JP2743048B2 - ウエハカセットの回転幅寄せ移動装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば第５図で示す
ような浸漬型基板処理装置１００のカセットバッファ停
留部１０１に設けられるウエハカセットの回転幅寄せ移
動装置に関するものである。

【０００２】

【技術の背景】上記浸漬型基板処理装置１００は、カセ
ットバッファ停留部１０１と、複数の基板浸漬処理槽３
及びスピンドライヤ４を有する基板処理部１０２と、後
続のカセット返送停留部１０３と、多数の半導体ウエハ
を収容したウエハカセット２を２個一組として同時に搬
送する搬送ロボット（図示せず）とを具備して成る。上
記ウエハカセット２は、カセット自動搬送装置（以下Ａ
ＧＶという）等により順次基板処理装置１００へ搬入及
び排出され、図示しない搬送ロボットによりＡＧＶとカ
セットバッファ停留部１０１との間で、受け渡される。
なお、図５中の矢印はウエハカセット２の搬送経路を示
す。

【０００３】このカセットバッファ停留部１０１では、
図６で示す回転幅寄せ移動装置１１０により、一対のウ
エハカセット２・２を接近させるとともに、その向きを
前記スピンドライヤ４等の受入姿勢に整列配置する。次
いでウエハカセット２は、各基板浸漬処理槽３・３に順
次浸漬され、基板の表面処理がなされる。最後にスピン
ドライヤ４で水切り乾燥され、カセット返送停留部１０
３を経てもとのカセットバッファ停留部１０１に返送さ
れる。そしてウエハカセット２は、図示しない搬送ロボ
ットによりカセットバッファ停留部１０１からＡＧＶへ
移載され、これにより２４時間、無人で基板の表面処理
がなされる。

【０００４】

【従来の技術】この種のウエハカセットの回転幅寄せ移
動装置としては、従来より例えば上述したような図６で
示すものが知られている。この従来例は、それぞれウエ
ハカセット２を載置して回動可能に設けられた一対のカ
セット回転台１１１・１１１と、各カセット回転台１１
１をそれぞれ回動させるロータリーアクチュエータ１１
４と、各カセット回転台１１１をそれぞれ回動可能に支
持するとともに、相互に接近・離反可能に設けられた一
対の幅寄せテーブル１２０・１２０と、これらの幅寄せ
テーブル１２０・１２０を図６中の矢印Ａ方向に相互に
接近・離反させる幅寄せ手段１２４と、上記Ａ方向と交
差するＢ方向に移動自在に設けられ、上記一対の幅寄せ
テーブル１２０・１２０を搭載した移動テーブル１４０
と、上記移動テーブル１４０を所定距離Ｌだけ往復移動
させるテーブル移動手段１４５とを具備して成り、一対
のウエハカセット２・２を相互に接近させるとともに、
その向きを前記スピンドライヤ４等の受入姿勢に整列配
置するように構成されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例は、カセッ
ト回転台１１１をロータリーアクチュエータ１１４で回
動させる構成を採用するとともに、幅寄せ手段１２４と
して、一対の幅寄せテーブル１２０・１２０を平行リン
ク機構１２５で相互に連結し、一方の幅寄せテーブル１
２０をエアシリンダ１３０で幅寄せ駆動する構成を採用
することから、それぞれ駆動源１１４・１３０が必要
で、場合によりカセット回転台１１１の回転位置の確認
及び幅寄せテーブル１２０の幅寄せ位置の確認手段が必
要になる。本発明はこのような事情を考慮してなされた
もので、上記駆動源１１４・１３０を無くするととも
に、カセット回転台の回転位置や幅寄せテーブルの幅寄
せ位置の確認を不要にして、当該装置の信頼性を高める
ことを技術課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するものとして、以下のように構成される。即ち、それ
ぞれウエハカセットを載置して回動可能に設けられた一
対のカセット回転台と、上記一対のカセット回転台をそ
れぞれ回動させる回動手段と、上記一対のカセット回転
台を特定方向に相互に接近・離反させる幅寄せ手段と、
上記特定方向と直交する方向に移動自在に設けられ、上
記一対のカセット回転台を搭載した移動テーブルと、上
記移動テーブルを所定距離だけ往復移動させるテーブル
移動手段とを具備して成るウエハカセットの回転幅寄せ
移動装置において、上記幅寄せ手段は、上記移動テーブ
ルの往復移動に連動して上記一対のカセット回転台を一
定距離だけ接近・離反するガイド機構を具備して成り、
上記各回動手段は、上記各カセット回転台の幅寄せ移動
に連動して各カセット回転台を所定回転角だけ回動する
スライダークランク機構を具備して成ることを特徴とす
るものである。

【０００７】

【作 用】本発明は上記構成により以下のように作用す
る。一対のカセット回転台を搭載した移動テーブルは、
テーブル移動手段により移動させられて所定距離だけ往
復移動する。このとき幅寄せ手段のガイド機構は、移動
テーブルの往復移動に連動して一対のカセット回転台を
一定距離だけ接近・離反させる。さらにこのとき、各カ
セット回転台は、その幅寄せ移動に連動するスライダー
クランク機構により所定回転角だけ回動される。つま
り、移動テーブルが所定距離だけ移動する間に、一対の
ウエハカセットは接近するとともに、その向きが前記ス
ピンドライヤ等の受入姿勢に整列配置される。これによ
り、従来例のような駆動源は不要になり、カセット回転
台の回転位置の確認及び幅寄せテーブルの幅寄せ位置の
確認も不要になる。

【０００８】

【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいてさらに
詳しく説明する。図１は本発明の第１の実施例に係るウ
エハカセットの回転幅寄せ移動装置を模式的に示す平面
図、図２はその回転幅寄せ移動装置を移動方向Ｂに対向
する正面より見た縦断正面図、図３はその回転幅寄せ移
動装置の縦断側面図である。なお、符号１０は回転幅寄
せ移動装置全体を示す。

【０００９】この第１の実施例に係る回転幅寄せ移動装
置１０は、図１で示すように、それぞれウエハカセット
２を載置する一対のカセット回転台１１・１１と、上記
一対のカセット回転台１１・１１をそれぞれ回動させる
回動手段１４・１４と、上記各カセット回転台１１・１
１をそれぞれ回動可能に支持するとともに、矢印Ａ方向
へ相互に接近・離反可能に設けられた一対の幅寄せテー
ブル２０・２０と、これら一対の幅寄せテーブル２０・
２０を相互に接近・離反させる幅寄せ手段２４と、上記
矢印Ａ方向と直交するＢ方向に移動自在に設けられ、上
記一対の幅寄せテーブル２０・２０を搭載した移動テー
ブル４０と、上記移動テーブル４０を所定距離Ｌだけ往
復移動させるテーブル移動手段４５とを具備して成る。

【００１０】上記移動テーブル４０は、図２及び図３で
示すように、基枠５０に左右一対の走行レール５１・５
１を設け、この走行レール５１・５１上を前後Ｂ方向へ
所定距離Ｌだけ水平移動可能に設けられている。また上
記テーブル移動手段４５は、図３で示すように、基枠５
０の後壁に設けられた駆動モータ４６と、この駆動モー
タ４６により図外の減速器を介して駆動される駆動プー
リ４７ａ及び従動プーリ４７ｂと、駆動プーリ４７ａと
従動プーリ４７ｂに巻掛けられた無端伝動ベルト４８と
から成り、この無端伝動ベルト４８に移動テーブル４０
の連結金具４９を連結して、移動テーブル４０をＢ方向
へ所定距離Ｌだけ往復移動させるように構成されてい
る。

【００１１】上記移動テーブル４０の後部には、図３で
示すように、一対の昇降ガイドレール４１・４１のレー
ル支持枠４２が立設され、この昇降ガイドレール４１・
４１に沿って昇降架台４３が昇降可能に設けられてい
る。なお、この図中の符号４４は昇降架台４３を昇降す
るエアシリンダである。上記一対の幅寄せテーブル２０
・２０は、上記昇降架台４３の上面に固設された幅寄せ
ガイドレール２１上を矢印Ａ方向へ移動可能に設けら
れ、以下詳述する幅寄せ手段２４により所定距離Ｋだけ
相互に接近・離反するように構成されている。

【００１２】上記幅寄せ手段２４は、図１及び図２で示
すように、上記一対の幅寄せテーブル２０・２０を相互
に連結する平行リンク機構２５と、この平行リンク機構
２５を上記移動テーブル４０の移動に連動させて作動さ
せるガイド機構３０とから成る。上記平行リンク機構２
５は、上記移動テーブル４０上に軸受５２を介して立設
され、上記昇降架台４３を貫通して回動自在に枢支され
た回動軸２６と、回動軸２６に対してその中央部がスプ
ライン嵌合された揺動レバー２７と、その一端部が上記
幅寄せテーブル２０・２０の内辺部にピン結合され、他
端部が揺動レバー２７の端部にピン結合された一対の平
行リンク２８・２８とから成り、上記回動軸２６を所定
角度、例えば図１に示すように約９０度回転させること
により、揺動レバー２７及び一対の平行リンク２８・２
８を介して、上記図１の実線で示す離間位置から仮想線
で示す幅寄せ位置へと上記幅寄せテーブル２０・２０を
幅寄せするように構成されている。

【００１３】上記ガイド機構３０は、図１及び図２で示
すように、移動テーブル４０を貫通する上記回動軸２６
の下端部に固定された揺動アーム３１と、この揺動アー
ム３１の先端部に付設されたカムフォロア３２と、前記
基枠５０の一側壁にカム支持金具３４を介して固定され
た幅寄せカム３３と、上記揺動レバー２７に設けられ、
回動軸２６を介してカムフォロア３２を幅寄せカム３３
のカム面に押圧付勢する図１中の付勢バネ３５とから成
り、上記移動テーブル４０を上記の離間位置から幅寄せ
位置まで所定距離ＬだけＢ方向へ移動させることによ
り、カムフォロア３２が幅寄せカム３３のカム面に追随
して、上記平行リンク機構２５の回動軸２６を約９０度
回動させるように構成されている。これにより、上記一
対の幅寄せテーブル２０・２０は、上記移動テーブル４
０を所定距離ＬだけＢ方向へ移動させたとき、所定距離
Ｋだけ接近・離反する。

【００１４】ウエハカセット２を載置する一対のカセッ
ト回転台１１・１１は、図１〜図３で示すように、それ
ぞれ幅寄せテーブル２０上に支軸１２及び軸受１３を介
して回動可能に軸支され、カセット回動手段１４である
スライダークランク機構１５によって、所定回転角だけ
回動されるように構成されている。上記スライダークラ
ンク機構１５は、上記支軸１２の下端部に固定された回
動アーム１６と、この回動アーム１６の先端部に付設さ
れたスライドローラ１７と、前記昇降架台４３の下面に
固設され、スライドローラ１７をそのガイド溝１８ａに
よってガイドするガイド部材１８とからなり、上記幅寄
せテーブル２０が所定距離Ｋだけ移動して接近する間
に、カセット回転台１１の向きが１/４回転するように構
成されている。これにより、一対のウエハカセット２・
２は、その向きが相互に反対向きとなり、前記スピンド
ライヤ４等の受入姿勢に整列配置されることになる。

【００１５】以下本実施例装置の動作について説明す
る。先ず、前記ＡＧＶ等により搬入されてきたウエハカ
セット２を、図示しない搬送ロボットによりＡＧＶから
回転幅寄せ移動装置１０へ移載する。なお、上記カセッ
ト回転台１１は、図２中の矢印Ｃで示すように、前記エ
アシリンダ４４で昇降架台４３を上昇させることによ
り、あらかじめ仮想線で示す上昇位置に位置させてお
く。

【００１６】一対の幅寄せテーブル２０・２０を搭載し
た移動テーブル４０は、前記テーブル移動手段４５によ
り移動させられて矢印Ｂ方向へ所定距離Ｌだけ移動す
る。このとき、幅寄せ手段２４を構成するガイド機構３
０のカムフォロア３２が幅寄せカム３３のカム面に追随
して、同じく幅寄せ手段２４を構成する平行リンク機構
２５の回動軸２６を約９０度回転させる。これにより、
上記幅寄せテーブル２０・２０は、揺動レバー２７及び
一対の平行リンク２８・２８を介して、上記図１の左側
に実線で示す離間位置から同図右側に仮想線で示す幅寄
せ位置へ移動する。

【００１７】このときカセット回転台１１は、スライダ
ークランク機構１５により、上記一対の幅寄せテーブル
２０の幅寄せ移動に連動して１/４回転する。即ち、移
動テーブル４０が所定距離Ｌだけ移動する間に、一対の
ウエハカセット２・２は接近するとともに、その向きが
前記スピンドライヤ４等の受入姿勢に整列配置される。
これにより、従来例のような駆動源は不要になり、カセ
ット回転台の回転位置の確認及び幅寄せテーブルの幅寄
せ位置の確認も不要になる。

【００１８】図４は本発明の第２の実施例を模式的に示
す図１相当図である。この実施例装置では、幅寄せ手段
２４がガイド機構６０のみから成り、このガイド機構６
０は、移動テーブル４０の下側で幅寄せテーブル２０と
一体に移動するアーム６１と、このアーム６１の先端部
に付設されたカムフォロア６２と、二等辺三角形をなす
幅寄せカム６３と、一対の幅寄せテーブル２０・２０を
相互に引き寄せるとともに、カムフォロア６２を幅寄せ
カム６３のカム面に押圧付勢する付勢バネ６４とから成
り、第１の実施例と同様、移動テーブル４０を実線で示
す位置と仮想線で示す位置との間を往復移動させること
により、カムフォロア６２が幅寄せカム６３のカム面に
追随して、一対の幅寄せテーブル２０・２０が、所定距
離だけ接近・離反するように構成されている。

【００１９】また、この実施例装置では、一対のカセッ
ト回転台１１・１１を回動させる各スライダークランク
機構１５・１５の各ガイド溝１８ａ・１８ａは、相互に
点対称位置となるように配置され、移動テーブル４０の
移動に伴って、一対の幅寄せテーブル２０・２０が所定
距離だけ接近することにより、一対のウエハカセット２
・２の向きが同一向きになるように構成されている。こ
れは、前記スピンドライヤ４等が異なる受入姿勢を有す
る場合に、これに適合させることを意図したものであ
る。

【００２０】上記第１〜第３の実施例において、スライ
ダークランク機構１５の回動アーム１６に付勢バネを介
在させて、スライドローラ１７とガイド溝１８ａとの遊
動隙間を極力無くして、正確な回転位置を再現するよう
にしても良い。その他、幅寄せテーブルやカセット回転
台の形状についても、適宜変更を加えて実施し得ること
は多言を要しない。

【００２１】

【発明の効果】本発明では、一対のカセット回転台を一
定距離だけ接近・離反させる幅寄せ手段が、移動テーブ
ルの往復移動に連動するガイド機構を備え、一対のカセ
ット回転台を所定回転角だけ回動させる手段が、その幅
寄せ移動に連動するスライダークランク機構を備えるの
で、従来例のような駆動源は不要になり、カセット回転
台の回転位置の確認及び幅寄せテーブルの幅寄せ位置の
確認も不要になる。これにより、装置の信頼性が向上す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係るウエハカセットの
回転幅寄せ移動装置を模式的に示す平面図である。

【図２】図１の回転幅寄せ移動装置を移動方向Ｂに対向
する正面より見た縦断正面図である。

【図３】図１の回転幅寄せ移動装置の縦断側面図であ
る。

【図４】本発明の第２の実施例に係るウエハカセットの
回転幅寄せ移動装置を模式的に示す平面図である。

【図５】本発明の利用分野を示す浸漬型基板処理装置の
概要図である。

【図６】従来例に係るウエハカセットの回転幅寄せ移動
装置を模式的に示す平面図である。

【符号の説明】

２…ウエハカセット、 １１…カセット回転台、１４
…回動手段、 １５…スライダークランク機
構、２４…幅寄せ手段、 ３０・６０…ガイド機
構、４０…移動テーブル、 ４５…テーブル移動手
段。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれウエハカセットを載置して回動
   可能に設けられた一対のカセット回転台と、 前記一対のカセット回転台をそれぞれ回動させる回動手
   段と、 前記一対のカセット回転台を特定方向に相互に接近・離
   反させる幅寄せ手段と、前記特定方向と直交する方向に
   移動自在に設けられ、前記一対のカセット回転台を搭載
   した移動テーブルと、 前記移動テーブルを所定距離だけ往復移動させるテーブ
   ル移動手段とを具備して成るウエハカセットの回転幅寄
   せ移動装置において、 前記幅寄せ手段は、前記移動テーブルの往復移動に連動
   して前記一対のカセット回転台を一定距離だけ接近・離
   反するガイド機構を具備して成り、 前記各回動手段は、前記各カセット回転台の幅寄せ移動
   に連動して各カセット回転台を所定回転角だけ回動する
   スライダークランク機構を具備して成ることを特徴とす
   るウエハカセットの回転幅寄せ移動装置。