JP2760297B2 - Ultrasonic motor - Google Patents

Ultrasonic motor

Info

Publication number
JP2760297B2
JP2760297B2 JP6286612A JP28661294A JP2760297B2 JP 2760297 B2 JP2760297 B2 JP 2760297B2 JP 6286612 A JP6286612 A JP 6286612A JP 28661294 A JP28661294 A JP 28661294A JP 2760297 B2 JP2760297 B2 JP 2760297B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stator
rotor
ultrasonic motor
amplitude
traveling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP6286612A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07322657A (en
Inventor
重正 佐藤
忠雄 高木
和男 袴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP6286612A priority Critical patent/JP2760297B2/en
Publication of JPH07322657A publication Critical patent/JPH07322657A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2760297B2 publication Critical patent/JP2760297B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は超音波振動を利用した超
音波モータに関するものである。 【0002】 【従来の技術】電気−機械エネルギー変換素子に駆動信
号を印加することにより振動体に超音波振動が発生し、
その振動体の振動により振動体に圧接された移動体が移
動し、駆動力を得る超音波モータが知られている。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、振動体
の振動によって移動体にも振動が発生するので、その移
動体の振動が被駆動部材に伝達されて騒音が発生すると
いう問題があった。そのため、超音波モータを格納する
筐体で被駆動部材を支持するような構成をとると、この
筐体にも振動が伝わり、筐体が共鳴して騒音が発生する
という現象が起こり易かった。 【0004】そこで、本発明は上記問題点を解決し、騒
音、振動を押さえることのできる超音波モータを提供す
ることを目的とする。 【0005】 【課題を解決するための手段】円環状に形成された弾性
体と該弾性体に設置された電気機械変換素子とを備え、
前記電気機械変換素子に印加される駆動信号により前記
弾性体の円周方向に進む進行波を発生させる振動子と、
前記進行波により該進行波と同一方向に進む進行波が発
生し、前記振動子との間で相対運動を行なう相対運動部
材と、前記相対運動部材と一体的に移動する被駆動部材
と、前記相対運動部材に発生した進行波による振動を前
記被駆動部材に伝達させないために、前記相対運動部材
と前記被駆動部材との間に配置された緩衝部材とで超音
波モータを構成した。さらに、前記振動子と前記相対運
動部材を格納する筐体を設け、この筐体により前記被駆
動部材を移動可能に支持するように構成してもよい。 【0006】 【実施例】図1(A)は本発明の実施例である超音波モ
ータの平面図、図1(B)は前記超音波モータの断面
図、図2は前記超音波モータをユニット化した時の断面
図、図3(A)及び図3(B)は前記超音波モータの回
転子の形状を示す構造図、図4は前記超音波モータの駆
動原理を示す説明図、図5は前記超音波モータの入力周
波数と振幅との特性曲線を示すグラフである。 【0007】図1(A)及び図1(B)に示すように、
振動子としての固定子Sは、電気機械変換素子としての
圧電素子2とその圧電素子2に励振され進行波(表面
波)を生じる弾性体1とからなる。この固定子S上に、
弾性体1と圧接する相対運動部材としてのリング状回転
子3が設置され、この固定子Sとリング状回転子3とか
ら超音波モータが構成されている。このリング状回転子
3は、幅が一定の円環であり、その中心O’が固定子S
の中心Oに対して偏心するように設けられ、このリング
状回転子3は固定子Sの中心Oを回転中心として回動さ
れるように配置されている。この時、このリング状回転
子3は、固定された固定子S上を回動するが、固定子S
に対して任意の偏心量δでふれまわることになる。この
ように、回転子3の中心と固定子Sの中心とを偏心させ
回転子3を回動させると、図1(B)に示す断面図にお
いて、固定子Sの表面1a上を固定子Sと回転子3との
接触部1bが、回転子3の回動に伴って回転中心Oに対
して偏心量δの片振幅で単振動することになり、すなわ
ち、固定子Sの表面1a上で回転子3が接触している摩
擦接触面が、回転子3の回動により表面1a上を径方向
に偏心量δの範囲で移動して時々刻々と固定子Sとの接
触面が変化していることになる。従って、従来のよう
に、回転子3と固定子Sとの接触面が常に変わらずに摩
擦接触されているのとは違い、固定子3の表面1a上を
回転子3の接触面が時々刻々と移動するので、固定子S
の一ヶ所が摩耗により削られることがなく、固定子Sの
表面1a全体を効率良く使うことができるようになって
いる。この偏心量δは次に述べる条件を満足する範囲で
任意に決定される。 【0008】この条件とは、回転子3が偏心して回動し
た場合に、常に固定子Sの表面上を回転子3のリングが
はみ出ずに回動するように設定することである。ここ
で、固定子Sの外径をD、内径をdとし、回転子3の外
径をD’、内径をd’とし、固定子Sのリング幅をa、
リング状回転子3のリング幅をbとすると、条件として
は 【0009】 【数1】 【0010】であるように偏心量δを設定する。図2は
図1の超音波モータをユニットに構成した構造図であ
る。超音波モータは筒状のケース10a及び10b内に
収められており、ケース10aの底に付勢手段(例えば
ゴム等の弾性部材)6を、その付勢手段の上に付勢手段
6の付勢力を均等に伝えるための円板5を、その円板5
の上に超音波モータの固定子Sの振動を吸振する保護用
緩衝材4aを固設し、この保護用緩衝材4a上に超音波
モータの固定子Sを配設している。この固定子Sの中心
はケース10a及び10bの中心と一致するように配設
されている。この固定子Sの内径側には、ケース10a
の内筒に固設されても超音波モータの振動をケース10
aに伝播させないように構成された支持部7を有してい
る。この支持部7は、固定子Sの内側から突出し、図2
に示すようにケース10aの内筒に嵌合するように筒状
に形成され、ケース10aに対して固定子3を位置決め
すると共に固定支持するものであり、固定子Sと一体に
形成されあるいは別部材で形成されていても良い。 【0011】この固定子S上には中心が偏心量δだけ偏
心している回転子3が配設され、回転子3上にはその振
動を吸収する緩衝材4bが、更にその緩衝材4b上にリ
ング部材8が固設されている。リング部材8は、回転子
3の回転をスムースに行わせる為のボールレース9を介
してケース10bに配設されている。このリング部材8
は、ケース10a及び10bの中心が回転中心となるよ
うに、ケース10bの中心と同心に設けされたガイド溝
を有し、そのガイド溝にケース10bの中心を中心にし
て配設されたボールレース9がはまりこみ回転自在に構
成されている。即ち、このリング部材8の形状は、回転
子3に固設される側が偏心しており、ケース10bと当
接する側が固定子Sの中心と一致する偏心リングとなっ
ている。 【0012】従って、このユニット化された超音波モー
タから動力を取り出すには、超音波モータにより回動さ
れるリング部材8の動力を、このユニットを使う機器に
応じて適宜取り出せばよい、例えば、このユニットをカ
メラの撮影レンズ鏡筒に使えば絞り羽根の駆動やレンズ
の駆動等に使える。以上は本発明の一実施例として回転
子3の中心を固定子Sの中心に対して偏心させた場合に
ついて述べたが、これ以外にも図3(A)及び図3
(B)に示すリング状回転子が考えられる。図3(A)
に示すように、リング状回転子31は、外径と内径との
中心を偏心させたリング状に構成しても良い。また、図
3(B)に示すように、リング状回転子32は、楕円形
状に構成しても良い。 【0013】図4は固定子Sと回転子3との動作原理を
示したもので、固定子Sは圧電素子2によって屈曲振動
を起こし、表面に進行波を生じている。この時、固定子
Sの進行波は矢印Pの方向へ進み、表面の粒子P1は楕
円運動をしている。この固定子Sに回転子3を圧接した
場合、回転子3は固定子Sによって表面波を生じ、その
進行方向は矢印Q方向となり、その表面の粒子Q1は同
様に楕円運動を行う。ここで、固定子S及び回転子3は
その材質及び形状により表面波を発生させる振動の振幅
が変化し、固定子及び回転子の振幅を次の3つの場合に
ついて考える。 【0014】第一に、固定子Sの振幅AS が回転子3の
振幅A3 より大きい場合は、即ち図4の状態では固定子
Sと回転子3との接触は、固定子Sの波の山と回転子3
の波の谷とになる。この場合は、固定子Sと回転子3と
の接触点においてはそれぞれの粒子P1及びQ1の運動
が反対方向となり、超音波モータの駆動力は大きくな
る。 【0015】第二に、固定子Sの振幅AS と回転子3の
振幅A3 とが等しい場合は、固定子Sと回転子3とが全
面で接触することになる。この場合は、固定子Sの波の
山と谷とで粒子の運動が反対となるので駆動する力は打
ち消し合ってしまう。第三に、固定子Sの振幅AS が回
転子3の振幅A3 より小さい場合は、固定子Sと回転子
3との接触は、固定子Sの波の谷と回転子3の波の山と
になる。この場合は、固定子Sと回転子3との接触点に
おいてはそれぞれの粒子P1及びQ1の運動が反対方向
となり、超音波モータの駆動力は大きくなり、図4の運
動方向とは逆方向となる。 【0016】固定子Sと回転子3との防振を考えた場
合、回転子3はその回転を外部機構へ伝えなければなら
ず、固定子Sに比べて防振を行ないずらくなっている。
従って、前述した駆動力が大きくなる第一の場合と第三
の場合との何方を選択するかを考えると、回転子3の振
幅A3 が固定子Sの振幅AS より小さくなる第一の場合
の方がより良いことになる。そこで、回転子3の振幅A
3 が固定子Sの振幅ASより小さする方法を以下に示
す。 【0017】図5は、固定子Sの共振周波数をfS 、回
転子3の共振周波数をf3 とすると、それぞれの振動数
と振幅との関係を示している。ただし、共振点における
固定子Sと回転子3との振幅は同一振幅であると仮定す
る。固定子Sの共振周波数f S で回転子3が振動させら
れる状態では回転子3の振幅A3 が固定子Sの振幅A S
より小さくなる。従って、固定子Sの振幅を1とした場
合に、回転子3の振幅A3 が所望される大きさ1/Xと
なるように、回転子3の共振周波数f3 を決定するよう
に設計すれば良い。 【0018】 【効果】以上、本発明によれば、緩衝部材を設けたこと
で、相対運動部材に発生した進行波による振動が被駆動
部材に伝達するのを防止することができる。そのため、
相対運動部材と被駆動部材との間で発生する騒音を防止
することができる。また、被駆動部材と相対運動部材と
の間に、進行波による移動の力が発生することを防止で
きる。さらに、超音波モータを格納する筐体で被駆動部
材を支持した場合でも、被駆動部材を介して筐体に伝わ
る振動を少なくすることができ、筐体が共鳴して騒音が
発生する現象を防止することもできる。その結果、騒音
によって超音波モータを駆動源に持つ機器を使用する人
に不快感を与えることがない。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [0001] BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic
It relates to a sound wave motor. [0002] 2. Description of the Related Art A drive signal is transmitted to an electromechanical energy conversion element.
Signal, ultrasonic vibration is generated in the vibrating body,
The moving body pressed against the vibrating body moves due to the vibration of the vibrating body.
Ultrasonic motors that move to obtain a driving force are known. [0003] However, the vibrating body
The vibration of the moving object also causes the vibration of the moving object.
When the vibration of the moving body is transmitted to the driven member and noise is generated
There was a problem. Therefore, store the ultrasonic motor
If the housing is configured to support the driven member,
Vibration is transmitted to the housing, and the housing resonates and generates noise.
That phenomenon was easy to occur. Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems and solves the noise.
Provide ultrasonic motor that can suppress sound and vibration
The porpose is to do. [0005] SUMMARY OF THE INVENTION An annularly formed elastic member is provided.
A body and an electromechanical transducer installed on the elastic body,
According to a drive signal applied to the electromechanical transducer,
An oscillator for generating a traveling wave traveling in a circumferential direction of the elastic body;
The traveling wave generates a traveling wave traveling in the same direction as the traveling wave.
A relative motion section that generates and performs relative motion with the vibrator
And a driven member that moves integrally with the relative motion member
And vibration caused by the traveling wave generated in the relative motion member.
The relative movement member so as not to be transmitted to the driven member.
And a buffer member disposed between the driven member and the driven member.
A wave motor was constructed. Further, the oscillator and the relative movement
A housing for accommodating the moving member;
The moving member may be configured to be movably supported. [0006] FIG. 1A shows an ultrasonic module according to an embodiment of the present invention.
1B is a sectional view of the ultrasonic motor.
FIG. 2 is a cross-sectional view when the ultrasonic motor is unitized.
FIGS. 3A and 3B show the rotation of the ultrasonic motor.
FIG. 4 is a structural diagram showing the shape of the trochanter, and FIG.
FIG. 5 is an explanatory view showing the principle of operation, and FIG.
It is a graph which shows the characteristic curve of a wave number and amplitude. As shown in FIGS. 1A and 1B,
The stator S as a vibrator is provided as an electromechanical transducer.
The piezoelectric element 2 and the traveling wave (surface
And an elastic body 1 that generates waves. On this stator S,
Ring-shaped rotation as a relative motion member pressed against the elastic body 1
The stator 3 and the ring-shaped rotor 3
, An ultrasonic motor is configured. This ring-shaped rotor
Numeral 3 denotes an annular ring having a constant width, the center O 'of which is the stator S
This ring is provided so as to be eccentric with respect to the center O of the ring.
Rotor 3 is rotated about the center O of the stator S as the center of rotation.
It is arranged to be. At this time, this ring-shaped rotation
The child 3 rotates on the fixed stator S, but the stator S
With an arbitrary amount of eccentricity δ. this
So that the center of the rotor 3 and the center of the stator S are eccentric.
When the rotor 3 is rotated, the sectional view shown in FIG.
Of the stator S and the rotor 3 on the surface 1a of the stator S.
The contact portion 1b moves with respect to the rotation center O with the rotation of the rotor 3.
As a result, a simple oscillation occurs with a single amplitude of the eccentricity δ, that is,
That is, the friction of the rotor 3 on the surface 1a of the stator S
The frictional contact surface is radially moved on the surface 1a by the rotation of the rotor 3.
To the stator S every moment.
The contact surface has changed. Therefore, as before
In addition, the contact surface between the rotor 3 and the stator S is
Unlike the rubbing contact, the surface 1a of the stator 3
Since the contact surface of the rotor 3 moves every moment, the stator S
Of the stator S
The entire surface 1a can be used efficiently
I have. The amount of eccentricity δ is within a range satisfying the following condition.
Arbitrarily determined. The condition is that the rotor 3 rotates eccentrically.
The ring of the rotor 3 always on the surface of the stator S
That is, it is set so as to rotate without protruding. here
The outer diameter of the stator S is D, the inner diameter is d, and the outer diameter of the rotor 3 is
The diameter is D ', the inner diameter is d', the ring width of the stator S is a,
Assuming that the ring width of the ring-shaped rotor 3 is b,
Is [0009] (Equation 1) The amount of eccentricity δ is set as follows. Figure 2
FIG. 2 is a structural diagram in which the ultrasonic motor of FIG. 1 is configured as a unit.
You. The ultrasonic motor is housed in the cylindrical cases 10a and 10b.
And a biasing means (for example,
An elastic member such as rubber) 6 on the urging means.
The disk 5 for uniformly transmitting the urging force of the disk 6
For absorbing vibration of stator S of ultrasonic motor
A cushioning material 4a is fixed, and an ultrasonic wave is placed on the protective cushioning material 4a.
A motor stator S is provided. The center of this stator S
Is arranged so as to coincide with the centers of the cases 10a and 10b.
Have been. On the inner diameter side of the stator S, a case 10a
Vibration of the ultrasonic motor is fixed to the inner cylinder of the case 10
has a support portion 7 configured to prevent propagation to
You. This support portion 7 protrudes from the inside of the stator S, as shown in FIG.
As shown in FIG.
And positions the stator 3 with respect to the case 10a.
And fixedly supported, and integrated with the stator S
It may be formed or formed by another member. On the stator S, the center is shifted by the amount of eccentricity δ.
A rotor 3 having a center is provided, and the
A cushioning material 4b for absorbing the movement is further placed on the cushioning material 4b.
A fixing member 8 is fixedly provided. The ring member 8 is a rotor
Through the ball race 9 to make the rotation of 3 smooth
And is disposed in the case 10b. This ring member 8
Is the center of rotation of the cases 10a and 10b
Thus, a guide groove provided concentrically with the center of the case 10b.
With the center of the case 10b in the guide groove.
The ball race 9 that is arranged in
Has been established. That is, the shape of the ring member 8 is
The side fixed to the element 3 is eccentric, and the
An eccentric ring whose contact side matches the center of the stator S
ing. Therefore, this unitized ultrasonic mode
To remove power from the motor,
The power of the ring member 8 to be used for equipment that uses this unit
The unit may be removed as appropriate, for example,
If you use it for Mera's shooting lens barrel, you can drive the aperture blade and lens
It can be used for driving and the like. The above is a rotation as one embodiment of the present invention.
When the center of the stator 3 is eccentric with respect to the center of the stator S
3A and FIG.
The ring-shaped rotor shown in FIG. FIG. 3 (A)
As shown in the figure, the ring-shaped rotor 31 has an outer diameter and an inner diameter.
It may be configured in a ring shape with the center eccentric. Also figure
As shown in FIG. 3 (B), the ring-shaped rotor 32 has an elliptical shape.
You may comprise in a shape. FIG. 4 shows the principle of operation of the stator S and the rotor 3.
As shown, the stator S is flexurally vibrated by the piezoelectric element 2.
And a traveling wave is generated on the surface. At this time, the stator
The traveling wave of S travels in the direction of arrow P, and the particle P1 on the surface is elliptical.
They are doing circular motion. The rotor 3 was pressed against this stator S
In this case, the rotor 3 generates a surface wave by the stator S,
The traveling direction is the arrow Q direction, and the particles Q1 on the surface are the same.
Perform elliptical motion in the same way. Here, the stator S and the rotor 3
The amplitude of vibration that generates surface waves depending on the material and shape
Is changed, and the amplitude of the stator and the rotor is changed in the following three cases.
Think about it. First, the amplitude A of the stator SSIs the rotor 3
Amplitude AThreeIf it is larger, that is, the stator in the state of FIG.
The contact between the rotor S and the rotor 3 is determined by the wave crest of the stator S and the rotor 3
It becomes a valley of waves. In this case, the stator S and the rotor 3
Motion of the particles P1 and Q1 at the contact point
In the opposite direction, and the driving force of the ultrasonic motor increases.
You. Second, the amplitude A of the stator SSAnd rotor 3
Amplitude AThreeAre equal, the stator S and the rotor 3
Will come into contact with each other. In this case, the stator S
Since the motion of the particles is opposite between the peak and the valley, the driving force is
They will cancel each other out. Third, the amplitude A of the stator SSTimes
Amplitude A of trochanter 3ThreeIf smaller, the stator S and rotor
3 comes into contact with the valley of the wave of the stator S and the ridge of the wave of the rotor 3
become. In this case, the contact point between the stator S and the rotor 3
The movement of each particle P1 and Q1 is in the opposite direction
And the driving force of the ultrasonic motor increases,
The direction is opposite to the moving direction. A case where vibration isolation between the stator S and the rotor 3 is considered
Rotor 3 must transmit its rotation to an external mechanism
Therefore, it is more difficult to perform vibration isolation than the stator S.
Therefore, the first case where the driving force becomes large and the third case
Considering which one to choose, the vibration of rotor 3
Width AThreeIs the amplitude A of the stator SSFirst case to be smaller
Would be better. Therefore, the amplitude A of the rotor 3
ThreeIs the amplitude A of the stator SSHere's how to make it smaller
You. FIG. 5 shows the resonance frequency of the stator S as fS, Times
Let the resonance frequency of the trochanter 3 be fThreeThen, each frequency
And the relationship between amplitude and amplitude. However, at the resonance point
It is assumed that the amplitude of the stator S and the amplitude of the rotor 3 are the same.
You. Resonant frequency f of stator S SAnd the rotor 3 vibrates
In the state where the rotor 3ThreeIs the amplitude A of the stator S S
Smaller. Therefore, when the amplitude of the stator S is set to 1,
In this case, the amplitude A of the rotor 3ThreeIs the desired size 1 / X and
So that the resonance frequency f of the rotor 3ThreeTo decide
Should be designed. [0018] As described above, according to the present invention, a buffer member is provided.
Vibration driven by the traveling wave generated in the relative motion member
Transmission to members can be prevented. for that reason,
Prevents noise generated between the relative motion member and the driven member
can do. In addition, the driven member and the relative movement member
Prevents the traveling force of traveling waves from being generated during
Wear. In addition, the housing containing the ultrasonic motor
Even if the material is supported, it is transmitted to the housing via the driven member.
Vibration can be reduced, and the housing resonates to reduce noise.
The phenomenon that occurs can also be prevented. As a result, noise
Using equipment with ultrasonic motor as drive source
Does not give any discomfort.

【図面の簡単な説明】 【図1】図1(A)は本発明の実施例である超音波モー
タの平面図、図1(B)は前記超音波モータの断面図。 【図2】超音波モータをユニット化した時の断面図。 【図3】図3(A)及び図3(B)は前記超音波モータ
の回転子の形状を示す構造図 【図4】超音波モータの駆動原理を示す説明図 【図5】超音波モータの入力周波数と振幅との特性曲線
を示すグラフ 【符号の説明】 1・・・弾性体 2・・・圧電素子 3,31,32・・・回転子 S・・・固定子
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1A is a plan view of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view of the ultrasonic motor. FIG. 2 is a sectional view when the ultrasonic motor is unitized. FIGS. 3 (A) and 3 (B) are structural views showing the shape of a rotor of the ultrasonic motor. FIG. 4 is an explanatory view showing the driving principle of the ultrasonic motor. A graph showing a characteristic curve of the input frequency and amplitude of [Description of reference numerals] 1 ... Elastic body 2 ... Piezoelectric elements 3, 31, 32 ... Rotor S ... Stator

フロントページの続き (72)発明者 袴田 和男 東京都品川区西大井1丁目6番3号 株 式会社ニコン大井製作所内 (56)参考文献 特開 昭61−244280(JP,A) 特開 昭59−110388(JP,A)Continuation of front page    (72) Inventor Kazuo Hakamada               1-6-3 Nishioi, Shinagawa-ku, Tokyo, Japan               Nikon Oi Plant Co., Ltd.                (56) References JP-A-61-244280 (JP, A)                 JP-A-59-110388 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 1.円環状に形成された弾性体と該弾性体に設置された
電気機械変換素子とを備え、前記電気機械変換素子に印
加される駆動信号により前記弾性体の円周方向に進む進
行波を発生させる振動子と、 前記進行波により該進行波と同一方向に進む進行波が発
生し、前記振動子との間で相対運動を行なう相対運動部
材と、 前記相対運動部材と一体的に移動する被駆動部材と、 前記相対運動部材に発生した進行波による振動を前記被
駆動部材に伝達させないために、前記相対運動部材と前
記被駆動部材との間に配置された緩衝部材とを有するこ
とを特徴とする超音波モータ。 2. 請求項1に記載された超音波モータにおいて、 前記振動子と前記相対運動部材を格納する筐体を備え、
該筐体は前記被駆動部材を移動可能に支持することを特
徴とする超音波モータ。
(57) [Claims] An elastic body formed in an annular shape and an electromechanical transducer mounted on the elastic body, and a traveling signal traveling in a circumferential direction of the elastic body is generated by a driving signal applied to the electromechanical transducer. A vibrator, a traveling wave that travels in the same direction as the traveling wave is generated by the traveling wave, and a relative motion member that performs relative motion between the vibrator and the driven member that moves integrally with the relative motion member A member, and a buffer member disposed between the relative movement member and the driven member so as not to transmit the vibration caused by the traveling wave generated in the relative movement member to the driven member. Ultrasonic motor. 2. The ultrasonic motor according to claim 1, further comprising a housing that stores the vibrator and the relative motion member,
An ultrasonic motor, wherein the housing movably supports the driven member.
JP6286612A 1994-11-21 1994-11-21 Ultrasonic motor Expired - Lifetime JP2760297B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6286612A JP2760297B2 (en) 1994-11-21 1994-11-21 Ultrasonic motor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6286612A JP2760297B2 (en) 1994-11-21 1994-11-21 Ultrasonic motor

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60169520A Division JPH0744849B2 (en) 1985-07-31 1985-07-31 Ultrasonic motor

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8343089A Division JPH09172790A (en) 1996-12-24 1996-12-24 Ultrasonic motor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07322657A JPH07322657A (en) 1995-12-08
JP2760297B2 true JP2760297B2 (en) 1998-05-28

Family

ID=17706672

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6286612A Expired - Lifetime JP2760297B2 (en) 1994-11-21 1994-11-21 Ultrasonic motor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2760297B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6392328B1 (en) 1999-03-11 2002-05-21 Nikon Corporation Vibration motor
JP2007116757A (en) * 2005-10-18 2007-05-10 Pentax Corp Ultrasonic motor

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61244280A (en) * 1985-04-19 1986-10-30 Hitachi Maxell Ltd Vibration-confining type supersonic wave motor

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07322657A (en) 1995-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5937672B2 (en) Rotary drive device using ultrasonic vibration
JPS61224881A (en) Vibration wave motor
JP3030050B2 (en) Ultrasonic motor
KR100485882B1 (en) Vibration element and vibration wave driving apparatus
JPH0532991B2 (en)
JP2760297B2 (en) Ultrasonic motor
JPH0217877A (en) Oscillator and ultrasonic motor using this oscillator
JPS59110388A (en) Vibration wave motor
JP2808573B2 (en) Ultrasonic motor
JP3167394B2 (en) Vibration wave driving device and device having vibration wave driving device
KR100661311B1 (en) Piezoelectric ultrasonic motor
JPH0744849B2 (en) Ultrasonic motor
JPS5937673B2 (en) Unidirectional drive device using ultrasonic vibration
JPH07308081A (en) Ultrasonic motor
KR20020046817A (en) Ring-type Piezoelectric Ultrasonic Motor
JPH09172790A (en) Ultrasonic motor
JP2712776B2 (en) Ultrasonic motor
JPS61102177A (en) Surface wave drive motor
JP7183225B2 (en) Vibration type driving device and imaging device
JPS63174579A (en) Oscillatory wave motor
JP3575569B2 (en) Rotor floating ultrasonic motor
JPH03118780A (en) Ultrasonic motor
JP2004007858A (en) Oscillatory wave driving device and electric apparatus
JPS62262676A (en) Linear driving motor
JP2863125B2 (en) Vibration motor

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term