JP2001229577A - Optical recording medium - Google Patents

Optical recording medium

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JP2001229577A
JP2001229577A JP2000038251A JP2000038251A JP2001229577A JP 2001229577 A JP2001229577 A JP 2001229577A JP 2000038251 A JP2000038251 A JP 2000038251A JP 2000038251 A JP2000038251 A JP 2000038251A JP 2001229577 A JP2001229577 A JP 2001229577A
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章 鈴木
Masaji Suwabe
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良久 千葉
Hiroyuki Takemoto
宏之 竹本
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain high recording density and to stably and surely record and reproduce. SOLUTION: A land part 6 and a groove part 7 are formed along the recording track on the face of a disk substrate 2 where first and second signal recording layers 3, 4 are to be formed. The land part 6 is formed wider than the groove part 7. Recording and reproducing is carried out at the position of the land part 6 and the groove part 7 along the recording track.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、基板上に信号記録
層を備え、この信号記録層に対して光ビームを照射する
ことにより、情報信号の記録及び/又は再生が行われる
光記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical recording medium in which a signal recording layer is provided on a substrate and an information signal is recorded and / or reproduced by irradiating the signal recording layer with a light beam. .

【0002】[0002]

【従来の技術】光記録媒体は、信号記録層を備えて円板
状に形成されてなり、この信号記録層に対して光ビーム
を照射することによって、情報信号の記録及び/又は再
生(以下、記録再生という。)が行われる記録媒体であ
る。
2. Description of the Related Art An optical recording medium is formed in a disk shape with a signal recording layer. By irradiating the signal recording layer with a light beam, recording and / or reproduction of an information signal (hereinafter referred to as an information signal) is performed. , Recording and reproduction).

【0003】このような光記録媒体としては、例えば、
いわゆるコンパクトディスク・レコーダブルシステムに
用いられて、情報信号の追記が可能な光ディスクCD−
R(CD-Recordable)がある。CD−Rは、情報信号が
記録される信号記録層が有機色素系の材料により形成さ
れており、光ビームを照射することによって記録マーク
を書き込み、この記録マークの有無により信号記録層の
反射率を変化させることにより記録が行われるととも
に、信号反射層の反射率を検出して記録マークの有無を
検出することにより記録された信号の再生が行われる。
As such an optical recording medium, for example,
An optical disk CD that can be used for a so-called compact disk recordable system and can additionally record information signals
There is R (CD-Recordable). In the CD-R, a signal recording layer on which an information signal is recorded is formed of an organic dye-based material, a recording mark is written by irradiating a light beam, and the reflectance of the signal recording layer is determined by the presence or absence of the recording mark. Is changed, the recording is performed, and the recorded signal is reproduced by detecting the reflectance of the signal reflection layer to detect the presence or absence of a recording mark.

【0004】また、光記録媒体としては、例えば、ミニ
ディスク(MD:Mini Disc)やMO(Magneto-Optica
l)ディスク等のように、磁気光学効果を利用して信号
記録層に対する記録再生を行う光磁気ディスクや、CD
−RW(CD-Rewritable)等のように、信号記録層の相
変化を利用して記録信号の書き換えが可能な相変化型光
ディスクなどが実用化されている。
As an optical recording medium, for example, a mini disc (MD) or an MO (Magneto-Optica) is used.
l) Magneto-optical disk, such as a disk, which performs recording and reproduction on the signal recording layer using the magneto-optical effect, and CD
A phase change optical disk, such as a RW (CD-Rewritable), in which a recording signal can be rewritten by utilizing a phase change of a signal recording layer, has been put to practical use.

【0005】さらに、光記録媒体としては、例えば、従
来から広く用いられているCD(Compact Disc)やCD
−ROM(CD-Read Only Memory)等のように、記録す
る情報信号に対応した凹凸パターンがディスク基板上に
予め形成されてなる再生専用光ディスクがある。このよ
うな再生専用光ディスクでは、ディスク基板上に光反射
層を備え、照射した光ビームの反射光を検出することに
より凹凸パターンを検出して、記録された信号を再生す
る。すなわち、ディスク基板上に形成された凹凸パター
ンが情報信号を記録する信号記録層としての機能を有し
ている。
Further, as an optical recording medium, for example, a CD (Compact Disc) or a CD which has been widely used in the past,
There is a read-only optical disk such as a ROM (CD-Read Only Memory) in which a concavo-convex pattern corresponding to an information signal to be recorded is previously formed on a disk substrate. In such a read-only optical disk, a light reflection layer is provided on a disk substrate, and a reflected signal of an irradiated light beam is detected to detect a concavo-convex pattern and reproduce a recorded signal. That is, the concavo-convex pattern formed on the disk substrate has a function as a signal recording layer for recording information signals.

【0006】ところで、上述したような光記録媒体にお
いては、光ビームを記録トラックに沿って照射するトラ
ッキングサーボを実現するために、この記録トラックに
沿って所定の溝形状を形成するという方法が提案され、
実用化されている。このような溝形状は、スパイラル状
或いは同心円状に形成され、光ビームの照射側から見た
凹部及び凸部がそれぞれランド部及びグルーブ部と称さ
れている。そして、例えば、光ビームの照射側から見て
凸となるグルーブ部に沿って記録トラックを形成し、こ
の記録トラックに対して情報信号の記録再生が行われ
る。
Meanwhile, in the above-mentioned optical recording medium, a method of forming a predetermined groove shape along the recording track has been proposed in order to realize tracking servo for irradiating a light beam along the recording track. And
Has been put to practical use. Such a groove shape is formed in a spiral shape or concentric shape, and the concave portion and the convex portion viewed from the light beam irradiation side are called a land portion and a groove portion, respectively. Then, for example, a recording track is formed along a groove that is convex when viewed from the light beam irradiation side, and information signals are recorded and reproduced on the recording track.

【0007】また、記録再生の分野においては、記録媒
体や記録再生装置の小型軽量化や大容量化が強く望まれ
ており、これに伴って、光記録媒体の高記録密度化を達
成することが重要となってきている。そこで、光記録媒
体では、上述したように記録トラックに沿って形成され
た溝形状のうち、その凹凸の一方だけに対して記録再生
を行うだけでなく、ランド部とグルーブ部との両方に対
して記録再生を行う、いわゆるランドグルーブ記録方式
が提案されている。
In the field of recording / reproducing, it is strongly desired to reduce the size, weight and capacity of recording media and recording / reproducing devices, and to achieve high recording densities of optical recording media. Is becoming important. Therefore, in the optical recording medium, as described above, of the groove formed along the recording track, not only recording / reproducing is performed on only one of the irregularities but also on both the land portion and the groove portion. A so-called land-groove recording method for performing recording and reproduction by using a conventional method has been proposed.

【0008】また、光記録媒体では、高記録密度化を達
成するために、例えば、磁気超解像方式により記録再生
を行うことが提案されている。磁気超解像方式では、光
記録媒体の信号記録層として、情報信号に応じた磁気信
号が記録される第1の磁性層と、光ビームが照射されて
昇温されることにより、第1の磁性層に記録された磁気
信号が転写される第2の磁性層とを備えて形成される。
そして、再生時には、第2の磁性層に転写された磁気信
号を読みとるように構成されている。これにより、光ビ
ームのスポット径よりも小さな磁気信号を第1の磁性層
に記録した場合であっても、第2の磁性層に転写された
磁気信号だけを検出することができ、高密度に記録され
た磁気信号を確実に再生可能とされている。
[0008] In the optical recording medium, it has been proposed to perform recording and reproduction by, for example, a magnetic super-resolution method in order to achieve a high recording density. In the magnetic super-resolution method, a first magnetic layer on which a magnetic signal corresponding to an information signal is recorded is provided as a signal recording layer of an optical recording medium, and a first magnetic layer is irradiated with a light beam and heated to form a first magnetic layer. And a second magnetic layer to which a magnetic signal recorded on the magnetic layer is transferred.
Then, at the time of reproduction, the magnetic signal transferred to the second magnetic layer is read. Thereby, even when a magnetic signal smaller than the spot diameter of the light beam is recorded on the first magnetic layer, only the magnetic signal transferred to the second magnetic layer can be detected, and the density can be increased. The recorded magnetic signal can be reliably reproduced.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したラ
ンドグルーブ記録方式では、ランド部及びグルーブ部の
両方で同様な記録再生特性が得られるように、これらラ
ンド部とグルーブ部との幅を、それぞれ記録再生に用い
る光ビームのスポット径と同程度に形成されている。
By the way, in the above-mentioned land / groove recording method, the width of each of the land and the groove is set so that the same recording / reproducing characteristics can be obtained in both the land and the groove. It is formed to have the same diameter as the spot diameter of a light beam used for recording and reproduction.

【0010】しかしながら、例えば上述した磁気超解像
方式のように、信号記録層に記録された記録マークを光
ビームのスポット径よりも小さくした場合には、ランド
グルーブ記録方式を適用してランド部とグルーブ部との
両方に記録すると、これらランド部及びグルーブ部で記
録再生特性が異なったものになってしまうという問題が
あった。そのため、ランドグルーブ記録方式において、
記録トラックを狭く形成し、信号記録層に記録する情報
信号の大きさを光ビームのスポット径よりも小さくする
ことにより、さらなる高密度化を進める場合に、安定し
て確実な記録再生を行うことが極めて困難になってしま
う。
However, when the recording mark recorded on the signal recording layer is made smaller than the spot diameter of the light beam as in the above-described magnetic super-resolution method, the land / groove recording method is applied to the land portion. If recording is performed on both the land portion and the groove portion, there is a problem that the recording and reproduction characteristics are different between the land portion and the groove portion. Therefore, in the land groove recording method,
By making the recording track narrow and making the size of the information signal to be recorded on the signal recording layer smaller than the spot diameter of the light beam, stable and reliable recording and reproduction can be performed when further increasing the density. Becomes extremely difficult.

【0011】そこで、本発明は、ランドグルーブ記録方
式において、さらなる高記録密度化を進めた場合であっ
ても、安定して確実な記録再生を行うことが可能な光記
録媒体を提供することを目的とする。
Accordingly, the present invention provides an optical recording medium capable of performing stable and reliable recording / reproduction even in a case where the recording density is further increased in the land / groove recording method. Aim.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明に係る光記録媒体
は、基板上に信号記録層を備え、この信号記録層に対し
て光ビームを照射することにより、情報信号の記録及び
/又は再生が行われる光記録媒体である。上記信号記録
層には、上記光ビームのスポット径よりも小さい幅で、
上記光ビームが照射される側から見て凹となる部分であ
るランド部と、凸となる部分であるグルーブ部とが記録
トラックに沿って形成され、上記ランド部及びグルーブ
部の両方に対して情報信号の記録及び/又は再生が行わ
れる。そして、上記ランド部は、上記グルーブ部よりも
幅広に形成されている。
An optical recording medium according to the present invention has a signal recording layer on a substrate, and irradiates the signal recording layer with a light beam to record and / or reproduce information signals. Is performed on the optical recording medium. The signal recording layer has a width smaller than the spot diameter of the light beam,
A land portion that is a concave portion as viewed from the side irradiated with the light beam and a groove portion that is a convex portion are formed along a recording track, and both the land portion and the groove portion are formed. Recording and / or reproduction of the information signal is performed. The land is formed wider than the groove.

【0013】以上のように構成された光記録媒体は、記
録トラックに記録された情報信号の記録再生特性を、ラ
ンド部とグルーブ部とにおいて同程度とすることができ
る。
In the optical recording medium configured as described above, the recording and reproducing characteristics of the information signal recorded on the recording track can be made substantially the same between the land portion and the groove portion.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下で
は、本発明を適用した光記録媒体の例として、図1及び
図2に示すように、磁気超解像方式により記録再生が行
われる光磁気ディスク1について説明する。ただし、本
発明は、磁気超解像方式により記録再生が行われる光記
録媒体への適用に限定されるものではなく、信号記録層
に対して光ビームを照射することにより情報信号の記録
再生が行われる光記録媒体に対して広く適用することが
できる。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the following, as an example of an optical recording medium to which the present invention is applied, a magneto-optical disc 1 on which recording and reproduction are performed by a magnetic super-resolution method as shown in FIGS. 1 and 2 will be described. However, the present invention is not limited to application to an optical recording medium in which recording and reproduction are performed by a magnetic super-resolution method, and recording and reproduction of an information signal can be performed by irradiating a signal recording layer with a light beam. It can be widely applied to optical recording media to be performed.

【0015】具体的には、例えば、信号記録層が有機色
素系の材料により形成されてなる追記型の光ディスク、
磁気光学効果を利用して信号記録層に対する記録再生を
行う光磁気ディスク、信号記録層の相変化を利用して記
録再生を行う相変化型光ディスク、ディスク基板上に形
成された凹凸パターンが情報信号を記録する信号記録層
としての機能を有している再生専用の光ディスクなどに
対して適用することができる。
Specifically, for example, a write-once optical disc in which a signal recording layer is formed of an organic dye-based material,
A magneto-optical disk that performs recording and reproduction on the signal recording layer using the magneto-optical effect, a phase-change optical disk that performs recording and reproduction using the phase change of the signal recording layer, and a concavo-convex pattern formed on the disk substrate is an information signal. The present invention can be applied to a read-only optical disk or the like having a function as a signal recording layer for recording data.

【0016】また、以下では、本発明を適用した光記録
媒体の例として、磁気光学効果を利用した磁気超解像方
式により信号記録層に対する記録再生が行われる光磁気
ディスク1について説明するが、本発明は、例えば、相
変化型光ディスクにおいて、透過光量の熱分布を応用し
た超解像方式の光記録媒体にも適用することができる。
In the following, as an example of an optical recording medium to which the present invention is applied, a magneto-optical disk 1 in which recording and reproduction are performed on a signal recording layer by a magnetic super-resolution method utilizing a magneto-optical effect will be described. The present invention can be applied to, for example, a super-resolution optical recording medium using a heat distribution of a transmitted light amount in a phase change optical disk.

【0017】本発明を適用した光磁気ディスク1は、図
1及び図2に示すように、例えばポリメチルメタクリレ
ート(PMMA)やポリカーボネート(PC)等の樹脂
材料によって略円板状に成形されてなるディスク基板2
を備える。また、ディスク基板2上には、例えばGdF
eCoにより形成された第1の信号記録層3と、例えば
TbFeCoにより形成された第2の信号記録層4と、
紫外線硬化樹脂等がスピンコートされてなる保護層5と
が順に形成されている。なお、図1は、光磁気ディスク
1の概略を示す斜視図であり、図2は、光磁気ディスク
1の積層構造を概略的に示す要部拡大断面図である。
As shown in FIGS. 1 and 2, a magneto-optical disk 1 to which the present invention is applied is formed in a substantially disk shape by using a resin material such as polymethyl methacrylate (PMMA) or polycarbonate (PC). Disk substrate 2
Is provided. In addition, for example, GdF
a first signal recording layer 3 made of eCo, a second signal recording layer 4 made of TbFeCo, for example,
A protective layer 5 formed by spin-coating an ultraviolet curable resin or the like is sequentially formed. FIG. 1 is a perspective view schematically showing the magneto-optical disk 1, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part schematically showing a laminated structure of the magneto-optical disk 1.

【0018】また、ディスク基板2には、その中心部に
センター穴2aが形成されている。光磁気ディスク1
は、記録再生装置により記録再生が行われる際に、セン
ター穴2a近傍で記録再生装置の回転駆動機構に対して
支持固定され、所定の速度で回転駆動される。また、デ
ィスク基板2は、記録再生に用いられる光ビームに対し
て透光性を有している。そして、ディスク基板2の各層
が積層されていない側の主面1bから光ビームが入射さ
れる。
The disc substrate 2 has a center hole 2a formed at the center thereof. Magneto-optical disk 1
When recording / reproducing is performed by the recording / reproducing device, the is supported and fixed to a rotation drive mechanism of the recording / reproducing device in the vicinity of the center hole 2a and is driven to rotate at a predetermined speed. The disk substrate 2 has a light-transmitting property with respect to a light beam used for recording and reproduction. Then, a light beam is incident from the main surface 1b of the disk substrate 2 on which the respective layers are not stacked.

【0019】また、ディスク基板2には、各層が積層さ
れていない側の主面2cに、案内溝としての凹凸形状が
所定の凹凸パターンで形成されている。この凹凸パター
ンは、ディスク基板2の主面2c上で、スパイラル状又
は同心円状に形成されており、光ビームが入射される側
から見て凹となる部分がランド部6とされ、凸となる部
分がグルーブ部7とされている。光磁気ディスク1にお
いては、これらランド部6及びグルーブ部7の溝形状に
沿って記録トラックが形成されており、この記録トラッ
クに沿って、第1及び第2の信号記録層3,4に対する
記録再生が行われるように構成されている。
In the disk substrate 2, a concave / convex shape as a guide groove is formed in a predetermined concave / convex pattern on a main surface 2c on a side on which each layer is not laminated. This concavo-convex pattern is formed in a spiral or concentric shape on the main surface 2c of the disk substrate 2, and a portion that is concave when viewed from the side where the light beam is incident is the land portion 6 and is convex. The portion is a groove portion 7. In the magneto-optical disk 1, recording tracks are formed along the groove shapes of the land portions 6 and the groove portions 7, and recording on the first and second signal recording layers 3 and 4 is performed along the recording tracks. The reproduction is performed.

【0020】また、ランド部6及びグルーブ部7は、第
1の及び第2の信号記録層3,4に対する記録再生時に
照射される光ビームのスポット径よりも小さい幅で形成
されている。具体的には、例えば、ディスク基板2の厚
さが1.2mmである光磁気ディスク1に対して、この
ディスク基板2側から照射する光ビームの波長を680
nmとし、開口数NAが0.55である対物レンズを用
いるとすると、信号記録面となる第1及び第2の信号記
録層3,4上に照射される光ビームのスポット径は、直
径が0.9μm程度となる。この場合に、ランド部6及
びグルーブ部7は、例えば、それぞれ0.725μm及
び0.588μm程度に形成する。
The land portion 6 and the groove portion 7 are formed to have a width smaller than the spot diameter of the light beam irradiated at the time of recording / reproducing on the first and second signal recording layers 3 and 4. Specifically, for example, the wavelength of the light beam irradiated from the disk substrate 2 side to the magneto-optical disk 1 whose disk substrate 2 has a thickness of 1.2 mm is 680.
Assuming that an objective lens having a numerical aperture NA of 0.55 is used, the spot diameter of the light beam irradiated on the first and second signal recording layers 3 and 4 serving as signal recording surfaces is as follows. It is about 0.9 μm. In this case, the land portions 6 and the groove portions 7 are formed to have a thickness of, for example, about 0.725 μm and 0.588 μm, respectively.

【0021】一般に、光記録媒体に対して記録再生する
ために用いる光ビームのスポット径は、この光ビームの
波長λを対物レンズの開口数NAで除した値に比例する
関係を有する。光ビームの波長λは、例えば、情報信号
を記録する信号記録層の材料や半導体レーザ素子の発信
特性に依存しており、対物レンズの開口数NAは、例え
ば、光ビームの透過層となるディスク基板の厚さや、対
物レンズを搭載した光学ヘッドと光記録媒体との記録再
生時における距離などによって規制される。そのため、
記録再生に用いることができる光ビームの波長λや対物
レンズの開口数NAには限界があり、光ビームのスポッ
ト径を小さくすることには限界がある。したがって、信
号記録層に記録する記録マークの大きさを小さく形成す
ることには限界があり、高記録密度化を達成することが
困難であった。
In general, the spot diameter of a light beam used for recording and reproduction on an optical recording medium is proportional to a value obtained by dividing the wavelength λ of the light beam by the numerical aperture NA of the objective lens. The wavelength λ of the light beam depends on, for example, the material of the signal recording layer for recording the information signal and the transmission characteristics of the semiconductor laser element. It is regulated by the thickness of the substrate, the distance at the time of recording / reproducing between the optical head equipped with the objective lens and the optical recording medium, and the like. for that reason,
There is a limit to the wavelength λ of the light beam and the numerical aperture NA of the objective lens that can be used for recording and reproduction, and there is a limit to reducing the spot diameter of the light beam. Therefore, there is a limit to reducing the size of the recording mark to be recorded on the signal recording layer, and it has been difficult to achieve a high recording density.

【0022】しかしながら、本発明を適用した光磁気デ
ィスク1においては、ランド部6及びグルーブ部7が光
ビームのスポット径よりも小さい幅で形成されているこ
とにより、第2の信号記録層4に記録される磁気信号を
小さくすることができる。すなわち、第2の信号記録層
4に記録される磁気信号のトラック方向の幅は、ランド
部6及びグルーブ部7の幅によって規制されることか
ら、これらランド部6及びグルーブ部7の幅を狭くする
ことにより、磁気信号を高密度に形成することができ、
ひいては光磁気ディスク1の高記録密度化・大容量化を
達成することが可能となる。
However, in the magneto-optical disk 1 to which the present invention is applied, the land 6 and the groove 7 are formed with a width smaller than the spot diameter of the light beam, so that the second signal recording layer 4 The recorded magnetic signal can be reduced. That is, the width of the magnetic signal recorded on the second signal recording layer 4 in the track direction is regulated by the width of the land 6 and the groove 7, so that the width of the land 6 and the groove 7 is reduced. By doing so, it is possible to form a magnetic signal with high density,
As a result, it is possible to increase the recording density and capacity of the magneto-optical disk 1.

【0023】ところで、光磁気ディスク1では、ランド
部6の幅が、グルーブ部7の幅よりも広く形成されてい
る。これにより、詳細を後述するように、記録トラック
に記録する記録マークの記録再生特性を同等とすること
ができ、安定して確実な記録再生動作を行うことが可能
となる。
Incidentally, in the magneto-optical disk 1, the width of the land 6 is larger than the width of the groove 7. As a result, as will be described later in detail, the recording and reproducing characteristics of the recording marks to be recorded on the recording tracks can be made equal, and a stable and reliable recording and reproducing operation can be performed.

【0024】なお、これらランド部6及びグルーブ部7
は、所定の周期で蛇行(ウォブリング)して形成し、こ
のウォブリングにウォブル信号が予め記録された構成と
してもよい。ウォブル信号としては、例えば、記録トラ
ックの絶対時間情報やアドレス情報などを含むセクタ情
報をFM変調した信号などであればよい。光磁気ディス
ク1では、このようにランド部6及びグルーブ部7の凹
凸形状に記録されたウォブル信号を検出しながら記録再
生を行うとすることによって、記録再生ヘッドが任意の
記録トラックにアクセスすることを容易にすることがで
きる。
The land portion 6 and the groove portion 7
May be formed in a meandering (wobbling) manner at a predetermined period, and a wobble signal may be recorded in advance in this wobbling. The wobble signal may be, for example, a signal obtained by FM-modulating sector information including absolute time information and address information of a recording track. In the magneto-optical disk 1, recording and reproduction are performed while detecting wobble signals recorded in the uneven shape of the land portion 6 and the groove portion 7 as described above, so that the recording and reproduction head can access an arbitrary recording track. Can be facilitated.

【0025】第1及び第2の信号記録層3,4は、光磁
気ディスク1において信号記録層としての機能を有して
おり、いわゆる磁気超解像方式によって情報信号の記録
再生が行われる。すなわち、記録時には、記録再生装置
によって情報信号に応じた外部磁界が印加されることに
よって、この情報信号に応じた磁気信号が第2の信号記
録層4に記録マークとして記録される。そして、再生時
には、光ビームが照射されて第1の信号記録層3におけ
る所定の領域が昇温されることにより、この領域で第2
の信号記録層4に記録された磁気信号が第1の信号記録
層3に転写され、転写された磁気信号を磁気ヘッドによ
って検出される。
The first and second signal recording layers 3 and 4 have a function as signal recording layers in the magneto-optical disk 1, and record and reproduce information signals by a so-called magnetic super-resolution method. That is, at the time of recording, an external magnetic field corresponding to the information signal is applied by the recording / reproducing device, so that a magnetic signal corresponding to the information signal is recorded on the second signal recording layer 4 as a recording mark. At the time of reproduction, a predetermined area in the first signal recording layer 3 is heated by irradiating a light beam, so that the second area
The magnetic signal recorded on the signal recording layer 4 is transferred to the first signal recording layer 3, and the transferred magnetic signal is detected by the magnetic head.

【0026】すなわち、光磁気ディスク1においては、
第2の信号記録層4が、情報信号に応じて記録される磁
気信号を保持する記録状態保持層としての機能を有して
おり、第1の信号記録層3が、再生時に第2の信号記録
層4に保持された磁気信号を転写されて読みとられる再
生層としての機能を有している。光磁気ディスク1は、
このように磁気超解像方式によって情報信号の記録再生
が行われるように構成されていることにより、第2の信
号記録層4に微小な磁気信号を形成して高記録密度化・
大容量化を達成することができるとともに、再生時には
第1の信号記録層3に転写された磁気信号を確実に且つ
安定して読みとることが可能となる。
That is, in the magneto-optical disk 1,
The second signal recording layer 4 has a function as a recording state holding layer for holding a magnetic signal recorded according to the information signal, and the first signal recording layer 3 functions as a second signal at the time of reproduction. It has a function as a reproducing layer from which a magnetic signal held in the recording layer 4 is transferred and read. The magneto-optical disk 1
Since the recording and reproduction of the information signal is performed by the magnetic super-resolution method in this way, a minute magnetic signal is formed on the second signal recording layer 4 to increase the recording density.
The capacity can be increased, and the magnetic signal transferred to the first signal recording layer 3 can be reliably and stably read during reproduction.

【0027】なお、光磁気ディスク1では、第1の信号
記録層3と第2の信号記録層4との間に、これら第1及
び第2の信号記録層4間の磁気的な結合状態を制御する
目的で、例えばGdFeにより形成された中間層が形成
されていてもよい。また、第2の信号記録層4と保護層
5との間に、記録再生に用いる光ビームの利用効率を向
上させたり、光ビームが照射されることにより生じる熱
を拡散させる目的で、例えば、Cu、Al、Ag、Au
等により形成された光反射層が形成されていてもよい。
また、光磁気ディスク1においては、各層の間に、誘電
体層などが形成されていてもよい。
In the magneto-optical disk 1, between the first signal recording layer 3 and the second signal recording layer 4, the magnetic coupling between the first and second signal recording layers 4 is established. For the purpose of control, an intermediate layer made of, for example, GdFe may be formed. Further, between the second signal recording layer 4 and the protective layer 5, for the purpose of improving the utilization efficiency of the light beam used for recording / reproduction or diffusing the heat generated by the irradiation of the light beam, for example, Cu, Al, Ag, Au
A light reflection layer formed by the above method may be formed.
In the magneto-optical disk 1, a dielectric layer or the like may be formed between the layers.

【0028】以上で説明したような本発明を適用した光
磁気ディスク1を製造する際には、その原盤となるスタ
ンパを用いて射出成形などを行うことにより、ランド部
6及びグルーブ部7が形成されたディスク基板2を作製
し、このディスク基板2上に、第1の信号記録層3、第
2の信号記録層4、及び保護層5を順次薄膜形成する。
以下では、ディスク基板2を作製する際に用いられるス
タンパを作製するレーザカッティング装置の一例につい
て説明する。
When manufacturing the magneto-optical disk 1 to which the present invention described above is applied, the land 6 and the groove 7 are formed by performing injection molding or the like using a stamper serving as the master. Then, the first signal recording layer 3, the second signal recording layer 4, and the protective layer 5 are sequentially formed as a thin film on the disk substrate 2.
Hereinafter, an example of a laser cutting apparatus for producing a stamper used when producing the disk substrate 2 will be described.

【0029】図3に示すレーザカッティング装置20
は、ガラス基板21の上に塗布されたフォトレジスト層
22を露光して潜像を形成するための装置である。この
レーザカッティング装置20でフォトレジスト層22に
潜像を形成する際に、フォトレジスト層22が塗布され
たガラス基板21は、移動光学テーブル上に設けられた
回転駆動装置に取り付けられる。そして、フォトレジス
ト層22を露光する際に、ガラス基板21は、フォトレ
ジスト層22の全面にわたって、ディスク基板1に形成
するランド部6及びグルーブ部7の凹凸パターン(スパ
イラル状又は同心円状)に対応したパターンで露光がな
されるように、図中矢印Aに示すように回転駆動装置に
よって回転駆動されるとともに、光学移動テーブルによ
って径方向に平行移動される。
The laser cutting device 20 shown in FIG.
Is a device for exposing a photoresist layer 22 applied on a glass substrate 21 to form a latent image. When a latent image is formed on the photoresist layer 22 by the laser cutting device 20, the glass substrate 21 coated with the photoresist layer 22 is attached to a rotation driving device provided on a moving optical table. When the photoresist layer 22 is exposed, the glass substrate 21 corresponds to the concavo-convex pattern (spiral shape or concentric shape) of the land portion 6 and the groove portion 7 formed on the disk substrate 1 over the entire surface of the photoresist layer 22. In such a manner that the exposure is performed in the set pattern, it is rotationally driven by a rotary driving device as shown by an arrow A in the figure, and is translated in a radial direction by an optical moving table.

【0030】このレーザカッティング装置20は、レー
ザ光を出射する光源23と、光源23から出射されたレ
ーザ光の光強度を調整するための電気光学変調器(EO
M:Electro Optical Modulator)24と、電気光学変
調器24から出射されたレーザ光を反射光と透過光とに
分割するビームスプリッタ25と、ビームスプリッタ2
5を透過してきたレーザ光を検出するフォトディテクタ
(PD:Photo Detector)26と、電気光学変調器24
に対して信号電界を印加して当該電気光学変調器24か
ら出射されるレーザ光強度を調整するオートパワーコン
トローラ(APC:Auto Power Controller)27とを
備えている。
The laser cutting device 20 includes a light source 23 for emitting laser light, and an electro-optical modulator (EO) for adjusting the light intensity of the laser light emitted from the light source 23.
M: Electro Optical Modulator) 24, a beam splitter 25 for splitting a laser beam emitted from the electro-optic modulator 24 into reflected light and transmitted light, and a beam splitter 2
Photodetector (PD: Photodetector) 26 for detecting the laser beam that has passed through 5, and electro-optic modulator 24
And an auto power controller (APC) 27 for adjusting the intensity of the laser beam emitted from the electro-optic modulator 24 by applying a signal electric field thereto.

【0031】このレーザカッティング装置20におい
て、光源23から出射されたレーザ光は、先ず、オート
パワーコントローラ27から印加される信号電界によっ
て駆動される電気光学変調器24によって、所定の光強
度とされる。
In the laser cutting device 20, the laser light emitted from the light source 23 is first given a predetermined light intensity by an electro-optic modulator 24 driven by a signal electric field applied from an auto power controller 27. .

【0032】なお、光源23には、任意のものが使用可
能であるが、比較的に短波長のレーザ光を出射するもの
が好ましい。具体的には、例えば、波長λが413nm
のレーザ光を出射するKrレーザや、波長λが442n
mのレーザ光を出射するHe−Cdレーザなどが、光源
23として好適である。
Although any light source can be used as the light source 23, a light source which emits a laser beam having a relatively short wavelength is preferable. Specifically, for example, the wavelength λ is 413 nm.
Kr laser that emits laser light of a wavelength of 442n
A He-Cd laser that emits m laser light is suitable as the light source 23.

【0033】そして、電気光学変調器24から出射され
たレーザ光は、ビームスプリッタ25によって反射光と
透過光とに分けられる。なお、ビームスプリッタ25に
よって反射されたレーザ光は、フォトレジスト層22を
露光する露光ビームとなる。
Then, the laser light emitted from the electro-optic modulator 24 is divided into reflected light and transmitted light by the beam splitter 25. The laser beam reflected by the beam splitter 25 becomes an exposure beam for exposing the photoresist layer 22.

【0034】ここで、ビームスプリッタ25を透過した
レーザ光は、フォトディテクタ26によって、その光強
度が検出され、当該光強度に応じた信号がフォトディテ
クタ26からオートパワーコントローラ27に送られ
る。そして、フォトディテクタ26から送られてきた信
号に応じて、オートパワーコントローラ27は、フォト
ディテクタ26によって検出される光強度が所定のレベ
ルにて一定となるように、電気光学変調器24に対して
印加する信号電界を調整する。これにより、電気光学変
調器24から出射するレーザ光の光強度が一定となるよ
うに、自動光量制御(APC:Auto Power Control)が
施され、ノイズの少ない安定したレーザ光が得られる。
Here, the light intensity of the laser light transmitted through the beam splitter 25 is detected by the photodetector 26, and a signal corresponding to the light intensity is sent from the photodetector 26 to the auto power controller 27. Then, in response to the signal transmitted from the photodetector 26, the auto power controller 27 applies the light to the electro-optic modulator 24 so that the light intensity detected by the photodetector 26 becomes constant at a predetermined level. Adjust the signal electric field. As a result, automatic power control (APC: Auto Power Control) is performed so that the light intensity of the laser light emitted from the electro-optic modulator 24 becomes constant, and a stable laser light with little noise is obtained.

【0035】一方、ビームスプリッタ25によって反射
されてなる露光ビームは、当該露光ビームを光強度変調
するための変調光学系31に導かれ、当該変調光学系3
1によって光強度変調が施される。
On the other hand, the exposure beam reflected by the beam splitter 25 is guided to a modulation optical system 31 for modulating the light intensity of the exposure beam.
1 performs light intensity modulation.

【0036】変調光学系31に入射した露光ビームは、
集光レンズ32によって集光された上で音響光学変調器
(AOM:Acousto Optical Modulator)33に入射
し、この音響光学変調器33によって、所望する露光パ
ターンに対応するように光強度変調される。そして、音
響光学変調器33によって光強度変調された露光ビーム
は、コリメートレンズ34によって平行光とされた上
で、変調光学系31から出射される。
The exposure beam incident on the modulation optical system 31 is
After being condensed by the condenser lens 32, the light is incident on an acousto-optic modulator (AOM) 33, and the light intensity is modulated by the acousto-optic modulator 33 so as to correspond to a desired exposure pattern. Then, the exposure beam whose light intensity has been modulated by the acousto-optic modulator 33 is collimated by the collimator lens 34 and then emitted from the modulation optical system 31.

【0037】ここで、音響光学変調器33には、当該音
響光学変調器33を駆動するための駆動用ドライバ35
が取り付けられている。そして、フォトレジスト層22
の露光時には、所望する露光パターンに応じた信号S1
が駆動用ドライバ35に入力され、当該信号S1に応じ
て駆動用ドライバ35によって音響光学変調器33が駆
動され、露光ビームに対して光強度変調が施される。
Here, a driving driver 35 for driving the acousto-optic modulator 33 is provided in the acousto-optic modulator 33.
Is attached. Then, the photoresist layer 22
At the time of exposure, a signal S1 corresponding to a desired exposure pattern
Is input to the driving driver 35, the acousto-optic modulator 33 is driven by the driving driver 35 according to the signal S1, and light intensity modulation is performed on the exposure beam.

【0038】具体的には、一定の深さのグルーブ部7に
対応した凹凸パターンの潜像をフォトレジスト層22に
形成する場合に、一定レベルのDC信号が駆動用ドライ
バ35に入力され、当該DC信号に応じて駆動用ドライ
バ35によって音響光学変調器33が駆動される。これ
により、所望する凹凸パターンに対応するように、露光
ビームに対して光強度変調が施される。
More specifically, when a latent image having a concavo-convex pattern corresponding to the groove portion 7 having a constant depth is formed on the photoresist layer 22, a DC signal having a constant level is input to the driving driver 35, and The acousto-optic modulator 33 is driven by the driving driver 35 according to the DC signal. Thereby, light intensity modulation is performed on the exposure beam so as to correspond to a desired concavo-convex pattern.

【0039】以上のようにして、露光ビームは変調光学
系31によって光強度変調が施される。そして、変調光
学系31から出射された露光ビームは、ミラー36によ
って反射され、移動光学テーブル上に水平且つ平行に導
かれる。
As described above, the light intensity of the exposure beam is modulated by the modulation optical system 31. Then, the exposure beam emitted from the modulation optical system 31 is reflected by the mirror 36 and is guided horizontally and parallel on the moving optical table.

【0040】そして、移動光学テーブル上に水平且つ平
行に導かれた露光ビームは、偏向光学系37によって光
学偏向が施される。ここで、偏向光学系37は、露光ビ
ームに対して光学偏向を施すためのものである。すなわ
ち、本発明を適用した光磁気ディスク1のディスク基板
2に形成されるランド部6及びグルーブ部7に対応した
潜像を形成するときは、この偏向光学系37によって、
ランド部6及びグルーブ部7の凹凸形状に対応するよう
に露光ビームに光学偏向を施し、当該光学偏向を施した
露光ビームによりフォトレジスト層22を露光するよう
にする。
The exposure beam guided horizontally and parallel on the moving optical table is optically deflected by the deflection optical system 37. Here, the deflection optical system 37 is for performing optical deflection on the exposure beam. That is, when a latent image corresponding to the land 6 and the groove 7 formed on the disk substrate 2 of the magneto-optical disk 1 to which the present invention is applied, the deflection optical system 37 forms
The exposure beam is optically deflected so as to correspond to the concavo-convex shape of the land portion 6 and the groove portion 7, and the photoresist layer 22 is exposed by the optically deflected exposure beam.

【0041】すなわち、変調光学系31から出射され偏
向光学系37に入射した露光ビームは、ウェッジプリズ
ム38を介して音響光学偏向器(AOD:Acousto Opti
calDeflector)39に入射し、この音響光学偏向器39
によって、所望する露光パターンに対応するように光学
偏向が施される。そして、音響光学偏向器39によって
光学偏向が施された露光ビームは、ウエッジプリズム4
0を介して偏向光学系37から出射される。
That is, the exposure beam emitted from the modulation optical system 31 and made incident on the deflection optical system 37 passes through a wedge prism 38 and an acousto-optic deflector (AOD: Acousto Optic).
calDeflector) 39, and this acousto-optic deflector 39
Thus, optical deflection is performed so as to correspond to a desired exposure pattern. The exposure beam optically deflected by the acousto-optic deflector 39 is applied to the wedge prism 4.
The light is emitted from the deflection optical system 37 through the optical element 0.

【0042】ここで、音響光学偏向器39には、当該音
響光学偏向器39を駆動するための駆動用ドライバ41
が取り付けられている。そして、フォトレジスト層22
の露光時には、所望する露光パターンに応じた信号S2
が駆動用ドライバ41に入力され、当該信号S2に応じ
て駆動用ドライバ41によって音響光学偏向器39が駆
動され、露光ビームに対して光学偏向が施される。
Here, the acousto-optic deflector 39 has a driving driver 41 for driving the acousto-optic deflector 39.
Is attached. Then, the photoresist layer 22
At the time of exposure, a signal S2 corresponding to a desired exposure pattern
Is input to the driving driver 41, and the acousto-optic deflector 39 is driven by the driving driver 41 in accordance with the signal S2, and the exposure beam is optically deflected.

【0043】そして、このような偏向光学系37によっ
て、光学偏向が施された露光ビームは、拡大レンズ42
によって所定のビーム径とされた上でミラー43によっ
て反射されて対物レンズ44へと導かれ、当該対物レン
ズ44によってフォトレジスト層22上に集光される。
これにより、フォトレジスト層22が露光され、フォト
レジスト層22に潜像が形成されることとなる。
The exposure beam optically deflected by the deflection optical system 37 is transmitted to the magnifying lens 42.
Then, the beam is made to have a predetermined beam diameter, is reflected by a mirror 43, is guided to an objective lens 44, and is condensed on the photoresist layer 22 by the objective lens 44.
As a result, the photoresist layer 22 is exposed, and a latent image is formed on the photoresist layer 22.

【0044】このとき、フォトレジスト層22が塗布さ
れているガラス基板21は、上述したように、フォトレ
ジスト層22の全面にわたって所望のパターンでの露光
がなされるように、図中矢印Aに示すように回転駆動装
置によって回転駆動されるとともに、移動光学テーブル
によって平行移動される。この結果、露光ビームの照射
軌跡に応じた潜像が、フォトレジスト層22の全面にわ
たって形成されることとなる。
At this time, the glass substrate 21 on which the photoresist layer 22 is applied is indicated by an arrow A in the figure so that the entire surface of the photoresist layer 22 is exposed in a desired pattern as described above. As described above, and is translated by the moving optical table while being rotationally driven by the rotational driving device. As a result, a latent image corresponding to the irradiation locus of the exposure beam is formed over the entire surface of the photoresist layer 22.

【0045】つぎに、本発明を適用した光磁気ディスク
1の製造方法について、具体的な例を挙げて詳細に説明
する。
Next, a method for manufacturing the magneto-optical disk 1 to which the present invention is applied will be described in detail with specific examples.

【0046】本発明を適用した光磁気ディスク1を作製
する際は、先ず、原盤工程として、ディスク基板2に形
成されるランド部6及びグルーブ部7に対応した凹凸パ
ターンを有するスタンパを作製する。
When manufacturing the magneto-optical disk 1 to which the present invention is applied, first, as a master disk process, a stamper having a concavo-convex pattern corresponding to the land portions 6 and the groove portions 7 formed on the disk substrate 2 is manufactured.

【0047】この原盤工程においては、先ず、表面を研
磨した円盤状のガラス基板を洗浄し乾燥させ、その後、
このガラス基板上に感光材料であるフォトレジスト層を
塗布する。次に、このフォトレジスト層を上述したレー
ザカッティング装置20によって露光し、ディスク基板
2に形成されるランド部6及びグルーブ部7に対応した
潜像をフォトレジスト層に形成する。
In this mastering step, first, a disk-shaped glass substrate whose surface has been polished is washed and dried, and thereafter,
On this glass substrate, a photoresist layer as a photosensitive material is applied. Next, the photoresist layer is exposed by the above-described laser cutting device 20 to form a latent image corresponding to the land portion 6 and the groove portion 7 formed on the disk substrate 2 in the photoresist layer.

【0048】このとき、記録する信号に対応するよう
に、レーザカッティング装置20の偏向光学系37によ
り、露光ビームに対して光学偏向を施す。これにより、
ランド部6及びグルーブ部7に対応した潜像が、フォト
レジスト層に形成されることとなる。
At this time, the exposure beam is optically deflected by the deflection optical system 37 of the laser cutting device 20 so as to correspond to the signal to be recorded. This allows
A latent image corresponding to the land 6 and the groove 7 is formed on the photoresist layer.

【0049】なお、フォトレジスト層を露光して、ラン
ド部6及びグルーブ部7対応した潜像を形成する際は、
フォトレジスト層が塗布形成されているガラス基板を、
所定の回転速度にて回転駆動させるとともに、所定の速
度にて径方向に平行移動させる。具体的には、例えば、
ガラス基板の回転速度と径方向への移動速度とを調整す
ることにより、ランド部6及びグルーブ部7でのトラッ
クピッチが1.3μm程度となるように設定する。
When exposing the photoresist layer to form a latent image corresponding to the land portion 6 and the groove portion 7,
A glass substrate coated with a photoresist layer is
The motor is driven to rotate at a predetermined rotation speed and is translated in a radial direction at a predetermined speed. Specifically, for example,
By adjusting the rotation speed of the glass substrate and the moving speed in the radial direction, the track pitch in the land portion 6 and the groove portion 7 is set to be about 1.3 μm.

【0050】そして、以上のようにしてフォトレジスト
層に潜像を形成した後、このフォトレジスト層が塗布さ
れている面が上面となるようにして、ガラス基板を現像
機のターンテーブル上に載置する。そして、当該ターン
テーブルを回転させることによりガラス基板を回転させ
ながら、フォトレジスト層上に現像液を滴下して現像処
理を施して、ガラス基板上にランド部6及びグルーブ部
7に対応した凹凸パターンを形成する。
After the latent image is formed on the photoresist layer as described above, the glass substrate is placed on a turntable of a developing machine such that the surface on which the photoresist layer is coated is the upper surface. Place. Then, while rotating the glass substrate by rotating the turntable, a developing solution is dropped on the photoresist layer and subjected to a developing process, so that a concavo-convex pattern corresponding to the land portion 6 and the groove portion 7 is formed on the glass substrate. To form

【0051】次に、この凹凸パターン上に無電界メッキ
法によりNi等からなる導電化膜を形成し、その後、導
電化膜が形成されたガラス基板を電鋳装置に取り付け、
電気メッキ法により導電化膜上にNi等からなるメッキ
層を、300±5μm程度の厚さとなるように形成す
る。その後、このメッキ層を剥離し、剥離したメッキを
アセトン等を用いて洗浄し、凹凸パターンが転写された
面に残存しているフォトレジスト層を除去する。
Next, a conductive film made of Ni or the like is formed on the concavo-convex pattern by electroless plating, and then the glass substrate on which the conductive film is formed is attached to an electroforming apparatus.
A plating layer made of Ni or the like is formed on the conductive film by electroplating so as to have a thickness of about 300 ± 5 μm. Thereafter, the plating layer is peeled off, and the peeled plating is washed with acetone or the like to remove the photoresist layer remaining on the surface to which the uneven pattern has been transferred.

【0052】以上の工程により、ガラス基板上に形成さ
れていた凹凸パターンが転写されたメッキからなる光記
録媒体製造用原盤、すなわち、ランド部6及びグルーブ
部7に対応した凹凸パターンが形成されたスタンパが完
成する。
According to the above steps, an original master for producing an optical recording medium, ie, an uneven pattern corresponding to the land portion 6 and the groove portion 7 was formed by plating the uneven pattern formed on the glass substrate. The stamper is completed.

【0053】次に、転写工程として、フォトポリマー法
(いわゆる2P法)により、スタンパの表面形状が転写
されてなるディスク基板2を作製する。
Next, as a transfer step, the disk substrate 2 on which the surface shape of the stamper is transferred by the photopolymer method (so-called 2P method) is manufactured.

【0054】具体的には、先ず、スタンパの凹凸パター
ンが形成された面上にフォトポリマーを平滑に塗布して
フォトポリマー層を形成し、次に、当該フォトポリマー
層に泡やゴミが入らないようにしながら、フォトポリマ
ー層上にベースプレートを密着させる。ここで、ベース
プレートには、例えば、1.2mm厚のポリメチルメタ
クリレートからなるベースプレートを使用する。
More specifically, first, a photopolymer is applied smoothly onto the surface of the stamper on which the concavo-convex pattern is formed to form a photopolymer layer, and then no bubbles or dust enter the photopolymer layer. The base plate is brought into close contact with the photopolymer layer. Here, as the base plate, for example, a base plate made of polymethyl methacrylate having a thickness of 1.2 mm is used.

【0055】その後、紫外線を照射してフォトポリマー
を硬化させ、その後、スタンパを剥離することにより、
このスタンパの表面形状が転写されてなるディスク基板
2を作製する。
Thereafter, the photopolymer is cured by irradiating ultraviolet rays, and then the stamper is peeled off.
The disk substrate 2 on which the surface shape of the stamper is transferred is manufactured.

【0056】なお、ここでは、スタンパに形成された凹
凸パターンがより正確にディスク基板2に転写されるよ
うに、2P法を用いてディスク基板2を作製する例を挙
げたが、ディスク基板2を量産するような場合には、ポ
リメチルメタクリレートやポリカーボネート等の透明樹
脂を用いて射出成形することによって作製するようにし
てもよいことは言うまでもない。
Here, an example has been described in which the disk substrate 2 is manufactured using the 2P method so that the concavo-convex pattern formed on the stamper is more accurately transferred to the disk substrate 2. In the case of mass production, it goes without saying that it may be manufactured by injection molding using a transparent resin such as polymethyl methacrylate or polycarbonate.

【0057】次に、成膜工程として、スタンパの表面形
状が転写されてなるディスク基板2の上に、第1の信号
記録層3、第2の信号記録層4、及び保護層5を順次薄
膜形成する。具体的には、例えば、先ず、ディスク基板
2の凹凸パターンが形成された面上に、所定のターゲッ
ト材を用いてスパッタリングを行うことによって、Gd
FeCoにより形成されてなる第1の信号記録層3と、
TbFeCoにより形成されてなる第2の信号記録層4
とを薄膜状に形成する。その後、第2の信号記録層4の
上に紫外線硬化樹脂をスピンコート法により塗布し、当
該紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射し硬化させるこ
とにより、保護層5を形成する。
Next, as a film forming step, a first signal recording layer 3, a second signal recording layer 4, and a protective layer 5 are sequentially formed on the disk substrate 2 on which the surface shape of the stamper has been transferred. Form. Specifically, for example, first, by sputtering using a predetermined target material on the surface of the disk substrate 2 on which the uneven pattern is formed, Gd
A first signal recording layer 3 made of FeCo;
Second signal recording layer 4 made of TbFeCo
Are formed into a thin film. Thereafter, an ultraviolet curable resin is applied on the second signal recording layer 4 by a spin coating method, and the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet light to be cured, thereby forming the protective layer 5.

【0058】以上の工程により、本発明を適用した光磁
気ディスク1が完成する。すなわち、上述したようにし
て、ディスク基板2に形成されるランド部6及びグルー
ブ部7に対応した凹凸パターンが形成されたスタンパを
用いることにより、本発明を適用した光磁気ディスク1
を作製することができる。
Through the above steps, the magneto-optical disk 1 to which the present invention is applied is completed. That is, as described above, by using the stamper on which the concavo-convex pattern corresponding to the land portion 6 and the groove portion 7 formed on the disc substrate 2 is formed, the magneto-optical disc 1 to which the present invention is applied is used.
Can be produced.

【0059】<実験例>以下では、上述した光磁気ディ
スク1を実際に作製し、その記録再生特性を測定した結
果について説明する。
<Experimental Example> A description will be given below of the result of actually manufacturing the above-described magneto-optical disk 1 and measuring the recording and reproducing characteristics thereof.

【0060】実験例1 先ず、実験例1としては、ディスク基板2におけるグル
ーブ部7の深さを70nmとし、ランド部6及びグルー
ブ部7の幅の比を僅かずつ変えて、複数の光磁気ディス
ク1を作製した。このとき、ディスク基板2は、上述し
たようにしてスタンパを用いて2P法により1.2mm
の厚さで作製し、ランド部6及びグルーブ部7の幅は、
それぞれ、0.7μm程度及び0.6μm程度となるよ
うにして作製した。
EXPERIMENTAL EXAMPLE 1 First, as experimental example 1, the depth of the groove portion 7 in the disk substrate 2 was set to 70 nm, and the ratio of the width of the land portion 6 and the width of the groove portion 7 was slightly changed. 1 was produced. At this time, the disk substrate 2 is 1.2 mm thick by the 2P method using the stamper as described above.
The width of the land portion 6 and the groove portion 7 is
They were fabricated so as to be about 0.7 μm and about 0.6 μm, respectively.

【0061】なお、ランド部6及びグルーブ部7の幅の
比を測定するに際しては、これらランド部6及びグルー
ブ部7の幅に応じて、照射した光ビームが反射して戻っ
てくる反射光の光量が変化することから、この反射光の
光量比をランド部6及びグルーブ部7の幅の比とした。
ただし、例えば、各種の光学顕微鏡や電子顕微鏡などに
より、直接ランド部6及びグルーブ部7の幅を測定し、
比を算出してもよい。
When measuring the ratio of the width of the land portion 6 to the width of the groove portion 7, the irradiated light beam is reflected and returned according to the width of the land portion 6 and the groove portion 7. Since the amount of light changes, the ratio of the amount of reflected light is defined as the ratio of the width of the land 6 to the width of the groove 7.
However, for example, the widths of the land portion 6 and the groove portion 7 are directly measured by various optical microscopes or electron microscopes, and the like.
The ratio may be calculated.

【0062】そして、以上のように作製した複数の光磁
気ディスク1のランド部6及びグルーブ部7に対して、
波長λが680nmである光ビームを開口数NAが0.
55である対物レンズにより照射することによって記録
再生を行い、ランド部6及びグルーブ部7における再生
時のCN比をそれぞれ測定した。
The lands 6 and grooves 7 of the plurality of magneto-optical disks 1 manufactured as described above are
A light beam having a wavelength λ of 680 nm has a numerical aperture NA of 0.2.
Recording and reproduction were performed by irradiating with an objective lens of 55, and the CN ratio at the time of reproduction in the land portion 6 and the groove portion 7 was measured.

【0063】実験例2 次に、実験例2として、ディスク基板2におけるグルー
ブ部7の深さを60nmとした他は、上述した実験例1
と同様にして複数の光磁気ディスク1を作製した。そし
て、これら複数の光磁気ディスク1に対して、実験例1
の場合と同様にして記録再生を行い、再生時のCN比を
ランド部6及びグルーブ部7でそれぞれ測定した。
Experimental Example 2 Next, as Experimental Example 2, except that the depth of the groove portion 7 in the disk substrate 2 was set to 60 nm,
A plurality of magneto-optical disks 1 were produced in the same manner as described above. Then, an experiment example 1 was performed on these plurality of magneto-optical disks 1.
Recording and reproduction were performed in the same manner as in the above case, and the CN ratio at the time of reproduction was measured in the land 6 and the groove 7, respectively.

【0064】実験例3 次に、実験例3として、ディスク基板2におけるグルー
ブ部7の深さを50nmとした他は、上述した実験例1
と同様にして複数の光磁気ディスク1を作製した。そし
て、これら複数の光磁気ディスク1に対して、実験例1
の場合と同様にして記録再生を行い、再生時のCN比を
ランド部6及びグルーブ部7でそれぞれ測定した。
Experimental Example 3 Next, as Experimental Example 3, except that the depth of the groove portion 7 in the disk substrate 2 was set to 50 nm,
A plurality of magneto-optical disks 1 were produced in the same manner as described above. Then, an experiment example 1 was performed on these plurality of magneto-optical disks 1.
Recording and reproduction were performed in the same manner as in the above case, and the CN ratio at the time of reproduction was measured in the land 6 and the groove 7, respectively.

【0065】以上のようにして実験例1乃至実験例3で
測定した結果を、図4に示す。図4に示す結果から明ら
かであるように、グルーブ部7の幅に対するランド部6
の幅の比を大きくしてゆく、すなわち、ランド部6がグ
ルーブ部7よりも幅広となるにつれて、ランド部6での
CN比が向上し、グルーブ部7でのCN比が劣化するこ
とが分かる。したがって、ランド部6及びグルーブ部7
での記録再生特性を同等とするためには、これらランド
部6及びグルーブ部7の幅を、ランド部6及びグルーブ
部7とでCN比の曲線が交差する点に設定することが最
適となる。
FIG. 4 shows the results measured in Experimental Examples 1 to 3 as described above. As is clear from the results shown in FIG.
It can be seen that the CN ratio in the land portion 6 is improved and the CN ratio in the groove portion 7 is degraded as the land portion 6 becomes wider than the groove portion 7. . Therefore, the land 6 and the groove 7
In order to make the recording / reproducing characteristics at the same level, it is optimal to set the width of the land portion 6 and the groove portion 7 at a point where the CN ratio curve intersects the land portion 6 and the groove portion 7. .

【0066】このように、ランド部6及びグルーブ部7
とでCN比の曲線が交差する点は、グルーブ部7の深さ
に関わらず、幅の比が1.0以上の位置にあることが分
かる。したがって、本発明を適用した光磁気ディスク1
のように、ランド部6の幅をグルーブ部7の幅よりも広
く形成することによって、これらランド部6及びグルー
ブ部7における記録再生特性を同等とすることができ、
ランド部6とグルーブ部7とのどちらの位置にある記録
トラックに対しても良好な記録再生を行うことが可能で
あることが明らかである。
As described above, the land portion 6 and the groove portion 7
It can be seen that the point where the curves of the CN ratio intersect with each other is at a position where the width ratio is 1.0 or more, regardless of the depth of the groove portion 7. Therefore, the magneto-optical disk 1 to which the present invention is applied
By making the width of the land 6 wider than the width of the groove 7, the recording and reproduction characteristics of the land 6 and the groove 7 can be made equal.
It is clear that good recording and reproduction can be performed on the recording tracks located at both the land 6 and the groove 7.

【0067】実験例4 次に、実験例4では、グルーブ部7の幅に対するランド
部6の幅の比を1.0とし、ディスク基板2におけるグ
ルーブ部7の深さを60nmとした他は、上述した実験
例1と同様にして光磁気ディスク1を作製した。そし
て、この光磁気ディスク1のランド部6とグルーブ部7
とに対して、波長λが680nmである光ビームを開口
数NAが0.55である対物レンズにより照射すること
によって、記録再生を行った。このとき、記録時におけ
る光ビームの照射パワーと、再生時における光ビームの
照射パワーとを変化させて、再生時におけるバイトエラ
ーレートを、ランド部6及びグルーブ部7でそれぞれ測
定した。ランド部6におけるバイトエラーレートの測定
結果を図5に示し、グルーブ部7における測定結果を図
6に示す。
Experimental Example 4 Next, in Experimental Example 4, the ratio of the width of the land 6 to the width of the groove 7 was 1.0, and the depth of the groove 7 in the disk substrate 2 was 60 nm. A magneto-optical disk 1 was manufactured in the same manner as in Experimental Example 1 described above. The land 6 and the groove 7 of the magneto-optical disk 1
Recording and reproduction were performed by irradiating a light beam having a wavelength λ of 680 nm with an objective lens having a numerical aperture NA of 0.55. At this time, the irradiation power of the light beam at the time of recording and the irradiation power of the light beam at the time of reproduction were changed, and the byte error rate at the time of reproduction was measured at the land 6 and the groove 7, respectively. FIG. 5 shows a measurement result of the byte error rate in the land portion 6 and FIG. 6 shows a measurement result of the groove portion 7.

【0068】実験例5 次に、実験例5では、グルーブ部7の幅に対するランド
部6の幅の比を1.05とした他は、上述した実験例4
と同様にして光磁気ディスク1を作製し、記録再生を行
った。このとき、記録時における光ビームの照射パワー
と、再生時における光ビームの照射パワーとを変化させ
て、再生時におけるバイトエラーレートを、ランド部6
及びグルーブ部7でそれぞれ測定した。ランド部6にお
けるバイトエラーレートの測定結果を図7に示し、グル
ーブ部7における測定結果を図8に示す。
Experimental Example 5 Next, in Experimental Example 5, except that the ratio of the width of the land 6 to the width of the groove 7 was set to 1.05,
A magneto-optical disk 1 was produced in the same manner as described above, and recording and reproduction were performed. At this time, the irradiation power of the light beam at the time of recording and the irradiation power of the light beam at the time of reproduction are changed so that the byte error rate at the time of reproduction is reduced.
And the groove portion 7 were measured. FIG. 7 shows the measurement result of the byte error rate in the land section 6, and FIG. 8 shows the measurement result in the groove section 7.

【0069】実験例6 次に、実験例6では、グルーブ部7の幅に対するランド
部6の幅の比を1.10とした他は、上述した実験例4
と同様にして光磁気ディスク1を作製し、記録再生を行
った。このとき、記録時における光ビームの照射パワー
と、再生時における光ビームの照射パワーとを変化させ
て、再生時におけるバイトエラーレートを、ランド部6
及びグルーブ部7でそれぞれ測定した。ランド部6にお
けるバイトエラーレートの測定結果を図9に示し、グル
ーブ部7における測定結果を図10に示す。
Experimental Example 6 Next, in Experimental Example 6, except that the ratio of the width of the land portion 6 to the width of the groove portion 7 was set to 1.10.
A magneto-optical disk 1 was produced in the same manner as described above, and recording and reproduction were performed. At this time, the irradiation power of the light beam at the time of recording and the irradiation power of the light beam at the time of reproduction are changed so that the byte error rate at the time of reproduction is reduced.
And the groove portion 7 were measured. FIG. 9 shows a measurement result of the byte error rate in the land portion 6 and FIG. 10 shows a measurement result of the groove portion 7.

【0070】図5乃至図10に示す実験例4乃至実験例
6の結果から明らかであるように、ランド部6とグルー
ブ部7との幅が同等である実験例4の場合には、これら
ランド部6とグルーブ部7とにおけるバイトエラーレー
ト特性が大きく異なり、同等の記録再生特性を得ること
ができないことが分かる。また、図7及び図8に示すよ
うに、ランド部6及びグルーブ部7の幅の比を1.05
として、ランド部6を幅広に形成した場合には、これら
ランド部6及びグルーブ部7で同等のバイトエラーレー
ト特性が得られ、ランド部6及びグルーブ部7の位置で
それぞれ同等の記録再生特性を得ることができることが
分かる。
As is clear from the results of Experimental Examples 4 to 6 shown in FIGS. 5 to 10, in the case of Experimental Example 4 in which the land 6 and the groove 7 have the same width, It can be seen that the byte error rate characteristics of the section 6 and the groove section 7 are significantly different, and the same recording / reproducing characteristics cannot be obtained. As shown in FIGS. 7 and 8, the ratio of the width of the land 6 to the width of the groove 7 is 1.05.
When the land 6 is formed to be wide, equivalent byte error rate characteristics can be obtained in the land 6 and the groove 7, and the same recording / reproducing characteristics can be obtained at the positions of the land 6 and the groove 7, respectively. It can be seen that it can be obtained.

【0071】また、図9及び図10に示すように、ラン
ド部6の幅をグルーブ部7に比して幅広に形成しすぎた
場合にも、これらランド部6とグルーブ部7とにおける
バイトエラーレート特性が大きく異なる結果となり、同
等の記録再生特性を得ることが困難であることが分か
る。
Also, as shown in FIGS. 9 and 10, even when the land 6 is formed so as to be wider than the groove 7, the byte error between the land 6 and the groove 7 can be prevented. The result is that the rate characteristics are significantly different, indicating that it is difficult to obtain the same recording and reproduction characteristics.

【0072】[0072]

【発明の効果】以上で説明したように、本発明に係る光
記録媒体は、ランド部がグルーブ部よりも幅広に形成さ
れていることにより、これらランド部及びグルーブ部の
幅が記録再生に用いる光ビームのスポット径よりも小さ
い場合であっても、記録トラックに記録された情報信号
の記録再生特性を、ランド部とグルーブ部とにおいて同
程度とすることができる。これにより、記録トラックに
対して情報信号を高密度に記録することができ、大容量
化を果たすことが可能となるとともに、安定して確実な
記録再生を行うことが可能となる。
As described above, in the optical recording medium according to the present invention, since the lands are formed wider than the grooves, the widths of these lands and grooves are used for recording and reproduction. Even if the spot diameter is smaller than the spot diameter of the light beam, the recording and reproducing characteristics of the information signal recorded on the recording track can be made substantially the same between the land portion and the groove portion. As a result, information signals can be recorded on a recording track at a high density, a large capacity can be achieved, and stable and reliable recording and reproduction can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用した光記録媒体の一構成例として
示す光磁気ディスクの概略斜視図である。
FIG. 1 is a schematic perspective view of a magneto-optical disk shown as one configuration example of an optical recording medium to which the present invention is applied.

【図2】同光磁気ディスクの積層構造を示す要部拡大断
面図である。
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part showing a laminated structure of the magneto-optical disk.

【図3】同光磁気ディスクを製造する際に用いるレーザ
カッティング装置を示す概略構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a laser cutting device used when manufacturing the magneto-optical disk.

【図4】同光磁気ディスクのランド部及びグルーブ部の
幅を変えた場合における再生時のCN比を測定した結果
を示す図である。
FIG. 4 is a view showing a result of measuring a CN ratio at the time of reproduction when the width of a land portion and a groove portion of the magneto-optical disk is changed.

【図5】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を1.
00としたときのランド部におけるバイトエラーレート
特性を示す図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining the recording / reproducing characteristics of the magneto-optical disk, wherein the ratio of the width of the land portion and the groove portion is 1.
It is a figure which shows the byte error rate characteristic in the land part when it is set to 00.

【図6】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を1.
00としたときのグルーブ部におけるバイトエラーレー
ト特性を示す図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining the recording / reproducing characteristics of the magneto-optical disk, wherein the ratio of the width of the land portion and the groove portion is 1.
It is a figure showing the byte error rate characteristic in the groove part when it is set to 00.

【図7】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を1.
05としたときのランド部におけるバイトエラーレート
特性を示す図である。
FIG. 7 is a diagram for explaining the recording / reproducing characteristics of the magneto-optical disk, wherein the ratio of the width of the land portion and the groove portion is 1.
It is a figure which shows the byte error rate characteristic in the land part when it is set to 05.

【図8】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を1.
05としたときのグルーブ部におけるバイトエラーレー
ト特性を示す図である。
FIG. 8 is a diagram for explaining the recording / reproducing characteristics of the magneto-optical disk, wherein the ratio of the width of the land portion and the groove portion is 1.
It is a figure which shows the byte error rate characteristic in the groove part at 05.

【図9】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明するた
めの図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を1.
10としたときのランド部におけるバイトエラーレート
特性を示す図である。
FIG. 9 is a diagram for explaining the recording / reproducing characteristics of the magneto-optical disk, where the ratio of the width of the land portion and the groove portion is 1.
It is a figure which shows the byte error rate characteristic in the land part when it is set to 10.

【図10】同光磁気ディスクの記録再生特性を説明する
ための図であり、ランド部及びグルーブ部の幅の比を
1.10としたときのグルーブ部におけるバイトエラー
レート特性を示す図である。
FIG. 10 is a diagram for explaining the recording / reproducing characteristics of the magneto-optical disk, and is a diagram showing a byte error rate characteristic in the groove portion when the width ratio between the land portion and the groove portion is 1.10. .

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光磁気ディスク、2 ディスク基板、3 第1の信
号記録層、4 第2の信号記録層、5 保護層、6 ラ
ンド部、7 グルーブ部
Reference Signs List 1 magneto-optical disk, 2 disk substrate, 3 first signal recording layer, 4 second signal recording layer, 5 protective layer, 6 land portion, 7 groove portion

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 千葉 良久 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 竹本 宏之 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 5D029 WA27 WA29 WB11 WC10 WD10 5D075 EE03 FF12 FG18 5D090 AA01 BB10 CC01 CC04 FF15 GG07  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Yoshihisa Chiba 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Inside Sony Corporation (72) Inventor Hiroyuki Takemoto 6-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation F term (reference) 5D029 WA27 WA29 WB11 WC10 WD10 5D075 EE03 FF12 FG18 5D090 AA01 BB10 CC01 CC04 FF15 GG07

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上に信号記録層を備え、この信号記
録層に対して光ビームを照射することにより、情報信号
の記録及び/又は再生が行われる光記録媒体であって、 上記信号記録層には、上記光ビームのスポット径よりも
小さい幅で、上記光ビームが照射される側から見て凹と
なる部分であるランド部と、凸となる部分であるグルー
ブ部とが記録トラックに沿って形成され、 上記ランド部及びグルーブ部の両方に対して情報信号の
記録及び/又は再生が行われるとともに、 上記ランド部は、上記グルーブ部よりも幅広に形成され
ていることを特徴とする光記録媒体。
An optical recording medium comprising: a signal recording layer on a substrate; and irradiating the signal recording layer with a light beam to record and / or reproduce an information signal. The layer has a land smaller in width than the spot diameter of the light beam and has a concave portion as viewed from the side irradiated with the light beam and a groove portion which is a convex portion in the recording track. The recording and / or reproduction of the information signal is performed on both the land portion and the groove portion, and the land portion is formed wider than the groove portion. Optical recording medium.
【請求項2】 上記信号記録層は、情報信号に応じた磁
気信号が記録される第1の磁性層と、光ビームが照射さ
れて昇温されることにより、上記第1の磁性層に記録さ
れた磁気信号が転写される第2の磁性層とを備えること
を特徴とする請求項1記載の光記録媒体。
2. A signal recording layer comprising: a first magnetic layer on which a magnetic signal according to an information signal is recorded; and a signal beam, which is irradiated with a light beam and heated to thereby record on the first magnetic layer. 2. The optical recording medium according to claim 1, further comprising: a second magnetic layer to which the transferred magnetic signal is transferred.
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