JP2740046B2 - Manufacturing method of pin grid array - Google Patents

Manufacturing method of pin grid array

Info

Publication number
JP2740046B2
JP2740046B2 JP22978190A JP22978190A JP2740046B2 JP 2740046 B2 JP2740046 B2 JP 2740046B2 JP 22978190 A JP22978190 A JP 22978190A JP 22978190 A JP22978190 A JP 22978190A JP 2740046 B2 JP2740046 B2 JP 2740046B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bare chip
tab
adhesive layer
substrate
chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP22978190A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04111433A (en
Inventor
浩之 平井
俊哉 根本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP22978190A priority Critical patent/JP2740046B2/en
Publication of JPH04111433A publication Critical patent/JPH04111433A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2740046B2 publication Critical patent/JP2740046B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明はピングリッドアレイの製造方法の改良に関す
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Field of Industrial Application) The present invention relates to an improvement in a method of manufacturing a pin grid array.

(従来の技術) 周知のようにICチップは、各種の電子回路要素として
広く実用に供されるている。たとえば、ベアチップ化し
たICチップを、多ピン付き基板に搭載・実装して構成し
た、ピングリッドアレイ呼称される機能回路素子が知ら
れている。
(Prior Art) As is well known, IC chips are widely used as various electronic circuit elements. For example, there is known a functional circuit element called a pin grid array, which is configured by mounting and mounting an IC chip formed as a bare chip on a substrate having many pins.

ところで、前記ピングリッドアレイ一般に次のように
して製造されている。すなわち、ベアチップ(ICチッ
プ)を、所定の基板(回路基板)面に搭載し、前記ベア
チップのI/Oパッド群と対応する基板のパッド群とを、
それぞれワイヤボンディングにより接続することによっ
て所望のグリッドアレイを製造している。
By the way, the above-mentioned pin grid array is generally manufactured as follows. That is, a bare chip (IC chip) is mounted on a predetermined board (circuit board) surface, and the I / O pad group of the bare chip and the pad group of the corresponding board are
A desired grid array is manufactured by connecting them by wire bonding.

(発明が解決しようとする課題) しかし、上記ピングリッドアレイの製造方法には、実
施するうえで次のような不都合がある。すなわち、所定
の多ピン付き基板面に実装したICチップ(ベアチップ)
のI/Oパッドと基板のリード端子とをワイヤボンディン
グによって接続しているため、ベアチップの大型化ない
しI/Oパッド数の増加(狭ピッチ化)に対するワイヤボ
ンディング操作の困難さ、ベアチップ単体での電気検査
が不可能なこと、さらにピングリッドアレイ構成後の電
気検査で不良判定された場合も実装したベアチップの着
脱交換(補修)が困難で、事実上は不良品として破棄せ
ざるを得ない場合がしばしばある。
(Problems to be Solved by the Invention) However, the above-described method of manufacturing a pin grid array has the following inconveniences in implementation. In other words, an IC chip (bare chip) mounted on a predetermined multi-pin board surface
Because the I / O pads of the board and the lead terminals of the board are connected by wire bonding, it is difficult to perform the wire bonding operation to increase the size of the bare chip or increase the number of I / O pads (narrow pitch). If electrical inspection is not possible, and even if a failure is determined in the electrical inspection after the pin grid array configuration, it is difficult to replace (repair) the mounted bare chip, and in fact it must be discarded as a defective product There are often.

上記のような製造工程における操作の繁雑さや補修の
困難さは、この種のピングリットアレイにおけるICチッ
プの大型化(大容量化体)ないし多ピン化、換言すれば
ICチップのI/Oパッド数の大幅な増加や基板のリード端
子の狭ピッチ化への対応をさらに困難にしている。ICチ
ップの大容量化などに伴う電極パッド数の増加ないし微
小ピッチ化、さらにインナーリードの微細化や微小ピッ
チ化などが望まれつつある現状下では、重要な課題の提
供といえる。
The complexity of the operation and the difficulty of repair in the manufacturing process as described above are due to the large size (large capacity) or the large number of pins of IC chips in this kind of pinglit array.
This has made it more difficult to cope with a significant increase in the number of I / O pads on the IC chip and a reduction in the pitch of lead terminals on the substrate. Under the current situation where the number of electrode pads is increased or the pitch is reduced due to the increase in the capacity of IC chips and the like, and the miniaturization and the pitch of the inner leads are being demanded, this can be said to be an important issue.

本発明は上記事情に対処してなされたもので、位置ず
れなど起すことなく、またICチップの着脱交換による補
修も可能で、信頼性の高いピングリットアレイを容易に
製造し得る方法の提供を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a method for easily manufacturing a highly reliable pinglit array that can be repaired without causing a positional shift or the like, and can be repaired by detaching and replacing an IC chip. Aim.

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明のピングリッドアレイの製造方法は、多ピン付
き基板の所定面に硬化性接着剤層を被着形成する工程
と、 前記被着した接着剤層上にTAB化したベアチップを配
設し接着剤層で仮止めする工程と、 前記仮止めされたTAB化したベアチップのI/Oリード群
を基板面上のパッド群にそれぞれ順次ボンディングして
電気的に接続する工程と、 前記接続した構成体について所定の電気的な検査を行
った後接着剤層を硬化させる工程とを具備することを特
徴とする。
[Constitution of the Invention] (Means for Solving the Problems) According to a method for manufacturing a pin grid array of the present invention, a step of forming a curable adhesive layer on a predetermined surface of a substrate with multiple pins, A step of arranging a TAB-formed bare chip on the adhesive layer and temporarily fixing the TAB with the adhesive layer, and sequentially bonding the I / O lead group of the temporarily fixed TAB-formed bare chip to a pad group on the substrate surface. And electrically hardening the adhesive layer after performing a predetermined electrical test on the connected component.

(作用) 上記のように本発明によれば、互いに対応するTAB化
したベアチップのI/Oリードと基板のリード端子とを順
次ボンディング(シングルポイントボンディング)する
工程において、前記TAB化したベアチップは、基板面の
所定位置に接着剤によって仮止めされているため、位置
ずれなど起すことなく所要の電気的な接続が容易に達成
される。しかして、この状態で所定の電気的な検査を行
い、前記搭載したTAB化したベアチップに機能的な不具
合が検出された場合、このTAB化したベアチップは基板
に対して仮固定されているに過ぎないため、着脱交換な
ど容易になし得る。しかもICチップは予めTAB化されて
いるため、基板のパッドに対するシングルポイントボン
ディングも容易になし得る。つまり、ICチップの大型化
ないし大容量化や基板の狭ピッチパッドなど拘らず、繁
雑さを要さず比較的容易に所要の接続を達成し得る。
(Operation) According to the present invention as described above, in the step of sequentially bonding (single point bonding) the I / O leads of the corresponding TAB-formed bare chip and the lead terminals of the substrate, the TAB-formed bare chip includes: Since the adhesive is temporarily fixed to a predetermined position on the substrate surface by an adhesive, required electric connection can be easily achieved without causing displacement or the like. In this state, a predetermined electrical inspection is performed, and if a functional defect is detected in the mounted TAB-formed bare chip, the TAB-formed bare chip is only temporarily fixed to the substrate. Since it is not provided, it can be easily replaced and replaced. Moreover, since the IC chip is formed into a TAB in advance, single-point bonding to a pad on the substrate can be easily performed. That is, irrespective of the size or capacity of the IC chip or the narrow pitch pad of the substrate, the required connection can be achieved relatively easily without complexity.

(実施例) 以下第1図〜第3図を参照して本発明の実施例を説明
する。なお、第1図〜第3図は、本発明に係るピングリ
ッドアレイの製造方法の実施態様を段階毎に模式的に示
す要部断面図である。
Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. FIG. 1 to FIG. 3 are cross-sectional views of essential parts schematically showing an embodiment of a method of manufacturing a pin grid array according to the present invention for each stage.

先ず、第1図に示ような所要の多ピン付き基板(回路
基板)1および所要のICチップをTAB(Tape Automated
Bonding)化したベアチップをそれぞれ用意する。
First, a required multi-pin board (circuit board) 1 and a required IC chip as shown in FIG.
Bonded) bare chips are prepared.

次いで、第2図に示すごとく、前記多ピン付き基板1
の所定面すなわちICチップを搭載するダイパッド1a上
に、予め用意しておいた硬化性接着剤たとえばエポキシ
樹脂系の導電性接着剤層2を塗布形成する。なお、図に
おいて1bはパッドを、また1cはリードピンをそれぞれ示
す。
Then, as shown in FIG.
A predetermined curable adhesive such as an epoxy resin-based conductive adhesive layer 2 is applied and formed on a predetermined surface, that is, on a die pad 1a on which an IC chip is mounted. In the drawing, 1b indicates a pad, and 1c indicates a lead pin.

しかる後、前記多ピン付き基板1の導電性接着剤層2
面上に、前記所要のICチップをTAB化したベアチップ3
を位置合せ配設し、前記導電性接着剤層2によって仮固
定する。この状態でTAB化したベアチップ3の各I/Oリー
ド3aを、前記多ピン付き基板1面の対応するパッド1bと
順次ボンディング(シングルポイントボンディング)し
て電気的な接続を行う。第3図は上記によってTAB化し
たベアチップ3の各I/Oリード3aを、前記多ピン付き基
板1面の対応するパッド1bとボンディングして電気的に
接続した状態を示すもので、図において3bは前記ICチッ
プがTAB化されたテープ本体を示す。
Thereafter, the conductive adhesive layer 2 of the multi-pin substrate 1 is formed.
On the surface, a bare chip 3 in which the required IC chip is converted into a TAB
Are aligned and temporarily fixed by the conductive adhesive layer 2. In this state, the I / O leads 3a of the TAB-formed bare chip 3 are sequentially bonded (single point bonding) to the corresponding pads 1b on the surface of the multi-pin substrate 1 to perform electrical connection. FIG. 3 shows a state in which each I / O lead 3a of the bare chip 3 formed into a TAB is bonded and electrically connected to a corresponding pad 1b on the surface of the multi-pin substrate 1 in FIG. Indicates a tape body in which the IC chip is formed into a TAB.

このように、多ピン付き基板1の所定面にTAB化した
ベアチップ3を配置し、所要の電気的な接続を行った時
点で、この構成体、すなわちピンクリッドアレイとして
の形態ないし構成を成す中間製品に対して、所定の電気
検査を行う。この電気検査において、TAB化したベアチ
ップ3に機能上の欠陥など検出されない場合は、次の工
程として、前記中間製品にたとえば加熱処理など施すこ
とによって、前記多ピン付き基板1のダイパッド1a面に
塗布形成した導電性接着剤層2を熱硬化させ、前記TAB
化したベアチップ3を、多ピン付き基板1のダイパッド
1a面に固着一体化することにより、所望のピングリッド
アレイないしパッケージが得られる。
As described above, when the TAB-formed bare chip 3 is arranged on the predetermined surface of the multi-pin substrate 1 and the required electrical connection is made, the intermediate structure which forms this structure, that is, the pink lid array, is formed. A predetermined electrical test is performed on the product. In the electrical inspection, if no functional defect or the like is detected in the TAB-formed bare chip 3, as the next step, the intermediate product is applied to the die pad 1a surface of the multi-pin substrate 1 by performing, for example, heat treatment. The formed conductive adhesive layer 2 is thermally cured, and
The bare chip 3 into a die pad on the substrate 1 with multiple pins
A desired pin grid array or package can be obtained by being fixedly integrated with the 1a surface.

一方、前記電気検査において、TAB化したベアチップ
3に機能上の欠陥など検出された場合は、以下の操作を
行う。すなわち、前記未硬化の導電性接着剤層2で仮止
めされているTAB化したベアチップ3の着脱交換(補
修)を行ない、再度シングルポイントボンディングによ
り、所要の電気的接続をし、電気検査を行ない、TAB化
したベアチップ3に機能上の欠陥など検出されない場合
は、次の工程として、前記中間製品にたとえば加熱処理
など施すことによって、前記多ピン付き基板1のダイパ
ッド1a面に塗布形成した導電性接着剤層2を熱硬化さ
せ、前記TAB化したベアチップ3を、多ピン付き基板1
のダイパッド1a面に固着一体化することにより、所望の
ピングリッドアレイないしパッケージが得られる。
On the other hand, in the electrical inspection, when a functional defect or the like is detected in the TAB-formed bare chip 3, the following operation is performed. That is, the TAB-formed bare chip 3 temporarily fixed by the uncured conductive adhesive layer 2 is detached and replaced (repaired), and the required electrical connection is again performed by single-point bonding to perform an electrical inspection. If no functional defect or the like is detected in the TAB-formed bare chip 3, as the next step, the intermediate product is subjected to, for example, heat treatment to form a conductive layer formed on the surface of the die pad 1 a of the multi-pin substrate 1. The bare chip 3 obtained by thermally curing the adhesive layer 2 and forming the TAB is used as the substrate 1 with multiple pins.
A desired pin grid array or package can be obtained by bonding and integrating with the surface of the die pad 1a.

上記においては、接着剤層を導電性接着剤で形成した
が、非導電性接着剤で形成してもよいし、またまた接着
剤はエポキシ樹脂系以外の他の熱硬化性のものであって
もよい。さらに、実装するTAB化したベアチップ数は複
数でもよく、その構造は前記例示のものに限定されない
ことは勿論である。
In the above description, the adhesive layer is formed of a conductive adhesive, but may be formed of a non-conductive adhesive, or the adhesive may be a thermosetting material other than an epoxy resin. Good. Further, the number of TAB-formed bare chips to be mounted may be plural, and the structure is naturally not limited to the above example.

[発明の効果] 上記で説明したように、本発明に係るピングリッドア
レイの製造方法によれば、多ピン付き基板の所定領域面
に位置決め配設されたTAB化したベアチップは、硬化性
接着剤層によって仮固定された状態で、多ピン付き基板
に対して所要の電気的な接続が行われる。つまり、所定
の位置に対し位置ずれなど起すことなく、かつシングル
ポイントボンディングにより精度よく正確に、所要の電
気的な接続が達成される。しかして、最終的に構成され
るピングリッドアレイの電気検査は、前記TAB化したベ
アチップの最終的な接着固定に先立って行われるため、
この時点でTAB化したベアチップの不良など分った場
合、その着脱交換(補修)も容易になし得る。かくし
て、本発明方法は、繁雑な操作を要せず量産的であるこ
と、また製造工程での補修なども容易で材料の浪費など
も回避し得ること(歩留りの向上)などと相俟ってI/O
リード数が多く、またリードピッチの狭い大型のICチッ
プを実装するピングリッドアレイの製造に好適するもの
といえる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the pin grid array manufacturing method of the present invention, a TAB-formed bare chip positioned and disposed on a predetermined area surface of a multi-pin substrate is formed of a curable adhesive. The required electrical connection is made to the multi-pinned substrate while being temporarily fixed by the layers. In other words, the required electrical connection can be accurately and accurately achieved by single point bonding without causing a positional shift or the like with respect to a predetermined position. Thus, the electrical inspection of the finally configured pin grid array is performed before the final adhesion and fixing of the TAB-formed bare chip,
At this point, if it is found that the bare chip made into TAB is defective, the detachable replacement (repair) can be easily performed. Thus, the method of the present invention is mass-produced without requiring complicated operations, and can be easily repaired in the manufacturing process and can avoid waste of materials (improvement of yield). I / O
This can be said to be suitable for manufacturing a pin grid array for mounting a large-sized IC chip having a large number of leads and a narrow lead pitch.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図、第2図および第3図は本発明に係るピングリッ
トアレイの製造方法における実施態様例を模式的に示し
たもので第1図は使用する多ピン付き基板の断面図、第
2図は多ピン付き基板の所定面に接着剤層を塗布形成し
た状態を示す断面図、第3図は本発明に係るピングリッ
トアレイの製造方法においてシングルポイントボンディ
ングした状態を示す断面図である。 1……多ピン付き基板 1a……多ピン付き基板のダイパッド 1b……多ピン付き基板のパッド 1c……多ピン付き基板のリードピン 2……接着剤層 3……TAB化したベアチップ 3a……TAB化したベアチップのI/Oリード 3b……TAB化したベアチップのテープ本体 2……ICチップを吸着保持する機構 3……ICチップ
FIGS. 1, 2 and 3 schematically show an embodiment of a method for manufacturing a pinlit array according to the present invention. FIG. 1 is a cross-sectional view of a multi-pin substrate to be used. FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which an adhesive layer is applied and formed on a predetermined surface of a substrate with multiple pins, and FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state in which single-point bonding is performed in the method of manufacturing a pinlit array according to the present invention. 1 ... board with many pins 1a ... die pad of board with many pins 1b ... pad of board with many pins 1c ... lead pin of board with many pins 2 ... adhesive layer 3 ... bare chip made into TAB 3a ... TAB-formed bare chip I / O leads 3b TAB-formed bare chip tape body 2 Mechanism for holding IC chip by suction 3 IC chip

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】多ピン付き基板の所定面に硬化性接着剤層
を被着形成する工程と、 前記被着した接着剤層上にTAB化したベアチップを配設
し接着剤層で仮止めする工程と、 前記仮止めされたTAB化したベアチップのI/Oリード群を
基板面上のパッド群にそれぞれ順次ボンディングして電
気的に接続する工程と、 前記接続した構成体について所定の電気的な検査を行っ
た後接着剤層を硬化させる工程とを具備することを特徴
とするピングリッドアレイの製造方法。
1. A step of applying and forming a curable adhesive layer on a predetermined surface of a substrate with multiple pins, disposing a TAB-formed bare chip on the applied adhesive layer, and temporarily fixing the bare chip with the adhesive layer. A step of sequentially bonding and electrically connecting the I / O leads of the temporarily fixed TAB-formed bare chip to the pads on the substrate surface, and a predetermined electrical connection for the connected component. Curing the adhesive layer after performing the inspection.
JP22978190A 1990-08-31 1990-08-31 Manufacturing method of pin grid array Expired - Lifetime JP2740046B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22978190A JP2740046B2 (en) 1990-08-31 1990-08-31 Manufacturing method of pin grid array

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22978190A JP2740046B2 (en) 1990-08-31 1990-08-31 Manufacturing method of pin grid array

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04111433A JPH04111433A (en) 1992-04-13
JP2740046B2 true JP2740046B2 (en) 1998-04-15

Family

ID=16897575

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22978190A Expired - Lifetime JP2740046B2 (en) 1990-08-31 1990-08-31 Manufacturing method of pin grid array

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2740046B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04111433A (en) 1992-04-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8072769B2 (en) Component-embedded module and manufacturing method thereof
US5548091A (en) Semiconductor chip connection components with adhesives and methods for bonding to the chip
US6392306B1 (en) Semiconductor chip assembly with anisotropic conductive adhesive connections
US7271481B2 (en) Microelectronic component and assembly having leads with offset portions
US7932517B2 (en) Semiconductor device comprising circuit substrate with inspection connection pads and manufacturing method thereof
US7875499B2 (en) Method of manufacturing a stacked semiconductor apparatus
EP0521672B1 (en) Integrated circuit interconnection technique
US20020030258A1 (en) Method and mold for manufacturing semiconductor device, semiconductor device, and method for mounting the device
KR100849181B1 (en) Semiconductor package, fabricating method thereof, and molding apparatus and molding method for fabricating the same
KR20010090540A (en) Semiconductor device and process of prodution of same
KR101544844B1 (en) Wired rubber contact and method of manufacturing the same
JPH07245360A (en) Semiconductor package and its manufacture
JP2001135658A (en) Method and system for assembling electronic device
US20050218495A1 (en) Microelectronic assembly having encapsulated wire bonding leads
JP2006324393A (en) Semiconductor device and its manufacturing process
JP3036249B2 (en) Chip mounting structure and test method
JP2740046B2 (en) Manufacturing method of pin grid array
US20030089977A1 (en) Package enclosing multiple packaged chips
JP2001237277A (en) Taped wiring board and method for assembling the same
JPH07231020A (en) Manufacture of semiconductor chip with area pad
JPH0574829A (en) Manufacture of semiconductor integrated circuit device
JP2000174414A (en) Manufacture of wiring board
KR0155441B1 (en) Semiconductor package
JP3019899B2 (en) Manufacturing method of multi-chip module
JP2002124531A (en) Semiconductor device, method for manufacturing the same and mounting structure thereof

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 10

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080123

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090123

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 12

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100123

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110123

Year of fee payment: 13

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110123

Year of fee payment: 13