JP2722235B2 - 両面研磨装置における上定盤支持装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、両面研磨装置における上定盤支持装置に関
するものである。

［従来の技術］ 一般に、ワークの両面を同時に研磨する両面研磨装置
は、例えば第４図に示すように、シリンダ１により昇降
自在の定盤吊り２に複数のスタッド３及び中継プレート
3aを介して吊設された上定盤４と、該上定盤４に対向す
る下定盤５と、該下定盤５の中心に位置する太陽歯車６
と、下定盤５の周囲に位置する内歯歯車７とを備え、こ
れらの歯車6,7に噛合して遊星歯車状に駆動されるキャ
リア８に保持させたワーク９を上下の定盤４、５によっ
て研磨するようになっているが、上下の定盤面に砥石又
はポリッシングパッドを貼り付けた場合には、加工面の
摩擦抵抗が大きいため、加工中に装置に振動が発生し、
ワークの加工精度が悪くなるばかりでなく、極端な場合
には振動によって加工そのものが困難になる場合もあっ
た。

そこで、特開昭52-56489号公報に開示されているよう
に、下定盤を流体軸受で支持させることによって加工中
の振動を吸収させるようにしたものが提案されたが、流
体軸受の使用によって構造が非常に複雑化し、しかもコ
ストが高くなるという欠点があった。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明の課題は、簡単且つ安価な構成により、加工中
の振動を確実に吸収、緩和することができるように構成
することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明においては、シリン
ダにより昇降自在の定盤吊りにスタッドを介して吊設さ
れた上定盤と、該上定盤に対向する下定盤と、キャリア
を遊星歯車状に駆動する太陽歯車及び内歯歯車とを備
え、該キャリアに保持させたワークを上下の定盤によっ
て研磨加工するようにした両面研磨装置において、上記
上定盤を支持する柱状のスタッドの少なくとも一部に弾
性を持たせることにより、加工中の振動を吸収させるた
めの吸振部を形成した上定盤支持装置が提供される。

また、本発明においては、上記両面研磨装置におい
て、上定盤を支持する柱状のスタッドと定盤吊りとの間
に、水平方向への相対変位を生じさせて振動を吸収する
吸振部材を介在させてなる上定盤支持装置が提供され
る。

［作用］ 本発明によれば、スタッドに形成した吸振部またはス
タッドと定盤吊りとの間に設けた吸振部材が加工中の装
置の振動を吸収するため、その振動により加工精度が低
下したり加工が困難になるといった不都合を生じること
がない。

しかも、流体軸受で下定盤を支持する場合に比べ、構
造が非常に簡単であるばかりでなく、コスト的にも安く
なる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳細に説
明する。

第１図は本発明の第１実施例を示すもので、10は両面
研磨装置における上定盤、11は該上定盤10の内周部に固
定された吊設用の中継プレート、12は図示しないシリン
ダのピストンロッドに取り付けられた定盤吊りであっ
て、上記上定盤10は、中継プレート11と定盤吊り12との
間に取り付けられた複数の柱状のスタッド13によって該
定盤吊り12に吊設、支持されている。なお、その他の構
成は実質的に第４図に示す公知の両面研磨装置と同様で
あるから、その説明は省略する。

上記スタッド13は、その下端部が螺子部14の螺着によ
って中継プレート11に、上端部がボルト15によって定盤
吊り12にそれぞれ固定されており、該スタッド13の少な
くとも一部には、細径化により弾性を持たせた吸振部13
aが形成され、該吸振部13aによって加工中の装置の振動
を吸収、緩和するようになっている。

いま、ワークの加工中に装置に振動が発生すると、こ
の振動は上記スタッド13の吸振部13aによって吸収、緩
和される。従って、振動によって加工精度の低下や加工
不能等を生じることがない。

上記スタッド13を定盤吊り12に取り付ける場合、第２
図に示すように、ボルト15と定盤吊り12との間及び定盤
吊り12とスタッド13との間の少なくとも一方に、ゴム、
合成樹脂、弾性金属体等の一つ又は二つ以上の組み合わ
せからなる弾性部材16を介在させることもでき、これに
より、該弾性部材16とスタッド13の吸振部13aとの相乗
作用によって一層勝れた吸振効果を得ることができる。

第３図は本発明の第３実施例を示すもので、この実施
例では、スタッド20をボルト21で定盤吊り22に取り付け
る場合に、ボルト21と定盤吊り22との間及び定盤吊り22
とスタッド20との間に低摩擦部材からなる吸振部材23,2
4を介在させ、該吸振部材23,24によって振動を吸収させ
るようにしている。この吸振部材23,24は、振動発生時
にスタッド20と定盤吊り22との間に水平方向の相対変位
を生じさせて振動を吸収し得る程度に摩擦の小さいもの
であればどのようなものでも良く、実施例ではボールベ
アリングを使用している。このボールベアリングは、円
環状の溝27内にその溝幅よりも十分に小径のボール28を
間隔をおいて配設したもので、該ボール28の溝方向及び
溝幅方向の移動によって振動を吸収するものである。な
お、スタッド20の下端は細径部20aとし、該細径部20aに
設けた螺子20bの螺着によって上定盤25上の中継プレー
ト26に固定している。

この第３実施例においても、ボールベアリングからな
る吸振部材23,24の吸振効果によって加工中の振動が吸
収、緩和され、ワークを高精度に加工することができ
る。

［発明の効果］ このように本発明によれば、上定盤を定盤吊りに取り
付けるための柱状のスタッドに吸振部を直接形成する
か、または上記スタッドと定盤吊りとの間に水平方向の
相対変位を生じさせて振動を吸収する吸振部材を介在さ
せることにより、従来の装置に大幅な改造を施すことな
く、スタッドの構造及び取付方法に若干の改変を加える
だけで、加工中の装置の振動を簡単且つ確実に吸収・緩
和して化高精度を高めることができる。

特に、流体軸受で下定盤を支持する場合や、ばね等の
弾性手段で上定盤を吊支する場合に比べ、構造が非常に
簡単であるばかりでなく、コスト的にも安く構成するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の第１実施例を示す要部断面図、第２図
は同第２実施例を示す要部断面図、第３図は同第３実施
例を示す要部断面図、第４図は従来の両面研磨装置の要
部断面図である。 10,25……上定盤、13,20……スタッド、13a……吸振
部、23,24……吸振部材。

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】シリンダにより昇降自在の定盤吊りに柱状
   のスタッドを介して吊設された上定盤と、該上定盤に対
   向する下定盤と、キャリアを遊星歯車状に駆動する太陽
   歯車及び内歯歯車とを備え、該キャリアに保持させたワ
   ークを上下の定盤によって研磨加工するようした両面研
   磨装置において、 上記柱状のスタッドの少なくとも一部に弾性を持たせる
   ことにより、加工中の振動を吸収させるための吸振部を
   形成したことを特徴とする両面研磨装置における上定盤
   支持装置。
2. 【請求項２】シリンダにより昇降自在に定盤吊りに柱状
   のスタッドを介して吊設された上定盤と、該上定盤に対
   向する下定盤と、キャリアを遊星歯車状に駆動する太陽
   歯車及び内歯歯車とを備え、該キャリアに保持させたワ
   ークを上下の定盤によって研磨するようにした両面研磨
   装置において、 上記柱状のスタッドと定盤吊りとの間に、水平方向への
   相対変位を生じさせて振動を吸収する吸振部材を介在さ
   せたことを特徴とする両面研磨装置における上定盤支持
   装置。