JP2743920B2 - disk - Google Patents

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JP2743920B2
JP2743920B2 JP9054421A JP5442197A JP2743920B2 JP 2743920 B2 JP2743920 B2 JP 2743920B2 JP 9054421 A JP9054421 A JP 9054421A JP 5442197 A JP5442197 A JP 5442197A JP 2743920 B2 JP2743920 B2 JP 2743920B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、情報(信号)の記録又
は再生が可能なディスクに関し、特にピット信号変調度
(トラッキング誤差信号およびピットを再生する際の
ット変調度)をほぼフラットとするディスクに関するも
のである。
The present invention relates to an information relates to a recording or reproduction of the discs of the (signal), in particular pin <br/> Tsu preparative modulation in reproducing pit signal modulation degree (the tracking error signal and pit ) Is substantially flat.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ディスクを使用した情報の記録再生装
置におけるトラッキング方式には、連続サーボ方式とサ
ンプルサーボ方式とがある。これらの方式については1
986年12月15日付で発行された日経エレクトロニ
クスの第163頁から第170頁に記載された「連続溝
方式とサンプルサーボ方式の2本立てに」や、昭和62
年12月3日付で発行された、財団法人光産業技術振興
協会光ディスク懇談会と社団法人情報処理学会情報規格
調査会とによる「光ディスク標準化動向説明会資料」に
述べられている。連続溝サーボ方式は以前から開発され
てきた方式である。一方、サンプルサーボ方式はトラッ
キング安定性の良い点が注目されて、最近活発に開発さ
れている方式である。
2. Description of the Related Art As a tracking system in an information recording / reproducing apparatus using an optical disk, there are a continuous servo system and a sample servo system. 1 for these methods
"Dual Feature of Continuous Groove Method and Sample Servo Method" described on pages 163 to 170 of Nikkei Electronics published on December 15, 986, and Showa 62
It is described in "Optical Disc Standardization Trend Explanatory Meeting Materials" issued by the Optoelectronic Industry and Technology Promotion Association's Optical Disc Roundtable and Information Processing Society of Japan Information Standards Investigation Committee published on December 3, 2012. The continuous groove servo method is a method that has been developed for a long time. On the other hand, the sample servo method is a method that has been actively developed recently because attention is paid to its good tracking stability.

【0003】従来のサンプルサーボ方式の記録再生装置
に使用される光ディスクについて、図2を用いて説明す
る。
An optical disk used for a conventional sample servo type recording / reproducing apparatus will be described with reference to FIG.

【0004】図2は光ディスクの模式平面図とその局部
拡大図を示したものである。図示のごとく、光ディスク
のディスク基板11の読取面16上にトラック17,1
8が設けられている。このトラック17,18を記録再
生装置の光ヘッド(図示せず)が走行するものである。
そして、サンプルサーボ方式ではトラック17,18の
所々にトラッキング用のサンプルマーク12,13が設
けられている。このサンプルマーク12,13は、トラ
ック17,18を中心としてディスク半径方向に振り分
けられて配置された、ウォブルットとして形成され
る。
FIG. 2 shows a schematic plan view of an optical disk and a partially enlarged view thereof. As shown in the figure, tracks 17 and 1 are placed on a reading surface 16 of a disk substrate 11 of the optical disk.
8 are provided. An optical head (not shown) of the recording / reproducing apparatus travels on the tracks 17 and 18.
In the sample servo method, tracking sample marks 12 and 13 are provided on tracks 17 and 18 respectively. The sample marks 12 and 13, arranged distributed in the radial direction of the disc around a track 17, 18 are formed as a wobble pin Tsu bets.

【0005】前記した光ヘッドはウォブルット12,
13からの反射光量が同じになる点をトラック17,1
8の中心として検知し、この点を走行位置として設定す
る。なお、破線で示したトラック17,18は配置の一
例であって、実際には多数設けられている。図2の局部
拡大図では、他のトラックにおけるウォブルット1
2,13についても記載した。またクロックット14
は、記録再生装置によって後に記録されるデータット
(図示せず)の検知を行うために設けられたものであ
る。さらに、ディスク基板11はプラスチックまたはガ
ラスなどからなるレプリカ基板である。
[0005] The optical head was the wobble pin Tsu door 12,
Tracks 17 and 1 indicate that the amount of reflected light from
8, and this point is set as the traveling position. The tracks 17 and 18 indicated by broken lines are examples of arrangement, and a large number of tracks 17 and 18 are actually provided. The local enlarged view of FIG. 2, the wobble pin Tsu sheet 1 in the other tracks
2, 13 are also described. The clock pin Tsu door 14
It is provided in order to perform the detection of the data pins Tsu bets to be recorded (not shown) after the recording and reproducing apparatus. Further, the disk substrate 11 is a replica substrate made of plastic or glass.

【0006】ウォブルット12,13およびクロック
ット14のディスク周方向の長さ、すなわちット長
lは前記光ヘッドの走行時間に換算すると90nsにな
る。ット長lの実寸法はディスク半径rを30mmと
し、光ディスクの回転数を1800rpmとすると約
0.5μmとなる。またディスク半径rを60mmにす
ると、ット長lは約1.0μmとなる。
[0006] The wobble pin Tsu door 12 and 13 and the clock
Disk circumferential length of the pin Tsu bets 14, i.e. Pi Tsu DOO length l becomes 90ns in terms of travel time of the optical head. Actual dimensions of pin Tsu DOO length l is the disk radius r and 30 mm, is about 0.5μm When 1800rpm rotational speed of the optical disk. Also when the disk radius r to 60 mm, pin Tsu DOO length l is approximately 1.0 .mu.m.

【0007】一方、これらのットの光学的な深さは、
光ヘッドに使用される読取りレーザの波長をλとすると
λ/4になる。ここで波長λは通常830nmに選ばれ
るものである。このようなットが設けられたサンプル
マーク領域は、1回転(1トラック)当り1000〜3
000箇所が必要であり、通常は1376箇所となって
いる。また、サンプルマーク領域以外の部分、すなわち
セクタアドレス部15は1トラックに32箇所ある。こ
のセクタアドレス部15にはアドレスを示すピット(図
示せず)が設けられる。
On the other hand, the optical depths of these pins Tsu metropolitan,
If the wavelength of the reading laser used in the optical head is λ, it is λ / 4. Here, the wavelength λ is usually selected to be 830 nm. Such pin Tsu preparative sample mark area provided in one revolution (one track) per 1000-3
000 locations are required, usually 1376 locations. Further, there are 32 portions other than the sample mark area, that is, 32 sector address portions 15 in one track. The sector address section 15 is provided with a pit (not shown) indicating an address.

【0008】このようなサンプルサーボ方式に対応した
光ディスクのウォブルット12,13およびクロック
ット14は、ビデオディスクあるいはコンパクトディ
スクと同様に、ホトレジスト膜を形成したプラスチック
またはガラスなどの原盤上に、細く絞ったカッティング
用レーザ光を照射し、照射後の原盤を現像することによ
り形成される。そして、カッティングマシンによるカッ
ティング用レーザ光の照射パワーPBは、光ディスク原
盤の読取面上の任意の点における線速度をvとし、レー
ザ光の照射密度をJとした場合に、PB=Jvを満たす
ように制御される。
[0008] The wobble pin Tsu preparative 12, 13 and the clock of the optical disc corresponding to such a sampled servo system
Pi Tsu DOO 14, similar to the video disc or compact disc, formed by on the master, such as plastic or glass to form a photoresist film is irradiated with cutting laser beam finely focused to develop a master after irradiation Is done. The irradiation power P B of the cutting laser light by the cutting machine is represented by P B = Jv, where V is the linear velocity at an arbitrary point on the reading surface of the master optical disc, and J is the irradiation density of the laser light. Controlled to meet.

【0009】図3にこの場合のット長lに対する、デ
ィスク半径方向のット幅(以後、ピット幅と呼ぶ)W
の測定値を示す。図2および図3から分かるように、通
常のカッティングマシンではット長lが長くなると
ット幅Wも大きくなる。したがって、一定の角速度で回
転させて使用するサンプルサーボ方式の光ディスクにお
いては、図2に示したように、ウォブルット12,1
3およびクロックット14のピット長lは光ディスク
の内周側と外周側とで異なってしまう。同様に、その
ット幅Wも内外周で異なってしまう。さらに言えば、光
ディスクの読取面上に形成されるット長lがカッティ
ング用レーザ光のビームスポット径より小さい場合、
ット長lが短いほど形成されるット幅Wは狭くなる。
[0009] Figure 3 for pin Tsu preparative length l of this case, the disk radial pin Tsu-wide (hereafter, referred to as a pit width) W
Shows the measured values. As can be seen from FIGS. 2 and 3, pin Tsu preparative length l is the even greater peak <br/> Tsu-wide W longer for normal cutting machine. Therefore, in the optical disc of the sample servo method used by rotating at a constant angular velocity, as shown in FIG. 2, the wobble pin Tsu preparative 12,1
Pit length l of 3 and a clock pin Tsu DOO 14 becomes different between the inner and outer peripheries of the optical disc. Similarly, the pit width W differs between the inner and outer circumferences. For that matter, if Pi Tsu preparative length l which is formed on the reading surface of the optical disk is smaller than the beam spot diameter of the cutting laser beam, Pi Tsu-wide that pin <br/> Tsu preparative length l is formed shorter W becomes narrower.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】前記の従来技術では、
光ディスク用原盤の作製時に、ット長lと幅Wとが光
ディスクの内外周で異なって形成される。すなわち、外
周側のットが大きくなる。このために、光ディスクの
再生時において読取面上の記録エリアの範囲内でット
信号変調度(トラッキング誤差信号およびピット変調
度)が変わってしまうという現象が生じている。つま
り、従来技術ではこの点についての配慮がなされていな
かった。
In the above prior art,
The manufacturing time of the master for an optical disk, is formed differently in the inner periphery of the pin Tsu preparative length l and width W TogaHikari disk. That is, peak Tsu bets increases in the outer peripheral side. For this, the phenomenon of peak Tsu preparative signal modulation (tracking error signal and pit modulation) would change occurs within the recording area on the surface reading at the time of reproducing the optical disc. That is, the prior art has not considered this point.

【0011】本発明の目的は、ピット信号変調度がほぼ
フラットになるディスクを提供することにある。
An object of the present invention is to provide a disk having a pit signal modulation degree which is substantially flat.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記目的は、複数のピッ
トを有するディスクであって、ピットのうちディスク半
径方向の最内周側に設けられているピットのディスク半
径方向の幅寸法をディスク周方向の長さよりも長くする
ことで達成される。
SUMMARY OF THE INVENTION The above object is achieved by a disk having a plurality of pits, a width of the disk radial direction of pits is provided in the innermost periphery of the pit sac Chide disk radial direction This is achieved by making the length longer than the length in the disk circumferential direction.

【0013】[0013]

【作用】図4にット面積とット信号変調度(トラッ
キング誤差信号およびピット変調度)との関係を表わす
実験データが示されている。図4によると、トラッキン
グ誤差信号およびット変調度は、ット面積に対して
それぞれ最大値を持ち、この最大値付近ではット面積
の変化に対するこれらの変化分(微分値)が小さくなっ
ている。
[Action] Pi Tsu preparative area and peak Tsu preparative signal modulation degree in FIG. 4 (a tracking error signal and the pit modulation factor) experimental data representing the relation between are shown. According to FIG. 4, the tracking error signal and the peak Tsu DOO modulation has a maximum value respectively pin Tsu preparative area, these variation with respect to a change in peak Tsu DOO area near the maximum value (differential value) is It is getting smaller.

【0014】したがって、トラッキング誤差信号および
ット変調度をバラツキが少ない状態でほぼ一定とする
には、これらの最大値に対応するット面積にットを
設定することが有効である。また、ディスク周方向の
ット長lは、ディスク半径方向の内外周で異なり、外周
側のット長loが内周側のット長liよりも長くな
る。この結果、ディスク半径方向の内周側ピットのピッ
ト幅Wiとピット幅Woとの関係を、ピット面積をほぼ
一定に保ちながら、Wi>Woとしてディスク原盤にピ
ットを形成する手段(以下「手段(A)」という。)を
採用することにより、内周側ット幅Wiを外周側
ト幅Woよりも長くすれば、内周側のット面積と外周
側のット面積とをほぼ同じにすることができる。
Therefore, the tracking error signal and
The pin Tsu bets modulation degree substantially constant at the variation is small state, it is effective to set the peak Tsu bets on pin Tsu preparative area corresponding to these maximum values. Also, peak <br/> Tsu preparative length l of the disk circumferential direction is different in the inner periphery of the disk radial direction is longer than the pin Tsu preparative length li of the inner peripheral side pin Tsu bets length lo of the outer peripheral side. As a result, the relationship between the pit width Wi and the pit width Wo of the inner circumferential pits in the radial direction of the disc is determined by Wi> Wo while forming the pits on the disc master while maintaining the pit area substantially constant (hereinafter referred to as "means ( a) "hereinafter.) by employing the inner if peripheral side pin Tsu-wide Wi longer than the outer peripheral side pin Tsu <br/>-wide Wo and the inner periphery of the pin Tsu preparative area and the outer periphery side it can be made substantially the same and a peak Tsu preparative area.

【0015】なお、ット長loとット幅Wiとを同
一寸法に、かつット長liとット幅Woとを同一寸
法に設定することが好ましい。さらに、図4において、
ット面積(l×W)を0.35μm2程度にするとト
ラッキング誤差信号がほぼ一定となるので好ましい。さ
らに、トラックの間隔Trが十分に大きい場合には、ト
ラッキング誤差信号の最大値とット変調度の最大値と
の中間に位置するット面積を採用することもできる。
[0015] Incidentally, the peak Tsu preparative length lo and pin Tsu-wide Wi same size, and it is preferable to set the peak Tsu preparative length li and the pin Tsu-wide Wo identical dimensions. Further, in FIG.
Since the tracking error signal when pin Tsu preparative area a (l × W) of about 0.35 .mu.m 2 is substantially constant preferred. Furthermore, if the interval Tr of tracks is large enough, it is also possible to employ a pin Tsu preparative area located in the middle between the maximum value and the maximum value of Pi Tsu bets degree of modulation of tracking error signal.

【0016】また、図5にット幅Wとトラッキング誤
差信号との関係を表わす実験データが示されている。こ
こでット長lは約0.5〜1.0μmである。図5か
ら分かるように、トラッキング誤差信号はット幅Wに
対しても最大値を有しており、この最大値付近では
ト幅Wの変化に対する変化分が小さくなっている。した
がって、トラッキング誤差信号をバラツキが少ない状態
で一定とするには、ット幅に最適値(トラッキング誤
差信号の最大値に対応するット幅の値)が存在してい
る。内周側ピットのピット幅Wiと外周側ピットのピッ
ト幅Woとの関係をWi≒Woとしてディスク原盤にピ
ットを形成する手段(以下、「手段(B)」という。)
を採用して、ット幅Wを最適値付近でほぼ一定にする
だけでよい。そして、図5においてット幅Wの最適値
はほぼ0.5μmである。なお、図示はしていないが、
後述するように、ピット幅Wを最適値付近でほぼ一定に
することによりピット変調度もほぼ一定になることが確
認された。
Furthermore, experimental data representing the relation between the peak Tsu-wide W and the tracking error signal is shown in FIG. Here pin Tsu door length l is about 0.5~1.0μm. As can be seen from FIG. 5, the tracking error signal has a maximum value with respect to pin Tsu-wide W, variation is reduced in the vicinity of the maximum value with respect to the change of the peak Tsu <br/>-wide W ing. Therefore, in the constant tracking error signal with little variation in the state, the optimum value Pi Tsu-wide (the value of the peak Tsu-wide corresponding to the maximum value of the tracking error signal) is present. Means for forming pits on a master disc (hereinafter referred to as "means (B)"), with the relationship between the pit width Wi of the inner pit and the pit width Wo of the outer pit being WiWWo.
The employed need only be substantially constant around the optimum value Pi Tsu-wide W. Then, the optimal value of the peak Tsu-wide W in FIG. 5 is approximately 0.5 [mu] m. Although not shown,
As will be described later, it has been confirmed that the pit modulation degree becomes substantially constant by making the pit width W substantially constant near the optimum value.

【0017】なお、図4および図5の測定諸元は次のと
おりである。ット形成諸元については、対物レンズ
(後述する)の開口数NAが約0.7、レーザ光の強度
がスポット中心の1/e2に低下する径であるビームス
ポット径φは約0.9μm,トラックピッチTrは1.
5μm、ット長lは約0.5〜1.0μm、光学的
ット深さ(λ/4)は、ディスク基板として屈折率が約
1.59のポリカーポネートを用いたときに、約13
0.0nmである。また、再生光学系諸元についてはN
Aが約0.5、レーザ波長λは約830nm、レーザの
ビーム径φは約1.5μmであり、そのビーム断面積は
約1.8μm2である。
The measurement data of FIGS. 4 and 5 are as follows. Pi Tsu For preparative forms specifications, numerical aperture NA of about 0.7 of an objective lens (described later), the beam spot diameter φ is approximately 0 the intensity of the laser light is diameter reduced to 1 / e 2 spot center 0.9 μm, the track pitch Tr is 1.
5 [mu] m, peak Tsu DOO length l of about 0.5 to 1.0 [mu] m, the optical peak <br/> Tsu preparative depth (lambda / 4) is a refractive index of about 1.59 of poly Capo sulfonate as a disk substrate When used, about 13
0.0 nm. Also, regarding the reproduction optical system specifications, N
A is about 0.5, the laser wavelength λ is about 830 nm, the laser beam diameter φ is about 1.5 μm, and the beam cross-sectional area is about 1.8 μm 2 .

【0018】ここで、ピット形成方法について述べる。
まず、回転手段が、原盤をその面上の半径方向の位置に
おける線速度を所定値vとして回転させるので、ット
を形成すべき原盤の位置が更新される。レーザ照射手段
ットを形成すべき原盤の位置にカッティング用レー
ザ光を照射するので、原盤にットを形成する。照射パ
ワー制御手段はカッティング用レーザ光の照射パワーを
関数(J1v+J0′)によって制御するので、ディスク
半径方向の位置に応じて、形成されるットの寸法を変
化させる。
Here, a pit forming method will be described.
First, the rotation means, so rotates the linear velocity at radial position on the surface of the master disk as a predetermined value v, the position of the master to form the pin Tsu bets is updated. Since the laser irradiation means for irradiating the cutting laser beam on the position of the master to form the pin Tsu bets, to form a pin Tsu bets on the master. Since irradiation power control means controls the irradiation power of the cutting laser beam function (J 1 v + J 0 ' ), depending on the position of the disk radial direction, to change the size of the pin Tsu bets to be formed.

【0019】[0019]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0020】図1は本発明の第1の実施例におけるサン
プルサーボ方式光ディスクの模式平面図と局部拡大図を
示すものである。図1において、ディスク基板1はポリ
カーポネート(PC)よりなり、その中央に設けられた
孔6の内径φ1は15mm、ディスク基板1の外形φ0
130mm、厚さtは1.2mmであり、データエリア
7は半径rが30〜60mmの範囲とした。またトラッ
クピッチTrは1.5μm、光学的ット深さ(λ/
4)は、PCの屈折率が約1.59として、約130.
0nmである。ここで、レーザ波長λは830nmであ
る。そして、カッティング用レーザ光源としては、レー
ザ波長λ0が441.6nmであるヘリウムカドミウム
(He−Cd)レーザ発生装置が用いられる。また、ホ
トレジストとしてはポジ型レジストが用いられる。図中
の5は図2の15と同様のセクタアドレス部である。
FIG. 1 shows a schematic plan view and a partially enlarged view of a sample servo type optical disk according to a first embodiment of the present invention. In Figure 1, the disk substrate 1 is made of poly Capo sulfonate (PC), an inner diameter phi 1 of the hole 6 provided in its center 15 mm, outer phi 0 of the disc substrate 1 is 130 mm, the thickness t is 1.2mm The data area 7 has a radius r in the range of 30 to 60 mm. The track pitch Tr is 1.5 [mu] m, the optical peak Tsu preparative depth (lambda /
4), assuming that the refractive index of PC is about 1.59, about 130.
0 nm. Here, the laser wavelength λ is 830 nm. A helium cadmium (He-Cd) laser generator having a laser wavelength λ 0 of 441.6 nm is used as a laser light source for cutting. A positive resist is used as the photoresist. Reference numeral 5 in the figure denotes a sector address portion similar to 15 in FIG.

【0021】図1の下部に記載された局部拡大図は、横
軸側に半径r=30mmにおけるトラックの一部分(r
30部)と、半径r=60mmにおけるトラックの一部
分(r60部)とをとり、縦軸側には採用した手段
(A)および手段(B)をとって示したものである。
The local enlarged view shown at the bottom of FIG. 1 shows a part (r) of a track at a radius r = 30 mm on the horizontal axis side.
30) and a part (r60) of the track at a radius r = 60 mm, and the vertical axis represents the means (A) and the means (B) employed.

【0022】ここで、2および3は図2の12,13と
同様のウォブルットであり、4は図2の14と同様の
クロックピットである。まず、前記した手段(A)を採
用した場合について述べる。この場合にはr30部の
ット幅Wi=W1とr60部のット幅Wo=W2との関
係はW1>W2と設定するものである。なお、本実施例で
は内周側ット幅W1を約0.7μm、外周側ット幅
2を約0.35μmに設定してットを形成し、
ト面積をほぼ0.35μm2一定とした。
[0022] Here, the 2 and 3 have the same wobble pin Tsu bets and 12, 13 of FIG. 2, 4 is the same clock pit 14 of FIG. First, the case where the above-described means (A) is employed will be described. Relationship between the peak Tsu-wide Wo = W 2 of pins <br/> Tsu-wide Wi = W 1 and r60 parts of r30 parts in this case is to set the W1> W2. Incidentally, by setting approximately 0.7μm inner circumferential side pin Tsu-wide W1, the outer peripheral side pin Tsu-wide W 2 of about 0.35μm forming a pin Tsu bets in this embodiment, pin Tsu <br/> The surface area was kept constant at approximately 0.35 μm 2 .

【0023】さて、所定面積のットを形成する方法に
ついて述べることにする。一般にット寸法はカッティ
ング時のレーザ光の照射パワーPに比例している。ま
た、図3に示したように、従来の照射パワー制御方式
(PB=Jv)によってットを形成すると、内周側
ット幅Wiが狭くなり、外周側ット幅Woが広くな
る。そこで、照射パワー制御方式として照射パワーPを
定数J0≒2.7mJに設定する方式を採用し、回転さ
せたディスク原盤に対してカッティングを行う。この結
果、ット面積がほぼ一定となり、ット幅の関係はW
1>W2となる。この結果として、記録エリア内で、トラ
ッキング誤差信号およびット変調度がそれぞれ約40
%、約70%と一定な光ディスクを作製することができ
る。
[0023] Now, it will be described a method of forming a peak Tsu bets predetermined area. Generally pin Tsu bets size is proportional to the irradiation power P of the laser light during cutting. Further, as shown in FIG. 3, to form a pin Tsu bets by conventional irradiation power control method (P B = Jv), narrows the inner circumferential side pin <br/> Tsu-wide Wi, the outer peripheral side pin Tsu G. The width Wo increases. Therefore, a method of setting the irradiation power P to a constant J 0 ≒ 2.7 mJ is adopted as the irradiation power control method, and cutting is performed on the rotated disk master. As a result, pin Tsu door area is almost constant, the relationship between the pin Tsu door width W
1> W 2 become. As a result, in the recording area, about a tracking error signal and the peak Tsu bets modulation respectively 40
%, About 70%.

【0024】以上に述べた第1の実施例においては、
ット面積を0.35μm2一定としたが、ット面積
0.2〜0.8μm2でも十分なトラッキング誤差信号
およびット変調度が得られた。この時のット面積は
再生光のビーム面積1.8μm2の10〜45%に相当
している。
In the first embodiment described [0024] above, peak <br/> Tsu is the door area was 0.35 .mu.m 2 constant, peak Tsu preparative area 0.2 to 0.8 [mu] m 2 even sufficient tracking error signal and peak Tsu bets modulation degree is obtained. Pi Tsu DOO area when this is equivalent to 10-45% of the beam area 1.8 .mu.m 2 of the reproducing light.

【0025】なお、照射パワー制御方式として照射パワ
ーPの大きさを制御する場合について述べたが、ット
カッティング時間Tを制御することによっても一定の
ット面積を得ることができる。
[0025] Incidentally, it has dealt with the case of controlling the size of the irradiation power P as irradiation power control method, to obtain a constant peak <br/> Tsu preparative area by controlling the pin Tsu preparative cutting time T Can be.

【0026】従来のットカッティング時間T0=90
nsに対する補正(制御)後のットカッティング時間
A,TB,TDについてタイムチャートを図7に示す。
図7において横軸は時間であり、縦軸はカッティング用
レーザ光の照射オンを示すものである。従来のットカ
ッティング時間T0は破線で示されている。また、この
タイムチャートにおいては、左側からウォブルット2
ットカッティング時間T0、ウォブルット3の時
間T0、クロックット4の時間T0の順に記載した。図
7(a)はr30部でのットカッティング時間TA
120nsを示すものである。
[0026] A conventional pin Tsu door cutting time T 0 = 90
Correction for ns (control) pin Tsu bets cutting time after T A, T B, a time chart in FIG. 7 for T D.
In FIG. 7, the horizontal axis represents time, and the vertical axis represents the irradiation of the cutting laser light. Conventional pin Tsu preparative cutting time T 0 is indicated by a broken line. In addition, in this time chart, the wobble from the left side pin Tsu Doo 2
The peak Tsu preparative cutting time T 0, the time T 0 of the wobble pin Tsu bets 3, described in the order of time T 0 of the clock pin Tsu bets 4. 7 (a) is pin Tsu bets cutting time at r30 parts T A =
This indicates 120 ns.

【0027】図7(b)は光ディスクの半径r=45m
mにおけるトラックの一部分(r45部)でのットカ
ッティング時間TB=85nsを示すものである。図7
(c)はr60部でのットカッティング時間TD=5
0nsを示すものである。このように時間T0を光ディ
スクの半径rの値にともなって、時間TA,TB,TD
補正していく場合においても、ほぼ一定のット面積
(0.35μm2)が得られる。
FIG. 7B shows the radius r = 45 m of the optical disk.
Pi Tsu DOO cutting time in the portion of the track in the m (r45 parts) shows the T B = 85ns. FIG.
(C) the peak Tsu bets cutting time at r60 parts T D = 5
0 ns. Thus the time T 0 with the value of the radius r of the optical disk, the time T A, T B, when going to correct the T D is also substantially constant peak Tsu preparative area (0.35 .mu.m 2) is obtained Can be

【0028】次に、図1において、前記した手段(B)
を採用した場合について述べる。この場合には、r30
部のット幅Wi=W3とr60部のット幅Wo=W4
との関係はW3≒W4に設定するものである。なお、本実
施例ではW3≒W4≒0.5μmに設定してットを形成
した。
Next, referring to FIG.
The case where is adopted will be described. In this case, r30
Part of the pin Tsu-wide Wi = W 3 and r60 parts of the pin Tsu-wide Wo = W 4
Is set such that W 3 ≒ W 4 . Incidentally, to form a pin Tsu preparative set to W 3 ≒ W 4 ≒ 0.5μm in this embodiment.

【0029】さて、所定ット幅Wのットを形成する
方法について図6を用いて説明する。図6はディスク半
径rに対するレーザ照射パワーPを、照射パワー制御方
式ごとに記載したものである。図中の破線は従来の照射
パワー制御方式(PB=Jv)を示すものであり、実線
は所定面積のットを作製する場合に用いた本発明の照
射パワー制御方式(P=J0)を示すものである。そし
て、図6中の一点鎖線は、今回、記録エリア内における
ット幅Wを一定にするために用いた、本発明の照射パ
ワー制御方式(P=J1v+J0′)を示すものである。
ここで、J1,J0′はレーザ光の照射密度である。この
方式(P=J1v+J0)において、J1≒0.65m
J,J0′≒1.7mJと設定して回転させたディスク
原盤に対してカッティングを行った。このようにしてカ
ッティングを行うと、ット幅Wがほぼ一定となり、
ット幅の関係はW5≒W4となる。この結果として、記録
エリア内で、トラッキング誤差信号およびット変調度
がそれぞれ約35〜40%、約60〜80%とほぼ一定
な光ディスクを作製することができた。
[0029] now be described with reference to FIG. 6 method for forming a pin Tsu City of predetermined peak Tsu-wide W. FIG. 6 shows the laser irradiation power P with respect to the disk radius r for each irradiation power control method. The broken line in the figure indicate the conventional irradiation power control scheme (P B = Jv), irradiation power control method of the solid lines present invention used in the case of producing a pin Tsu City of predetermined area (P = J 0 ). The one-dot chain line in FIG.
It was used in order to fix the pin Tsu-wide W, indicating the irradiation power control method of the present invention (P = J 1 v + J 0 ').
Here, J 1 and J 0 ′ are irradiation densities of laser light. In this method (P = J 1 v + J 0 ), J 1 ≒ 0.65 m
Cutting was performed on the master disc rotated by setting J, J 0 ′ ≒ 1.7 mJ. In this manner, when performing the cutting, the pin Tsu-wide W is substantially constant, the relationship of Pi <br/> Tsu-wide is the W 5 ≒ W 4. As a result, in the recording area, about 35% to 40% the tracking error signal and the peak Tsu bets modulation, respectively, could be produced substantially constant optical disk and approximately 60-80%.

【0030】なお、ットカッティング時間Tを制御す
ることによってもほぼ一定のット幅Wを得ることがで
きた。これを図7の場合に適応させて述べると、r30
部でのットカッティング時間TAは120ns、r4
5部でのットカッティング時間TBは105ns、r
60部でのットカッティング時間TDは90nsとな
る。このように従来のットカッティング時間T0を光
ディスクの半径rの値にともなって、時間TA,TB,T
Dと補正していく場合においても、ほぼ一定のット幅
(0.5μm)が得られる。
[0030] Incidentally, it was possible to substantially obtain a constant peak Tsu-wide W by controlling the pin Tsu preparative cutting time T. This is applied to the case of FIG.
Rain Tsu door cutting time in the part T A is 120ns, r4
Rain in 5 parts Tsu door cutting time T B is 105ns, r
Pi Tsu DOO cutting time T D in 60 parts becomes 90ns. Thus the conventional pin Tsu preparative cutting time T 0 with the value of the radius r of the optical disk, the time T A, T B, T
When it is going to correct the D also substantially constant peak Tsu-wide (0.5 [mu] m) is obtained.

【0031】また、以上の実施例では光ディスクの読取
面上で、ットが円形またはット幅Wよりット長l
が長くなるものについて述べたが、カッティング用レー
ザ光のディスク周方向(トラック方向)に対するビーム
スポット径を最短ットよりも小さくし、ット幅Wが
ット長lより長いットを形成してもット幅Wを内
外周で一定とすることができる。この実施例を図8に示
す。
Further, on the reading surface of the optical disk in the above embodiment, pin Tsu bets circular or pin Tsu-wide W from pin Tsu preparative length l
Has been described what is long, the beam spot diameter smaller than the shortest pin Tsu preparative the disk circumferential direction of the cutting laser beam (track direction), Pi Tsu-wide W is
Be formed long pin Tsu preparative than Pi Tsu preparative length l can be constant at the inner periphery of the pin Tsu-wide W. This embodiment is shown in FIG.

【0032】図8は、図2と同様に光ディスクの模式平
面図と局部拡大図を示したものであって、81はディス
ク基板、82および83はウォブルット、84はクロ
ックット、85はセクタアドレス部である。この図8
の実施例においてもット信号変調制度のほぼ一定な光
ディスクを得ることができる。さらに、カッティング時
のビームスポット径を最小ット長と同等になるよう
に、光学系を用いて絞り込んでいっても同様の効果が得
られる。
[0032] Figure 8 is a shows a schematic plan view and a local enlarged view of an optical disc as in FIG. 2, the disc substrate 81, 82 and 83 wobble pin Tsu DOO, 84 clock pin Tsu DOO, 85 is a sector address part. This FIG.
It can be obtained a substantially constant optical disks peak Tsu preparative signal modulation system in the embodiment. Furthermore, so that the beam spot size at the time of cutting the same and minimum peak Tsu preparative length, the same effect can go narrow with an optical system is obtained.

【0033】さて、本発明の光ディスクのット形成に
使用するカッティングマシンについて、一例を挙げて簡
単に説明する。
[0033] Now, the cutting machine to be used for peer Tsu preparative formation of the optical disk of the present invention will be briefly described by way of example.

【0034】図9は本発明で使用するカッティングマシ
ンの構成図である。図示のカッティングマシンでは、
ットを形成するにあたって、まず、読取面上にホトレジ
スト膜29を有するガラス原盤28を、回転手段(図示
せず。)を用いて、回転中心軸30まわりに回転させ
る。さらに、光偏向器26および対物レンズ27などか
らなるヘッド移動部25を、ガラス原盤28の回転にと
もなって、半径方向に移動させる。ここで、ヘッド移動
部25の移動は、一回転で1トラックピッチ分である。
このような機械系の動作状態において、ヘリウムカドミ
ウム(He−Cd)レーザ発生装置21はレーザ光20
を出力する。このレーザ光20は、順に照射パワー制御
器22、ミラー23、コリメートレンズ24、光変調器
31、コリメートレンズ32、ミラー33を通ってヘッ
ド移動部25に入射する。このヘッド移動部25に入射
したレーザ光20′は光偏向器26と対物レンズ27を
経てホトレジスト膜29に照射される。この結果として
カッティングが行なわれ、ット形成されるわけであ
る。
FIG. 9 is a configuration diagram of a cutting machine used in the present invention. In the illustrated cutting machine, in forming a pin <br/> Tsu DOO, first, reading the glass master 28 having the photoresist film 29 on the surface, using a rotating means (not shown.), The rotation center axis 30 Rotate around. Further, the head moving unit 25 including the optical deflector 26 and the objective lens 27 is moved in the radial direction as the glass master 28 rotates. Here, the movement of the head moving unit 25 is equivalent to one track pitch in one rotation.
In such an operation state of the mechanical system, the helium-cadmium (He-Cd) laser generator 21 emits the laser light 20.
Is output. The laser light 20 passes through the irradiation power controller 22, the mirror 23, the collimator lens 24, the light modulator 31, the collimator lens 32, and the mirror 33, and sequentially enters the head moving unit 25. The laser beam 20 ′ incident on the head moving section 25 is irradiated on a photoresist film 29 via an optical deflector 26 and an objective lens 27. As a result the cutting is performed as is not being peer Tsu bets formation.

【0035】図6などで説明したレーザ照射パワーPの
制御(P=J1v+J0′)は照射パワー制御器22で行
われる。線速度vの設定は、ヘッド移動部25の位置を
ポテンショメータ(図示せず)で検出し、この検出値に
基づいて設定した(ただし、この方法に限るものではな
い)。また、光変調器31は、図7のットカッティン
グ時間TCに示したようなタイミングで、カッティング
用のレーザ光20の照射オン、照射オフの制御(変調)
を行う。そして、光変調器31により変調されたレーザ
光20′は光偏光器26によって偏向される。この偏向
は、ウォブルットを形成するときにのみ行うものであ
って、トラックを中心としたディスク半径方向の対称位
置に、カッティング用レーザ光を照射するために行うも
のである。
The control of the laser irradiation power P (P = J 1 v + J 0 ′) described in FIG. 6 and the like is performed by the irradiation power controller 22. The linear velocity v was set based on the position of the head moving unit 25 detected by a potentiometer (not shown) and based on the detected value (however, the method is not limited to this). Further, the optical modulator 31 at the timing shown in pin Tsu preparative cutting time T C in Figure 7, irradiation on the laser beam 20 for cutting, the control of the irradiation off (modulation)
I do. Then, the laser light 20 ′ modulated by the light modulator 31 is deflected by the light polarizer 26. This deflection, there is carried out only when forming a wobble pin Tsu bets, at symmetrical positions in the disk radial direction around the track, is performed to irradiate the cutting laser beam.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明によれば、ット信号変調度をほ
ぼ一定(フラット)にすることができるので、品質の高
い光ディスクを提供できる。
According to the present invention, it can be made substantially constant peak Tsu preparative signal modulation (flat), can provide a high-quality optical disk.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による実施例の光ディスクの模式平面図
および局部拡大図である。
FIG. 1 is a schematic plan view and a partially enlarged view of an optical disc of an embodiment according to the present invention.

【図2】サンプルサーボ方式を適用した従来の光ディス
クの模式平面図および局部拡大図である。
FIG. 2 is a schematic plan view and a partially enlarged view of a conventional optical disk to which a sample servo method is applied.

【図3】本発明を説明するための特性図である。FIG. 3 is a characteristic diagram for explaining the present invention.

【図4】本発明を説明するための特性図である。FIG. 4 is a characteristic diagram for explaining the present invention.

【図5】本発明を説明するための特性図である。FIG. 5 is a characteristic diagram for explaining the present invention.

【図6】本発明を説明するための特性図である。FIG. 6 is a characteristic diagram for explaining the present invention.

【図7】本発明を説明するための特性図である。FIG. 7 is a characteristic diagram for explaining the present invention.

【図8】本発明による実施例の光ディスクの模式平面図
および局部拡大図である。
FIG. 8 is a schematic plan view and a partially enlarged view of an optical disc of an embodiment according to the present invention.

【図9】本発明の光ディスクのット形成に使用するカ
ッティングマシンの一例を示す構成図である。
9 is a block diagram showing an example of a cutting machine used to pin Tsu preparative formation of the optical disk of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,11,81…ディスク基板、2,3,12,13,
82,83…ウォブルット、4,14,84…クロッ
ット、5,15,85…セクタアドレス部。
1, 11, 81 ... disk substrate, 2, 3, 12, 13,
82, 83 ... wobble pin Tsu door, 4,14,84 ... clock pin Tsu door, 5,15,85 ... sector address section.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石垣 正治 横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日 立製作所家電研究所内 (72)発明者 福井 幸夫 横浜市戸塚区吉田町292番地株式会社日 立製作所家電研究所内 (56)参考文献 特開 昭61−214149(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Shoji Ishigaki 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi Nichido Seisakusho Home Appliances Research Institute (72) Inventor Yukio Fukui 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi Nichichi Seisakusho Inside the Home Appliance Research Laboratory (56) References JP-A-61-214149 (JP, A)

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】複数のピットを有するディスクであって、
前記ピットのうちディスク半径方向の最内周側に設けら
れているピットのディスク半径方向の幅寸法がディスク
周方向の長さよりも長いことを特徴とするディスク。
1. A disc having a plurality of pits,
Disks width of the disk radial direction of pits is provided in the innermost periphery of the pit sac Chide disk radial direction is equal to or longer than the length of the disk circumferential direction.
【請求項2】ディスク半径方向の内周側に設けられてい
る前記ピットの幅と外周側に設けられている前記ピット
の幅とがほぼ等しいことを特徴とする請求項1記載のデ
ィスク。
2. The disk according to claim 1, wherein the width of the pits provided on the inner peripheral side in the radial direction of the disk is substantially equal to the width of the pits provided on the outer peripheral side.
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