JP2748341B2 - 光学ユニット及びこの光学ユニットが接合される光照射装置 - Google Patents
光学ユニット及びこの光学ユニットが接合される光照射装置Info
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- JP2748341B2 JP2748341B2 JP1338318A JP33831889A JP2748341B2 JP 2748341 B2 JP2748341 B2 JP 2748341B2 JP 1338318 A JP1338318 A JP 1338318A JP 33831889 A JP33831889 A JP 33831889A JP 2748341 B2 JP2748341 B2 JP 2748341B2
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、ショートアーク型の放電灯からの光を楕円
集光鏡で集光して利用する光照射装置及びこの光照射装
置に接続される光学ユニットに関する。
集光鏡で集光して利用する光照射装置及びこの光照射装
置に接続される光学ユニットに関する。
（従来の技術） 例えば超高圧水銀灯やキセノンショートアークランプ
等のショートアーク型の放電灯からの光を利用して、光
硬化型樹脂の硬化やフォトマスクを介した露光などの光
処理が行われている。
等のショートアーク型の放電灯からの光を利用して、光
硬化型樹脂の硬化やフォトマスクを介した露光などの光
処理が行われている。
これらの光処理のうち、均一な光処理が必要な場合に
は、楕円集光鏡とインテグレータとを具備した光照射装
置がよく用いられる。
は、楕円集光鏡とインテグレータとを具備した光照射装
置がよく用いられる。
一方、光照射装置に光ファイバユニットを始めとする
各種の光学ユニットを交換可能にして、装置の汎用性を
高める提案もなされている（実開昭63−111931号公報参
照）。この提案の中で、インテグレータレンズを収納し
た光学ユニットを交換接合可能にすることも考えられて
いる。
各種の光学ユニットを交換可能にして、装置の汎用性を
高める提案もなされている（実開昭63−111931号公報参
照）。この提案の中で、インテグレータレンズを収納し
た光学ユニットを交換接合可能にすることも考えられて
いる。
（発明が解決しようとする技術的課題） しかしながら、同公報第２図のようにインテグレータ
レンズは楕円集光鏡の第２焦点の位置に配置されるので
インテグレータレンズの光軸は水平になる。ほとんどの
ワークに対し光は垂直下方に照射する必要があるため、
インテグレータレンズから出射した光をいったん反射鏡
を介して垂直下方に照射してやる必要が生じて来る。し
かし、インテグレータレンズの出射側に反射鏡を配置す
ると、照射径はある寸法以上になり、小さな照射径のも
のは得られない。また、反射鏡を介している分、照射距
離が短くなってしまい、ワーク周辺のスペースを広くと
ることができないという問題が生じてくる。さらに、光
学ユニット接合部が小さい場合、ここにインテグレータ
レンズを配置することは難しくなる。
レンズは楕円集光鏡の第２焦点の位置に配置されるので
インテグレータレンズの光軸は水平になる。ほとんどの
ワークに対し光は垂直下方に照射する必要があるため、
インテグレータレンズから出射した光をいったん反射鏡
を介して垂直下方に照射してやる必要が生じて来る。し
かし、インテグレータレンズの出射側に反射鏡を配置す
ると、照射径はある寸法以上になり、小さな照射径のも
のは得られない。また、反射鏡を介している分、照射距
離が短くなってしまい、ワーク周辺のスペースを広くと
ることができないという問題が生じてくる。さらに、光
学ユニット接合部が小さい場合、ここにインテグレータ
レンズを配置することは難しくなる。
本発明は、かかる課題を考慮してなされたもので、そ
の目的は、反射鏡を用いた場合でも、小さな照射径でか
つ高い放射照度の照射ができ、さらに照射距離を十分に
とることを可能にすることにある。
の目的は、反射鏡を用いた場合でも、小さな照射径でか
つ高い放射照度の照射ができ、さらに照射距離を十分に
とることを可能にすることにある。
（課題を解決するための手段） 上記課題を解決するため、本発明の光学ユニットは、
楕円集光鏡の第二焦点を他の位置に投影するリレーレン
ズ系と、該他の位置の設けられたインテグレータレンズ
と、インテグレータレンズ及びリレーレンズ系とを収納
した鏡筒とよりなることを特徴とし、本発明の光照射装
置は、ショートアーク型の放電灯と、放電灯からの光を
集光する楕円集光鏡と、上記光学ユニットが接合される
ユニット接合部を有することを特徴とする。
楕円集光鏡の第二焦点を他の位置に投影するリレーレン
ズ系と、該他の位置の設けられたインテグレータレンズ
と、インテグレータレンズ及びリレーレンズ系とを収納
した鏡筒とよりなることを特徴とし、本発明の光照射装
置は、ショートアーク型の放電灯と、放電灯からの光を
集光する楕円集光鏡と、上記光学ユニットが接合される
ユニット接合部を有することを特徴とする。
（作用） 上記構成にかかる本発明の光学ユニット及び光照射装
置においては、楕円集光鏡の第二焦点の像がリレーレン
ズ系によってインテグレータレンズに投影され、インテ
グレータレンズは投影された第二焦点の像を分割・イン
テグレートして照射面に光照射する。
置においては、楕円集光鏡の第二焦点の像がリレーレン
ズ系によってインテグレータレンズに投影され、インテ
グレータレンズは投影された第二焦点の像を分割・イン
テグレートして照射面に光照射する。
（実施例） 以下、本発明の実施例を説明する。
第１図は、本実施例の光照射装置及び光学ユニットの
概略説明図である。１は光照射装置、２は光学ユニット
を示す。11はショートアーク型の放電灯、12は楕円集光
鏡、13は平面反射鏡、14は灯体、15はユニット接合部、
21はリレーレンズ系、22は平面反射鏡、23はイングレー
タレンズ、24はアウトプットレンズ、25は鏡筒、３は他
の光学ユニットとしての光ファイバユニットを示す。
概略説明図である。１は光照射装置、２は光学ユニット
を示す。11はショートアーク型の放電灯、12は楕円集光
鏡、13は平面反射鏡、14は灯体、15はユニット接合部、
21はリレーレンズ系、22は平面反射鏡、23はイングレー
タレンズ、24はアウトプットレンズ、25は鏡筒、３は他
の光学ユニットとしての光ファイバユニットを示す。
第１図において、本実施例の光照射装置１は、ショー
トアーク型の放電灯11,楕円集光鏡12,平面反射鏡13,灯
体14,ユニット接合部15からなる。ショートアーク型の
放電灯11としては、例えば250Wで極間距離2mm程度の超
高圧水銀灯である。放電灯１のアークの位置は、楕円集
光鏡12の第一焦点f1の位置に配置される。平面反射鏡13
は特に必要なものではないが、平面反射鏡13で折り返し
て光学ユニットに光を入射せしめる構成をとることによ
り、灯体14の高さを低くすることができ、装置の小型化
が図れるメリットがある。光学ユニット接合部15は、灯
体14に嵌合固定されたユニット枠151と止めネジ152とか
らなる。光学ユニットの鏡筒25の入射部を第１図のよう
にユニット枠151に差し込み、止めネジ152を鏡筒25のね
じ穴にねじ込むことにより、光学ユニット２は光照射装
置１に接合される。
トアーク型の放電灯11,楕円集光鏡12,平面反射鏡13,灯
体14,ユニット接合部15からなる。ショートアーク型の
放電灯11としては、例えば250Wで極間距離2mm程度の超
高圧水銀灯である。放電灯１のアークの位置は、楕円集
光鏡12の第一焦点f1の位置に配置される。平面反射鏡13
は特に必要なものではないが、平面反射鏡13で折り返し
て光学ユニットに光を入射せしめる構成をとることによ
り、灯体14の高さを低くすることができ、装置の小型化
が図れるメリットがある。光学ユニット接合部15は、灯
体14に嵌合固定されたユニット枠151と止めネジ152とか
らなる。光学ユニットの鏡筒25の入射部を第１図のよう
にユニット枠151に差し込み、止めネジ152を鏡筒25のね
じ穴にねじ込むことにより、光学ユニット２は光照射装
置１に接合される。
本実施例の光学ユニット１は、リレーレンズ系21,平
面反射鏡22,インテグレータレンズ23,アウトプットレン
ズ24,鏡筒25とからなる。第１図に示すように、リレー
レンズ系21は２枚のレンズからなり、楕円集光鏡12の第
二焦点f2を含む光軸に垂直な平面をインテグレータレン
ズ23に投影する投影レンズの作用を有している。具体的
には、鏡筒25に設けられたねじ穴に止めネジ152がねじ
こめられて光学ユニット２が固定された際に、楕円集光
鏡12の第二焦点f2を含む光軸に対し垂直な面は、リレー
レンズ系21によりインテグレータレンズ23に投影され
る。リレーレンズ系21の鏡筒25内での配置は、従って、
従来のインテグレータレンズの配置位置即ち楕円集光鏡
12の第二焦点が、本実施例ではリレーレンズ系21でリレ
ーされて、第１図のインテグレータレンズ23の位置に投
影されるように構成されている。これにより、インテグ
レータレンズ23を従来のインテグレータレンズと同じよ
うに機能させつつ、その配置位置を他の位置にすること
に成功している。このため、鏡筒21の入射部の径ｗは、
インテグレータレンズ23の大きさに影響されずに充分小
さくできる。
面反射鏡22,インテグレータレンズ23,アウトプットレン
ズ24,鏡筒25とからなる。第１図に示すように、リレー
レンズ系21は２枚のレンズからなり、楕円集光鏡12の第
二焦点f2を含む光軸に垂直な平面をインテグレータレン
ズ23に投影する投影レンズの作用を有している。具体的
には、鏡筒25に設けられたねじ穴に止めネジ152がねじ
こめられて光学ユニット２が固定された際に、楕円集光
鏡12の第二焦点f2を含む光軸に対し垂直な面は、リレー
レンズ系21によりインテグレータレンズ23に投影され
る。リレーレンズ系21の鏡筒25内での配置は、従って、
従来のインテグレータレンズの配置位置即ち楕円集光鏡
12の第二焦点が、本実施例ではリレーレンズ系21でリレ
ーされて、第１図のインテグレータレンズ23の位置に投
影されるように構成されている。これにより、インテグ
レータレンズ23を従来のインテグレータレンズと同じよ
うに機能させつつ、その配置位置を他の位置にすること
に成功している。このため、鏡筒21の入射部の径ｗは、
インテグレータレンズ23の大きさに影響されずに充分小
さくできる。
アウトプットレンズ24は、インテグレータレンズ23の
出射側に配置される。このアウトプットレンズ24の焦点
距離を適宜設定することにより、照射距離及び照射径を
自由に変更することが可能となる。尚、インテグレータ
レンズの出射側に折り返しミラーがないので、小さな照
射径であってもそれに合わせた高放射照度の照射がで
き、照射距離も十分とることができる。また、光学ユニ
ットを第２焦点を含む光軸を軸として360゜回転させる
ことができるので、任意の角度で固定することにより水
平方向にも斜め方向にも照射が可能である。
出射側に配置される。このアウトプットレンズ24の焦点
距離を適宜設定することにより、照射距離及び照射径を
自由に変更することが可能となる。尚、インテグレータ
レンズの出射側に折り返しミラーがないので、小さな照
射径であってもそれに合わせた高放射照度の照射がで
き、照射距離も十分とることができる。また、光学ユニ
ットを第２焦点を含む光軸を軸として360゜回転させる
ことができるので、任意の角度で固定することにより水
平方向にも斜め方向にも照射が可能である。
本実施例の光学ユニット１は、例えば、貼合せレンズ
を紫外線硬化型樹脂で接着する際に、接着面に均一でか
つ充分な照度で照射する必要がある場合等に使用され
る。一方、磁気ヘッドの接着やチップ部品の接着のよう
に、直径５〜10mm程度の微小な面積の照射や狭い空間内
での照射の場合には、第１図に示すように、他の光学ユ
ニットの例としての光ファイバユニット３が、光学ユニ
ット１と交換して光学ユニット接合部15に接合される。
この点は、実開昭63−111931号と同様である。
を紫外線硬化型樹脂で接着する際に、接着面に均一でか
つ充分な照度で照射する必要がある場合等に使用され
る。一方、磁気ヘッドの接着やチップ部品の接着のよう
に、直径５〜10mm程度の微小な面積の照射や狭い空間内
での照射の場合には、第１図に示すように、他の光学ユ
ニットの例としての光ファイバユニット３が、光学ユニ
ット１と交換して光学ユニット接合部15に接合される。
この点は、実開昭63−111931号と同様である。
以上説明した通り、本発明の光学ユニット及び光照射
装置によれば、楕円集光鏡の第二焦点の像がリレーレン
ズ系によってインテグレータレンズに投影されるので、
インテグレータレンズは、光学ユニット接合部近傍に位
置する第二焦点上に配置されずに他の位置に配置され
る。これにより、光学ユニットの鏡筒の入射部の径は、
インテグレータレンズの大きさに影響されずに充分小さ
くすることが可能となる。従って、接合構造の共通化を
行っている径の小さい既存の光学ユニット接合部に、イ
ンテグレータレンズを収納した光学ユニットが、容易に
接合可能にする設計をすることができる。また、インテ
グレータの入射側に反射鏡を設けることが可能となるた
め、インテグレータレンズの出射側に反射鏡を設ける必
要がなくなり、小さい照射径でかつ高い放射照度で照射
することができ、さらに照射距離も十分とることができ
る。
装置によれば、楕円集光鏡の第二焦点の像がリレーレン
ズ系によってインテグレータレンズに投影されるので、
インテグレータレンズは、光学ユニット接合部近傍に位
置する第二焦点上に配置されずに他の位置に配置され
る。これにより、光学ユニットの鏡筒の入射部の径は、
インテグレータレンズの大きさに影響されずに充分小さ
くすることが可能となる。従って、接合構造の共通化を
行っている径の小さい既存の光学ユニット接合部に、イ
ンテグレータレンズを収納した光学ユニットが、容易に
接合可能にする設計をすることができる。また、インテ
グレータの入射側に反射鏡を設けることが可能となるた
め、インテグレータレンズの出射側に反射鏡を設ける必
要がなくなり、小さい照射径でかつ高い放射照度で照射
することができ、さらに照射距離も十分とることができ
る。
第１図は、本実施例の光照射装置及び光学ユニットの概
略説明図である。 図中、 １……光照射装置 ２……光学ユニット 11……ショートアーク型の放電灯 12……楕円集光鏡 14……灯体 15……光学ユニット接合部 21……リレーレンズ系 23……イングレータレンズ 25……鏡筒 ３……他の光学ユニットとしての光ファイバユニットを
示す。
略説明図である。 図中、 １……光照射装置 ２……光学ユニット 11……ショートアーク型の放電灯 12……楕円集光鏡 14……灯体 15……光学ユニット接合部 21……リレーレンズ系 23……イングレータレンズ 25……鏡筒 ３……他の光学ユニットとしての光ファイバユニットを
示す。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｇ０３Ｂ 27/54 Ｇ０３Ｂ 27/54 Ｚ Ｇ０３Ｆ 7/20 Ｇ０３Ｆ 7/20 Ｈ０１Ｌ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５１５Ｄ
Claims (2)
- 【請求項１】ショートアーク型の放電灯と放電灯からの
光を集光する楕円集光鏡とを具備した光照射装置に接合
される光学ユニットであって、 楕円集光鏡の第二焦点を他の位置に投影するリレーレン
ズ系と、該他の位置の設けられたインテグレータレンズ
と、インテグレータレンズ及びリレーレンズ系とを収納
した鏡筒とよりなることを特徴とする光学ユニット。 - 【請求項２】ショートアーク型の放電灯と、該放電灯か
らの光を集光する楕円集光鏡と、放電灯及び楕円集光鏡
を収納した灯体とよりなる光照射装置において、 特許請求の範囲第（１）項記載の光学ユニットが接合さ
れるユニット接合部を有することを特徴とする光照射装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1338318A JP2748341B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 光学ユニット及びこの光学ユニットが接合される光照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1338318A JP2748341B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 光学ユニット及びこの光学ユニットが接合される光照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03202147A JPH03202147A (ja) | 1991-09-03 |
| JP2748341B2 true JP2748341B2 (ja) | 1998-05-06 |
Family
ID=18317009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1338318A Expired - Fee Related JP2748341B2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 光学ユニット及びこの光学ユニットが接合される光照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2748341B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007180229A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線照射装置 |
| JPWO2014188746A1 (ja) * | 2013-05-20 | 2017-02-23 | 山下電装株式会社 | ソーラシミュレータ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5681813A (en) * | 1979-12-08 | 1981-07-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Mask lighting optical system |
| JPS58160914A (ja) * | 1982-03-18 | 1983-09-24 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | ミラ−集光型照明光学系 |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP1338318A patent/JP2748341B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03202147A (ja) | 1991-09-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080220 Year of fee payment: 10 |
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