JPH09172790A - Ultrasonic motor - Google Patents

Ultrasonic motor

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Publication number
JPH09172790A
JPH09172790A JP8343089A JP34308996A JPH09172790A JP H09172790 A JPH09172790 A JP H09172790A JP 8343089 A JP8343089 A JP 8343089A JP 34308996 A JP34308996 A JP 34308996A JP H09172790 A JPH09172790 A JP H09172790A
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JP
Japan
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rotor
vibrator
oscillator
ultrasonic motor
contact
Prior art date
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Pending
Application number
JP8343089A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tadao Takagi
忠雄 高木
Shigemasa Sato
重正 佐藤
Kazuo Hakamata
和男 袴田
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the abrasion of a relative motion member caused by the ridge of an oscillator so as to enhance the durability of an ultrasonic motor, by bringing a circular relative motion member into compression-contact with an oscillator so that it may not contact with at least one ridge of the oscillator. SOLUTION: A rotor 3 is rotated, with its center eccentric from that of an oscillator S. The frictional contact face with which the rotor 3 is contacting of the surface 1a of the oscillator S shifts within the range of δ in quantity of eccentricity in diametrical direction on the surface by the rotation of the rotor 3, and every hour the contact face with the oscillator S changes. This way, the contact face of the rotor 3 on the surface of the oscillator S changes, so one place of the oscillator S is never shaved by abrasion, and the whole of the surface 1a of the oscillator S can be used efficiently.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、振動を用いて駆動
力を得る超音波モータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor that uses vibration to obtain a driving force.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の超音波モータは、例えば、特開昭
59−204477号公報に記載されているように、圧
電体と弾性体で構成される振動子とロータとが加圧接触
した構造を有している。そして、圧電体により弾性体に
振動を発生させてロータを回転させていた。
2. Description of the Related Art A conventional ultrasonic motor has a structure in which a vibrator composed of a piezoelectric body and an elastic body and a rotor are in pressure contact with each other, as described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-204477. have. The piezoelectric body causes the elastic body to vibrate to rotate the rotor.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】超音波モータは、振動
子とロータとの摩擦力によってロータを駆動するため、
振動子の稜線部と接触する部分においてロータの摩耗が
激しいという現象が起きていた。そのため、超音波モー
タの所望の性能をが得られなくなり、耐久性を低下させ
る一因となっていた。本発明は、このような従来の問題
点を解決することを目的とする。
Since the ultrasonic motor drives the rotor by the frictional force between the vibrator and the rotor,
There has been a phenomenon that the rotor is severely worn at the portion that contacts the ridge of the vibrator. Therefore, the desired performance of the ultrasonic motor cannot be obtained, which is one of the causes of lowering the durability. The present invention aims to solve such conventional problems.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記目的のために、本発
明では、円環状の振動子と、前記振動子に加圧接触され
て該振動子との間で相対運動を行う円環状の相対運動部
材とを備えた超音波モータであって、前記相対運動部材
が、前記振動子の少なくとも一方の稜線部に接触しない
ように加圧接触されている超音波モータを提供する。
To achieve the above object, according to the present invention, a ring-shaped oscillator and a ring-shaped relative device that makes a relative motion by being in pressure contact with the oscillator. An ultrasonic motor comprising a moving member, wherein the relative moving member is pressure-contacted so as not to contact at least one ridge line portion of the vibrator.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】図1(A)は、本発明の一実施形
態である超音波モータの平面図、図1(B)は前記超音
波モータの断面図である。図2は、前記超音波モータを
ユニット化した時の断面図である。図3(A)および図
3(B)は、前記超音波モータの回転子の形状を示す構
造図である。図4は、前記超音波モータの駆動原理を示
す説明図である。図5は、前記超音波モータの入力周波
数と振幅との特性曲線を示すグラフである。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1A is a plan view of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a sectional view of the ultrasonic motor. FIG. 2 is a sectional view when the ultrasonic motor is unitized. FIG. 3A and FIG. 3B are structural views showing the shape of the rotor of the ultrasonic motor. FIG. 4 is an explanatory diagram showing the driving principle of the ultrasonic motor. FIG. 5 is a graph showing a characteristic curve of the input frequency and the amplitude of the ultrasonic motor.

【0006】図1(A)および図1(B)に示すよう
に、振動子Sは電気機械変換素子としての圧電素子2と
その圧電素子2に励振され進行波(表面波)を生じる弾
性体1とからなる。そして、この振動子S上に弾性体1
と圧接するリング状回転子3が設置され、この振動子S
とリング状回転子3とから超音波モータが構成されてい
る。このリング状回転子3は、幅が一定の円環であり、
その中心O’が振動子Sの中心Oに対して偏心するよう
に設けられている。そして、このリング状回転子3は振
動子Sの中心Oを回転中心として回動されるように配置
されている。この時、このリング状回転子3は、固定さ
れた振動子S上を回動するが、振動子Sに対して任意の
偏心量δで振れ回ることになる。このように、回転子3
の中心と振動子Sの中心とを偏心させて回転子3を回動
させると、図1(B)に示す断面図において、振動子S
の表面1a上を振動子Sと回転子3との接触部1bが、
回転子3の回動に伴って回転中心Oに対して偏心量δの
片振幅で単振動することになる。すなわち、振動子Sの
表面1a上で回転子3が接触している摩擦接触面が、回
転子3の回動により表面1a上を径方向に偏心量δの範
囲で移動して時々刻々と振動子Sとの接触面が変化して
いることになる。従って、従来のように、回転子3と振
動子Sとの接触面が常に変わらずに摩擦接触されている
のとは違い、振動子3の表面1a上を回転子3の接触面
が時々刻々と移動するので、振動子Sの一ヶ所が摩耗に
より削られることがなく、振動子Sの表面1a全体を効
率良く使うことができるようになっている。この偏心量
δは次に述べる条件を満足する範囲で任意に決定され
る。
As shown in FIGS. 1A and 1B, a vibrator S is a piezoelectric element 2 as an electromechanical conversion element and an elastic body that is excited by the piezoelectric element 2 to generate a traveling wave (surface wave). It consists of 1. Then, the elastic body 1 is placed on the vibrator S.
A ring-shaped rotor 3 that is in pressure contact with
And the ring-shaped rotor 3 constitute an ultrasonic motor. The ring-shaped rotor 3 is a ring having a constant width,
The center O ′ is provided so as to be eccentric with respect to the center O of the vibrator S. The ring-shaped rotor 3 is arranged so as to rotate about the center O of the vibrator S as a rotation center. At this time, the ring-shaped rotor 3 rotates on the fixed vibrator S, but swings around the vibrator S with an arbitrary eccentricity δ. In this way, the rotor 3
When the rotor 3 is rotated with the center of the vibrator S and the center of the vibrator S eccentric to each other, in the cross-sectional view shown in FIG.
The contact portion 1b between the vibrator S and the rotor 3 on the surface 1a of
With the rotation of the rotor 3, a single vibration with a single amplitude of the eccentricity amount δ with respect to the rotation center O is performed. That is, the frictional contact surface with which the rotor 3 is in contact on the surface 1a of the vibrator S moves radially within the range of the eccentricity amount δ on the surface 1a by the rotation of the rotor 3 and vibrates momentarily. This means that the contact surface with the child S has changed. Therefore, unlike the conventional case, in which the contact surface between the rotor 3 and the vibrator S is always in frictional contact without changing, unlike the conventional case, the contact surface of the rotor 3 on the surface 1a of the vibrator 3 is constantly changing. Therefore, one portion of the vibrator S is not shaved by abrasion, and the entire surface 1a of the vibrator S can be efficiently used. The eccentricity δ is arbitrarily determined within a range satisfying the following condition.

【0007】この条件とは、回転子3が偏心して回動し
た場合に、常に振動子Sの表面1a上を回転子3のリン
グがはみ出ずに回動するように設定することである。こ
のとき、回転子3は、振動子Sの内周側および外周側の
稜線部とは接触することなく、振動子Sに接触すること
になる。そのため、稜線部との接触による回転子3の摩
耗を防止でき、超音波モータの耐久性が向上する。
This condition is set so that when the rotor 3 is eccentrically rotated, the ring of the rotor 3 always rotates on the surface 1a of the vibrator S without protruding. At this time, the rotor 3 comes into contact with the vibrator S without making contact with the ridge lines on the inner circumference side and the outer circumference side of the vibrator S. Therefore, abrasion of the rotor 3 due to contact with the ridge portion can be prevented, and the durability of the ultrasonic motor is improved.

【0008】ここで、振動子Sの外径をD、内径をdと
し、回転子3の外径をD’、内径をd’とし、振動子S
のリング幅をa、リング状回転子3のリング幅をbとす
る。このとき、条件としては、
Here, the outer diameter of the vibrator S is D, the inner diameter is d, the outer diameter of the rotor 3 is D ', and the inner diameter is d'.
Is a and the ring width of the ring-shaped rotor 3 is b. At this time, the conditions are:

【0009】[0009]

【数1】 [Equation 1]

【0010】であるように偏心量δを設定する。図2
は、図1の超音波モータをユニットに構成した構造図で
ある。超音波モータは筒状のケース10aおよび10b
内に収められている。ケース10aの底には付勢手段
(例えばゴム等の弾性部材)6が配置され、その付勢手
段の上に付勢手段6の付勢力を均等に伝えるための円板
5が、また、この円板5の上に超音波モータの振動子S
の振動を吸振する保護用緩衝材4aが固設されている。
そして、保護用緩衝材4a上に超音波モータの振動子S
が設置されている。
The amount of eccentricity δ is set as follows. FIG.
FIG. 2 is a structural diagram in which the ultrasonic motor of FIG. 1 is configured in a unit. The ultrasonic motor has cylindrical cases 10a and 10b.
Is housed inside. A biasing means (for example, an elastic member such as rubber) 6 is arranged on the bottom of the case 10a, and a disc 5 for evenly transmitting the biasing force of the biasing means 6 is provided on the biasing means. A transducer S of the ultrasonic motor is placed on the disk 5.
A cushioning material 4a for protection that absorbs the vibration is fixedly provided.
Then, the transducer S of the ultrasonic motor is placed on the protective cushioning material 4a.
Is installed.

【0011】振動子Sの中心はケース10aおよび10
bの中心と一致するように配設されている。また、振動
子Sの内径側には、ケース10aの内筒に固設されても
超音波モータの振動をケース10aに伝播させないよう
に構成された支持部7を設けられている。この支持部7
は、振動子Sの内側から突出し、図2に示すようにケー
ス10aの内筒に嵌め合わされるように筒状に形成され
ている。支持部7は、ケース10aに対して振動子3の
位置決めと固定支持とを行うものであって、振動子Sと
一体に形成されていてもよいし、別部材で形成されてい
てもよい。
The center of the vibrator S is located at the cases 10a and 10
It is arranged so as to coincide with the center of b. Further, on the inner diameter side of the vibrator S, there is provided a support portion 7 configured to prevent the vibration of the ultrasonic motor from propagating to the case 10a even when fixed to the inner cylinder of the case 10a. This support part 7
Is formed in a tubular shape so as to project from the inside of the vibrator S and fit into the inner cylinder of the case 10a as shown in FIG. The support portion 7 positions and fixes and supports the vibrator 3 with respect to the case 10a, and may be formed integrally with the vibrator S or may be formed as a separate member.

【0012】振動子S上には中心が偏心量δだけ偏心し
ている回転子3が配設され、回転子3上にはその振動を
吸収する緩衝材4bが、さらにその緩衝材4b上にリン
グ部材8が固設されている。リング部材8は、回転子3
の回転をスムースに行わせるためのボールレース9を介
してケース10bに配設されている。このリング部材8
は、ケース10aおよび10bの中心が回転中心となる
ように、ケース10bの中心と同心に設けられたガイド
溝を有する。そして、このガイド溝にケース10bの中
心を中心にして配設されたボールレース9が嵌まり込む
ことで回転自在に構成されている。すなわち、このリン
グ部材8の形状は、回転子3に固設される側が偏心して
おり、ケース10bと当接する側が振動子Sの中心と一
致する偏心リングとなっている。したがって、このユニ
ット化された超音波モータから動力を取り出すには、超
音波モータにより回動されるリング部材8の動力を、こ
のユニットを使う機器に応じて適宜取り出せばよい。例
えば、このユニットをカメラの撮影レンズ鏡筒に使え
ば、絞り羽根の駆動やレンズの駆動等に使用することが
できる。
A rotor 3 whose center is eccentric by an eccentricity δ is arranged on the vibrator S, a cushioning material 4b for absorbing the vibration is provided on the rotor 3, and a ring is further provided on the cushioning material 4b. The member 8 is fixed. The ring member 8 is the rotor 3
It is arranged in the case 10b through a ball race 9 for smoothly rotating. This ring member 8
Has a guide groove provided concentrically with the center of the case 10b such that the centers of the cases 10a and 10b are the centers of rotation. The ball race 9 arranged around the center of the case 10b is fitted into the guide groove so that the ball race 9 is rotatable. That is, the shape of the ring member 8 is an eccentric ring in which the side fixed to the rotor 3 is eccentric, and the side in contact with the case 10b coincides with the center of the vibrator S. Therefore, in order to extract the power from the unitized ultrasonic motor, the power of the ring member 8 rotated by the ultrasonic motor may be appropriately extracted according to the device using the unit. For example, if this unit is used as a taking lens barrel of a camera, it can be used for driving diaphragm blades and lenses.

【0013】なお、本発明の一実施形態として、回転子
3の中心を振動子Sの中心に対して偏心させた場合につ
いて説明してきたが、これ以外にも図3(A)および図
3(B)に示すリング状回転子が考えられる。図3
(A)に示すように、リング状回転子31は、外径と内
径との中心を偏心させたリング状に構成してもよい。ま
た、図3(B)に示すように、リング状回転子32は、
楕円形状に構成してもよい。
As an embodiment of the present invention, the case where the center of the rotor 3 is eccentric with respect to the center of the vibrator S has been described, but in addition to this, FIG. 3A and FIG. The ring-shaped rotor shown in B) is conceivable. FIG.
As shown in (A), the ring-shaped rotor 31 may be formed in a ring shape in which the centers of the outer diameter and the inner diameter are eccentric. Further, as shown in FIG. 3 (B), the ring-shaped rotor 32 is
It may be formed in an elliptical shape.

【0014】図4は、振動子Sと回転子3との動作原理
を示したもので、振動子Sは圧電素子2によって屈曲振
動を起こし、表面に進行波を生じている。この時、振動
子Sの進行波は矢印Pの方向へ進み、表面の粒子P1は
楕円運動をしている。この振動子Sに回転子3を圧接し
た場合、回転子3は振動子Sによって表面波を生じ、そ
の進行方向は矢印Q方向となり、その表面の粒子Q1は
同様に楕円運動を行う。ここで、振動子Sおよび回転子
3はその材質および形状により表面波を発生させる振動
の振幅が変化し、振動子および回転子の振幅を次の3つ
の場合について考える。
FIG. 4 shows the operating principle of the vibrator S and the rotor 3. The vibrator S causes bending vibration by the piezoelectric element 2 and a traveling wave is generated on the surface. At this time, the traveling wave of the oscillator S advances in the direction of arrow P, and the particle P1 on the surface makes an elliptic motion. When the rotor 3 is pressed against the oscillator S, the rotor 3 generates a surface wave by the oscillator S, the traveling direction thereof is the direction of arrow Q, and the particle Q1 on the surface similarly performs an elliptic motion. Here, the oscillator S and the rotor 3 change the amplitude of the vibration that generates the surface wave depending on their materials and shapes, and consider the following three cases of the amplitude of the oscillator and the rotor.

【0015】第一に、振動子Sの振幅AS が回転子3の
振幅A3 より大きい場合、すなわち図4の状態では、振
動子Sと回転子3との接触は、振動子Sの波の山と回転
子3の波の谷とになる。この場合は、振動子Sと回転子
3との接触点においてはそれぞれの粒子P1およびQ1
の運動が反対方向となり、超音波モータの駆動力は大き
くなる。
First, when the amplitude AS of the vibrator S is larger than the amplitude A3 of the rotor 3, that is, in the state of FIG. 4, the contact between the vibrator S and the rotor 3 is caused by the wave peak of the vibrator S. And the wave trough of rotor 3. In this case, at the contact point between the oscillator S and the rotor 3, the respective particles P1 and Q1 are
The movement of the motor is in the opposite direction, and the driving force of the ultrasonic motor is increased.

【0016】第二に、振動子Sの振幅AS と回転子3の
振幅A3 とが等しい場合は、振動子Sと回転子3とが全
面で接触することになる。この場合は、振動子Sの波の
山と谷とで粒子の運動が反対となるので駆動する力は打
ち消し合ってしまう。第三に、振動子Sの振幅AS が回
転子3の振幅A3 より小さい場合は、振動子Sと回転子
3との接触は、振動子Sの波の谷と回転子3の波の山と
になる。この場合は、振動子Sと回転子3との接触点に
おいてはそれぞれの粒子P1およびQ1の運動が反対方
向となり、超音波モータの駆動力は大きくなり、図4の
運動方向とは逆方向となる。
Secondly, when the amplitude AS of the vibrator S and the amplitude A3 of the rotor 3 are equal, the vibrator S and the rotor 3 are in contact with each other over the entire surface. In this case, since the motions of the particles in the peaks and the troughs of the waves of the oscillator S are opposite to each other, the driving forces cancel each other out. Thirdly, when the amplitude AS of the vibrator S is smaller than the amplitude A3 of the rotor 3, the contact between the vibrator S and the rotor 3 is caused by the wave troughs of the vibrator S and the wave peaks of the rotor 3. become. In this case, at the contact point between the oscillator S and the rotor 3, the movements of the respective particles P1 and Q1 are in opposite directions, the driving force of the ultrasonic motor becomes large, and the movement direction is opposite to that in FIG. Become.

【0017】振動子Sと回転子3との防振を考えた場
合、回転子3はその回転を外部機構へ伝えなければなら
ず、振動子Sに比べて防振を行ない難くなっている。し
たがって、前述した駆動力が大きくなる第一の場合と第
三の場合との何方を選択するかを考えると、回転子3の
振幅A3 が振動子Sの振幅AS より小さくなる第一の場
合の方がより良いことになる。そこで、回転子3の振幅
A3 が振動子Sの振幅AS より小さする方法を以下に示
す。
Considering the vibration isolation between the vibrator S and the rotor 3, the rotor 3 must transmit its rotation to an external mechanism, and it is more difficult to perform the vibration isolation than the vibrator S. Therefore, considering which one of the first case and the third case where the driving force is large is selected, in the first case where the amplitude A3 of the rotor 3 is smaller than the amplitude AS of the vibrator S, It would be better. Therefore, a method of making the amplitude A3 of the rotor 3 smaller than the amplitude AS of the vibrator S will be described below.

【0018】図5は、振動子Sの共振周波数をfS 、回
転子3の共振周波数をf3 とすると、それぞれの振動数
と振幅との関係を示している。ただし、共振点における
振動子Sと回転子3との振幅は同一振幅であると仮定す
る。振動子Sの共振周波数fS で回転子3が振動させら
れる状態では、回転子3の振幅A3 が振動子Sの振幅A
S より小さくなる。したがって、振動子Sの振幅を1と
した場合に、回転子3の振幅A3 が所望される大きさ1
/Xとなるように、回転子3の共振周波数f3を決定す
るように設計すれば良い。
FIG. 5 shows the relationship between the respective frequencies and amplitudes, where fS is the resonance frequency of the vibrator S and f3 is the resonance frequency of the rotor 3. However, it is assumed that the vibrator S and the rotor 3 have the same amplitude at the resonance point. When the rotor 3 is vibrated at the resonance frequency fS of the vibrator S, the amplitude A3 of the rotor 3 is equal to the amplitude A of the vibrator S.
It is smaller than S. Therefore, when the amplitude of the oscillator S is 1, the amplitude A3 of the rotor 3 is 1
The resonance frequency f3 of the rotor 3 may be designed so as to be / X.

【0019】なお、本実施形態では、振動子Sの中心O
と回転子3の中心O’とが偏心している構成の超音波モ
ータについて説明したが、本発明はこのような構成に限
定されるものではない。振動子Sの中心Oと回転子3の
中心O’とが一致する構成の超音波モータにおいても、
振動子の稜線部に相対運動部材が接触しないように構成
すれば同様の効果を得ることができ、前記偏心の有無に
関わるものではない。
In this embodiment, the center O of the vibrator S is
The ultrasonic motor having a configuration in which the center of the rotor 3 and the center O ′ of the rotor 3 are eccentric has been described, but the present invention is not limited to such a configuration. Also in the ultrasonic motor having a configuration in which the center O of the vibrator S and the center O ′ of the rotor 3 are coincident with each other,
The same effect can be obtained by configuring the relative motion member so that it does not come into contact with the ridge line portion of the vibrator, and it does not relate to the presence or absence of the eccentricity.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、相対運
動部材が振動子の少なくとも一方の稜線部に接触しない
ように加圧接触しているので、振動子の稜線部によって
生じる相対運動部材の摩耗が減少する。そのため、超音
波モータの耐久性を高めることができる。
As described above, according to the present invention, since the relative motion member is in pressure contact with at least one ridge line portion of the vibrator so as not to contact, the relative motion caused by the ridge line portion of the vibrator is achieved. Wear of the parts is reduced. Therefore, the durability of the ultrasonic motor can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1(A)は、本発明の実施例である超音波モ
ータの平面図、図1(B)は前記超音波モータの断面図
である。
1A is a plan view of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a sectional view of the ultrasonic motor.

【図2】超音波モータをユニット化したときの断面図で
ある。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a unitized ultrasonic motor.

【図3】図3(A)および図3(B)は、前記超音波モ
ータの回転子の形状を示す構造図である。
FIG. 3 (A) and FIG. 3 (B) are structural views showing the shape of a rotor of the ultrasonic motor.

【図4】超音波モータの駆動原理を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a driving principle of an ultrasonic motor.

【図5】超音波モータの入力周波数と振幅との特性曲線
を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a characteristic curve of an input frequency and an amplitude of the ultrasonic motor.

【主要部分の符号の説明】[Description of Signs of Main Parts]

1・・・弾性体 2・・・圧電素子 3、31、32・・・回転子 S・・・振動子 1 ... Elastic body 2 ... Piezoelectric element 3, 31, 32 ... Rotor S ... Oscillator

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 円環状の振動子と、前記振動子に加圧接
触されて該振動子との間で相対運動を行う円環状の相対
運動部材とを備えた超音波モータであって、 前記相対運動部材は、前記振動子の少なくとも一方の稜
線部に接触しないように加圧接触されていることを特徴
とする超音波モータ。
1. An ultrasonic motor comprising: an annular oscillator; and an annular relative motion member that is brought into pressure contact with the oscillator to perform relative motion with the oscillator, wherein: The ultrasonic motor, wherein the relative motion member is pressure-contacted so as not to contact at least one ridge line portion of the vibrator.
JP8343089A 1996-12-24 1996-12-24 Ultrasonic motor Pending JPH09172790A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009201191A (en) * 2008-02-19 2009-09-03 Nikon Corp Vibrating actuator, lens barrel, and camera

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JPS59110388A (en) * 1982-12-15 1984-06-26 Canon Inc Vibration wave motor

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