JP2734596B2 - 酸化物超電導線 - Google Patents

酸化物超電導線

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oxide
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    • Y02E40/60Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、超電導コイル、超電導ケーブル等に使用
され得る酸化物超電導線に関するものである。
[従来の技術] 従来から超電導体として、金属系のもの、化合物系の
ものおよびセラミックス系のものが知られており、種々
の用途への適用が研究されている。すなわち、超電導体
は、臨界温度以下の温度に保持されることにより電気抵
抗が零の状態になるのであるが、この特性を利用して高
磁界の発生、大容量の電流の高密度伝送等が試みられて
いる。
最近、超電導材料として、セラミックス系のものが超
電導現象を示す臨界温度を高くできる点で脚光を浴びつ
つある。このような超電導材料は、たとえば長尺の線状
体とすることによって、送配電、各種機器または素子間
の電気的接続、交流用巻線等の用途に用いることができ
る。
セラミックス系の超電導材料、すなわち酸化物系の超
電導材料を線材化する方法としては、従来より金属パイ
プ内に酸化物超電導体の粉末を充填しこれを減面加工す
る方法や、あるいは長尺の基材の上に酸化物超電導材料
の層を形成し線材化する方法などが知られている。酸化
物単結晶ファイバ上に、酸化物超電導体の層を形成した
超電導線は、たとえば特開昭63−271816号公報に開示さ
れている。酸化物超電導層を形成する方法としては、蒸
着、スパッタリング、CVD等の気相薄膜形成方法が適用
し得る。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、このような超電導線において高い臨界
電流密度を得るためには、通常高い熱処理を施す必要が
ある。結晶性の優れた膜が得られるMgOおよびSrTiO3
の単結晶上に酸化物超電導体の層を形成させた場合に
も、成膜中の基板温度を600〜700℃とし、成膜後にさら
に900℃以上の温度で熱処理を行なう必要がある。
可撓性を有する金属、セラミックスおよびガラス等の
基板の上に酸化物超電導体の層を形成した場合には、結
晶性が劣るため、さらに高温でしかも長時間の熱処理が
必要となる。しかしながらこのような高温かつ長時間の
熱処理を行なうと、基板との間での拡散反応が生じ、形
成した酸化物超電導体の層の超電導特性が劣化してしま
う。このような拡散反応を防止するため、基板と酸化物
超電導体層との間に中間層を形成することが考えられる
が、高温で長時間の熱処理に耐えるようにするために
は、1μm以上の厚い中間層が必要となり、中間層形成
のためのコストが大きくなる。
この発明の目的は、かかる従来の問題点を解消し、拡
散反応による影響が少なく、超電導特性に優れた酸化物
超電導線を提供することにある。
[課題を解決するための手段] この発明の酸化物超電導線は、可撓性を有し、かつAl
不純物量が0.1重量%未満であるイットリア安定化ジル
コニア基材上に、酸化物超電導層を形成したことを特徴
としている。
この発明において、基材として用いられるイットリア
安定化ジルコニアのAl不純物量は0.1重量%未満である
が、さらに好ましくは0.05重量%未満である。なお、こ
の明細書においてAl不純物量はAl2O3としての不純物量
をいう。
[作用] この発明において、基材として用いるイットリア安定
化ジルコニアのAl不純物量を0.1重量%未満としている
のは、イットリア安定化ジルコニア中に含まれる不純物
の内で、Alが最も拡散しやすく、このAlの拡散反応を少
なくすることにより、超電導特性、特に臨界温度(Tc)
の低減を抑制することができるからである。
Al不純物量が0.1重量%以上のイットリア安定化ジル
コニア基材上にYBaCuO系酸化物超電導層を形成した場合
には、特にY2Ba1Cu1O5の組成の酸化物を形成しやすい。
この組成の酸化物の存在により、臨界温度(Tc)および
臨界電流密度(Jc)等の超電導特性が低下する。この発
明は、このようにAl不純物量が0.1重量%以上になる
と、Y2Ba1Cu1O5などの異相を形成しやすいという現象を
見出すことによって達成されたものである。
[実施例] 表1に示すような異なるAl不純物濃度を有する厚さ0.
1mmのイットリア安定化ジルコニア(Y含有量3重量
%)のテープ状体の上に、Y−Ba−Cu−O系酸化物超電
導層をRFマグネトロンスパッタリング法により形成し
た。成膜条件は以下のとおりである。
ターゲット:Y1Ba2Cu3.5Ox ターゲット直径:100mm 基板温度:680℃ RFパワー:100ワット ガス圧:50mTorr 酸素分圧(O2/(O2+Ar)):50% ターゲット−基板間距離:45mm 成膜時間:6時間 膜厚:0.8〜1.2μm 以上のようにして酸化物超電導層を形成した後、酸素
中で950℃,0.5時間熱処理を行なった。各参加物超電導
層について、抵抗Rが0となる臨界電流密度(Tc)を測
定し、表1に示した。
表1から明らかなように、この発明に従う実施例1〜
5の酸化物超電導層では、高いTcを示したが、この発明
の範囲よりもAl不純物量の多い比較例1〜3は、実施例
1〜5に比べ著しく低いTcとなった。
なお、上記の実施例では、テープ状のイットリア安定
化ジルコニアを用いたが、この発明で用いられる基材
は、テープ状のものに限定されるものではなく、たとえ
ば丸線などのものでもよく、その断面形状は特に限定さ
れるものではない。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明の酸化物超電導線で
は、Al不純物量が0.1重量%未満のイットリア安定化ジ
ルコニアの基材の上に酸化物超電導層を形成している。
このようにこの発明では、最も拡散しやすいAlの含有量
が少ない基材を用いているため、熱処理における拡散反
応を抑制することができ、熱処理による超電導特性の低
下を少なくすることができる。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】可撓性を有し、かつAl2O3に換算したAl不
    純物量が0.1重量%未満であるイットリア安定化ジルコ
    ニアの基材上に、酸化物超電導層を形成したことを特徴
    とする、酸化物超電導線。
  2. 【請求項2】前記Al不純物量が0.05重量%未満であるこ
    とを特徴とする、請求項1記載の酸化物超電導線。
JP1026094A 1989-02-04 1989-02-04 酸化物超電導線 Expired - Lifetime JP2734596B2 (ja)

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EP90102224A EP0385132A1 (en) 1989-02-04 1990-02-05 Superconducting wire
DE69019376T DE69019376T2 (de) 1989-02-04 1990-02-05 Supraleitender Draht.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07114295B2 (ja) * 1987-11-11 1995-12-06 株式会社半導体エネルギー研究所 超伝導コイルの作製方法

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JPH02207414A (ja) 1990-08-17

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