JP2733809B2 - 被覆工具 - Google Patents
被覆工具Info
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- JP2733809B2 JP2733809B2 JP7529792A JP7529792A JP2733809B2 JP 2733809 B2 JP2733809 B2 JP 2733809B2 JP 7529792 A JP7529792 A JP 7529792A JP 7529792 A JP7529792 A JP 7529792A JP 2733809 B2 JP2733809 B2 JP 2733809B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は耐摩耗性に優れた、切削
用及び耐摩耗用の被覆超硬質合金工具に関するものであ
る。
用及び耐摩耗用の被覆超硬質合金工具に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、超硬合金を基体とし、その表面に
耐摩耗性に富んだＴｉＣ、ＴｉＮなどの硬質皮膜を被覆
した被覆超硬合金工具は、表面の耐摩耗性と基体の強靭
性を兼ね備えており、広く実用に供されている。しかし
ＴｉＣ、Ａｌ2Ｏ3等の被覆合金は密着性、耐摩耗性の相
反する性能を兼ね備えるため、必ずしも論理たてられて
おらず、その次に来る皮膜の種類、蒸着時間等との関係
から管理されていないのが現状である。
耐摩耗性に富んだＴｉＣ、ＴｉＮなどの硬質皮膜を被覆
した被覆超硬合金工具は、表面の耐摩耗性と基体の強靭
性を兼ね備えており、広く実用に供されている。しかし
ＴｉＣ、Ａｌ2Ｏ3等の被覆合金は密着性、耐摩耗性の相
反する性能を兼ね備えるため、必ずしも論理たてられて
おらず、その次に来る皮膜の種類、蒸着時間等との関係
から管理されていないのが現状である。
【０００３】また、密着性の観点からは基体主成分であ
るＷ、Ｔｉ、Ｃｏ等が拡散すれば、密着性は向上し、特
にＣｏが最表面に現れるような場合には悪影響を及ぼす
が、内層に適量存在する場合には、むしろ効果的でもあ
った。しかし、耐摩耗性の観点からみれば、もちろん剥
離をしないことが重要であるが、基体主成分であるＷ、
Ｔｉ、Ｃｏ等が拡散すればすくい面上のクレーター摩耗
が速くなり、工具寿命が短くなるなどの欠点もあった。
るＷ、Ｔｉ、Ｃｏ等が拡散すれば、密着性は向上し、特
にＣｏが最表面に現れるような場合には悪影響を及ぼす
が、内層に適量存在する場合には、むしろ効果的でもあ
った。しかし、耐摩耗性の観点からみれば、もちろん剥
離をしないことが重要であるが、基体主成分であるＷ、
Ｔｉ、Ｃｏ等が拡散すればすくい面上のクレーター摩耗
が速くなり、工具寿命が短くなるなどの欠点もあった。
【０００４】このため、上記のどちらに主眼を置くかに
より、種々の皮膜を形成する方法が行われている。基体
との密着性が比較的良い皮膜を内層に被覆すれば、Ｗ、
Ｃｏ等の拡散は多くなり、その例としては内層にＴｉ
Ｃ層、ＴｉＣＮ層、ＴｉＮ層等がある。しかし、い
ずれも、Ｃを含む場合には脱炭相の問題もあり、Ｗ、Ｃ
ｏ、Ｔｉ、Ｃの各元素が反応するため複雑な様相となっ
ている。
より、種々の皮膜を形成する方法が行われている。基体
との密着性が比較的良い皮膜を内層に被覆すれば、Ｗ、
Ｃｏ等の拡散は多くなり、その例としては内層にＴｉ
Ｃ層、ＴｉＣＮ層、ＴｉＮ層等がある。しかし、い
ずれも、Ｃを含む場合には脱炭相の問題もあり、Ｗ、Ｃ
ｏ、Ｔｉ、Ｃの各元素が反応するため複雑な様相となっ
ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、基体となる
超硬合金の構成物質と拡散を皮膜により解決するもので
あり、Ｃ、Ｗ、Ｃｏ等の基体を構成する物質の拡散を防
ぐために、最内層のＴｉＮまたはＴｉＣＮ層を低温で処
理すると共に、膜質を微細化し、その後通常の化学蒸着
法で様々な膜質を被覆しても、基体を構成する物質の拡
散を阻止するものである。
超硬合金の構成物質と拡散を皮膜により解決するもので
あり、Ｃ、Ｗ、Ｃｏ等の基体を構成する物質の拡散を防
ぐために、最内層のＴｉＮまたはＴｉＣＮ層を低温で処
理すると共に、膜質を微細化し、その後通常の化学蒸着
法で様々な膜質を被覆しても、基体を構成する物質の拡
散を阻止するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明は上記実
情に鑑み成されたものであり上記従来技術の欠点を改良
し、皮膜−基体間−特に基体構成物質の拡散に着目し、
特に耐摩耗性に優れる被覆超硬合金を提供することを目
的とするもので有る。そのため、本発明の被覆超硬合金
は、ＷＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＴｉＣＮ−ＴａＣ−Ｃｏ系の
表面に、まず、最内層として７００〜９００℃で被覆す
るＴｉＮまたはＴｉＣＮを被覆する。この皮膜は、通常
の化学蒸着法が１０００℃前後でおこなわれているのに
対し、１００〜３００℃低温化しているため、蒸着時、
膜質中に基体構成物質が拡散せず、さらに低温で蒸着さ
れるため微細な膜質が得られるため、２層目以降の蒸着
に際して温度を上げてももＣｏ等の拡散を防止する効果
が大きい。
情に鑑み成されたものであり上記従来技術の欠点を改良
し、皮膜−基体間−特に基体構成物質の拡散に着目し、
特に耐摩耗性に優れる被覆超硬合金を提供することを目
的とするもので有る。そのため、本発明の被覆超硬合金
は、ＷＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＴｉＣＮ−ＴａＣ−Ｃｏ系の
表面に、まず、最内層として７００〜９００℃で被覆す
るＴｉＮまたはＴｉＣＮを被覆する。この皮膜は、通常
の化学蒸着法が１０００℃前後でおこなわれているのに
対し、１００〜３００℃低温化しているため、蒸着時、
膜質中に基体構成物質が拡散せず、さらに低温で蒸着さ
れるため微細な膜質が得られるため、２層目以降の蒸着
に際して温度を上げてももＣｏ等の拡散を防止する効果
が大きい。
【０００７】本発明の超硬質合金基体の表面は、ＷＣ−
Ｃｏ系、ＷＣ−ＴｉＣＮ−ＴａＣ−Ｃｏ系、またはその
表面に脱ベータ層、脱バインダー処理等を行ったもので
もかまわない。低温で最内層を被覆するため、基体−皮
膜界面に生ずる脱炭層も生じにくく、いろいろな材種に
適用できる特徴がある。
Ｃｏ系、ＷＣ−ＴｉＣＮ−ＴａＣ−Ｃｏ系、またはその
表面に脱ベータ層、脱バインダー処理等を行ったもので
もかまわない。低温で最内層を被覆するため、基体−皮
膜界面に生ずる脱炭層も生じにくく、いろいろな材種に
適用できる特徴がある。
【０００８】本発明における被覆方法としては、既知の
成膜法を応用することによって可能であり、例えば内層
を構成するＴｉＣＮまたはＴｉＮ皮膜については、蒸着
温度を７００〜９００℃で被覆すればよく Ｔｉ（ＣＨ3）ＣＮ＋２Ｈ2→ＴｉＣＮ＋４Ｈ（ＣＨ3） ＴｉＣｌ4＋２Ｎ2＋２Ｈ2→ＴｉＮ＋４ＨＣｌ ＣＨ4 →Ｃ＋２Ｈ2 Ｔｉ＋Ｃ →ＴｉＣ あるいは、 ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2→Ｔｉ＋４ＨＣｌ Ｔｉ＋１／２Ｎ2 →ＴｉＮ のように、Ｔｉのハロゲン化物を気化し、還元及び炭化
あるいは窒化反応によって得ることができる。また本発
明は最内層を被覆するときだけ低温化し、２層目以降の
被覆に付いては通常の温度で行わないと成膜速度が遅く
なり非能率的である。
成膜法を応用することによって可能であり、例えば内層
を構成するＴｉＣＮまたはＴｉＮ皮膜については、蒸着
温度を７００〜９００℃で被覆すればよく Ｔｉ（ＣＨ3）ＣＮ＋２Ｈ2→ＴｉＣＮ＋４Ｈ（ＣＨ3） ＴｉＣｌ4＋２Ｎ2＋２Ｈ2→ＴｉＮ＋４ＨＣｌ ＣＨ4 →Ｃ＋２Ｈ2 Ｔｉ＋Ｃ →ＴｉＣ あるいは、 ＴｉＣｌ4＋２Ｈ2→Ｔｉ＋４ＨＣｌ Ｔｉ＋１／２Ｎ2 →ＴｉＮ のように、Ｔｉのハロゲン化物を気化し、還元及び炭化
あるいは窒化反応によって得ることができる。また本発
明は最内層を被覆するときだけ低温化し、２層目以降の
被覆に付いては通常の温度で行わないと成膜速度が遅く
なり非能率的である。
【０００９】次に、本発明においては、内層の厚さを
１．０〜５μｍ、２層目以降の厚さを０．５〜１０μｍ
とすることが望ましい。その理由はＴｉＮ、ＴｉＣＮの
うちのいずれか一種からなる内層の厚さが１．０μｍ未
満では拡散の防止が十分でなく、また５μｍを超えると
ＴｉＣＮ等の層は低温で化学蒸着しているため、厚膜に
するには、蒸着に長時間を要するためである。
１．０〜５μｍ、２層目以降の厚さを０．５〜１０μｍ
とすることが望ましい。その理由はＴｉＮ、ＴｉＣＮの
うちのいずれか一種からなる内層の厚さが１．０μｍ未
満では拡散の防止が十分でなく、また５μｍを超えると
ＴｉＣＮ等の層は低温で化学蒸着しているため、厚膜に
するには、蒸着に長時間を要するためである。
【００１０】Ｔｉの炭化物、窒化物、炭窒化物、Ａｌ2
Ｏ3から構成される２層目以降の厚さが０．５μｍ未満
では耐摩耗性が不十分であり、また１０μｍを超えると
全体の厚さが厚くなり脆く成るため、欠損しやすくな
る。このため２層目以降の厚さは０．５〜１０μｍとす
るのが望ましい。また、この層の構造はＴｉの炭化物、
窒化物、炭窒化物を組み合わせた方が特性を効果的に発
揮できるため、多層とすることが望ましい。
Ｏ3から構成される２層目以降の厚さが０．５μｍ未満
では耐摩耗性が不十分であり、また１０μｍを超えると
全体の厚さが厚くなり脆く成るため、欠損しやすくな
る。このため２層目以降の厚さは０．５〜１０μｍとす
るのが望ましい。また、この層の構造はＴｉの炭化物、
窒化物、炭窒化物を組み合わせた方が特性を効果的に発
揮できるため、多層とすることが望ましい。
【００１１】次ぎに、Ｗ強度比を ０≦Ｗ／（４ａ＋５
ａ＋６ａ＋Ｆｅ族）≦０．０４としたのは、０．０４を
越えると拡散により異相を生じ易くなり、また０が望ま
しいが２層目以降の膜質、膜厚等により蒸着時間、蒸着
温度が異なるためこの範囲とした。Ｃｏ強度比を ０≦
Ｃｏ／（４ａ＋５ａ＋６ａ＋Ｆｅ族）≦０．０２とした
のは０．０２を越えると拡散により異相を生じ易くな
り、また０が望ましいが２層目以降の膜質、膜厚等によ
り蒸着時間、蒸着温度が異なるため若干拡散を生ずるこ
ともありこの範囲とした。またＷ、Ｃｏともに基体より
拡散するものであるから、内層では量的に増えるが、最
外層に向かって濃度勾配を有し、特に２層目以降では、
ほぼ０であることが重要である。
ａ＋６ａ＋Ｆｅ族）≦０．０４としたのは、０．０４を
越えると拡散により異相を生じ易くなり、また０が望ま
しいが２層目以降の膜質、膜厚等により蒸着時間、蒸着
温度が異なるためこの範囲とした。Ｃｏ強度比を ０≦
Ｃｏ／（４ａ＋５ａ＋６ａ＋Ｆｅ族）≦０．０２とした
のは０．０２を越えると拡散により異相を生じ易くな
り、また０が望ましいが２層目以降の膜質、膜厚等によ
り蒸着時間、蒸着温度が異なるため若干拡散を生ずるこ
ともありこの範囲とした。またＷ、Ｃｏともに基体より
拡散するものであるから、内層では量的に増えるが、最
外層に向かって濃度勾配を有し、特に２層目以降では、
ほぼ０であることが重要である。
【００１２】
【実施例】次に本発明による被覆超硬質合金を実施例に
よって具体的に説明する。但し、本発明はこれら実施例
の範囲に限定されるものでないことは言うまでもない。
超硬質体の基体としてＷＣ７２％、８％ＴｉＣ、（Ｔａ
Ｎｂ）Ｃ１１％、Ｃｏ９％（重量％）なる組成に粉末を
配合し、真空中１４００℃で一時間焼結し、得られた焼
結体からＧ級のスローアウェィチップを作成した。
よって具体的に説明する。但し、本発明はこれら実施例
の範囲に限定されるものでないことは言うまでもない。
超硬質体の基体としてＷＣ７２％、８％ＴｉＣ、（Ｔａ
Ｎｂ）Ｃ１１％、Ｃｏ９％（重量％）なる組成に粉末を
配合し、真空中１４００℃で一時間焼結し、得られた焼
結体からＧ級のスローアウェィチップを作成した。
【００１３】（１）試料Ｎｏ１の成膜条件 スローアウェィチップを耐熱合金製反応容器内で８００
℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴｉ（ＣＨ3）Ｃ
Ｎ ４％ Ｎ2 ４％、Ｈ2 ９２％の割合で混合したガ
スを５ｌ／ｍｉｎの流量で送り、２時間反応させ２μｍ
のＴｉＣＮ被覆層を得た。その後１０Ｔｏｒｒに真空排
気し、１０００℃に昇温し、ＴｉＣｌ4４％ ＣＨ4 ４
％ Ｈ2 ９２％の割合で混合したガスを２０ｍｉｎ流
し、ＴｉＣ膜を生成し、ついでＮ2ガスを順次供給して
ＴｉＣＮ膜を３μｍ成膜した。ＡｌＣｌ3 ５％ ＣＯ2
５％、ＣＯ １５％ Ｈ2 ７５％の割合で混合した
ガスを供給し、温度は１０００℃、２時間保持し、１．
５μｍのＡｌ2Ｏ3層を被覆した。
℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴｉ（ＣＨ3）Ｃ
Ｎ ４％ Ｎ2 ４％、Ｈ2 ９２％の割合で混合したガ
スを５ｌ／ｍｉｎの流量で送り、２時間反応させ２μｍ
のＴｉＣＮ被覆層を得た。その後１０Ｔｏｒｒに真空排
気し、１０００℃に昇温し、ＴｉＣｌ4４％ ＣＨ4 ４
％ Ｈ2 ９２％の割合で混合したガスを２０ｍｉｎ流
し、ＴｉＣ膜を生成し、ついでＮ2ガスを順次供給して
ＴｉＣＮ膜を３μｍ成膜した。ＡｌＣｌ3 ５％ ＣＯ2
５％、ＣＯ １５％ Ｈ2 ７５％の割合で混合した
ガスを供給し、温度は１０００℃、２時間保持し、１．
５μｍのＡｌ2Ｏ3層を被覆した。
【００１４】（２）試料Ｎｏ２の成膜条件 耐熱合金製反応容器内で８００℃に加熱し、２０Ｔｏｒ
ｒの減圧化でＴｉＣｌ4 ４％ Ｎ2 ４％ Ｈ2 ９６
％の割合で混合したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で流し、
１時間反応させ２μｍのＴｉＮ被覆層を得た。その後、
試料Ｎｏ１と同様の方法により被覆した。 （３）試料Ｎｏ３の成膜条件 従来例のひとつである耐熱合金製反応容器内で１０００
℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴｉＣｌ4 ４％
ＣＨ4 ２％ Ｎ2 ３０％、Ｈ2 ６４％の割合で混合
したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で流し、２時間反応させ
２μｍのＴｉＣＮ被覆層を得た。その後、試料Ｎｏ１と
同様の方法によりに被覆した。
ｒの減圧化でＴｉＣｌ4 ４％ Ｎ2 ４％ Ｈ2 ９６
％の割合で混合したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で流し、
１時間反応させ２μｍのＴｉＮ被覆層を得た。その後、
試料Ｎｏ１と同様の方法により被覆した。 （３）試料Ｎｏ３の成膜条件 従来例のひとつである耐熱合金製反応容器内で１０００
℃に加熱し、２０Ｔｏｒｒの減圧化でＴｉＣｌ4 ４％
ＣＨ4 ２％ Ｎ2 ３０％、Ｈ2 ６４％の割合で混合
したガスを５ｌ／ｍｉｎの流量で流し、２時間反応させ
２μｍのＴｉＣＮ被覆層を得た。その後、試料Ｎｏ１と
同様の方法によりに被覆した。
【００１５】次いで、皮膜構造を調査するため、研摩し
ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）にて、組織観察・成分分析
を行いＷ、Ｃｏ、Ｔａ等の拡散の状況を測定した。その
結果を図１に示す。図１の結果より、従来製造方法で行
うと、基体中のＣｏ、Ｗ等の拡散がおおく、境界より数
ミクロンにわたり分析された。それに対し、低温で蒸着
した場合にはほとんど拡散が生じていなかった。
ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）にて、組織観察・成分分析
を行いＷ、Ｃｏ、Ｔａ等の拡散の状況を測定した。その
結果を図１に示す。図１の結果より、従来製造方法で行
うと、基体中のＣｏ、Ｗ等の拡散がおおく、境界より数
ミクロンにわたり分析された。それに対し、低温で蒸着
した場合にはほとんど拡散が生じていなかった。
【００１６】これら３種のチップを用い以下の切削条
件、すなわち鋳物連続切削 被削材 ＦＣ２５（ＨＢ２３０） 切削速度 １８０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切り込み １．５ｍｍ 水溶性切削油使用 で切削試験を行った。平均逃げ面摩耗量が０．４ｍｍ、
クレーター摩耗が０．１ｍｍのどちらかに達した時間を
寿命と判断した。
件、すなわち鋳物連続切削 被削材 ＦＣ２５（ＨＢ２３０） 切削速度 １８０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．３ｍｍ／ｒｅｖ 切り込み １．５ｍｍ 水溶性切削油使用 で切削試験を行った。平均逃げ面摩耗量が０．４ｍｍ、
クレーター摩耗が０．１ｍｍのどちらかに達した時間を
寿命と判断した。
【００１７】試料Ｎｏ（３）のスローアウェイチップは
２５分間の切削で寿命に達しているのに対し、本発明に
よる（１）、（２）は表１から明からかなように４０〜
５０分間切削出来るた。また本発明によるチップの寿命
はいずれも平均逃げ面の摩耗によるものでありクレータ
ー摩耗は寿命まで切削してもブレークされず良好な摩耗
形態を示した。
２５分間の切削で寿命に達しているのに対し、本発明に
よる（１）、（２）は表１から明からかなように４０〜
５０分間切削出来るた。また本発明によるチップの寿命
はいずれも平均逃げ面の摩耗によるものでありクレータ
ー摩耗は寿命まで切削してもブレークされず良好な摩耗
形態を示した。
【００１８】
【発明の効果】上述のように、本発明被覆超硬工具は、
最内層に微細かつ低温処理したＴｉＮまたはＴｉＣＮを
被覆し、２層目以降に通常温度で被覆したことにより、
最内層が基体中のＷ、Ｃｏ等の物質の拡散を防止するた
め、膜全体の耐摩耗性が向上し、膜質本来の性能が発揮
され、また２層目以降は通常の化学蒸着法により様々な
膜を被覆しても最内層に於いて拡散を防止しているため
影響が少ない。
最内層に微細かつ低温処理したＴｉＮまたはＴｉＣＮを
被覆し、２層目以降に通常温度で被覆したことにより、
最内層が基体中のＷ、Ｃｏ等の物質の拡散を防止するた
め、膜全体の耐摩耗性が向上し、膜質本来の性能が発揮
され、また２層目以降は通常の化学蒸着法により様々な
膜を被覆しても最内層に於いて拡散を防止しているため
影響が少ない。
【図１】図１は透過型電子顕微鏡による、本発明被覆超
硬工具の基体表面から最外層に向かっての成分分析の結
果を示す。
硬工具の基体表面から最外層に向かっての成分分析の結
果を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鷲見 暁夫 千葉県成田市新泉13番地の２ 日立ツー ル株式会社 成田工場内 (72)発明者 高橋 利尚 東京都江東区東陽４−１−13 日立ツー ル株式会社内 (72)発明者 植田 広志 千葉県成田市新泉13番地の２ 日立ツー ル株式会社 成田工場内 審査官 槻木澤 昌司 (56)参考文献 特開 平３−64469（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−197677（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−229856（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−270806（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−89666（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−220604（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 周期率表の４ａ、５ａ、６ａ族の炭化
物、窒化物、炭窒化物の一種以上とＦｅ、Ｎｉ、Ｃｏ、
Ｗ、Ｍｏ、Ｃｒの一種以上とよりなる超硬質合金を基体
とし、基体表面より２層以上被覆し、かつ内層の厚さを
１．０〜５μｍ、２層目以降の厚さを０．５〜１０μｍ
とする被覆工具において、基体表面より被覆外層に向か
って基体中の主成分であるＷ、Ｃｏの拡散がｘ線強度比
に於いて Ｗ強度比 ０≦Ｗ／（４ａ＋５ａ＋６ａ＋Ｆｅ族）≦０．０４ Ｃｏ強度比 ０≦Ｃｏ／（４ａ＋５ａ＋６ａ＋Ｆｅ族）≦０．０２ の範囲内であることを特徴とする被覆工具。 - 【請求項２】 請求項１の被覆工具に於いて、基体の表
面より被覆外層に向かって基体中の主成分であるＷ、Ｃ
ｏの拡散が最内層に於いて、濃度勾配を有し、かつ、２
層目以降に於いてはほぼ０であることを特徴とする被覆
工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7529792A JP2733809B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 被覆工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7529792A JP2733809B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 被覆工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05237707A JPH05237707A (ja) | 1993-09-17 |
| JP2733809B2 true JP2733809B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=13572175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7529792A Expired - Fee Related JP2733809B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 被覆工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2733809B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3064610B1 (en) | 2012-04-19 | 2019-03-06 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool |
| JP6011631B2 (ja) * | 2012-10-01 | 2016-10-19 | 三菱日立ツール株式会社 | 硬質皮膜被覆工具及びその製造方法 |
| JP2018030205A (ja) | 2016-08-25 | 2018-03-01 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 切削工具およびその製造方法 |
| JP7373110B2 (ja) * | 2019-03-20 | 2023-11-02 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層が優れた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP7529792A patent/JP2733809B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05237707A (ja) | 1993-09-17 |
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