JP3389685B2 - ガス吸着能測定方法 - Google Patents
ガス吸着能測定方法Info
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- JP3389685B2 JP3389685B2 JP16359294A JP16359294A JP3389685B2 JP 3389685 B2 JP3389685 B2 JP 3389685B2 JP 16359294 A JP16359294 A JP 16359294A JP 16359294 A JP16359294 A JP 16359294A JP 3389685 B2 JP3389685 B2 JP 3389685B2
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- glass container
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はガス吸着媒体のガス吸着
能測定方法に関する。
能測定方法に関する。
【０００２】大量の情報を高速に処理する必要から、情
報処理装置は電子部品の小形化と高密度実装により大容
量化が行なわれており、また、これらの電子部品を装着
する配線基板にパターン形成されている配線幅も極度に
縮小されている。
報処理装置は電子部品の小形化と高密度実装により大容
量化が行なわれており、また、これらの電子部品を装着
する配線基板にパターン形成されている配線幅も極度に
縮小されている。
【０００３】そのため、電子機器は湿度や環境雰囲気の
影響を受けて故障が生じ易いことから、これを避けるた
めに密封構造が採られている場合が多いが、その場合で
も、使用機器の温度上昇に伴って配線基板や電子部品を
構成する材料から腐食性ガスを生じ、これが原因で故障
が発生することがある。
影響を受けて故障が生じ易いことから、これを避けるた
めに密封構造が採られている場合が多いが、その場合で
も、使用機器の温度上昇に伴って配線基板や電子部品を
構成する材料から腐食性ガスを生じ、これが原因で故障
が発生することがある。
【０００４】また、クリーンルーム内でも作業中に発生
する腐食性ガスにより、製品の不良が発生する場合があ
る。
する腐食性ガスにより、製品の不良が発生する場合があ
る。
【０００５】これらのことから、活性炭やシリカゲルな
どの従来の吸着材や繊維質の吸着材からなるフィルタな
どのガス吸着媒体を用いて腐食性ガスを除去することが
行なわれている。
どの従来の吸着材や繊維質の吸着材からなるフィルタな
どのガス吸着媒体を用いて腐食性ガスを除去することが
行なわれている。
【０００６】
【従来の技術】活性炭やシリカゲルなど従来より知られ
た吸着材の他に繊維質の吸着材からなるフィルタが市販
されているが、これら吸着材のガス吸着能測定方法とし
ては、標準ガス発生装置〔パーミエータ（Permeator)-
などを用いて一定の濃度に調節した吸着ガスを吸着媒体
と共にテドラーバッグ(Tedlar Bag)に入れ、一定時間経
過した後のテドラーバッグ内の吸着ガス濃度をガスクロ
マトグラフ法や検知管法により測定している。
た吸着材の他に繊維質の吸着材からなるフィルタが市販
されているが、これら吸着材のガス吸着能測定方法とし
ては、標準ガス発生装置〔パーミエータ（Permeator)-
などを用いて一定の濃度に調節した吸着ガスを吸着媒体
と共にテドラーバッグ(Tedlar Bag)に入れ、一定時間経
過した後のテドラーバッグ内の吸着ガス濃度をガスクロ
マトグラフ法や検知管法により測定している。
【０００７】こゝで、検知管法は図３に示すようにガラ
ス製の円筒状をした検知管１と検知器２を用いるもの
で、検知管１の中にはガスと反応して変色する物質が詰
められており、吸着対象ガスの濃度と種類に応じて各種
のものが用意されている。
ス製の円筒状をした検知管１と検知器２を用いるもの
で、検知管１の中にはガスと反応して変色する物質が詰
められており、吸着対象ガスの濃度と種類に応じて各種
のものが用意されている。
【０００８】そして、使用法としては検知管１と検知器
２をテドラーバッグのコックに接続して検知器２で一定
量の吸着ガスを吸引し、検知管１の変色長から吸着ガス
の濃度を求める方法である。
２をテドラーバッグのコックに接続して検知器２で一定
量の吸着ガスを吸引し、検知管１の変色長から吸着ガス
の濃度を求める方法である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法は、一定の
濃度に希釈した吸着ガスを吸着媒体と共にテドラーバッ
グに入れて吸着能を測定する方法であり、対象が液体や
固体の場合は測定が困難であり、また、検知管法を用い
る場合は対象ガスが特定のものに限られると云う問題が
あった。
濃度に希釈した吸着ガスを吸着媒体と共にテドラーバッ
グに入れて吸着能を測定する方法であり、対象が液体や
固体の場合は測定が困難であり、また、検知管法を用い
る場合は対象ガスが特定のものに限られると云う問題が
あった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、ガラス容
器と、複数の液溜め部を持つコック付き中空管を有する
該ガラス容器の密封栓を備え、該ガラス容器の内部に吸
着媒体を入れるとともに、複数の液溜め部には、設定温
度において該ガラス容器の内部で全て気化するだけの量
の液体あるいは固体を秤量して入れ、調湿が必要な場合
は水を入れて密封し、該ガラス容器を所定の設定温度に
保持して該液体あるいは固体を全て気化せしめた後、該
中空管を通じて該ガラス容器内部のガスの一定量を採取
し分析することにより該ガラス容器内に残存するガス量
を求め、先に秤量した液体又は固体が全て気化したとき
のガス量との差に基づいて該吸着媒体のガス吸着能を測
定することを特徴とするガス吸着能測定方法、あるい
は、前記コック付き中空管に代えて複数の液溜め部を持
つガラス棒を用い、該ガラス容器内部のガスの一定量を
採取する際には、該密封栓に中空構造の針を貫通させる
ことを特徴とする上記ガス吸着能測定方法により達成さ
れる。
器と、複数の液溜め部を持つコック付き中空管を有する
該ガラス容器の密封栓を備え、該ガラス容器の内部に吸
着媒体を入れるとともに、複数の液溜め部には、設定温
度において該ガラス容器の内部で全て気化するだけの量
の液体あるいは固体を秤量して入れ、調湿が必要な場合
は水を入れて密封し、該ガラス容器を所定の設定温度に
保持して該液体あるいは固体を全て気化せしめた後、該
中空管を通じて該ガラス容器内部のガスの一定量を採取
し分析することにより該ガラス容器内に残存するガス量
を求め、先に秤量した液体又は固体が全て気化したとき
のガス量との差に基づいて該吸着媒体のガス吸着能を測
定することを特徴とするガス吸着能測定方法、あるい
は、前記コック付き中空管に代えて複数の液溜め部を持
つガラス棒を用い、該ガラス容器内部のガスの一定量を
採取する際には、該密封栓に中空構造の針を貫通させる
ことを特徴とする上記ガス吸着能測定方法により達成さ
れる。
【００１１】
【作用】電子機器を腐食させるガスとしては常温におい
てガス状のものが多いが、常温においては液体であるが
蒸気圧の高いもの、また、常温においては固体である
が、加熱により容易に昇華するものがある。
てガス状のものが多いが、常温においては液体であるが
蒸気圧の高いもの、また、常温においては固体である
が、加熱により容易に昇華するものがある。
【００１２】前者は硫酸(H2SO4),硝酸(HNO3),燐酸(H3PO
4)などの強酸がこれに当たり、後者は沃素(I2),樟脳,ナ
フタリンなど蒸気圧の高い材料がこれに当たる。
4)などの強酸がこれに当たり、後者は沃素(I2),樟脳,ナ
フタリンなど蒸気圧の高い材料がこれに当たる。
【００１３】そこで、本発明は吸着媒体で処理する前後
における反応ガス濃度を測定することにより吸着媒体の
ガス吸着能を求めるものである。
における反応ガス濃度を測定することにより吸着媒体の
ガス吸着能を求めるものである。
【００１４】図１は本発明に係るガス吸着能測定装置の
断面図であって所定の容積をもつガラス容器４に摺り合
わせ可能な密封栓５が備えてあり、この密封栓５には複
数（この図の場合は２個）の液溜め部６がコック７が付
いた中空管８の先端に設けられている。
断面図であって所定の容積をもつガラス容器４に摺り合
わせ可能な密封栓５が備えてあり、この密封栓５には複
数（この図の場合は２個）の液溜め部６がコック７が付
いた中空管８の先端に設けられている。
【００１５】そして、測定方法としてはガラス容器４の
中にガス吸着能を測定する吸着媒体９をいれ、また、液
溜め部６の一方には吸着させようとするガス成分からな
る液体または固体を秤量して入れ、また、一定の湿度の
下での吸着量を測定したい場合には他方の液溜め部６に
水を入れ、この装置を温度設定してある恒温槽にいれて
保持する。
中にガス吸着能を測定する吸着媒体９をいれ、また、液
溜め部６の一方には吸着させようとするガス成分からな
る液体または固体を秤量して入れ、また、一定の湿度の
下での吸着量を測定したい場合には他方の液溜め部６に
水を入れ、この装置を温度設定してある恒温槽にいれて
保持する。
【００１６】液溜め部６には、設定温度において必ず速
やかに気化するだけの量の液体または固体を添加する。
吸着媒体９の周囲のガス濃度が吸着媒体９への吸着のみ
で変動することがポイントである。仮に、一部液体が残
った状態で吸着媒体９への吸収が始まると、吸着量に見
合うだけのガス成分が気化し、そのため周囲のガス濃度
が変動して実際の吸収量が判らなくなる。
やかに気化するだけの量の液体または固体を添加する。
吸着媒体９の周囲のガス濃度が吸着媒体９への吸着のみ
で変動することがポイントである。仮に、一部液体が残
った状態で吸着媒体９への吸収が始まると、吸着量に見
合うだけのガス成分が気化し、そのため周囲のガス濃度
が変動して実際の吸収量が判らなくなる。
【００１７】そこで、対象ガスの検知管が存在する場合
は中空管８のコック７を開け、この先端に先に図３で示
した検知管１と検知器２をチューブを用いて連結し、検
知器２を吸引して一定量のガスを吸引すると、検知管１
の変色量より対象ガスの濃度を知ることができ、これよ
りガラス容器４の中の対象ガス成分の量が判り、先に秤
量して入れた量との差が吸着媒体の吸収量となる。
は中空管８のコック７を開け、この先端に先に図３で示
した検知管１と検知器２をチューブを用いて連結し、検
知器２を吸引して一定量のガスを吸引すると、検知管１
の変色量より対象ガスの濃度を知ることができ、これよ
りガラス容器４の中の対象ガス成分の量が判り、先に秤
量して入れた量との差が吸着媒体の吸収量となる。
【００１８】また、検知管１を用いないか、或いは対象
ガスの検知管が存在しない場合は、図２に示すように密
封栓５をシリコン樹脂のような弾性体で形成すると共に
中空管の代わりにガラス棒10の先に液溜め部６を設けた
ものを使用し、ガスの採取は密封栓５にガスタイトシリ
ンジの針を貫通させて一定量を吸引し、このガスをガス
クロマトグラフなどを用いて分析することにより対象ガ
スの成分量を求めるものである。
ガスの検知管が存在しない場合は、図２に示すように密
封栓５をシリコン樹脂のような弾性体で形成すると共に
中空管の代わりにガラス棒10の先に液溜め部６を設けた
ものを使用し、ガスの採取は密封栓５にガスタイトシリ
ンジの針を貫通させて一定量を吸引し、このガスをガス
クロマトグラフなどを用いて分析することにより対象ガ
スの成分量を求めるものである。
【００１９】
【実施例】実施例１：（静的ガス吸着能測定例，図１お
よび２対応）活性炭を主構成分とする繊維状をしたフィ
ルタ（面積15cm2,商品名KYNOL,ドナルドソン社製）を吸
着媒体として用い、湿度100％RHにおけるぎ酸ガスの吸
着能を次のようにして測定した。
よび２対応）活性炭を主構成分とする繊維状をしたフィ
ルタ（面積15cm2,商品名KYNOL,ドナルドソン社製）を吸
着媒体として用い、湿度100％RHにおけるぎ酸ガスの吸
着能を次のようにして測定した。
【００２０】内容積が２リットルの図１に示すガラス容
器４の中にフィルタを入れ、中空管８の代わりにガラス
棒10を用い、図２に示す２個の液溜め部６の一方に純水
500ccとぎ酸21μl(27.20mg)を入れ、素早くガラス容器
４を密封した。
器４の中にフィルタを入れ、中空管８の代わりにガラス
棒10を用い、図２に示す２個の液溜め部６の一方に純水
500ccとぎ酸21μl(27.20mg)を入れ、素早くガラス容器
４を密封した。
【００２１】これを室温のまゝ30時間放置した後、密封
栓５を形成するシリコーン栓にガスタイトシリンジの針
を貫通させ、ガラス容器４の中のガス５ccを採取し、こ
れを約８ccの純水に吹き込み、10ccに定容した後、溶液
中のぎ酸イオン量をイオンクロマトグラフで測定し、２
リットル容器中の残存ガス量を算出したところ、ぎ酸仕
込み量27.20mg に対し、残存量は1.46mgであった。
栓５を形成するシリコーン栓にガスタイトシリンジの針
を貫通させ、ガラス容器４の中のガス５ccを採取し、こ
れを約８ccの純水に吹き込み、10ccに定容した後、溶液
中のぎ酸イオン量をイオンクロマトグラフで測定し、２
リットル容器中の残存ガス量を算出したところ、ぎ酸仕
込み量27.20mg に対し、残存量は1.46mgであった。
【００２２】これから、フィルタのガス吸着量は25.74m
g であることが判った。
g であることが判った。
【００２３】
【発明の効果】本発明はガス体に限らず、液体や固体に
ついても吸着能を測定することができる。
ついても吸着能を測定することができる。
【図１】 静的ガス吸着能測定装置の断面図である。
【図２】 別な液溜め部の断面図である。
【図３】 検知器と検知管との断面図である。
１ 検知管
２ 検知器
４ ガラス容器
５ 密封栓
６ 液溜め部
９ 吸着媒体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ▲やぎ▼下 皓男
神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地
富士通株式会社内
(56)参考文献 特開 平５−106199（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−123689（ＪＰ，Ａ)
特開 昭50−41592（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−242134（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−114839（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01N 7/04
ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス容器と、複数の液溜め部を持つコ
ック付き中空管を有する該ガラス容器の密封栓を備え、 該ガラス容器の内部に吸着媒体を入れるとともに、複数
の液溜め部には、設定温度において該ガラス容器の内部
で全て気化するだけの量の液体あるいは固体を秤量して
入れ、調湿が必要な場合は水を入れて密封し、 該ガラス容器を所定の設定温度に保持して該液体あるい
は固体を全て気化せしめた後、該中空管を通じて該ガラ
ス容器内部のガスの一定量を採取し分析することにより
該ガラス容器内に残存するガス量を求め、先に秤量した
液体又は固体が全て気化したときのガス量との差に基づ
いて該吸着媒体のガス吸着能を測定することを特徴とす
るガス吸着能測定方法 。 - 【請求項２】 前記コック付き中空管に代えて複数の液
溜め部を持つガラス棒を用い、 該ガラス容器内部のガスの一定量を採取する際には、該
密封栓に中空構造の針を貫通させることを特徴とする請
求項１記載のガス吸着能測定方法 。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16359294A JP3389685B2 (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | ガス吸着能測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16359294A JP3389685B2 (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | ガス吸着能測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0829314A JPH0829314A (ja) | 1996-02-02 |
| JP3389685B2 true JP3389685B2 (ja) | 2003-03-24 |
Family
ID=15776854
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16359294A Expired - Fee Related JP3389685B2 (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | ガス吸着能測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3389685B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004022575A (ja) | 2002-06-12 | 2004-01-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
| CN113295575A (zh) * | 2021-05-24 | 2021-08-24 | 合肥工业大学 | 一种基于差压法的吸气剂吸气性能测试集成装置 |
-
1994
- 1994-07-15 JP JP16359294A patent/JP3389685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0829314A (ja) | 1996-02-02 |
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| JPS6339624Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20021217 |
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