JP2712595B2 - 半導体装置の接合方法 - Google Patents
半導体装置の接合方法Info
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- JP2712595B2 JP2712595B2 JP1190650A JP19065089A JP2712595B2 JP 2712595 B2 JP2712595 B2 JP 2712595B2 JP 1190650 A JP1190650 A JP 1190650A JP 19065089 A JP19065089 A JP 19065089A JP 2712595 B2 JP2712595 B2 JP 2712595B2
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- Japan
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- bonding
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- thermocompression bonding
- semiconductor device
- chip
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は半導体装置の接合方法に関し、特に、キャ
リヤテープのフィンガリードをICチップのバンブ電極に
接合する方法に関する。
リヤテープのフィンガリードをICチップのバンブ電極に
接合する方法に関する。
［従来の技術］ 従来のTAB（Tape Automated Bonding）方式と称され
る半導体装置の接合方法では、まず第３図に示すよう
に、キャリヤテープ１上のフィンガリード２の先端をIC
チップ３上のバンプ電極４に熱圧着ヘッド（図示せず）
で熱圧着して接合し、次いでフィンガリード２がICチッ
プ３の上面と接触してショートするのを防止するため
に、第４図に示すように、プレス加工によってフィンガ
リード２をICチップ３の上面から離間する方向に折曲し
ている。
る半導体装置の接合方法では、まず第３図に示すよう
に、キャリヤテープ１上のフィンガリード２の先端をIC
チップ３上のバンプ電極４に熱圧着ヘッド（図示せず）
で熱圧着して接合し、次いでフィンガリード２がICチッ
プ３の上面と接触してショートするのを防止するため
に、第４図に示すように、プレス加工によってフィンガ
リード２をICチップ３の上面から離間する方向に折曲し
ている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来のこのような半導体装置の接合方
法では、フィンガリード２を折曲する工程において、フ
ィンガリード２のバンプ電極４の近傍における折曲部分
2aにクラック発生して切断しやすくなったり、切断して
しまったりすることがあり、ひいては信頼性が低下し、
また歩留りが低下してしまうという問題があった。
法では、フィンガリード２を折曲する工程において、フ
ィンガリード２のバンプ電極４の近傍における折曲部分
2aにクラック発生して切断しやすくなったり、切断して
しまったりすることがあり、ひいては信頼性が低下し、
また歩留りが低下してしまうという問題があった。
すなわち、フィンガリード２がICチップ３の上面と接
触してショートするのを十分に防止するには、フィンガ
リードの曲げ角θ（第４図参照）が大きいほどよいが、
一般的には20゜程度としている。このため、折曲する前
の状態におけるフィンガリード２の基端部から先端側の
折曲部分2aまでの長さL0（第３図参照）を500μｍと
し、曲げ角θを20゜とした場合には、折曲後の長さL
1（第４図参照）が元の長さL0よりも32μｍ長くなり、
その伸び率Ｅが次式から明らかなように6.4％となって
しまう。
触してショートするのを十分に防止するには、フィンガ
リードの曲げ角θ（第４図参照）が大きいほどよいが、
一般的には20゜程度としている。このため、折曲する前
の状態におけるフィンガリード２の基端部から先端側の
折曲部分2aまでの長さL0（第３図参照）を500μｍと
し、曲げ角θを20゜とした場合には、折曲後の長さL
1（第４図参照）が元の長さL0よりも32μｍ長くなり、
その伸び率Ｅが次式から明らかなように6.4％となって
しまう。
Ｅ＝（L1−L0）×1/L0×100＝6.4 しかるに、フィンガリード２の一般的な材料である銅
箔では、常温での伸び率が6.4％であるとその限界（IPC
規格では一般電解銅箔の伸び率は常温で3.0％と規定さ
れている。）を越えてしまい、クラックや切断が発生し
やすくなってしまうからである。
箔では、常温での伸び率が6.4％であるとその限界（IPC
規格では一般電解銅箔の伸び率は常温で3.0％と規定さ
れている。）を越えてしまい、クラックや切断が発生し
やすくなってしまうからである。
この発明は上述の如き事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、フィンガリードを十分に折曲
してもクラックが切断が発生しにくいようにすることの
できる半導体装置の接合方法を提供することにある。
その目的とするところは、フィンガリードを十分に折曲
してもクラックが切断が発生しにくいようにすることの
できる半導体装置の接合方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ この発明は上記課題を解決するために、キャリヤテー
プ上の銅または銅合金からなるフィンガリードを、ボン
ディング台上に載置されたICチップ上のバンプ電極に、
熱圧着ヘッドで熱圧着して接合するとともに、この熱圧
着時の余熱があるうちに、熱圧着ヘッドとボンディング
台をキャリヤテープに対して相対的に下方に移動させ、
これによりフィンガリードを折曲するようにしたもので
ある。
プ上の銅または銅合金からなるフィンガリードを、ボン
ディング台上に載置されたICチップ上のバンプ電極に、
熱圧着ヘッドで熱圧着して接合するとともに、この熱圧
着時の余熱があるうちに、熱圧着ヘッドとボンディング
台をキャリヤテープに対して相対的に下方に移動させ、
これによりフィンガリードを折曲するようにしたもので
ある。
［作用］ かかる構成にある半導体装置の接合方法においては、
常温ではなく、熱圧着時の余熱がある状態において、フ
ィンガリードを折曲することになるので、フィンガリー
ドが常温における場合よりも伸びやすくなり、このため
フィンガリードの伸び率が常温における場合の限界を越
えてもクラックや切断が発生しにくくなり、したがって
信頼性や歩留の向上を図ることができることになる。
常温ではなく、熱圧着時の余熱がある状態において、フ
ィンガリードを折曲することになるので、フィンガリー
ドが常温における場合よりも伸びやすくなり、このため
フィンガリードの伸び率が常温における場合の限界を越
えてもクラックや切断が発生しにくくなり、したがって
信頼性や歩留の向上を図ることができることになる。
［実施例］ 以下、第１図および第２図を参照しながら、この発明
の一実施例を詳細に説明する。
の一実施例を詳細に説明する。
まず、第１図と参照しながら説明すると、ボンディン
グ台11の上面にはICチップ12が位置決めされて載置され
ている。ICチップ12の上面には配線パターン13が設けら
れ、この配線パターン13の上面の左右には金等からなる
バンプ電極14が設けられ、このバンブ電極14を除く配線
パターン13の上面には保護膜（図示せず）が設けられて
いる。一方、テーパ支持台15の上面にはキャリヤテープ
16が位置決めされて載置されている。キャリヤテープ16
の所定の箇所にはICチップ12の外形形状よりも大きめの
開口17が設けられている。キャリヤテープ16の上面には
銅または銅合金からなるフィンガリード18がその一端を
片持ち状に突出されて設けられている。フィンガリード
18の表面には半田メッキ（図示せず）が設けられてい
る。
グ台11の上面にはICチップ12が位置決めされて載置され
ている。ICチップ12の上面には配線パターン13が設けら
れ、この配線パターン13の上面の左右には金等からなる
バンプ電極14が設けられ、このバンブ電極14を除く配線
パターン13の上面には保護膜（図示せず）が設けられて
いる。一方、テーパ支持台15の上面にはキャリヤテープ
16が位置決めされて載置されている。キャリヤテープ16
の所定の箇所にはICチップ12の外形形状よりも大きめの
開口17が設けられている。キャリヤテープ16の上面には
銅または銅合金からなるフィンガリード18がその一端を
片持ち状に突出されて設けられている。フィンガリード
18の表面には半田メッキ（図示せず）が設けられてい
る。
ICチップ12がキャリヤテープ16の開口17の中央部に配
置され、かつキャリヤテープ16のフィンガリード18の突
出端がICチップ12のバンプ電極14の上面に重ね合わされ
た状態で、ステンレスや銅等の金属材料からなるほぼＵ
字状の熱圧着ヘッド19が下降すると、この熱圧着ヘッド
19の下端の平坦な熱圧着面20によってフィンガリード18
の突出端がバンプ電極14の上面に押し付けられる。この
状態で熱圧着ヘッド19に電流が流れると、その熱圧着面
20の部分にジュール熱が発生し、この熱によりフィンガ
リード18の表面の半田メッキが溶融し、これによりフィ
ンガリード18の突出端がバンプ電極14の上面に接合（熱
圧着）される。フィンガリード18とバンプ電極14との接
合には400〜450℃で１〜５秒間程度熱圧着する。
置され、かつキャリヤテープ16のフィンガリード18の突
出端がICチップ12のバンプ電極14の上面に重ね合わされ
た状態で、ステンレスや銅等の金属材料からなるほぼＵ
字状の熱圧着ヘッド19が下降すると、この熱圧着ヘッド
19の下端の平坦な熱圧着面20によってフィンガリード18
の突出端がバンプ電極14の上面に押し付けられる。この
状態で熱圧着ヘッド19に電流が流れると、その熱圧着面
20の部分にジュール熱が発生し、この熱によりフィンガ
リード18の表面の半田メッキが溶融し、これによりフィ
ンガリード18の突出端がバンプ電極14の上面に接合（熱
圧着）される。フィンガリード18とバンプ電極14との接
合には400〜450℃で１〜５秒間程度熱圧着する。
このような熱圧着が行われている途中またはこのよう
な熱圧着が行われた直後において、熱圧着ヘッド19とボ
ンディング台11とが同期して下降すると、第２図に示す
ように、ICチップ12が熱圧着ヘッド19とボンディング台
11との間に挾持された状態で下降し、これに伴いフィン
ガリード18がICチップ12から離間する方向に折曲され
る。なお、熱圧着ヘッド19とボンディング台11とを同期
して下降させる代わりに、テープ支持台15を上昇させる
ようにしてもよい。
な熱圧着が行われた直後において、熱圧着ヘッド19とボ
ンディング台11とが同期して下降すると、第２図に示す
ように、ICチップ12が熱圧着ヘッド19とボンディング台
11との間に挾持された状態で下降し、これに伴いフィン
ガリード18がICチップ12から離間する方向に折曲され
る。なお、熱圧着ヘッド19とボンディング台11とを同期
して下降させる代わりに、テープ支持台15を上昇させる
ようにしてもよい。
このように、この半導体装置の接合方法では、熱圧着
ヘッド19による熱圧着が行われている途中または熱圧着
が行われた直後において、つまり常温ではなく、少なく
とも熱圧着時の余熱がある状態において、フィンガリー
ド18を折曲することになるので、フィンガリード18が常
温における場合よりも伸びやすくなり、このためフィン
ガリード18の伸び率が常温における場合の限界を越えて
もクラックや切断が発生しにくくなり、したがって信頼
性や歩留りが向上することになる。
ヘッド19による熱圧着が行われている途中または熱圧着
が行われた直後において、つまり常温ではなく、少なく
とも熱圧着時の余熱がある状態において、フィンガリー
ド18を折曲することになるので、フィンガリード18が常
温における場合よりも伸びやすくなり、このためフィン
ガリード18の伸び率が常温における場合の限界を越えて
もクラックや切断が発生しにくくなり、したがって信頼
性や歩留りが向上することになる。
例えば、フィンガリード18を高温（170゜以上）で35
％程度伸びる銅または銅合金によって形成し、熱圧着時
の余熱（170゜以上）があるうちに、フィンガリード18
を折曲してその曲げ角θ（第２図参照）を40゜としたと
する。すると、折曲する前の状態におけるフィンガリー
ド18の基端部から先端側の折曲部分までの長さL0（第３
図参照）が500μｍであると、折曲後の長さL1（第４図
参照）が元の長さL0よりも153μｍ長くなり、その伸び
率Ｅが次式から明らかなように30.6％となる。
％程度伸びる銅または銅合金によって形成し、熱圧着時
の余熱（170゜以上）があるうちに、フィンガリード18
を折曲してその曲げ角θ（第２図参照）を40゜としたと
する。すると、折曲する前の状態におけるフィンガリー
ド18の基端部から先端側の折曲部分までの長さL0（第３
図参照）が500μｍであると、折曲後の長さL1（第４図
参照）が元の長さL0よりも153μｍ長くなり、その伸び
率Ｅが次式から明らかなように30.6％となる。
Ｅ＝（L1−L0）×1/L0×100＝30.6 したがって、曲げ角θが40゜とかなり大きくても、伸
び率Ｅが31％程度で、35％よりも小さく、許容範囲内で
あるので、クラックや切断が発生しにくく、信頼性およ
び歩留りの高い半導体装置が得られることになる。
び率Ｅが31％程度で、35％よりも小さく、許容範囲内で
あるので、クラックや切断が発生しにくく、信頼性およ
び歩留りの高い半導体装置が得られることになる。
また、この半導体装置の接合方法では、フィンガリー
ド18をバンプ電極14に熱圧着するための熱圧着ヘッド19
とボンディング台11とによってICチップ12を挾持した状
態でフィンガリード18を折曲しているので、フィンガリ
ード18を折曲するための工程を熱圧着工程で兼用するこ
とができ、したがってフィンガリード18を折曲するため
のそれ専用の工程を必要とせず、組立工数を低減するこ
とができる。
ド18をバンプ電極14に熱圧着するための熱圧着ヘッド19
とボンディング台11とによってICチップ12を挾持した状
態でフィンガリード18を折曲しているので、フィンガリ
ード18を折曲するための工程を熱圧着工程で兼用するこ
とができ、したがってフィンガリード18を折曲するため
のそれ専用の工程を必要とせず、組立工数を低減するこ
とができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、この発明に係る半導体装置の接
合方法によれば、常温ではなく、熱圧着時の余熱がある
状態において、フィンガリードを折曲しているので、フ
ィンガリードが常温における場合よりも伸びやすくな
り、このためフィンガリードの伸び率が常温における場
合の限界を越えてもクラックや切断が発生しにくくな
り、したがって信頼性や歩留の向上を図ることができ、
またフィンガリードを折曲するための工程を熱圧着工程
で兼用することができるので、フィンガリードを折曲す
るためのそれ専用の工程を必要とせず、組立工数を低減
することができる。
合方法によれば、常温ではなく、熱圧着時の余熱がある
状態において、フィンガリードを折曲しているので、フ
ィンガリードが常温における場合よりも伸びやすくな
り、このためフィンガリードの伸び率が常温における場
合の限界を越えてもクラックや切断が発生しにくくな
り、したがって信頼性や歩留の向上を図ることができ、
またフィンガリードを折曲するための工程を熱圧着工程
で兼用することができるので、フィンガリードを折曲す
るためのそれ専用の工程を必要とせず、組立工数を低減
することができる。
第１図および第２図はこの発明の一実施例における半導
体装置の接合方法を説明するためのもので、このうち第
１図はキャリヤテープのフィンガリードをICチップのバ
ンプ電極に熱圧着する工程を示す断面図、第２図はキャ
リヤテープのフィンガリードを折曲する工程を示す断面
図、第３図および第４図は従来の半導体装置の接合方法
の一例を説明するためのもので、このうち第３図はキャ
リヤテープのフィンガリードをICチップのバンプ電極に
熱圧着する工程を示す断面図、第４図はキャリヤテープ
のフィンガリードを折曲する工程を示す断面図である。 11……ボンディング台、12……ICチップ、14……バンプ
電極、16……キャリヤテープ、18……フィンガリード、
19……熱圧着ヘッド。
体装置の接合方法を説明するためのもので、このうち第
１図はキャリヤテープのフィンガリードをICチップのバ
ンプ電極に熱圧着する工程を示す断面図、第２図はキャ
リヤテープのフィンガリードを折曲する工程を示す断面
図、第３図および第４図は従来の半導体装置の接合方法
の一例を説明するためのもので、このうち第３図はキャ
リヤテープのフィンガリードをICチップのバンプ電極に
熱圧着する工程を示す断面図、第４図はキャリヤテープ
のフィンガリードを折曲する工程を示す断面図である。 11……ボンディング台、12……ICチップ、14……バンプ
電極、16……キャリヤテープ、18……フィンガリード、
19……熱圧着ヘッド。
Claims (1)
- 【請求項１】キャリヤテープ上の銅または銅合金からな
るフィンガリードを、ボンディング台上に載置されたIC
チップ上のバンプ電極に、熱圧着ヘッドで熱圧着して接
合するとともに、この熱圧着時の余熱があるうちに、前
記熱圧着ヘッドと前記ボンディング台を前記キャリヤテ
ープに対して相対的に下方に移動させ、これにより前記
フィンガリードを折曲することを特徴とする半導体装置
の接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1190650A JP2712595B2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 半導体装置の接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1190650A JP2712595B2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 半導体装置の接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355863A JPH0355863A (ja) | 1991-03-11 |
| JP2712595B2 true JP2712595B2 (ja) | 1998-02-16 |
Family
ID=16261617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1190650A Expired - Lifetime JP2712595B2 (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 | 半導体装置の接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2712595B2 (ja) |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP1190650A patent/JP2712595B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0355863A (ja) | 1991-03-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091031 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
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