JP2745062B2 - Conductive composite ceramics - Google Patents
Conductive composite ceramicsInfo
- Publication number
- JP2745062B2 JP2745062B2 JP1093556A JP9355689A JP2745062B2 JP 2745062 B2 JP2745062 B2 JP 2745062B2 JP 1093556 A JP1093556 A JP 1093556A JP 9355689 A JP9355689 A JP 9355689A JP 2745062 B2 JP2745062 B2 JP 2745062B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- weight
- carbide powder
- titanium
- conductive composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （１）発明の目的 ［産業上の利用分野］ 本発明は、導電性複合セラミックスに関し、特に電気
比抵抗が低下されることにより導電性が確保され放電加
工が容易とされており、併せて機械的強度が確保される
ことにより構造材料としての利用も可能とされた導電性
複合セラミックスに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (1) Object of the Invention [Industrial Application Field] The present invention relates to a conductive composite ceramics, and particularly to a conductive composite ceramics whose electrical resistivity is reduced to ensure conductivity and facilitate electric discharge machining. Also, the present invention relates to a conductive composite ceramic which can be used as a structural material by ensuring mechanical strength.
［従来の技術］ 従来、この種の導電性複合セラミックスとしては、
（ｉ）炭化珪素粉末に対して炭化チタン粉末を配合しか
つ焼結助剤としてホウ素および炭素あるいはアルミニウ
ム化合物を添加してなるセラミックス混合粉末を焼結す
るものが提案されており、また（ii）炭化珪素粉末に対
してホウ化チタン粉末を配合しかつ焼結助剤としてホウ
素および炭素あるいはアルミニウム化合物を添加してな
るセラミックス混合粉末を焼結するものも提案されてい
た。[Prior art] Conventionally, as this kind of conductive composite ceramics,
(I) A method of sintering a ceramic mixed powder obtained by mixing a titanium carbide powder with a silicon carbide powder and adding boron, carbon or an aluminum compound as a sintering aid has been proposed; and (ii) There has also been proposed one in which a titanium boride powder is mixed with a silicon carbide powder and a ceramic mixed powder obtained by adding boron, carbon or an aluminum compound as a sintering aid is sintered.
［解決すべき問題点］ しかしながら、従来の導電性複合セラミックスでは、
炭化珪素粉末に対して炭化チタンを配合しかつホウ素お
よび炭素を焼結助剤として使用することによりセラミッ
クス混合粉末を作成する場合、（ｉ）炭化チタン粉末の
配合量が増加するにつれてその焼結性が低下し、無加圧
焼結で十分な焼結強度が達成できない欠点があり、ひい
ては（ii）焼結強度を確保するためにホットプレス焼結
などを採用しなければならない欠点があり、結果的に
（iii）焼結体の形状を複雑化できず工業的利用におい
て大幅な制限が加わる欠点があった。[Problems to be solved] However, in the conventional conductive composite ceramics,
When preparing a ceramic mixed powder by blending titanium carbide with silicon carbide powder and using boron and carbon as sintering aids, (i) the sinterability of titanium carbide powder increases as the blending amount increases. Has a disadvantage that sufficient sintering strength cannot be achieved by pressureless sintering, and (ii) there is a disadvantage that hot press sintering or the like must be employed to secure sintering strength. (Iii) There was a drawback that the shape of the sintered body could not be complicated and a great restriction was imposed on industrial use.
また、炭化珪素粉末に対してホウ化チタンを配合しか
つ焼結助剤としてホウ素および炭素を使用することによ
りセラミックス混合粉末を作成する場合、ホウ化チタン
の配合量が増加するにつれて（ｉ）その焼結性が低下し
てしまう欠点があり、結果的に（ii）焼結体の機械的強
度を確保できない欠点があった。Further, when a ceramic mixed powder is prepared by blending titanium boride with silicon carbide powder and using boron and carbon as sintering aids, (i) as the blending amount of titanium boride increases, There is a disadvantage that the sinterability is reduced, and as a result, there is a disadvantage that (ii) the mechanical strength of the sintered body cannot be secured.
加えて、炭化珪素粉末に対してホウ化チタンを配合し
かつ焼結助剤としてアルミニウム化合物を使用すること
によりセラミックス混合粉末を作成する場合、焼結体の
機械的強度が高温下において低下しやすい欠点があっ
た。In addition, when a ceramic mixed powder is prepared by blending titanium boride with silicon carbide powder and using an aluminum compound as a sintering aid, the mechanical strength of the sintered body tends to decrease at high temperatures There were drawbacks.
そこで本発明は、これらの欠点を除去し、電気比抵抗
を低下せしめて導電性を確保し併せて機械的強度も確保
することにより放電加工を容易としかつ構造材料として
も利用可能な導電性複合セラミックスを提供せんとする
ものである。Accordingly, the present invention has been developed to eliminate these drawbacks, reduce electrical resistivity, secure conductivity, and secure mechanical strength, thereby facilitating electrical discharge machining and using a conductive composite that can be used as a structural material. It does not provide ceramics.
（２）発明の構成 ［問題点の解決手段］ 本発明により提供される問題点の解決手段は、 「炭化珪素粉末15〜68重量部に対し、ホウ化チタン粉末
および炭化チタン粉末が合計で30〜70重量部配合され、
かつ酸化アルミニウム粉末が２〜15重量部配合されてお
り、炭化チタン粉末がホウ化チタン粉末および炭化チタ
ン粉末の合計配合量に対し10〜80重量％配合されてなる
セラミックス混合粉末を、不活性ガス雰囲気下で1800〜
2100℃の温度にて焼結することにより作成されてなる導
電性複合セラミックス」 である。(2) Configuration of the Invention [Means for Solving the Problems] The means for solving the problems provided by the present invention is as follows: "A total of 30 parts by weight of titanium boride powder and titanium carbide powder is 15 to 68 parts by weight of silicon carbide powder. ~ 70 parts by weight
And 2 to 15 parts by weight of aluminum oxide powder, and 10 to 80% by weight of titanium carbide powder with respect to the total amount of titanium boride powder and titanium carbide powder. 1800 ~ under atmosphere
Conductive composite ceramics produced by sintering at a temperature of 2100 ° C. "
［作用］ 本発明にかかる導電性複合セラミックスは、上述の構
成を有しているので、 （ｉ）常圧焼結でも電気比抵抗を10-1Ωcm以下に低減し
せめて導電性を確保する作用 をなし、ひいては （ii）放電加工を容易とする作用 をなしており、併せて （iii）常圧焼結でも96％以上の理論相対密度を達成せ
しめる作用 をなし、ひいては （iv）機械的強度を、具体的には曲げ強さを630MPa以上
と大きくし、かつ高温強度を改善し、高強度および高靭
性とする作用 をなしている。[Action] Since the conductive composite ceramics according to the present invention has the above-described structure, (i) an action of reducing the electrical resistivity to 10 -1 Ωcm or less even under normal pressure sintering to secure conductivity. (Ii) has the effect of facilitating electrical discharge machining, and (iii) has the effect of achieving a theoretical relative density of 96% or more even under normal pressure sintering, and (iv) mechanical strength. Specifically, it has the effect of increasing the bending strength to 630 MPa or more, improving the high-temperature strength, and increasing the strength and toughness.
［実施例］ 次に、本発明にかかる導電性複合セラミックスについ
て、その実施例を挙げ、具体的に説明する。しかしなが
ら以下に説明する実施例は、本発明の理解を容易化ない
し促進化するために記載されるものであって、本発明を
限定するために記載されるものではない。換言すれば、
以下に説明される実施例において開示される各要素は、
本発明の精神ならびに技術的範囲に属する全ての設計変
更ならびに均等物置換を含むものである。[Examples] Next, the conductive composite ceramics according to the present invention will be specifically described with reference to examples. However, the embodiments described below are described for facilitating or facilitating the understanding of the present invention, and are not described for limiting the present invention. In other words,
Each element disclosed in the embodiments described below includes:
It is intended to cover all design changes and equivalent substitutions that fall within the spirit and scope of the present invention.
まず、本発明にかかる導電性複合セラミックスの一実
施例について、その構成および作用を詳細に説明する。First, the configuration and operation of an embodiment of the conductive composite ceramics according to the present invention will be described in detail.
本発明にかかる導電性複合セラミックスは、炭化珪素
粉末15〜68重量部に対しホウ化チタン粉末および炭化チ
タン粉末が合計で30〜70重量部配合され、かつ酸化アル
ミニウム粉末が２〜15重量部配合されており、炭化チタ
ン粉末がホウ化チタン粉末および炭化チタン粉末の合計
配合量に対し10〜80重量％配合されてなるセラミックス
混合粉末を、不活性ガス雰囲気下で1800〜2100℃の温度
にて焼結されることにより作成されている。The conductive composite ceramics according to the present invention comprises a total of 30 to 70 parts by weight of titanium boride powder and titanium carbide powder with respect to 15 to 68 parts by weight of silicon carbide powder, and 2 to 15 parts by weight of aluminum oxide powder. A ceramic mixed powder comprising 10 to 80% by weight of titanium carbide powder based on the total amount of titanium boride powder and titanium carbide powder is mixed at a temperature of 1800 to 2100 ° C under an inert gas atmosphere. It is created by being sintered.
ここで、ホウ化チタン粉末および炭化チタン粉末の合
計配合量が、30〜70重量部とされている根拠は、（ｉ）
30重量部未満となると焼結体の導電性が十分でなくな
り、また（ii）70重量部を超えると焼結性が悪化してし
まい、焼結体の機械的強度が低下してしまうことにあ
る。Here, the basis that the total compounding amount of the titanium boride powder and the titanium carbide powder is 30 to 70 parts by weight is as follows: (i)
If the amount is less than 30 parts by weight, the conductivity of the sintered body becomes insufficient, and (ii) if the amount exceeds 70 parts by weight, the sinterability deteriorates and the mechanical strength of the sintered body decreases. is there.
また、炭化チタンの配合量が、ホウ化チタン粉末およ
び炭化チタン粉末の合計配合量に対し、10〜80重量％と
されている根拠は、（ｉ）10重量％未満となると、焼結
体の機械的強度が炭化珪素およびホウ化チタンを主成分
とする複合セラミックスの機械的強度と実質的に同等と
なり、また（ii）80重量％を超えると、焼結体の機械的
強度が炭化珪素および炭化チタンを主成分とする焼結体
の機械的強度と実質的に同等となることにある。Further, the basis that the compounding amount of titanium carbide is 10 to 80% by weight based on the total compounding amount of titanium boride powder and titanium carbide powder is as follows: (i) When the amount is less than 10% by weight, The mechanical strength is substantially equal to the mechanical strength of the composite ceramics containing silicon carbide and titanium boride as main components, and (ii) if it exceeds 80% by weight, the mechanical strength of the sintered body becomes higher than that of silicon carbide and titanium carbide. That is, the mechanical strength is substantially equal to the mechanical strength of a sintered body containing titanium carbide as a main component.
更に、酸化アルミニウムAl2O3粉末の配合量が２〜15
重量部とされている根拠は、（ｉ）２重量部未満となる
と、焼結性が悪化し、焼結体の機械的強度が低下してし
まい、また（ii）15重量部を超えると、焼結体の機械的
強度ならびに導電性が阻害されてしまうことにある。酸
化アルミニウム粉末は、必ずしもAl2O3粉末として添加
する必要はなく、所望によってアルミニウムアルコキシ
ド，有機酸塩，無機酸塩の形で添加し、焼結までの間に
適宜の処理を施してAl2O3に変換してもよい。Furthermore, the blending amount of aluminum oxide Al 2 O 3 powder is 2-15.
The basis of the parts by weight is as follows: (i) If less than 2 parts by weight, the sinterability deteriorates, and the mechanical strength of the sintered body decreases. (Ii) If it exceeds 15 parts by weight, This is because the mechanical strength and conductivity of the sintered body are impaired. Aluminum oxide powder is not necessarily added as Al 2 O 3 powder, optionally an aluminum alkoxide, an organic acid salt, was added in the form of inorganic acid salts, Al 2 performs an appropriate process until sintering it may be converted to O 3.
加えて、焼結性を改善し機械的強度を向上せしめるた
めに、６重量部以下の炭素を配合してもよい。炭素の配
合量を６重量部以下に制限する根拠は、６重量部を超え
ると、焼結体の機械的強度が低下してしまうことにあ
る。In addition, 6 parts by weight or less of carbon may be blended in order to improve sinterability and mechanical strength. The reason for limiting the amount of carbon to 6 parts by weight or less is that if the amount exceeds 6 parts by weight, the mechanical strength of the sintered body decreases.
更に、上述した本発明にかかる導電性複合セラミック
スの一実施例の理解を深めるために、数値などを挙げ具
体的に説明する。Further, in order to deepen the understanding of one embodiment of the conductive composite ceramics according to the present invention, numerical values and the like will be specifically described.
（実施例１） 平均粒径0.5μｍの炭化珪素粉末51gは、平均粒径1.5
μｍのホウ化チタン粉末25gと平均粒径2.0μの炭化チタ
ン粉末14gとアルミナゾル（平均粒径27nm）7gとが添加
されたのち、更に溶媒として炭化度50％のフェノール樹
脂6gを含むエタノール150mlが添加され、プラスチック
製のポットミルすなわちポリポットおよびアルミナボー
ルを用いて24時間にわたって撹拌混合された。(Example 1) 51 g of silicon carbide powder having an average particle size of 0.5 μm
After adding 25 g of titanium boride powder of μm, 14 g of titanium carbide powder having an average particle size of 2.0 μm, and 7 g of alumina sol (average particle size of 27 nm), 150 ml of ethanol containing 6 g of a phenol resin having a carbonization degree of 50% as a solvent was further added. The mixture was added and stirred for 24 hours using a plastic pot mill, ie, a polypot and alumina balls.
次いで、撹拌混合物は、乾燥により溶媒が除去された
のち造粒され、造粒混合物とされた。Next, after the solvent was removed by drying, the stirred mixture was granulated to obtain a granulated mixture.
造粒混合物は、金型プレスおよびラバープレスによっ
て成型され、5mm×5mm×60mmの成形体とされた。成型体
は、グラファイト容器に収容され、アルゴン雰囲気下に
おいて1850℃の温度で焼結され、焼結体は、その組成が
第１表に示されており、焼結条件ならびに相対密度，電
気比抵抗および曲げ強さ（常温すなわち室温下における
３点曲げの強さ）の測定結果が第２表に示されている。The granulated mixture was molded by a mold press and a rubber press to obtain a molded body of 5 mm × 5 mm × 60 mm. The molded body was housed in a graphite container and sintered at a temperature of 1850 ° C. under an argon atmosphere. The composition of the sintered body is shown in Table 1, and the sintering conditions, relative density and electric resistivity Table 2 shows the measurement results of the bending strength (the strength of three-point bending at room temperature, that is, room temperature).
（実施例２） 炭化珪素粉末，ホウ化チタン粉末，炭化チタン粉末お
よびアルミナゾルの配合量がそれぞれ53g,26g,15gおよ
び3gとされたことを除き、実施例１が反復された。Example 2 Example 1 was repeated except that the amounts of silicon carbide powder, titanium boride powder, titanium carbide powder and alumina sol were 53 g, 26 g, 15 g and 3 g, respectively.
焼結体は、その組成が第１表に示されており、焼結条
件ならびに相対密度，電気比抵抗および曲げ強さ（常温
すなわち室温下における３点曲げの強さ）の測定結果が
第２表に示されている。The composition of the sintered body is shown in Table 1, and the sintering conditions and the measurement results of relative density, electrical resistivity and bending strength (three-point bending strength at room temperature, that is, at room temperature) are shown in Table 2. It is shown in the table.
（実施例３） ホウ化チタン粉末および炭化チタン粉末の配合量がそ
れぞれ11gおよび28gとされたことを除き、実施例１が反
復された。Example 3 Example 1 was repeated except that the amounts of titanium boride powder and titanium carbide powder were 11 g and 28 g, respectively.
焼結体は、その組成が第１表に示されており、焼結条
件ならびに相対密度，電気比抵抗および曲げ強さ（常温
すなわち室温下における３点曲げの強さ）の測定結果が
第２表に示されている。The composition of the sintered body is shown in Table 1, and the sintering conditions and the measurement results of relative density, electrical resistivity and bending strength (three-point bending strength at room temperature, that is, at room temperature) are shown in Table 2. It is shown in the table.
（実施例４） ホウ化チタン粉末および炭化チタン粉末の配合量がそ
れぞれ34gおよび5gとされたことを除き、実施例１が反
復された。Example 4 Example 1 was repeated except that the amounts of titanium boride powder and titanium carbide powder were 34 g and 5 g, respectively.
焼結体は、その組成が第１表に示されており、焼結条
件ならびに相対密度，電気比抵抗および曲げ強さ（常温
すなわち室温下における３点曲げの強さ）の測定結果が
第２表に示されている。The composition of the sintered body is shown in Table 1, and the sintering conditions and the measurement results of relative density, electrical resistivity and bending strength (three-point bending strength at room temperature, that is, at room temperature) are shown in Table 2. It is shown in the table.
（実施例５） 炭化珪素SiC粉末，ホウ化チタン粉末および炭化チタ
ン粉末の配合量がそれぞれ58g,20gおよび12gとされたこ
とを除き、実施例１が反復された。Example 5 Example 1 was repeated, except that the amounts of silicon carbide SiC powder, titanium boride powder and titanium carbide powder were 58 g, 20 g and 12 g, respectively.
焼結体は、その組成が第１表に示されており、焼結条
件ならびに相対密度，電気比抵抗および曲げ強さ（常温
すなわち室温下における３点曲げの強さ）の測定結果が
第２表に示されている。The composition of the sintered body is shown in Table 1, and the sintering conditions and the measurement results of relative density, electrical resistivity and bending strength (three-point bending strength at room temperature, that is, at room temperature) are shown in Table 2. It is shown in the table.
（実施例６） 平均粒径0.5μｍの炭化珪素粉末54gは、平均粒径1.5
μｍのホウ化チタン粉末25gと平均粒径2.0μの炭化チタ
ン粉末14gとアルミナゾル（平均粒径27nm）7gとが添加
されたのち、更に溶媒としてポリビニルアセテート2.5g
を含むアセトン150mlが添加され、プラスチック製のポ
ットミルすなわちポリポットおよびアルミナボールを用
いて24時間にわたって撹拌混合された。(Example 6) 54 g of silicon carbide powder having an average particle size of 0.5 μm
After adding 25 g of titanium boride powder of μm, 14 g of titanium carbide powder having an average particle size of 2.0 μm, and 7 g of alumina sol (average particle size of 27 nm), 2.5 g of polyvinyl acetate was further used as a solvent.
Was added and stirred and mixed for 24 hours using a plastic pot mill, ie, a polypot and alumina balls.
次いで撹拌混合物は、乾燥により溶媒が除去されたの
ち造粒され、造粒混合物とされた。Next, the stirred mixture was granulated after the solvent was removed by drying to obtain a granulated mixture.
造粒混合物は、金型プレスおよびラバープレスによっ
て成型され、5mm×5mm×60mmの成形体とされた。成型体
は、グラファイト容器に収容され、アルゴン雰囲気下に
おいて1850℃の温度で焼結され、複合セラミックスとさ
れた。The granulated mixture was molded by a mold press and a rubber press to obtain a molded body of 5 mm × 5 mm × 60 mm. The molded body was housed in a graphite container and sintered at a temperature of 1850 ° C. in an argon atmosphere to obtain a composite ceramic.
焼結体は、その組成が第１表に示されており、焼結条
件ならびに相対密度，電気比抵抗および曲 げ強さ（常温すなわち室温下における３点曲げの強さ）
が第２表に示されている。The composition of the sintered body is shown in Table 1 and the sintering conditions and the relative density, electrical resistivity and bending Strength (the strength of three-point bending at room temperature, that is, room temperature)
Are shown in Table 2.
（実施例７） 炭化珪素粉末，ホウ化チタン粉末および炭化チタン粉
末の配合量がそれぞれ30g,40gおよび20gとされたことを
除き、実施例１が反復された。Example 7 Example 1 was repeated, except that the amounts of silicon carbide powder, titanium boride powder, and titanium carbide powder were 30 g, 40 g, and 20 g, respectively.
焼結体は、その組成が第１表に示されており、焼結条
件ならびに相対密度，電気比抵抗および曲げ強さ（常温
すなわち室温下における３点曲げの強さ）が第２表に示
されている。The composition of the sintered body is shown in Table 1 and the sintering conditions and the relative density, electrical resistivity and bending strength (three-point bending strength at room temperature, that is, at room temperature) are shown in Table 2. Have been.
（比較例１） 炭化珪素粉末，ホウ化チタン粉末および炭化チタン粉
末の配合量がそれぞれ53g,34gおよび3gとされたことを
除き、実施例１が反復された。(Comparative Example 1) Example 1 was repeated, except that the amounts of silicon carbide powder, titanium boride powder, and titanium carbide powder were 53 g, 34 g, and 3 g, respectively.
焼結体は、その組成が第１表に示されており、焼結条
件ならびに電気抵抗および曲げ強さ（常温すなわち室温
下における３点曲げの強さ）が第２表に示されている。The composition of the sintered body is shown in Table 1, and the sintering conditions, electric resistance and bending strength (three-point bending strength at room temperature, that is, room temperature) are shown in Table 2.
（比較例２） 炭化珪素粉末，ホウ化チタン粉末および炭化チタン粉
末の配合量がそれぞれ51g,4gおよび35gとされたことを
除き、実施例１が反復された。(Comparative Example 2) Example 1 was repeated, except that the amounts of silicon carbide powder, titanium boride powder, and titanium carbide powder were 51 g, 4 g, and 35 g, respectively.
焼結体は、その組成が第１表に示されており、焼結条
件ならびに相対密度，電気比抵抗および曲げ強さ（常温
すなわち室温下における３点曲げの強さ）が第２表に示
されている。The composition of the sintered body is shown in Table 1 and the sintering conditions and the relative density, electrical resistivity and bending strength (three-point bending strength at room temperature, that is, at room temperature) are shown in Table 2. Have been.
第１表および第２表を参照すれば明らかなように、本
発明によれば、焼結体すなわち導電性複合セラミックス
の電気比抵抗を常圧焼結でも10-1Ωcm以下と比較例に比
し小さくできる。また本発明によれば、焼結体すなわち
導電性複合セラミックスの理論相対密度を常圧焼結でも
96％以上とでき、ひいてはその機械的強度を、具体的に
は曲げ強さを630MPa以上と比較例に比し大きくできる。
このため本発明によれば、焼結体すなわち導電性複合セ
ラミックスの放電加工を容易化でき、深度の大きな形状
であっても短時間で加工でき、ひいては高強度および高
靭性を確保できる。As is clear from Tables 1 and 2, according to the present invention, the electrical resistivity of the sintered body, that is, the conductive composite ceramics, is 10 -1 Ωcm or less even at normal pressure sintering, which is lower than that of the comparative example. Can be smaller. Further, according to the present invention, the theoretical relative density of the sintered body, that is, the conductive composite ceramics
It can be made 96% or more, and the mechanical strength, specifically, the bending strength can be made 630 MPa or more, which is larger than that of the comparative example.
For this reason, according to the present invention, electrical discharge machining of a sintered body, that is, a conductive composite ceramics, can be facilitated, machining can be performed in a short time even with a shape having a large depth, and high strength and high toughness can be secured.
なお、上述の実施例においては、炭化珪素粉末の粒径
が0.5μｍとされているが、本発明はこれに限定される
ものではない。しかしながら、焼結体すなわち導電性複
合セラミックスの機械的強度などを考慮すると、炭化珪
素粉末の粒径は、特に１μｍ以下であることが好まし
い。In the above embodiment, the particle size of the silicon carbide powder is 0.5 μm, but the present invention is not limited to this. However, considering the mechanical strength of the sintered body, that is, the conductive composite ceramics, the particle size of the silicon carbide powder is particularly preferably 1 μm or less.
（３）発明の効果 上述より明らかなように、本発明にかかる導電性複合
セラミックスは、 （ｉ）常圧焼結でも電気比抵抗を10-1Ωcm以下に低減で
き、導電性を確保できる効果 を有し、ひいては （ii）放電加工を容易とできる効果 を有し、併せて、 （iii）常圧焼結でも96％以上の理論相対密度を達成で
きる効果 を有し、ひいては （iv）機械的強度を、具体的には曲げ強さを630MPa以上
と大きくでき、かつ高温強度を改善でき、高強度および
高靭性とできる効果 も有する。(3) Effects of the Invention As is clear from the above description, the conductive composite ceramics according to the present invention has the following effects: (i) the electric resistivity can be reduced to 10 -1 Ωcm or less even under normal pressure sintering, and the conductivity can be ensured. And (ii) has the effect of facilitating electrical discharge machining, and (iii) has the effect of achieving a theoretical relative density of 96% or more even under normal pressure sintering. The specific strength, specifically, the bending strength can be increased to 630 MPa or more, the high-temperature strength can be improved, and high strength and high toughness can be obtained.
Claims (1)
チタン粉末および炭化チタン粉末が合計で30〜70重量部
配合され、かつ酸化アルミニウム粉末が２〜15重量部配
合されており、炭化チタン粉末がホウ化チタン粉末およ
び炭化チタン粉末の合計配合量に対し10〜80重量％配合
されてなるセラミックス混合粉末を、不活性ガス雰囲気
下で1800〜2100℃の温度にて焼結することにより作成さ
れてなる導電性複合セラミックス。A titanium boride powder and a titanium carbide powder are combined in a total amount of 30 to 70 parts by weight, and an aluminum oxide powder is mixed in an amount of 2 to 15 parts by weight with respect to 15 to 68 parts by weight of the silicon carbide powder, Sintering a ceramic mixed powder containing 10 to 80% by weight of titanium carbide powder based on the total amount of titanium boride powder and titanium carbide powder at a temperature of 1800 to 2100 ° C in an inert gas atmosphere Conductive composite ceramics produced by
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1093556A JP2745062B2 (en) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | Conductive composite ceramics |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1093556A JP2745062B2 (en) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | Conductive composite ceramics |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02271965A JPH02271965A (en) | 1990-11-06 |
| JP2745062B2 true JP2745062B2 (en) | 1998-04-28 |
Family
ID=14085525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1093556A Expired - Lifetime JP2745062B2 (en) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | Conductive composite ceramics |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2745062B2 (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6126566A (en) * | 1984-07-17 | 1986-02-05 | 株式会社ノリタケカンパニーリミテド | Method of sintering sic composite body |
| JPS6445755A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-20 | Hitachi Ltd | Ceramic dull roll for rolling, its production and rolling mill using said roll |
-
1989
- 1989-04-13 JP JP1093556A patent/JP2745062B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02271965A (en) | 1990-11-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2524816B2 (en) | Silicon carbide composite sintered body | |
| JP2847818B2 (en) | Conductive zirconia sintered body and method for producing the same | |
| JP2745062B2 (en) | Conductive composite ceramics | |
| JP2820735B2 (en) | Method for preparing silicon carbide sintered body | |
| JP2808637B2 (en) | Conductive zirconia sintered body | |
| JP2934278B2 (en) | Silicon carbide conductive ceramics | |
| JP2639955B2 (en) | Conductive silicon carbide sintered porous material used for filters, etc. | |
| JPH05345673A (en) | Electrically conductive silicon carbide composite ceramic | |
| JPH0822776B2 (en) | Ceramic composite sintered body | |
| JP2520710B2 (en) | Ceramic heating element | |
| JPH02289464A (en) | Electrically conductive ceramics | |
| JPH0735300B2 (en) | Silicon carbide sintered body | |
| JPS63392B2 (en) | ||
| JPH054869A (en) | Silicon carbide-based electrically conductive composite ceramic | |
| JPH0753256A (en) | Aluminous composite sintered compact and its production | |
| JPH0712980B2 (en) | Silicon carbide sintered body and method for producing the same | |
| JPH0826827A (en) | Electrically conductive reactional silicon carbide sintered compact, its production and use | |
| JPH05330925A (en) | Conductive composite ceramics | |
| JPH0610106B2 (en) | Variable conductivity ZrB2 composite sintered body | |
| JP3662628B2 (en) | Silicon nitride-based sintered body and method for producing the same | |
| JPH04144964A (en) | Silicon carbide-based electrically conductive composite material | |
| JPH01188473A (en) | Silicon carbide-based sintered body | |
| JPS63282162A (en) | Silicon carbide type sintered body and electrical-discharge machined body thereof | |
| JPH05294726A (en) | Silicon carbide-based combined sintered compact | |
| JP2947718B2 (en) | Method for producing silicon nitride based sintered body |