JP2713974B2 - disk - Google Patents

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JP2713974B2
JP2713974B2 JP63095514A JP9551488A JP2713974B2 JP 2713974 B2 JP2713974 B2 JP 2713974B2 JP 63095514 A JP63095514 A JP 63095514A JP 9551488 A JP9551488 A JP 9551488A JP 2713974 B2 JP2713974 B2 JP 2713974B2
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、情報(信号)の記録又は再生が可能なディ
スクに関し、特にピット信号変調度(トラッキング誤差
信号及びピットを再生する際のピット変調度)をほぼフ
ラットにするディスクに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk on which information (signal) can be recorded or reproduced, and more particularly to a pit signal modulation degree (a pit modulation for reproducing a tracking error signal and a pit). Degree) is about a flat disk.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

光ディスクを使用した情報の記録再生装置におけるト
ラッキング方式には、連続サーボ方式とサンプルサーボ
方式とがある。これらの方式については1986年12月15日
付で発行された日経エレクトロニクスの第163頁から第1
70頁に記載された「連続溝方式とサンプルサーボ方式の
2本立てに」や、昭和62年12月3日付で発行された、財
団法人光産業技術振興協会光ディスク懇談会と社団法人
情報処理学会情報規格調査会とによる「光ディスク標準
化動向説明会資料」に述べられている。連続溝サーボ方
式は以前から開発されてきた方式である。一方、サンプ
ルサーボ方式はトラッキング安定性の良い点が注目され
て、最近活発に開発されている方式である。
A tracking method in an information recording / reproducing apparatus using an optical disk includes a continuous servo method and a sample servo method. These systems are described on page 163 of Nikkei Electronics, published on December 15, 1986.
"Dual feature of continuous groove method and sample servo method" described on page 70, "Optical Industry Technology Promotion Association Optical Disc Roundtable" and Information Processing Society of Japan, published on December 3, 1987 It is described in the "Optical Disc Standardization Trend Briefing Material" by the Standards Research Committee. The continuous groove servo method is a method that has been developed for a long time. On the other hand, the sample servo method is a method that has been actively developed recently because attention is paid to its good tracking stability.

従来のサンプルサーボ方式の記録再生装置に使用され
る光ディスクについて、第2図を用いて説明する。
An optical disc used in a conventional sample servo type recording / reproducing apparatus will be described with reference to FIG.

第2図は光ディスクの模式平面図とその局部拡大図を
示したものである。図示のごとく、光ディスクのディス
ク基板11の読取面16上にトラック17,18が設けられてい
る。このトラック17,18を記録再生装置の光ヘッド(図
示せず)が走行するものである。そして、サンプルサー
ボ方式ではトラック17,18の所々にトラッキング用のサ
ンプルマーク12,13が設けられている。このサンプルマ
ーク12,13は、トラック17,18を中心としてディスク半径
方向に振り分けられて配置された、ウォブルピットとし
て形成される。前記した光ヘッドはウォブルピット12,1
3からの反射光量が同じになる点をトラック17,18の中心
として検知し、この点を走行位置として設定する。な
お、破線で示したトラック17,18は配置の一例であっ
て、実際には多数設けられている。第2図の局部拡大図
では、他のトラックにおけるウォブルピット12,13につ
いても記載した。またクロックピット14は、記録再生装
置によって後に記録されるデータピット(図示せず)の
検知を行うために設けられたものである。さらに、ディ
スク基板11はプラスチックまたはガラスなどからなるレ
プリカ基板である。
FIG. 2 shows a schematic plan view of the optical disk and a partially enlarged view thereof. As shown, tracks 17, 18 are provided on a reading surface 16 of a disk substrate 11 of the optical disk. An optical head (not shown) of the recording / reproducing apparatus travels on the tracks 17, 18. In the sample servo method, tracking sample marks 12 and 13 are provided on tracks 17 and 18, respectively. The sample marks 12 and 13 are formed as wobble pits, which are arranged in the radial direction of the disk around the tracks 17 and 18. The optical head described above has a wobble pit 12,1
A point where the amount of reflected light from 3 becomes the same is detected as the center of the tracks 17 and 18, and this point is set as a running position. The tracks 17, 18 indicated by broken lines are examples of arrangement, and a large number of tracks 17 and 18 are actually provided. In the locally enlarged view of FIG. 2, the wobble pits 12 and 13 in other tracks are also described. The clock pit 14 is provided for detecting a data pit (not shown) recorded later by the recording / reproducing apparatus. Further, the disk substrate 11 is a replica substrate made of plastic, glass, or the like.

ウォブルピット12,13およびクロックピット14のディ
スク周方向の長さ、すなわちピット長lは前記光ヘッド
の走行時間に換算すると90nsになる。ピット長lの実寸
法はディスク半径rを30mmとし、光ディスクの回転数を
1800rpmとすると約0.5μmとなる。またディスク半径r
を60mmにすると、ピット長lは約1.0μmになる。一
方、これらのピットの光学的な深さは、光ヘッドに使用
される読取りレーザの波長をλとするとλ/4になる。こ
こで波長λは通常830nmに選ばれるものである。このよ
うなピットが設けられたサンプルマーク領域は、1回転
(1トラック)当り1000〜3000箇所が必要であり、通常
は1376箇所となっている。また、サンプルマーク領域以
外の部分、すなわちセクタアドレス部15は1トラックに
32個所ある。このセクタアドレス部15にはアドレスを示
すピット(図示せず)が設けられる。
The length of the wobble pits 12, 13 and the clock pit 14 in the circumferential direction of the disk, that is, the pit length l is 90 ns in terms of the running time of the optical head. The actual size of the pit length l is 30 mm for the disk radius r and the number of rotations of the optical disk is
If it is 1800 rpm, it will be about 0.5 μm. Also, the disc radius r
Is 60 mm, the pit length 1 is about 1.0 μm. On the other hand, the optical depth of these pits is λ / 4, where λ is the wavelength of the reading laser used in the optical head. Here, the wavelength λ is usually selected to be 830 nm. The sample mark area in which such pits are provided requires 1000 to 3000 locations per rotation (one track), and usually 1376 locations. Also, the portion other than the sample mark area, that is, the sector address portion 15 is on one track.
There are 32 places. The sector address section 15 is provided with a pit (not shown) indicating an address.

このようなサンプルサーボ方式に対応した光ディスク
のウォブルピット12,13およびクロックピット14は、ビ
デオディスクあるいはコンパクトディスクと同様に、ホ
トレジスト膜を形成したプラスチックまたはガラスなど
の原盤上に、細く絞ったカッティング用レーザ光を照射
し、照射後の原盤を現像することにより形成される。そ
して、カッティングマシンによるカッティング用レーザ
光の照射パワーPBは、光ディスク原盤の読取面上の任意
の点における線速度をvとし、レーザ光の照射密度をJ
とした場合に、PB=Jvを満たすように制御される。
The wobble pits 12 and 13 and the clock pit 14 of an optical disk compatible with such a sample servo method are used for cutting narrowly squeezed on a master made of a photoresist film-formed plastic or glass, similarly to a video disk or a compact disk. It is formed by irradiating a laser beam and developing the irradiated master. The irradiation power P B of the cutting laser light by the cutting machine is expressed as follows: the linear velocity at an arbitrary point on the reading surface of the master optical disc is set to v, and the irradiation density of the laser light is set to J.
Is controlled so as to satisfy P B = Jv.

第3図にこの場合のピット長lに対する、ディスク半
径方向のピットの幅(以後、ピット幅と呼ぶ)Wの測定
値を示す。第2図および第3図から分かるように、通常
のカッティングマシンではピット長lが長くなるとピッ
ト幅Wも大きくなる。したがって、一定の角速度で回転
させて使用するサンプルサーボ方式の光ディスクにおい
ては、第2図に示したように、ウォブルピット12,13お
よびクロックピット14のピット長lは光ディスクの内周
側と外周側とで異なってしまう。同様に、そのピット幅
Wも内外周で異なってしまう。さらに言えば、光ディス
クの読取面上に形成されるピット長lがカッティング用
レーザ光のビームスポット径より小さい場合、ピット長
lが短いほど形成されるピット幅Wは狭くなる。
FIG. 3 shows measured values of the pit width (hereinafter, referred to as pit width) W in the radial direction of the disk with respect to the pit length 1 in this case. As can be seen from FIGS. 2 and 3, in a normal cutting machine, the pit width W increases as the pit length 1 increases. Accordingly, in an optical disk of the sample servo system used by rotating at a constant angular velocity, as shown in FIG. 2, the pit lengths l of the wobble pits 12, 13 and the clock pit 14 are on the inner and outer peripheral sides of the optical disk. And will be different. Similarly, the pit width W differs between the inner and outer circumferences. Furthermore, if the pit length l formed on the reading surface of the optical disc is smaller than the beam spot diameter of the cutting laser beam, the shorter the pit length l, the smaller the formed pit width W.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

前記の従来技術では、光ディスク用原盤の作製時に、
ピット長lとピット幅Wとが光ディスクの内外周で異な
って形成される。すなわち、外周側のピットが大きくな
る。このために、光ディスクの再生時において読取面上
の記録エリアの範囲内でピット信号変調度(トラッキン
グ誤差信号およびピット変調度)が変わってしまうとい
う現象が生じるている。つまり、従来技術ではこの点に
ついての配慮がなされていなかった。
In the above-mentioned conventional technology, when producing an optical disc master,
The pit length l and the pit width W are formed differently on the inner and outer circumferences of the optical disc. That is, the pits on the outer peripheral side become large. For this reason, a phenomenon occurs that the pit signal modulation degree (tracking error signal and pit modulation degree) changes within the range of the recording area on the reading surface during reproduction of the optical disk. That is, the prior art has not considered this point.

本発明の目的は、ピット信号変調度がほぼフラットに
なるディスクを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a disk having a pit signal modulation degree which is substantially flat.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記目的は、複数のピットを有するディスクであっ
て、 ピットのディスク半径方向の幅とディスク周方向の長
さとの積から算出されるピット面積を、ディスク半径方
向の内周側に設けられているピットと外周側に設けられ
ているピットとでほぼ等しくすること、 ディスク半径方向の内周側に設けられているピットの
幅を外周側に設けられているピットの幅より広くするこ
と、 により達成される。
An object of the present invention is to provide a disk having a plurality of pits, wherein a pit area calculated from a product of a width of the pit in a disk radial direction and a length in a disk circumferential direction is provided on an inner circumferential side in the disk radial direction. Achieved by making the pits substantially equal to the pits provided on the outer circumference, and making the width of the pits provided on the inner circumference in the disk radial direction wider than the width of the pits provided on the outer circumference. Is done.

〔作用〕[Action]

第4図にピット面積とピット信号変調度(トラッキン
グ誤差信号およびピット変調度)との関係を表わす実験
データが示されている。第4図によると、トラッキング
誤差信号およびピット変調度は、ピット面積に対してそ
れぞれ最大値を持ち、この最大値付近ではピット面積の
変化に対するこれらの変化分(微分値)が小さくなって
いる。したがって、トラッキング誤差信号およびピット
変調度をバラツキが少ない状態でほぼ一定とするには、
これらの最大値に対応するピット面積にピットを設定す
ることが有効である。また、ディスク周方向のピット長
lは、ディスク半径方向の内外周で異なり、外周側のピ
ット長l0が内周側のピット長liよりも長くなる。この結
果、ディスク半径方向の内周側ピットのピット幅Wiと外
周側ピット幅Woとの関係を、ピット面積をほぼ一定に保
ちながら、Wi>Woとしてディスク原盤にピットを形成す
る手段(以下「手段(A)」という。)を採用すること
により、内周側ピット幅Wiを外周側ピット幅W0よりも長
くすれば、内周側のピット面積と外周側のピット面積と
をほぼ同じにすることができる。なお、ピット長l0とピ
ット幅Wiとを同一寸法に、かつピット長liとピット幅W0
とを同一寸法に設定することが好ましい。さらに、第4
図において、ピット面積(l×W)を0.35μm2程度にす
るとトラッキング誤差信号がほぼ一定となるので好まし
い。さらに、トラックの間隔Trが十分に大きい場合に
は、トラッキング誤差信号の最大値とピット変調度の最
大値との中間に位置するピット面積を採用することもで
きる。
FIG. 4 shows experimental data indicating the relationship between the pit area and the pit signal modulation (the tracking error signal and the pit modulation). According to FIG. 4, the tracking error signal and the pit modulation degree each have a maximum value with respect to the pit area, and the change (differential value) with respect to the change in the pit area is small near the maximum value. Therefore, in order to make the tracking error signal and the pit modulation degree almost constant with little variation,
It is effective to set a pit in a pit area corresponding to these maximum values. Moreover, pit length l of the disk circumferential direction is different in the inner periphery of the disk radial direction is longer than the pit length li of pit length l 0 is the inner circumferential side of the outer peripheral side. As a result, the relationship between the pit width Wi of the inner pit in the radial direction of the disc and the pit width Wo of the outer pit is determined by Wi> Wo while forming the pit on the disc master while maintaining the pit area almost constant (hereinafter referred to as "Wo"). If the inner pit width Wi is made longer than the outer pit width W 0 by adopting the “means (A)”), the inner pit area and the outer pit area become substantially the same. can do. The pit length l 0 and the pit width Wi have the same dimensions, and the pit length li and the pit width W 0
Are preferably set to the same dimensions. In addition, the fourth
In the figure, it is preferable to set the pit area (1 × W) to about 0.35 μm 2 because the tracking error signal becomes almost constant. Further, when the track interval Tr is sufficiently large, a pit area located between the maximum value of the tracking error signal and the maximum value of the pit modulation degree can be adopted.

また、第5図にピット幅Wとトラッキング誤差信号と
の関係を表わす実験データが示されている。ここでピッ
ト長lは約0.5〜1.0μmである。第5図から分かるよう
に、トラッキング誤差信号はピット幅Wに対しても最大
値を有しており、この最大値付近ではピット幅Wの変化
に対する変化分が小さくなっている。したがって、トラ
ッキング誤差信号をバラツキが少ない状態で一定とする
には、ピット幅に最適値(トラッキング誤差信号の最大
値に対応するピット幅の値)が存在している。内周側ピ
ットのピット幅Wiと外周側ピットのピット幅Woとの関係
を、Wi≒Woとしてディスク原盤にピットを形成する手段
(以下「手段(B)」という。)を採用して、ピット幅
Wを最適値付近でほぼ一定にするだけでよい。そして、
第5図においてピット幅Wの最適値はほぼ0.5μmであ
る。なお、図示はしていないが、後述するように、ピッ
ト幅Wを最適値付近でほぼ一定にすることによりピット
変調度もほぼ一定になることが確認された。
FIG. 5 shows experimental data representing the relationship between the pit width W and the tracking error signal. Here, the pit length 1 is about 0.5 to 1.0 μm. As can be seen from FIG. 5, the tracking error signal also has a maximum value with respect to the pit width W, and a change in the pit width W is small near this maximum value. Therefore, in order to keep the tracking error signal constant with little variation, the pit width has an optimum value (the pit width value corresponding to the maximum value of the tracking error signal). The relationship between the pit width Wi of the inner pit and the pit width Wo of the outer pit is determined by using Wi ≒ Wo as a means for forming a pit on the master disc (hereinafter referred to as “means (B)”). It is only necessary to make the width W substantially constant near the optimum value. And
In FIG. 5, the optimum value of the pit width W is approximately 0.5 μm. Although not shown, it has been confirmed that the pit modulation degree becomes substantially constant by making the pit width W substantially constant near the optimum value, as described later.

なお、第4図および第5図の測定諸元は次のとおりで
ある。ピット形成諸元については、対物レンズ(後述す
る)の開口数NAが約0.7、レーザ光の強度がスポット中
心の1/e2に低下する径であるビームスポット径φは約0.
9μm,トラックピッチTrは1.5μm、ピット長lは約0.5
〜1.0μm、光学的ピット深さ(λ/4)は、ディスク基
板として屈折率が約1.59のポリカーボネートを用いたと
きに、約130.0nmである。また、再生光学系諸元につい
てはNAが約0.5、レーザ波長λは約830nm、レーザのビー
ム径φは約1.5μmであり、そのビーム断面積は約1.8μ
m2である。
The measurement specifications in FIGS. 4 and 5 are as follows. Regarding the pit formation specifications, the numerical aperture NA of the objective lens (described later) is about 0.7, and the beam spot diameter φ, which is the diameter at which the intensity of the laser light decreases to 1 / e 2 of the spot center, is about 0.
9 μm, track pitch Tr is 1.5 μm, pit length l is about 0.5
The optical pit depth (λ / 4) is about 130.0 nm when polycarbonate having a refractive index of about 1.59 is used as the disk substrate. The reproducing optical system had an NA of about 0.5, a laser wavelength λ of about 830 nm, a laser beam diameter φ of about 1.5 μm, and a beam cross section of about 1.8 μm.
a m 2.

ここで、ピットの形成方法について述べる。まず、回
転手段が、原盤をその面上の半径方向の位置における線
速度を所定値vとして回転させるので、ピットを形成す
べき原盤の位置が更新される。レーザ照射手段はピット
を形成すべき原盤の位置にカッティング用レーザ光を照
射するので、原盤にピットを形成する。照射パワー制御
手段はカッティング用レーザ光の照射パワーを関数(J1
v+J0')によって制御するので、ディスク半径方向の位
置に応じて、形成されるピットの寸法を変化させる。
Here, a method of forming pits will be described. First, since the rotating means rotates the master at a linear velocity at a radial position on the surface with a predetermined value v, the position of the master on which pits are to be formed is updated. The laser irradiating means irradiates the position of the master on which the pits are to be formed with the cutting laser light, thereby forming pits on the master. The irradiation power control means functions the irradiation power of the cutting laser beam as a function (J 1
v + J 0 ′), the size of the pits to be formed is changed according to the position in the disk radial direction.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の第1の実施例におけるサンプルサー
ボ方式光ディスクの模式平面図と局部拡大図を示すもの
である。第1図において、ディスク基板1はポリカーボ
ネート(PC)よりなり、その中央に設けられた孔6の内
径φiは15mm、ディスク基板1の外径φoは130mm、厚
さtは1.2mmであり、データエリア7は半径rが30〜60m
mの範囲とした。またトラックピッチTrは1.5μm、光学
的ピット深さ(λ/4)は、PCの屈折率が約1.59として、
約130.0nmである。ここで、レーザ波長λは830nmであ
る。そして、カッティング用レーザ光源としては、レー
ザ波長λcが441.6nmであるヘリウムカドミウム(He−C
d)レーザ発生装置が用いられる。また、ホトレジスト
としてはポジ型レジストが用いられる。図中の5は第2
図の15と同様のセクタアドレス部である。
FIG. 1 shows a schematic plan view and a partially enlarged view of a sample servo optical disk according to a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, the disk substrate 1 is made of polycarbonate (PC), the inner diameter φi of the hole 6 provided in the center thereof is 15 mm, the outer diameter φo of the disk substrate 1 is 130 mm, the thickness t is 1.2 mm, Area 7 has a radius r of 30-60 m
m. Also, assuming that the track pitch Tr is 1.5 μm and the optical pit depth (λ / 4) is that the refractive index of the PC is about 1.59,
It is about 130.0 nm. Here, the laser wavelength λ is 830 nm. As a laser light source for cutting, helium cadmium (He-C) having a laser wavelength λc of 441.6 nm is used.
d) A laser generator is used. A positive resist is used as the photoresist. 5 in the figure is the second
This is the same sector address section as 15 in FIG.

第1図の下部に記載された局部拡大図は、横軸側に半
径r=30mmにおけるトラックの一部分(r30部)と、半
径r=60mmにおけるトラックの一部分(r60部)とをと
り、縦軸側には採用した手段(A)および手段(B)を
とって示したものである。
The local enlarged view shown in the lower part of FIG. 1 shows a part of a track at a radius r = 30 mm (r30 part) and a part of a track at a radius r = 60 mm (r60 part) on the horizontal axis side, The side shows the adopted means (A) and means (B).

ここで、2および3は第2図の12,13と同様のウォブル
ピットであり、4は第2図の14と同様のクロックピット
である。まず、前記した手段(A)を採用した場合につ
いて述べる。この場合にはr30部のピット幅Wi=W1とr60
部のピット幅W0=W2との関係はW1>W2と設定するもので
ある。なお、本実施例では内周側ピット幅W1を約0.7μ
m、外周側ピット幅W2を約0.35μmに設定してピットを
形成し、ピット面積をほぼ0.35μm2一定とした。
Here, 2 and 3 are wobble pits similar to 12 and 13 in FIG. 2, and 4 is a clock pit similar to 14 in FIG. First, the case where the above-described means (A) is employed will be described. Pit width of r30 parts in this case Wi = W 1 and r60
The relationship with the pit width W 0 = W 2 is to set W 1 > W 2 . Incidentally, the inner peripheral side pit width W 1 is approximately in the present embodiment 0.7μ
The pits were formed by setting the outer pit width W 2 to about 0.35 μm, and the pit area was kept constant at about 0.35 μm 2 .

さて、所定面積のピットを形成する方法について述べ
ることにする。一般にピット寸法はカッティング時のレ
ーザ光の照射パワーPに比例している。また、第3図に
示したように、従来の照射パワー制御方式(PB=Jv)に
よってピットを形成すると、内周側ピット幅Wiが狭くな
り、外周側ピット幅W0が広くなる。そこで、照射パワー
制御方式として照射パワーPを定数J0≒2.7mJに設定す
る方式を採用し、回転させたディスク原盤に対してカッ
ティングを行う。この結果、ピット面積がほぼ一定とな
り、ピット幅の関係はW1>W2となる。この結果として、
記録エリア内でトラッキング誤差信号およびピット変調
度がそれぞれ約40%、約70%と一定な光ディスクを作製
することができる。
Now, a method for forming a pit having a predetermined area will be described. Generally, the pit size is proportional to the irradiation power P of the laser beam at the time of cutting. Also, as shown in FIG. 3, when pits are formed by the conventional irradiation power control method (P B = Jv), the inner peripheral side pit width Wi becomes narrower and the outer peripheral side pit width W 0 becomes wider. Therefore, a method of setting the irradiation power P to a constant J 0 ≒ 2.7 mJ is adopted as the irradiation power control method, and cutting is performed on the rotated disk master. As a result, the pit area becomes substantially constant, and the relationship between the pit widths becomes W 1 > W 2 . As a result of this,
It is possible to manufacture an optical disc in which the tracking error signal and the pit modulation degree are constant at about 40% and about 70%, respectively, in the recording area.

以上に述べた第1の実施例において、ピット面積を0.
35μm2一定としたが、ピット面積0.2〜0.8μm2でも十分
なトラッキング誤差信号およびピット変調度が得られ
た。この時のピット面積は再生光のビーム面積1.8μm2
の10〜45%に相当している。
In the first embodiment described above, the pit area is set to 0.
Was 35 [mu] m 2 constant, but even pit area 0.2 to 0.8 [mu] m 2 sufficient tracking error signal and pit modulation factor is obtained. The pit area at this time is a reproduction light beam area of 1.8 μm 2
10 to 45% of the total.

なお、照射パワー制御方式として照射パワーPの大き
さを制御する場合について述べたが、ピットカッティン
グ時間Tを制御することによっても一定のピット面積を
得ることができる。
Although the case where the magnitude of the irradiation power P is controlled as the irradiation power control method has been described, a constant pit area can also be obtained by controlling the pit cutting time T.

従来のピットカッティング時間Tc=90nsに対する補正
(制御)後のピットカッティング時間TA,TB,TDについて
タイムチャートを第7図に示す。第7図において横軸は
時間であり、縦軸はカッティング用レーザ光の照射オン
を示すものである。従来のピットカッティング時間TC
破線で示されている。また、このタイムチャートにおい
ては、左側からウォブルピット2のピットカッティング
時間TC、ウォブルピット3の時間TC、クロックピット4
の時間TCの順に記載した。第7図(a)はr30部でのピ
ットカッティング時間TA=120nsを示すものである。
Pit cutting time T A after correction for conventional pit cutting time Tc = 90ns (control), T B, shows a time chart in FIG. 7 for T D. In FIG. 7, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the irradiation of the cutting laser light. Conventional pit cutting time T C is shown in broken lines. Further, in this time chart, the pit cutting time of the wobble pits 2 from the left T C, the time T C of the wobble pits 3, the clock pit 4
They were listed in order of the time T C. FIG. 7A shows the pit cutting time T A = 120 ns in the r30 part.

第7図(b)は光ディスクの半径r=45mmにおけるトラ
ックの一部分(r45部)でのピットカッティング時間TB
=85nsを示すものである。第7図(c)はr60部でのピ
ットカッティング時間TD=50nsを示すものである。この
ように時間TCを光ディスク半径rの値にともなって、時
間TA,TB,TDと補正していく場合においても、ほぼ一定の
ピット面積(0.35μm2)が得られる。
Figure 7 (b) is a pit cutting time T B in the portion of the track in the radial r = 45 mm of the optical disc (r45 parts)
= 85 ns. FIG. 7C shows the pit cutting time T D = 50 ns in the r60 part. As described above, even when the time T C is corrected to the times T A , T B , and T D according to the value of the radius r of the optical disk, a substantially constant pit area (0.35 μm 2 ) can be obtained.

次に、第1図において、前記した手段(B)を採用し
た場合について述べる。この場合には、r30部のピット
幅Wi=W3とr60部のピット幅W0=W4との関係はW3≒W4
設定するものである。なお、本実施例ではW3≒W4≒0.5
μmに設定してピットを形成した。
Next, a case where the above-mentioned means (B) is employed in FIG. 1 will be described. In this case, the relationship between the pit width W 0 = W 4 of the pit width Wi = W 3 of r30 parts r60 parts are used for setting the W 3 ≒ W 4. In this embodiment, W 3 ≒ W 4 ≒ 0.5
Pits were formed at a setting of μm.

さて、所定ピット幅Wのピットを形成する方法につい
て第6図を用いて説明する。第6図はディスク半径rに
対するレーザ照射パワーPを、照射パワー制御方式ごと
に記載したものである。図中の破線は従来の照射パワー
制御方式(PB=Jv)を示すものであり、実線は所定面積
のピットを作製する場合に用いた本発明の照射パワー制
御方式(P=J0)を示すものである。そして、第6図中
の一点鎖線は、今回、記録エリア内におけるピット幅W
を一定にするために用いた、本発明の照射パワー制御方
式(P=J1v+J0')を示すものである。ここでJ1,J0'は
レーザ光の照射密度である。この方式(P=J1v+J0
において、J1≒0.65mJ,J0'≒1.7mJと設定して回転させ
たディスク原盤に対してカッティングを行った。このよ
うにしてカッティングを行うと、ピット幅Wがほぼ一定
となり、ピット幅の関係はW3≒W4となる。この結果とし
て、記録エリア内で、トラッキング誤差信号およびピッ
ト変調度がそれぞれ約35〜40%、約60〜80%とほぼ一定
な光ディスクを作製することができた。
Now, a method of forming a pit having a predetermined pit width W will be described with reference to FIG. FIG. 6 shows the laser irradiation power P with respect to the disk radius r for each irradiation power control method. The dashed line in the figure indicates the conventional irradiation power control method (P B = Jv), and the solid line indicates the irradiation power control method (P = J 0 ) of the present invention used for forming a pit having a predetermined area. It is shown. The dashed line in FIG. 6 indicates the pit width W in the recording area this time.
It was used to constant shows the irradiation power control method of the present invention (P = J 1 v + J 0 '). Here, J 1 and J 0 ′ are irradiation densities of laser light. This method (P = J 1 v + J 0)
In the above, cutting was performed on the master disc that was rotated by setting J 1 ≒ 0.65 mJ and J 0 ≒ 1.7 mJ. When cutting is performed in this manner, the pit width W becomes substantially constant, and the relationship between the pit widths is W 3 ≒ W 4 . As a result, it was possible to produce an optical disk in which the tracking error signal and the pit modulation degree were approximately constant at about 35 to 40% and about 60 to 80%, respectively, in the recording area.

なお、ピットカッティング時間Tを制御することによ
ってもほぼ一定のピット幅Wを得ることができた。これ
を第7図の場合に適応させて述べると、r30部でのピッ
トカッティング時間TAは120ns、r45部でのピットカッテ
ィング時間TBは105ns、r60部でのピットカッティング時
間TDは90nsとなる。このように従来のピットカッティン
グ時間TCを光ディスクの半径rの値にともなって、時間
TA,TB,TDと補正していく場合においても、ほぼ一定のピ
ット幅(0.5μm)が得られる。
It should be noted that a substantially constant pit width W could be obtained by controlling the pit cutting time T. Describing this by adapts the case of Figure 7, the pit cutting time T D of the pit cutting time T B is 105 ns, r60 parts of the pit cutting time T A is 120 ns, r45 parts at r30 parts and 90ns Become. As described above, the conventional pit cutting time T C is calculated according to the value of the radius r of the optical disk.
Even when the correction is made to T A , T B , and T D , a substantially constant pit width (0.5 μm) can be obtained.

また、以上の実施例では光ディスクの読取面上で、ピ
ットが円形またはピット幅Wよりピット長lが長くなる
ものについて述べたが、カッティング用レーザ光のディ
スク周方向(トラック方向)に対するビームスポット径
を最短ピットよりも小さくし、ピット幅Wがピット長l
より長いピットを形成してもピット幅Wを内外周で一定
とすることができる。この実施例を第8図に示す。
In the above embodiments, the pit is circular or the pit length l is longer than the pit width W on the reading surface of the optical disk. However, the beam spot diameter of the cutting laser beam with respect to the disk circumferential direction (track direction) is described. Is smaller than the shortest pit, and the pit width W is the pit length l
Even when a longer pit is formed, the pit width W can be made constant at the inner and outer circumferences. This embodiment is shown in FIG.

第8図は、第2図と同様に光ディスクの模式平面図と局
部拡大図を示したものであって、81はディスク基板、82
および83はウォブルピット、84はクロックピット、85は
セクタアドレス部である。この第8図の実施例において
もピット信号変調度のほぼ一定な光ディスクを得ること
ができる。さらに、カッティング時のビームスポット径
を最小ピット長と同等になるように、光学系を用いて絞
り込んでいっても同様の効果が得られる。
FIG. 8 shows a schematic plan view and a partially enlarged view of the optical disk as in FIG.
Reference numerals 83 and 83 denote a wobble pit, 84 a clock pit, and 85 a sector address portion. In the embodiment shown in FIG. 8, an optical disk having a substantially constant pit signal modulation degree can be obtained. Further, the same effect can be obtained even if the beam spot diameter at the time of cutting is narrowed down using an optical system so as to be equal to the minimum pit length.

さて、本発明の光ディスクのピット形成に使用するカ
ッティングマシンについて、一例を挙げて簡単に説明す
る。
Now, a cutting machine used for forming pits on an optical disc according to the present invention will be briefly described with reference to an example.

第9図は本発明で使用するカッティングマシンの構成
図である。図示のカッティングマシンでは、ピットを形
成するにあたって、まず、読取面上にホトレジスト膜29
を有するガラス原盤28を、回転手段(図示せず。)を用
いて、回転中心軸30まわりに回転させる。さらに、光偏
向器26および対物レンズ27などからなるヘッド移動部25
を、ガラス原盤28の回転にともなって、半径方向に移動
させる。ここで、ヘッド移動部25の移動は、一回転で1
トラックピッチ分である。このような機械系の動作状態
において、ヘリウムカドミウム(He−Cd)レーザ発生装
置21はレーザ光20を出力する。このレーザ光20は、順に
照射パワー制御器22、ミラー23、コリメートレンズ24、
光変調器31、コリメートレンズ32、ミラー33を通ってヘ
ッド移動部25に入射する。このヘッド移動部25に入射し
たレーザ光20′は光偏向器26と対物レンズ27を経てホト
レジスト膜29に照射される。この結果としてカッティン
グが行なわれ、ピットが形成されるわけである。
FIG. 9 is a configuration diagram of a cutting machine used in the present invention. In the illustrated cutting machine, when forming pits, first, a photoresist film 29 is formed on the reading surface.
Is rotated around a rotation center axis 30 using a rotating means (not shown). Further, a head moving unit 25 including an optical deflector 26 and an objective lens 27 is provided.
Is moved in the radial direction with the rotation of the glass master. Here, the movement of the head moving unit 25 is one rotation.
This corresponds to the track pitch. In such an operation state of the mechanical system, the helium cadmium (He-Cd) laser generator 21 outputs a laser beam 20. This laser beam 20 is irradiated with an irradiation power controller 22, a mirror 23, a collimator lens 24,
The light enters the head moving unit 25 through the optical modulator 31, the collimating lens 32, and the mirror 33. The laser beam 20 'incident on the head moving section 25 is irradiated on a photoresist film 29 via an optical deflector 26 and an objective lens 27. As a result, cutting is performed and pits are formed.

第6図などで説明したレーザ照射パワーPの制御(P
=J1v+J0')は照射パワー制御器22で行われる。線速度
vの設定は、ヘッド移動部25の位置をポテンショメータ
(図示せず)で検出し、この検出値に基づいて設定した
(ただし、この方法に限るものではない)。また、光変
調器31は、第7図のピットカッティング時間TCに示した
ようなタイミングで、カッティング用のレーザ光20の照
射オン、照射オフの制御(変調)を行う。そして、光変
調器31により変調されたレーザ光20′は、光偏向器26に
よって偏向される。この偏向は、ウォブルピットを形成
するときにのみ行うものであって、トラックを中心とし
たディスク半径方向の対称位置に、カッティング用レー
ザ光を照射するために行うものである。
The control of the laser irradiation power P (P
= J 1 v + J 0 ′) is performed by the irradiation power controller 22. The linear velocity v was set based on the position of the head moving section 25 detected by a potentiometer (not shown) and based on the detected value (however, the method is not limited to this). Further, the optical modulator 31 at the timing shown in the pit cutting time T C of Figure 7 performs irradiation on the laser beam 20 for cutting, the control of irradiation off (modulation). Then, the laser beam 20 ′ modulated by the optical modulator 31 is deflected by the optical deflector 26. This deflection is performed only when wobble pits are formed, and is used to irradiate a laser beam for cutting to a symmetric position in the disk radial direction centering on a track.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明によれば、ピット信号変調度をほぼ一定(フラ
ット)にすることができるので、品質の高いディスクを
提供することができる。
According to the present invention, the pit signal modulation degree can be made substantially constant (flat), so that a high quality disc can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図および第8図はそれぞれ本発明による実施例の光
ディスクの模式平面図および局部拡大図、第2図はサン
プルサーボ方式を適用した従来の光ディスクの模式平面
図および局部拡大図、第3図〜第7図は本発明を説明す
るための特性図、第9図は本発明の光ディスクのピット
形成に使用するカッティングマシンの一例を示す構成図
である。 1,11,81……ディスク基板、2,3,12,13,82,83……ウォブ
ルピット、4,14,84……クロックピット、5,15,85……セ
クタアドレス部。
1 and 8 are a schematic plan view and a local enlarged view of an optical disk according to an embodiment of the present invention, respectively. FIG. 2 is a schematic plan view and a local enlarged view of a conventional optical disk to which a sample servo system is applied. FIG. 7 to FIG. 7 are characteristic diagrams for explaining the present invention, and FIG. 9 is a configuration diagram showing an example of a cutting machine used for forming pits on the optical disk of the present invention. 1,11,81: disk substrate, 2,3,12,13,82,83 ... wobble pit, 4,14,84 ... clock pit, 5,15,85 ... sector address section.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石垣 正治 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日立製作所家電研究所内 (72)発明者 福井 幸夫 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株式会社日立製作所家電研究所内 (56)参考文献 特開 昭54−141604(JP,A) 特開 昭60−145535(JP,A) 特開 昭64−88325(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shoji Ishigaki 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Inside the Home Appliances Research Laboratory, Hitachi, Ltd. (72) Yukio Fukui 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa (56) References JP-A-54-141604 (JP, A) JP-A-60-145535 (JP, A) JP-A-64-88325 (JP, A)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数のピットを有するディスクであって、
前記ピットのディスク半径方向の幅とディスク周方向の
長さとの積から算出されるピット面積が、ディスク半径
方向の内周側に設けられている前記ピットと外周側に設
けられている前記ピットとで等しいことを特徴とするデ
ィスク。
1. A disc having a plurality of pits,
The pit area calculated from the product of the width of the pit in the disk radial direction and the length in the disk circumferential direction is the pit provided on the inner circumferential side of the disk radial direction and the pit provided on the outer circumferential side. A disk characterized by being equal in:
【請求項2】複数のピットを有するディスクであって、 前記ピットのディスク半径方向の幅とディスク周方向の
長さとの積から算出されるピット面積が、ディスク半径
方向の内周側に設けられている前記ピットと外周側に設
けられている前記ピットとで等しく、 前記内周側のピットの幅が前記外周側のピットの幅より
広いことを特徴とするディスク。
2. A disk having a plurality of pits, wherein a pit area calculated from a product of a width of the pit in a disk radial direction and a length of the disk in a disk circumferential direction is provided on an inner peripheral side in a disk radial direction. Wherein the pits are equal to the pits provided on the outer peripheral side, and the width of the pits on the inner peripheral side is wider than the width of the pits on the outer peripheral side.
【請求項3】前記ピット面積が0.2μm2以上0.8μm2以下
であることを特徴とする請求項1又は2記載のディス
ク。
3. The disk according to claim 1, wherein the pit area is 0.2 μm 2 or more and 0.8 μm 2 or less.
【請求項4】前記ディスクに照射される光の照射面積に
対する前記ピット面積の割合が10%以上45%以下である
ことを特徴とする請求項1又は2記載のディスク。
4. The disk according to claim 1, wherein a ratio of the pit area to a light irradiation area of the disk is 10% or more and 45% or less.
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