JP2742399B2 - フィルタ機能付逆止弁 - Google Patents
フィルタ機能付逆止弁Info
- Publication number
- JP2742399B2 JP2742399B2 JP15257295A JP15257295A JP2742399B2 JP 2742399 B2 JP2742399 B2 JP 2742399B2 JP 15257295 A JP15257295 A JP 15257295A JP 15257295 A JP15257295 A JP 15257295A JP 2742399 B2 JP2742399 B2 JP 2742399B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- valve body
- filter
- valve seat
- purge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Check Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、半導体製造工程等で
使用されるフィルタ機能を有する逆止弁に関するもので
ある。
使用されるフィルタ機能を有する逆止弁に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体製造工程において、ホ
トレジスト加工のエッチング等に腐食性ガスが使用され
ている。ホトレジスト加工（ホトレジスト塗布、露光、
現像、エッチング）は、半導体製造工程において腐食性
ガスの種類を変えて複数回繰り返されるため、実際の半
導体製造工程では、複数種類の腐食ガスを必要に応じて
供給するガス供給のためのマスフローユニットが使用さ
れている。マスフローユニットとは、本出願人らが特開
平６−２４１４００号で提案したガス供給装置である。
すなわち、マスフローユニットには、流量を正確に計測
するためのマスフローコントローラと、マスフローコン
トローラ内に腐食性ガス等の供給ガスを残留させないた
めにマスフローコントローラの前後に設けられる入口開
閉弁、出口開閉弁、及びパージ弁が一体化されている。
トレジスト加工のエッチング等に腐食性ガスが使用され
ている。ホトレジスト加工（ホトレジスト塗布、露光、
現像、エッチング）は、半導体製造工程において腐食性
ガスの種類を変えて複数回繰り返されるため、実際の半
導体製造工程では、複数種類の腐食ガスを必要に応じて
供給するガス供給のためのマスフローユニットが使用さ
れている。マスフローユニットとは、本出願人らが特開
平６−２４１４００号で提案したガス供給装置である。
すなわち、マスフローユニットには、流量を正確に計測
するためのマスフローコントローラと、マスフローコン
トローラ内に腐食性ガス等の供給ガスを残留させないた
めにマスフローコントローラの前後に設けられる入口開
閉弁、出口開閉弁、及びパージ弁が一体化されている。
【０００３】図３に従来のマスフローユニットを示す。
入口開閉弁４３、パージ弁４２、マスフローコントロー
ラ４１、及び図示しない出口開閉弁によりマスフローユ
ニットが構成されている。ここで、パージ弁４２は、マ
スフローコントローラ内に残留する供給ガスを排除する
ための置換ガスである窒素ガスを供給するためのもので
ある。従って、パージ弁４２の入口ポートは、図４のパ
ージブロック２２、パージパイプ２３、逆止弁２１を介
して、パージガス共通流路２４に接続している。ここ
で、管路上に逆止弁２１を取り付けているのは、腐食ガ
ス等である供給ガスが、パージガス共通流路２４に逆流
するのを防止するためである。腐食ガスがパージガス共
通流路２４に逆流した場合に、パージガス共通流路２４
の内部が腐食され、パーティクルが発生する恐れがある
からである。
入口開閉弁４３、パージ弁４２、マスフローコントロー
ラ４１、及び図示しない出口開閉弁によりマスフローユ
ニットが構成されている。ここで、パージ弁４２は、マ
スフローコントローラ内に残留する供給ガスを排除する
ための置換ガスである窒素ガスを供給するためのもので
ある。従って、パージ弁４２の入口ポートは、図４のパ
ージブロック２２、パージパイプ２３、逆止弁２１を介
して、パージガス共通流路２４に接続している。ここ
で、管路上に逆止弁２１を取り付けているのは、腐食ガ
ス等である供給ガスが、パージガス共通流路２４に逆流
するのを防止するためである。腐食ガスがパージガス共
通流路２４に逆流した場合に、パージガス共通流路２４
の内部が腐食され、パーティクルが発生する恐れがある
からである。
【０００４】逆止弁２１の構造を図４に断面図で示す。
これは、実公平３−５９７、実公平３−５９８で開示さ
れている逆止弁である。外周に雄ネジが形成された雄ネ
ジ本体２５と、内周に雌ネジが形成された雌ネジ本体２
６とがネジ部で締結されている。雄ネジ本体２５と雌ネ
ジ本体２６とで形成される中空部には、樹脂製のガイド
２７が固設されている。ガイド２７の内側には、ピスト
ン弁体２８が摺動可能に嵌合されている。また、雄ネジ
本体２５の段部には、弾性体からなる弁座３０が固設さ
れている。弁座３０の中心孔は、入力ポート３１に連通
している。ピストン弁体２８には、弁座３０と当接して
流路を遮断する弁体部２８ａが形成されている。ピスト
ン弁体２８の中空部には、弁体部２８ａが弁座３０に当
接する方向にピストン弁体２８を付勢する復帰バネ２９
が装着されている。また、雌ネジ本体２６の中心には、
出力ポート３２が穿設されている。
これは、実公平３−５９７、実公平３−５９８で開示さ
れている逆止弁である。外周に雄ネジが形成された雄ネ
ジ本体２５と、内周に雌ネジが形成された雌ネジ本体２
６とがネジ部で締結されている。雄ネジ本体２５と雌ネ
ジ本体２６とで形成される中空部には、樹脂製のガイド
２７が固設されている。ガイド２７の内側には、ピスト
ン弁体２８が摺動可能に嵌合されている。また、雄ネジ
本体２５の段部には、弾性体からなる弁座３０が固設さ
れている。弁座３０の中心孔は、入力ポート３１に連通
している。ピストン弁体２８には、弁座３０と当接して
流路を遮断する弁体部２８ａが形成されている。ピスト
ン弁体２８の中空部には、弁体部２８ａが弁座３０に当
接する方向にピストン弁体２８を付勢する復帰バネ２９
が装着されている。また、雌ネジ本体２６の中心には、
出力ポート３２が穿設されている。
【０００５】次に、上記構成を有する逆止弁２１の作用
を説明する。出力ポート３２の下流に付設されているパ
ージ弁４２が開かれると、出力ポート３２内の窒素ガス
がパージ弁４２に流れ、出力ポート３２の圧力が低下す
る。そして、入力ポート３１の圧力により、復帰バネ２
９が押し戻されてピストン弁体２８が右方向に移動し、
弁体部２８ａが弁座３０から離間する。これにより、窒
素ガスが弁座３０、ピストン弁体２８に形成された側面
孔２８ｂ、ピストン弁体２８の中空部を通って、出力ポ
ート３２へ流れる。
を説明する。出力ポート３２の下流に付設されているパ
ージ弁４２が開かれると、出力ポート３２内の窒素ガス
がパージ弁４２に流れ、出力ポート３２の圧力が低下す
る。そして、入力ポート３１の圧力により、復帰バネ２
９が押し戻されてピストン弁体２８が右方向に移動し、
弁体部２８ａが弁座３０から離間する。これにより、窒
素ガスが弁座３０、ピストン弁体２８に形成された側面
孔２８ｂ、ピストン弁体２８の中空部を通って、出力ポ
ート３２へ流れる。
【０００６】ここで、出力ポート３２側で窒素ガスが逆
流しようとする場合、逆流してきた窒素ガスにより、ピ
ストン弁体２８が左方向に付勢され、弁体部２８ａが弁
座３０に当接して窒素ガスの逆流を遮断する。次に、パ
ージ弁４２が閉じられると、出力ポート３２内の窒素ガ
スの圧力が高まり、復帰バネ２９によりピストン弁体２
８が左方向に付勢され、弁体部２８ａが弁座３０に当接
して窒素ガスの流れを遮断する。
流しようとする場合、逆流してきた窒素ガスにより、ピ
ストン弁体２８が左方向に付勢され、弁体部２８ａが弁
座３０に当接して窒素ガスの逆流を遮断する。次に、パ
ージ弁４２が閉じられると、出力ポート３２内の窒素ガ
スの圧力が高まり、復帰バネ２９によりピストン弁体２
８が左方向に付勢され、弁体部２８ａが弁座３０に当接
して窒素ガスの流れを遮断する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
逆止弁２１には次のような問題点があった。すなわち、
ピストン弁体２８がガイド２７と接触しながら摺動する
ため、摺動する部分からパーティクルが発生する問題が
あった。そして、発生したパーティクルは、窒素ガスと
共にマスフローコントローラ４１内に侵入し、マスフロ
ーコントローラ４１内の細管を詰まらせる等のトラブル
が発生する恐れがあった。また、逆止弁２１を取り付け
るためにパージパイプ２３等を接続しているが、パイプ
を接続するための溶接部でパーティクルが発生する問題
があった。
逆止弁２１には次のような問題点があった。すなわち、
ピストン弁体２８がガイド２７と接触しながら摺動する
ため、摺動する部分からパーティクルが発生する問題が
あった。そして、発生したパーティクルは、窒素ガスと
共にマスフローコントローラ４１内に侵入し、マスフロ
ーコントローラ４１内の細管を詰まらせる等のトラブル
が発生する恐れがあった。また、逆止弁２１を取り付け
るためにパージパイプ２３等を接続しているが、パイプ
を接続するための溶接部でパーティクルが発生する問題
があった。
【０００８】本発明は、上記した問題点を解決するもの
であり、パージガスである窒素ガスの中にパーティクル
を含ませる恐れのない逆止弁を提供することを目的とす
る。
であり、パージガスである窒素ガスの中にパーティクル
を含ませる恐れのない逆止弁を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のフィルタ機能付逆止弁は、以下の様な構成
を有している。 （１）流路上に形成された弁座と、流体が順方向に流れ
るとき該弁座と離間して流体を通過させ、流体が逆方向
に流れようとするとき該弁座と当接して流体を遮断する
弁体と、弁体を弁座に当接する方向に付勢する復帰バネ
とを有する逆止弁であって、フィルタ材料から成り一端
に開口部を備える中空筒形状の弁本体と、弁本体の開口
部に形成された弁座と、弁座と当接または離間する弁体
を備え弁本体に摺動可能に嵌合されたピストン弁体と、
弁座と連通する入力ポートと、弁本体の中空筒の側面に
形成された出力ポートとを有している。
に、本発明のフィルタ機能付逆止弁は、以下の様な構成
を有している。 （１）流路上に形成された弁座と、流体が順方向に流れ
るとき該弁座と離間して流体を通過させ、流体が逆方向
に流れようとするとき該弁座と当接して流体を遮断する
弁体と、弁体を弁座に当接する方向に付勢する復帰バネ
とを有する逆止弁であって、フィルタ材料から成り一端
に開口部を備える中空筒形状の弁本体と、弁本体の開口
部に形成された弁座と、弁座と当接または離間する弁体
を備え弁本体に摺動可能に嵌合されたピストン弁体と、
弁座と連通する入力ポートと、弁本体の中空筒の側面に
形成された出力ポートとを有している。
【００１０】（２）（１）に記載するものにおいて、前
記弁本体が、前記出力ポートが形成された第一流路ブロ
ックに穿設された孔に嵌合して固定され、前記弁座が、
前記第一ブロックと着脱可能で前記入力ポートが形成さ
れた第二ブロックに備えられていることを特徴とする。 （３）（１）または（２）に記載するものにおいて、前
記弁座が、前記弁本体と一体的に連結されていることを
特徴とする。
記弁本体が、前記出力ポートが形成された第一流路ブロ
ックに穿設された孔に嵌合して固定され、前記弁座が、
前記第一ブロックと着脱可能で前記入力ポートが形成さ
れた第二ブロックに備えられていることを特徴とする。 （３）（１）または（２）に記載するものにおいて、前
記弁座が、前記弁本体と一体的に連結されていることを
特徴とする。
【００１１】
【作用】上記の構成を有する本発明のフィルタ機能付逆
止弁のピストン弁体は、流体が順方向に流れるとき、弁
本体の中空部内を、流体の圧力により復帰バネに抗して
弁体が弁座と離間する方向に移動する。これにより、入
力ポートにある流体が弁体と弁座との隙間を通って出力
ポートへ流れる。また、ピストン弁体は、流体が逆方向
に流れようとするとき、弁本体の中空部内を、流体の圧
力により弁体が弁座と当接する方向に移動する。これに
より、入力ポートと出力ポートとは遮断される。ここ
で、復帰バネは、ピストン弁体を弁体が弁座に当接する
方向に常に付勢している。これにより、流体が一定圧力
以下の場合には、弁体は弁座に当接し入力ポートと出力
ポートとを遮断している。
止弁のピストン弁体は、流体が順方向に流れるとき、弁
本体の中空部内を、流体の圧力により復帰バネに抗して
弁体が弁座と離間する方向に移動する。これにより、入
力ポートにある流体が弁体と弁座との隙間を通って出力
ポートへ流れる。また、ピストン弁体は、流体が逆方向
に流れようとするとき、弁本体の中空部内を、流体の圧
力により弁体が弁座と当接する方向に移動する。これに
より、入力ポートと出力ポートとは遮断される。ここ
で、復帰バネは、ピストン弁体を弁体が弁座に当接する
方向に常に付勢している。これにより、流体が一定圧力
以下の場合には、弁体は弁座に当接し入力ポートと出力
ポートとを遮断している。
【００１２】入力ポートと出力ポートとの間には、弁本
体を構成するフィルタが存在するので、入力ポート及び
ピストン弁体の摺動部から出力ポートへ流れる流体は、
必ずフィルタを通過する。そのため、摺動部で発生した
パーティクルはフィルタにより除去され、出力ポートに
パーティクルが流れ込むことが防止される。また、逆止
弁全体がパージ弁を取り付ける第一流路ブロックに組み
込まれているので、パイプ等でパーティクルが発生する
ことがない。また、入力ポート及び弁座が第二流路ブロ
ックに形成されており、弁座が弁本体とかしめ加工によ
り一体的に連結されているので、第一流路ブロックを第
二流路ブロックから取り外すことにより、容易にフィル
タ全体を交換することができる。
体を構成するフィルタが存在するので、入力ポート及び
ピストン弁体の摺動部から出力ポートへ流れる流体は、
必ずフィルタを通過する。そのため、摺動部で発生した
パーティクルはフィルタにより除去され、出力ポートに
パーティクルが流れ込むことが防止される。また、逆止
弁全体がパージ弁を取り付ける第一流路ブロックに組み
込まれているので、パイプ等でパーティクルが発生する
ことがない。また、入力ポート及び弁座が第二流路ブロ
ックに形成されており、弁座が弁本体とかしめ加工によ
り一体的に連結されているので、第一流路ブロックを第
二流路ブロックから取り外すことにより、容易にフィル
タ全体を交換することができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例である逆
止弁について、図面を参照して説明する。図１にフィル
タ付逆止弁１１の構造を、パージ弁ブロック１５に組み
込まれた状態で示す。また、図２にフィルタ付逆止弁１
１の構造を分解斜視図で示す。第一流路ブロックである
パージ弁ブロック１５に穿設された孔に、セラミック、
ステンレス等の材質からなるフィルタ弁本体１２が嵌合
されている。フィルタ弁本体１２は、図２に示すよう
に、一端に開口部を有する中空筒形状をしている。フィ
ルタ弁本体１２の中空部には、ピストン弁体１３が摺動
可能に嵌合している。ピストン弁体１３は、フィルタ弁
本体１２と嵌合して摺動するピストン部１３ｂと、弁体
部１３ａとを備えている。
止弁について、図面を参照して説明する。図１にフィル
タ付逆止弁１１の構造を、パージ弁ブロック１５に組み
込まれた状態で示す。また、図２にフィルタ付逆止弁１
１の構造を分解斜視図で示す。第一流路ブロックである
パージ弁ブロック１５に穿設された孔に、セラミック、
ステンレス等の材質からなるフィルタ弁本体１２が嵌合
されている。フィルタ弁本体１２は、図２に示すよう
に、一端に開口部を有する中空筒形状をしている。フィ
ルタ弁本体１２の中空部には、ピストン弁体１３が摺動
可能に嵌合している。ピストン弁体１３は、フィルタ弁
本体１２と嵌合して摺動するピストン部１３ｂと、弁体
部１３ａとを備えている。
【００１４】弁体部１３ａの上端は開口しており、その
中空部１２ａには、コイルバネである復帰バネ１９が装
着されている。パージ弁ブロック１５は、第二流路ブロ
ックであるパージ共通流路ブロック３５に図示しないボ
ルトにより着脱自在に取り付けられている。パージ共通
流路ブロック３５には、ゴム製の弁座１４が装着されて
いる。本実施例では、弁座１４は、フィルタ弁本体１２
にかしめ加工により連結されている。復帰バネ１９は、
弁体部１３ａが弁座１４に当接する方向にピストン弁体
１３を付勢している。弁座１４の中央孔は、入力ポート
１８を介してパージ用ガスである窒素ガスの共通流路３
４に連通している。フィルタ弁本体１２の側面には、出
力ポート１７が形成されている。一方、パージ弁ブロッ
ク１５の上には、パージ弁４２が取り付けられている。
出力ポート１７は、パージ弁４２の入力ポートに接続し
ている。また、パージ弁４２の出力ポートは、パージ弁
ブロック１５に形成されたパージ流路３３に接続してい
る。
中空部１２ａには、コイルバネである復帰バネ１９が装
着されている。パージ弁ブロック１５は、第二流路ブロ
ックであるパージ共通流路ブロック３５に図示しないボ
ルトにより着脱自在に取り付けられている。パージ共通
流路ブロック３５には、ゴム製の弁座１４が装着されて
いる。本実施例では、弁座１４は、フィルタ弁本体１２
にかしめ加工により連結されている。復帰バネ１９は、
弁体部１３ａが弁座１４に当接する方向にピストン弁体
１３を付勢している。弁座１４の中央孔は、入力ポート
１８を介してパージ用ガスである窒素ガスの共通流路３
４に連通している。フィルタ弁本体１２の側面には、出
力ポート１７が形成されている。一方、パージ弁ブロッ
ク１５の上には、パージ弁４２が取り付けられている。
出力ポート１７は、パージ弁４２の入力ポートに接続し
ている。また、パージ弁４２の出力ポートは、パージ弁
ブロック１５に形成されたパージ流路３３に接続してい
る。
【００１５】次に、上記構成を有するフィルタ付逆止弁
１１の作用を説明する。パージ弁４２が開かれると、出
力ポート１７内の窒素ガスがパージ弁４２を介してパー
ジ流路３３に流れ、出力ポート１７の圧力が低下する。
そして、入力ポート１８の圧力により、復帰バネ１９が
押し戻されてピストン弁体１３が上方向に移動し、弁体
部１３ａが弁座１４から離間する。これにより、窒素ガ
スが弁座１４、フィルタ弁本体１２が出力ポート１７を
塞ぐ位置にあるフィルタ部１２ａを通過して出力ポート
１７に流れ、さらにパージ弁４２を通ってパージ流路３
３へ流れる。
１１の作用を説明する。パージ弁４２が開かれると、出
力ポート１７内の窒素ガスがパージ弁４２を介してパー
ジ流路３３に流れ、出力ポート１７の圧力が低下する。
そして、入力ポート１８の圧力により、復帰バネ１９が
押し戻されてピストン弁体１３が上方向に移動し、弁体
部１３ａが弁座１４から離間する。これにより、窒素ガ
スが弁座１４、フィルタ弁本体１２が出力ポート１７を
塞ぐ位置にあるフィルタ部１２ａを通過して出力ポート
１７に流れ、さらにパージ弁４２を通ってパージ流路３
３へ流れる。
【００１６】ここで、入力ポート１８と出力ポート１７
との間には、フィルタ弁本体１２を構成するフィルタ部
１２ａが存在するので、入力ポート１８及びピストン弁
体１３のピストン部１３ｂから出力ポート１７へ流れる
流体は、必ずフィルタ部１２ａを通過する。そのため、
摺動部で発生したパーティクルはフィルタ部１２ａによ
り除去され、出力ポート１７にパーティクルが流れ込む
ことが防止される。また、フィルタ付逆止弁１１全体が
パージ弁４２を取り付けるパージ弁ブロック１５に組み
込まれているので、パイプ等でパーティクルが発生する
ことがない。また、入力ポート１８及び弁座１４がパー
ジ共通流路ブロック３５に形成されており、弁座１４が
フィルタ弁本体１２にかしめ加工により連結されている
ので、パージ弁ブロック１５をパージ共通流路ブロック
３５から取り外すことにより、容易にフィルタ付逆止弁
１１全体を交換することができる。
との間には、フィルタ弁本体１２を構成するフィルタ部
１２ａが存在するので、入力ポート１８及びピストン弁
体１３のピストン部１３ｂから出力ポート１７へ流れる
流体は、必ずフィルタ部１２ａを通過する。そのため、
摺動部で発生したパーティクルはフィルタ部１２ａによ
り除去され、出力ポート１７にパーティクルが流れ込む
ことが防止される。また、フィルタ付逆止弁１１全体が
パージ弁４２を取り付けるパージ弁ブロック１５に組み
込まれているので、パイプ等でパーティクルが発生する
ことがない。また、入力ポート１８及び弁座１４がパー
ジ共通流路ブロック３５に形成されており、弁座１４が
フィルタ弁本体１２にかしめ加工により連結されている
ので、パージ弁ブロック１５をパージ共通流路ブロック
３５から取り外すことにより、容易にフィルタ付逆止弁
１１全体を交換することができる。
【００１７】また、出力ポート１７側で窒素ガスが逆流
しようとする場合、逆流してきた窒素ガスにより、ピス
トン弁体１３が下方向に付勢され、弁体部１３ａが弁座
１４に当接して窒素ガスの逆流を遮断する。次に、パー
ジ弁４２が閉じられると、出力ポート１７内の窒素ガス
の圧力が高まり、復帰バネ１９によりピストン弁体１３
が下方向に付勢され、弁体部１３ａが弁座１４に当接し
て窒素ガスの流れを遮断する。
しようとする場合、逆流してきた窒素ガスにより、ピス
トン弁体１３が下方向に付勢され、弁体部１３ａが弁座
１４に当接して窒素ガスの逆流を遮断する。次に、パー
ジ弁４２が閉じられると、出力ポート１７内の窒素ガス
の圧力が高まり、復帰バネ１９によりピストン弁体１３
が下方向に付勢され、弁体部１３ａが弁座１４に当接し
て窒素ガスの流れを遮断する。
【００１８】以上詳細に説明したように、本実施例のフ
ィルタ付逆止弁１１によれば、フィルタ材料から成り一
端に開口部を備えるフィルタ弁本体１２と、フィルタ弁
本体１２の開口部に形成された弁座１４と、弁座１４と
当接または離間する弁体部１３ａを備えフィルタ弁本体
１２に摺動可能に嵌合されたピストン弁体１３と、弁座
１４と連通する入力ポート１８と、弁本体の中空筒の側
面に形成された出力ポート１７とを有しているので、入
力ポート１８及びピストン弁体１３のピストン部１３ｂ
から出力ポート１７へ流れる流体は、必ずフィルタ部１
２ａを通過するため、摺動部で発生したパーティクルは
フィルタ部１２ａにより除去され、出力ポート１７にパ
ーティクルが流れ込むことが防止される。また、フィル
タ付逆止弁１１全体がパージ弁４２を取り付けるパージ
弁ブロック１５に組み込まれているので、パイプ等でパ
ーティクルが発生することがない。
ィルタ付逆止弁１１によれば、フィルタ材料から成り一
端に開口部を備えるフィルタ弁本体１２と、フィルタ弁
本体１２の開口部に形成された弁座１４と、弁座１４と
当接または離間する弁体部１３ａを備えフィルタ弁本体
１２に摺動可能に嵌合されたピストン弁体１３と、弁座
１４と連通する入力ポート１８と、弁本体の中空筒の側
面に形成された出力ポート１７とを有しているので、入
力ポート１８及びピストン弁体１３のピストン部１３ｂ
から出力ポート１７へ流れる流体は、必ずフィルタ部１
２ａを通過するため、摺動部で発生したパーティクルは
フィルタ部１２ａにより除去され、出力ポート１７にパ
ーティクルが流れ込むことが防止される。また、フィル
タ付逆止弁１１全体がパージ弁４２を取り付けるパージ
弁ブロック１５に組み込まれているので、パイプ等でパ
ーティクルが発生することがない。
【００１９】また、フィルタ弁本体１２が、出力ポート
１７が形成されたパージ弁ブロック１５に穿設された孔
に嵌合して固定され、弁座１４が、パージ弁ブロック１
５と着脱可能で入力ポート１８が形成されたパージ共通
流路ブロック３５に備えられ、かつ弁座１４がフィルタ
弁本体１２にかしめ加工により一体的に連結されている
ので、パージ弁ブロック１５をパージ共通流路ブロック
３５から取り外すことにより、容易にフィルタ付逆止弁
１１を交換することができる。
１７が形成されたパージ弁ブロック１５に穿設された孔
に嵌合して固定され、弁座１４が、パージ弁ブロック１
５と着脱可能で入力ポート１８が形成されたパージ共通
流路ブロック３５に備えられ、かつ弁座１４がフィルタ
弁本体１２にかしめ加工により一体的に連結されている
ので、パージ弁ブロック１５をパージ共通流路ブロック
３５から取り外すことにより、容易にフィルタ付逆止弁
１１を交換することができる。
【００２０】以上、本発明の一実施例について詳細に説
明したが、本発明は、上記実施例に限定されることな
く、色々に変形実施することが可能である。例えば本実
施例では、弁座１４として弾性体を使用しているが、パ
ージ共通流路ブロック３５に直接形成しても良い。この
場合、ピストン弁体１３を樹脂等で構成しても良い。ま
た、本実施例では、フィルタ弁本体１２とピストン弁体
１３とを直接摺動させているが、フィルタ弁本体１２と
ピストン弁体１３との間に別のガイド部材を有していて
も良い。
明したが、本発明は、上記実施例に限定されることな
く、色々に変形実施することが可能である。例えば本実
施例では、弁座１４として弾性体を使用しているが、パ
ージ共通流路ブロック３５に直接形成しても良い。この
場合、ピストン弁体１３を樹脂等で構成しても良い。ま
た、本実施例では、フィルタ弁本体１２とピストン弁体
１３とを直接摺動させているが、フィルタ弁本体１２と
ピストン弁体１３との間に別のガイド部材を有していて
も良い。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のフィルタ機能付逆止弁によれば、フィルタ材料か
ら成り一端に開口部を備える弁本体と、弁本体の開口部
に形成された弁座と、弁座と当接または離間する弁体を
備え弁本体に摺動可能に嵌合されたピストン弁体と、弁
座と連通する入力ポートと、弁本体の中空筒の側面に形
成された出力ポートとを有しているので、入力ポート及
びピストン弁体のピストン部から出力ポートへ流れる流
体は、必ずフィルタ部を通過するため、摺動部で発生し
たパーティクルはフィルタ部により除去され、出力ポー
トにパーティクルが流れ込むことが防止される。
発明のフィルタ機能付逆止弁によれば、フィルタ材料か
ら成り一端に開口部を備える弁本体と、弁本体の開口部
に形成された弁座と、弁座と当接または離間する弁体を
備え弁本体に摺動可能に嵌合されたピストン弁体と、弁
座と連通する入力ポートと、弁本体の中空筒の側面に形
成された出力ポートとを有しているので、入力ポート及
びピストン弁体のピストン部から出力ポートへ流れる流
体は、必ずフィルタ部を通過するため、摺動部で発生し
たパーティクルはフィルタ部により除去され、出力ポー
トにパーティクルが流れ込むことが防止される。
【図１】本発明の一実施例であるフィルタ付逆止弁１１
をパージ弁ブロック１５に取り付けた状態を示す断面図
である。
をパージ弁ブロック１５に取り付けた状態を示す断面図
である。
【図２】フィルタ付逆止弁１１の分解斜視図である。
【図３】従来の逆止弁をマスフローユニットに取り付け
た状態を示す斜視図である。
た状態を示す斜視図である。
【図４】従来の逆止弁の構造を示す断面図である。
１１ フィルタ付逆止弁 １２ フィルタ弁本体 １２ａ フィルタ部 １３ ピストン弁体 １３ａ 弁体部 １３ｂ ピストン部 １４ 弁座 １５ パージ弁ブロック １７ 出力ポート １８ 入力ポート １９ 復帰バネ ３５ パージ共通流路ブロック
Claims (3)
- 【請求項１】 流路上に形成された弁座と、流体が順方
向に流れるとき該弁座と離間して流体を通過させ、流体
が逆方向に流れようとするとき該弁座と当接して流体を
遮断する弁体と、弁体を弁座に当接する方向に付勢する
復帰バネとを有する逆止弁において、 フィルタ材料から成り一端に開口部を備える中空筒形状
の弁本体と、 前記弁本体の開口部に形成された弁座と、 前記弁座と当接または離間する弁体を備え、前記弁本体
に摺動可能に嵌合されたピストン弁体と、 前記弁座と連通する入力ポートと、 前記弁本体の中空筒の側面に形成された出力ポートとを
有することを特徴とするフィルタ機能付逆止弁。 - 【請求項２】 請求項１に記載するものにおいて、 前記弁本体が、前記出力ポートが形成された第一流路ブ
ロックに穿設された孔に嵌合して固定され、 前記弁座が、前記第一ブロックと着脱可能で前記入力ポ
ートが形成された第二ブロックに備えられていることを
特徴とするフィルタ機能付逆止弁。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載するもの
において、 前記弁座が、前記弁本体と一体的に連結されていること
を特徴とするフィルタ機能付逆止弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15257295A JP2742399B2 (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | フィルタ機能付逆止弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15257295A JP2742399B2 (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | フィルタ機能付逆止弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08320077A JPH08320077A (ja) | 1996-12-03 |
| JP2742399B2 true JP2742399B2 (ja) | 1998-04-22 |
Family
ID=15543416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15257295A Expired - Fee Related JP2742399B2 (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | フィルタ機能付逆止弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2742399B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100735911B1 (ko) * | 2006-04-07 | 2007-07-04 | 주식회사 영원코퍼레이션 | 물공급 장치 |
| DE102018211518A1 (de) | 2018-07-11 | 2020-01-16 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Modular aufgebautes hydraulisches Steuergehäuse |
| CN114963234B (zh) * | 2022-06-29 | 2024-05-17 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备的点火装置及半导体工艺设备 |
-
1995
- 1995-05-25 JP JP15257295A patent/JP2742399B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08320077A (ja) | 1996-12-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100232112B1 (ko) | 가스공급유닛 | |
| US7093605B2 (en) | Pressure control device for a pipeline | |
| JPH09303308A (ja) | 流体制御装置 | |
| US6382585B1 (en) | Valve control system | |
| CN206656001U (zh) | 流体控制设备、用于气体调节器的控制构件 | |
| US5409042A (en) | Constant-rate flow control valve | |
| JP2742399B2 (ja) | フィルタ機能付逆止弁 | |
| JPH06295209A (ja) | 流体コントロールバルブ | |
| JP2568365B2 (ja) | ガス供給装置 | |
| JP2922453B2 (ja) | ガス供給集積ユニット | |
| EP1398551A1 (en) | Check valve | |
| US6408879B1 (en) | Fluid control device | |
| JP4536268B2 (ja) | 圧力制御弁 | |
| JPS6388380A (ja) | 空気作動弁 | |
| JP4464489B2 (ja) | 逆止弁 | |
| CA2478584A1 (en) | Valve for fluid filter | |
| JPH11259146A (ja) | 圧力制御弁 | |
| JP4334978B2 (ja) | 定流量弁 | |
| JP2002089722A (ja) | 圧力制御弁 | |
| JP2875958B2 (ja) | 開閉弁取付構造 | |
| JP2865644B2 (ja) | マスフローコントローラ取付構造 | |
| JP2004101303A (ja) | ガスメータおよびその取付構造ならびにガスメータの組立方法 | |
| US20020108654A1 (en) | Filter arrangement at a pressure regulator | |
| JP2007155045A (ja) | 逆止弁 | |
| GB0317449D0 (en) | Valve |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080130 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090130 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |