
Family
ID=17799250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4293794A Expired - Fee Related JP2769591B2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | 低温液化ガスの水分管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2769591B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103344676B (zh) * | 2013-07-26 | 2015-11-25 | 森田化工(张家港)有限公司 | 一种氟化氢中微量水份的测定方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58158536A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-20 | Nec Corp | 送風状態検出装置 |
| JPS60128326A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Nissan Motor Co Ltd | 内燃機関排気微粒子の測定装置 |
| JPS62116234A (ja) * | 1985-11-15 | 1987-05-27 | Mitsubishi Electric Corp | 純水系不純物測定装置 |
| JPH01260265A (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-17 | Hitachi Ltd | 極抵温冷凍装置 |
-
1992
- 1992-10-06 JP JP4293794A patent/JP2769591B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06117991A (ja) | 1994-04-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980310 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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