JP2752422B2 - Method for producing aluminum material for electrolytic capacitor electrode - Google Patents

Method for producing aluminum material for electrolytic capacitor electrode

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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は電解コンデンサ電極用アルミニウム材料の
製造方法に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for producing an aluminum material for an electrode of an electrolytic capacitor.

従来の技術及び課題 アルミニウム電解コンデンサ用電極材として一般に用
いられるアルミニウム箔には、その実効面積を拡大して
単位面積当りの静電容量を増大するため、一般に電気化
学的あるいは化学的エッチング処理が施される。しか
し、箔を単にエッチング処理するのみでは十分な静電容
量を得られなかった。
2. Description of the Related Art Aluminum foil, which is generally used as an electrode material for aluminum electrolytic capacitors, is generally subjected to electrochemical or chemical etching treatment in order to increase its effective area and increase the capacitance per unit area. Is done. However, a sufficient capacitance could not be obtained simply by etching the foil.

また、本出願人は先に、アルミニウム箔表面に一定厚
さの結晶化したγ−Al23皮膜を形成することでエッチ
ング性能を改善した電解コンデンサ用アルミニウム材料
を提案した(特公昭58-34925号)。この材料によれば、
エッチング後の箔の表面積を拡大しえ、ひいては静電容
量の増大が可能となるものであった。
Further, the present applicant has previously proposed an aluminum material for an electrolytic capacitor in which a crystallized γ-Al 2 O 3 film having a constant thickness is formed on the surface of an aluminum foil to improve the etching performance (Japanese Patent Publication No. 58-1983). 34925). According to this material
The surface area of the foil after the etching can be increased, and the capacitance can be increased.

ところが、この材料によってもなお、昨今の電解コン
デンサの高静電容量化の要求に対してこれを十分に満足
することができない場合があった。
However, even with this material, it may not be possible to sufficiently satisfy the recent demand for higher capacitance of electrolytic capacitors.

この発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであっ
て、エッチング性能に優れ、ひいては高静電容量を確実
に得ることのできる電解コンデンサ用アルミニウム材料
の提供を目的とするものである。
The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide an aluminum material for an electrolytic capacitor which is excellent in etching performance and can surely obtain a high capacitance.

課題を解決するための手段 電解コンデンサ用アルミニウム箔は、一般に、溶解・
鋳造、熱間圧延、冷間圧延、箔圧延、最終焼鈍の各工程
の順次的実施により製作される。このうち、最終焼鈍で
は再結晶化が起るが、立方体方位を多く有する集合組織
にするため、従来、500℃以上の高温で行われていた。
而して、発明者は上記目的を達成するために鋭意研究の
結果、最終焼鈍でアルミニウム箔表面に形成される酸化
皮膜の形成とその時の箔の組織との関係が、エッチング
性能の向上ひいては静電容量の増大化に対し非常に重要
であることを知見した。即ち、エッチングによるピット
の発生位置は焼鈍の比較的初期に存在する箔のセルまた
はサブグレイン上に対応しており、このためエッチング
ピットを多くして拡面率を向上するためには、セルまた
はサブグレインのサイズを小さくしてその数を増大すれ
ば良いが、エッチングピット形成の核となるためにはそ
れだけでは足らずセルまたはサブグレインサイズが小さ
い段階での箔表面の酸化皮膜が5〜50Åの範囲でなけれ
ばならず、かつその後にさらに付与される酸化皮膜がで
きるだけ薄いことが必要であることがわかった。
Means to Solve the Problems Aluminum foil for electrolytic capacitors is generally
It is manufactured by sequentially performing the steps of casting, hot rolling, cold rolling, foil rolling, and final annealing. Of these, recrystallization occurs in the final annealing, but in order to obtain a texture having many cubic orientations, it has been conventionally performed at a high temperature of 500 ° C. or more.
The inventor of the present invention has conducted intensive studies in order to achieve the above-mentioned object. It was found that it was very important for increasing the capacitance. In other words, the positions of the pits generated by etching correspond to the cells or sub-grains of the foil which are present relatively early in the annealing. It is sufficient to reduce the size of the subgrain and increase its number, but it is not enough to become the nucleus of the formation of etching pits, and the oxide film on the foil surface at the stage where the cell or subgrain size is small is 5 to 50 mm It has been found that it is necessary that the thickness be within the range, and that the subsequently applied oxide film be as thin as possible.

この発明は、かかる知見に基いてなされたものであ
り、電気化学的あるいは化学的エッチング処理を施す前
に、アルミニウム箔の表面にその平均セルまたはサブグ
レインサイズが10μm以下の状態のうちに厚さ5〜50Å
の酸化皮膜を形成する工程と、その後酸化皮膜の合計厚
さが70Åを超えない範囲で高温加熱処理する工程とを経
ることにより上記課題を解決しえたものである。
The present invention has been made based on such knowledge, and it has been proposed that the thickness of the aluminum foil surface is controlled to be less than or equal to 10 μm or less on the surface of the aluminum foil before the electrochemical or chemical etching treatment is performed. 5-50Å
The above-mentioned problem can be solved by passing through a step of forming an oxide film, and a step of performing a high-temperature heat treatment within a range where the total thickness of the oxide film does not exceed 70 mm.

上記アルミニウム箔は、純度99.99%の高純度のもの
が望ましいが、これに限定されるものではなく、電解コ
ンデンサ用に使用される範囲内の純度のものであれば良
い。
The aluminum foil desirably has a high purity of 99.99%, but is not limited to this. Any aluminum foil having a purity within a range used for an electrolytic capacitor may be used.

箔圧延後の焼鈍工程において、アルミニウム箔の表面
に初期に形成される酸化皮膜が5〜50Åに限定されるの
は、この範囲の膜厚を確保することで、箔表面のセルま
たはサブグレインに対応する位置に、皮膜欠陥からなる
エッチングピットの核を有効に形成しうるからである。
特に好ましくは15〜45Åとするのが良い。また、この酸
化皮膜の形成工程において、アルミニウム箔のセルまた
はサブグレインの平均サイズが10μm以下に限定される
のは、セルまたはサブグレインのサイズを小さくしてそ
の数を増大せしめ拡面率の向上ひいては静電容量の増大
を図るためである。特に5μm以下とするのが好まし
い。セルまたはサブグレインの平均サイズが10μm以下
のうちに厚さ5〜50Åの酸化皮膜を形成せしめる具体的
方法としては、たとえば箔圧延後のセルまたはサブグレ
インの平均サイズが10μm以下であるアルミニウム箔
を、水分または酸素を含有する大気あるいはAr雰囲気等
で低温加熱する方法を挙げうる。ここで、アルミニウム
箔のセルまたはサブグレインの平均サイズを10μm以下
の微小なものに規制するための方法としては箔圧延で箔
の温度を極力低くし、例えば巻き上りコイルの温度を15
0℃以下に抑制するとか、圧延速度を遅くするとか、圧
延油を多量にかける等の方法を挙げうる。また厚さ5〜
50Åの酸化皮膜を形成するための前記の低温加熱におい
て、雰囲気中の水分(H2O)量は0.01Kg/Kg以上とする
のが良く、水分量が多いほど短時間で所期する膜厚が得
られる。また低温加熱時の加熱温度が低いほどセルまた
はサブグレインのサイズを小さく保持しうるが、加熱時
間が長くなるため実際には40〜180℃程度に設定して行
うのが良い。180℃を超えるとセルまたはサブグレイン
のサイズが大きくなり、その平均サイズ10μm以下の要
件を逸脱する可能性がある。加熱時間は、膜厚5Å以上
を確保するためには1時間程度以上とするのが良く、例
えば4時間程度で約25Åの膜厚が得られる。かかる低温
加熱は1段のみ実施しても良いが、加熱温度や加熱時間
を異にした2段以上の工程で行っても良い。
In the annealing step after the foil rolling, the oxide film initially formed on the surface of the aluminum foil is limited to 5 to 50 °, by securing the film thickness in this range, the cells on the foil surface or sub-grains This is because a nucleus of an etching pit composed of a film defect can be effectively formed at a corresponding position.
Particularly preferably, the angle is 15 to 45 °. In this oxide film forming step, the average size of the cells or sub-grains of the aluminum foil is limited to 10 μm or less because the number of cells or sub-grains is reduced by increasing the number of cells or sub-grains to improve the area expansion ratio. This is to increase the capacitance. In particular, the thickness is preferably 5 μm or less. As a specific method for forming an oxide film having a thickness of 5 to 50 ° within an average cell or subgrain size of 10 μm or less, for example, an aluminum foil having an average cell or subgrain size of 10 μm or less after foil rolling is used. And low-temperature heating in an atmosphere containing water or oxygen, an Ar atmosphere, or the like. Here, as a method for restricting the average size of the cells or sub-grains of the aluminum foil to a minute one of 10 μm or less, the temperature of the foil is reduced as much as possible by foil rolling, and for example, the temperature of the winding coil is reduced by 15 mm.
Methods such as suppressing the temperature to 0 ° C. or lower, reducing the rolling speed, and applying a large amount of rolling oil may be used. In addition, thickness 5
In the above-mentioned low-temperature heating for forming an oxide film of 50 ° C., the amount of water (H 2 O) in the atmosphere is preferably 0.01 kg / kg or more. Is obtained. In addition, as the heating temperature at the time of low-temperature heating is lower, the size of the cell or the sub-grain can be kept small. However, since the heating time is longer, it is actually preferable to set the temperature to about 40 to 180 ° C. When the temperature exceeds 180 ° C., the size of the cell or the sub-grain becomes large, which may deviate from the requirement of an average size of 10 μm or less. The heating time is preferably about 1 hour or more in order to secure a film thickness of 5 ° or more. For example, a film thickness of about 25 ° can be obtained in about 4 hours. Such low-temperature heating may be performed in only one stage, or may be performed in two or more stages with different heating temperatures and heating times.

厚さ5〜50Åの初期酸化皮膜を形成したのち実施する
高温加熱は、アルミニウム箔の組織を立方体方位に多く
有する集合組織にしてエッチング特性を向上させること
を主目的とするものである。而して、この高温加熱処理
において、初期酸化皮膜上にさらに形成される酸化皮膜
の厚さが厚過ぎると、初期酸化皮膜の欠陥部分が消去さ
れ、エッチングの際に十分なエッチングピットを形成す
ることができない。このため、高温加熱処理は初期酸化
皮膜を含む酸化皮膜の合計厚さが70Å以下となる範囲で
行う必要がある。好適には50Å以下に規制するのが良
い。酸化皮膜の合計厚さを70Å以下とするためには水
分、酸素を可及的除去した雰囲気で加熱するのが望まし
く、具体的にはArガス等の不活性ガス中あるいは10-3To
rr程度以下の真空中で加熱するのが良い。また加熱温度
は460℃程度以上、加熱時間は1〜5時間程度が望まし
い。
The high-temperature heating performed after the formation of the initial oxide film having a thickness of 5 to 50 ° is mainly intended to improve the etching characteristics by making the structure of the aluminum foil a texture having many cubic orientations. Thus, in this high-temperature heat treatment, if the thickness of the oxide film further formed on the initial oxide film is too thick, the defective portion of the initial oxide film is erased, and sufficient etching pits are formed during etching. Can not do. For this reason, the high-temperature heat treatment needs to be performed within a range where the total thickness of the oxide film including the initial oxide film is 70 mm or less. Preferably, it is better to regulate to 50 ° or less. In order to reduce the total thickness of the oxide film to 70 mm or less, it is desirable to heat in an atmosphere from which moisture and oxygen have been removed as much as possible, specifically, in an inert gas such as Ar gas or 10 -3 To
It is preferable to heat in a vacuum of about rr or less. The heating temperature is preferably about 460 ° C. or more, and the heating time is preferably about 1 to 5 hours.

上記により製作したアルミニウム材料は、その後電気
化学的あるいは化学的エッチング処理したのち、電解コ
ンデンサ用電極材として使用する。
The aluminum material produced as described above is then used as an electrode material for an electrolytic capacitor after being subjected to an electrochemical or chemical etching treatment.

なおこの発明に用いるアルミニウム箔は、その製造工
程についてはこれを限定するものではなく、圧延工程の
途中において中間焼鈍されたものであっても良い。
The manufacturing process of the aluminum foil used in the present invention is not limited, and may be intermediately annealed during the rolling process.

発明の効果 この発明は上述の次第であるから、エッチング性能に
優れ多数のエッチングピットを形成しえて拡面率ひいて
は静電容量の大きな電解コンデンサ電極材を確実にかつ
安定して提供することができる。
Since the present invention is dependent on the above, it is possible to form a large number of etching pits with excellent etching performance, and to reliably and stably provide an electrolytic capacitor electrode material having a large surface area and a large capacitance. .

実施例 (実施例1) 純度99.99%のアルミニウムからなる厚さ100μmのア
ルミニウム箔を製作するに際し、箔圧延における箔温
度、圧延速度、圧延油の量を調節して、第1表のような
セルまたサブグレインの平均サイズを有する各種アルミ
ニウム箔を製作した。
Example (Example 1) When manufacturing an aluminum foil having a purity of 99.99% and having a thickness of 100 μm, the foil temperature, the rolling speed, and the amount of rolling oil in the foil rolling were adjusted, and the cells as shown in Table 1 were obtained. In addition, various aluminum foils having an average subgrain size were manufactured.

次に上記アルミニウム箔を、H2O量を第1表のよう
に含有する大気中で、加熱温度及び加熱時間を各種に変
えて低温加熱することにより、箔表面に第1表に示す厚
さの初期酸化皮膜を形成した。なお酸化皮膜の厚さは以
下の条件に従うハンターホール法により測定した。即
ち、 測定液:30g/l酒石酸アンモニウム水溶液 液温:30℃ 対極:カーボン 測定極:被測定サンプル 直流電圧印加速度:5V/sec の条件にて被測定サンプルに電圧を印加し、第1図に示
すような電流・電圧特性を測定した。そして、同図に示
す電圧差χを計測し、 膜厚=χ×14Å/V の式にて換算することにより膜厚を測定した。
Next, the aluminum foil was heated at a low temperature in an atmosphere containing H 2 O content as shown in Table 1 by changing the heating temperature and the heating time to various values, so that the thickness shown in Table 1 on the foil surface was obtained. An initial oxide film was formed. The thickness of the oxide film was measured by the Hunter Hall method according to the following conditions. Measurement solution: 30 g / l aqueous ammonium tartrate solution Temperature: 30 ° C. Counter electrode: carbon Measurement electrode: sample to be measured A voltage was applied to the sample to be measured under the conditions of a DC voltage application speed: 5 V / sec. The current / voltage characteristics as shown were measured. Then, the voltage difference χ shown in the figure was measured, and the film thickness was measured by converting the film thickness into an equation of 膜厚 × 14Å / V.

また加熱終了時におけるアルミニウム箔のセルまたは
サブグレインの平均サイズを調べたところ、第1表に示
すように変化していた。
When the average size of the cells or sub-grains of the aluminum foil at the end of the heating was examined, it was found to be as shown in Table 1.

次に上記各アルミニウム箔につき、10-4Torr真空中で
520℃×1時間の高温加熱処理を実施したのち、箔表面
の酸化皮膜の合計厚さを前記と同じくハンターホール法
により測定したところ、第1表に示すとおりであった。
Next, for each of the above aluminum foils, in a vacuum of 10 -4 Torr
After performing a high-temperature heat treatment at 520 ° C. × 1 hour, the total thickness of the oxide film on the foil surface was measured by the Hunter Hall method in the same manner as described above.

上記により得た各アルミニウム材料を、3%塩酸水溶
液(85℃)中で電流密度を直流10A/dm2とし、3分間電
解エッチング処理したのち、さらに同じ液で10分間化学
エッチング処理した。そして、その後5%硼酸浴中で35
0Vに化成処理したのち、各材料の静電容量を測定した。
その結果を併せて第1表に示す。
Each aluminum material obtained as described above was subjected to electrolytic etching in a 3% hydrochloric acid aqueous solution (85 ° C.) at a current density of 10 A / dm 2 for 3 minutes, and then to chemical etching in the same solution for 10 minutes. And then 35% in a 5% boric acid bath
After the chemical conversion treatment to 0 V, the capacitance of each material was measured.
Table 1 also shows the results.

(実施例2) 純度99.99%、セルまたはサブグレインの平均サイズ
が4μmである厚さ100μmのアルミニウム箔を用い、
該アルミニウム箔を、H2O:0.015Kg/Kgを含む大気中で1
00℃×10時間低温加熱し、表面に厚さ32Åの初期酸化皮
膜を形成した。なお、低温加熱後の箔表面のセルまたは
サブグレインの平均サイズは7μmであり、低温加熱工
程を通じて平均サイズが10μm以下に保たれていた。
(Example 2) A 100 μm-thick aluminum foil having a purity of 99.99% and an average cell or subgrain size of 4 μm was used.
The aluminum foil was placed in an atmosphere containing H 2 O: 0.015 kg / kg for 1 hour.
The substrate was heated at a low temperature of 00 ° C. × 10 hours to form an initial oxide film having a thickness of 32 ° on the surface. The average size of the cells or sub-grains on the foil surface after low-temperature heating was 7 μm, and the average size was maintained at 10 μm or less throughout the low-temperature heating step.

次に、上記アルミニウム箔につき、520℃の加熱温度
で加熱時間及び真空度(10-1〜10-5Torr)を変えて高温
加熱した。そして高温加熱後の酸化皮膜の合計厚さをハ
ンターホール法により測定したところ第2表のとおりで
あった。
Next, the aluminum foil was heated at a heating temperature of 520 ° C. while changing the heating time and the degree of vacuum (10 −1 to 10 −5 Torr) at a high temperature. Table 2 shows the total thickness of the oxide film after high-temperature heating measured by the Hunter Hall method.

次に、上記アルミニウム材料に実施例1と同一条件で
エッチング処理、化成処理を実施し、得られた材料の静
電容量を測定した。その結果を第2表に示す。
Next, the aluminum material was subjected to an etching treatment and a chemical conversion treatment under the same conditions as in Example 1, and the capacitance of the obtained material was measured. Table 2 shows the results.

第1表、第2表からわかるように、本発明実施品は、
多数のエッチングピットを形成しえ密度の大きいエッチ
ング状態となっているため、大きな静電容量を確実に得
ることができるものであった。
As can be seen from Tables 1 and 2, the product of the present invention is:
Since a large number of etching pits were formed and the etching state was high in density, a large capacitance could be reliably obtained.

【図面の簡単な説明】 第1図は実施例で行ったハンターホール法による酸化皮
膜の膜厚の測定方法を説明するための電流・電圧特性図
である。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a current-voltage characteristic diagram for explaining a method of measuring the thickness of an oxide film by a Hunter Hall method performed in an example.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 多田 清志 大阪府堺市海山町6丁224番地 昭和ア ルミニウム株式会社内 (72)発明者 梅津 正蔵 大阪府堺市海山町6丁224番地 昭和ア ルミニウム株式会社内 (72)発明者 田村 喬 大阪府堺市海山町6丁224番地 昭和ア ルミニウム株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kiyoshi Tada 6,224, Kaiyamacho, Sakai City, Osaka Prefecture Inside Showa Aluminum Co., Ltd. (72) Inventor Shozo Umezu 6,224, Kaiyamacho, Sakai City, Osaka Prefecture Showa Aluminum Incorporated (72) Inventor Takashi Tamura 6,224 Umiyamacho, Sakai-shi, Osaka Showa Aluminum Co., Ltd.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】電気化学的あるいは化学的エッチング処理
を施す前に、アルミニウム箔の表面にその平均セルまた
はサブグレインサイズが10μm以下の状態のうちに厚さ
5〜50Åの酸化皮膜を形成する工程と、その後酸化皮膜
の合計厚さが70Åを超えない範囲で高温加熱処理する工
程とを経ることを特徴とする電解コンデンサ電極用アル
ミニウム材料の製造方法。
1. A step of forming an oxide film having a thickness of 5 to 50 ° on an aluminum foil surface in an average cell or subgrain size of 10 μm or less before performing an electrochemical or chemical etching treatment. And a step of subjecting the oxide film to a high-temperature heat treatment so that the total thickness of the oxide film does not exceed 70 mm.
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