JP2711790B2 - 振動計測器 - Google Patents
振動計測器Info
- Publication number
- JP2711790B2 JP2711790B2 JP7823993A JP7823993A JP2711790B2 JP 2711790 B2 JP2711790 B2 JP 2711790B2 JP 7823993 A JP7823993 A JP 7823993A JP 7823993 A JP7823993 A JP 7823993A JP 2711790 B2 JP2711790 B2 JP 2711790B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- vibration
- signal
- displacement
- differential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
および振動加速度を検出可能な振動計測器に関し、特に
小型化および経済化に係わる。
位、振動速度および振動加速度を計測する従来の振動計
測器は、図3に示すように図中に破線で示したサーボ式
加速度計1で加速度を検出し、その検出加速度信号i
(t) を別途用意された第1積分回路2を通して速度信号
v(t) に変換し、更に速度信号v(t) を第2積分回路3
を通して変位信号d(t) に変換する方式であった。
もので、図5にその構造を示すように、マグネット5a
およびムービングコイル5bより成るトルカー5と、そ
のムービングコイル5bに接着固定された振子6と、差
動式変位検出器7と、サーボ増幅器8等で構成される。
加速度を入力して変位角θを出力する振子6の伝達関数
は、振子6のペンデュロシティ(Pendulocity)をP,慣
性モーメントをIm ,ダンピング定数をC,ヒンジ部9
のバネ定数をKh とすると、周知のようにP/(Im s
2 +Cs+Kh)で表される。ここにsはラプラス変数
である。
れば、トルカー5は電流i(出力加速度)を入力して加
速度信号(Ktg/P)iを振子6に入力加速度aとは逆
極性で入力するように構成され、入力加速度aで変位し
た片持ち梁式振子6を差動式変位検出器7の中立点に強
制的に拘束するトルクを発生するものである。差動式変
位検出器7は振子6の変位角θを検出して電圧に変換す
るもので、その検出感度をKpo,サーボ増幅器8の利得
をG0 ,サーボ増幅器8の負荷インピーダンスをZL で
表す。負荷ZL を流れる電流がiである。
前向き伝達関数G(s) とフィードバック伝達関数H(s)
で表し、また入力加速度a(t) および出力電流i(t) の
ラプラス変換をそれぞれをA(s) およびI(s) で表せ
ば、入力a(t) に対する出力i(t) の伝達関数は、 I(s) /A(s) =G(s) /{1+G(s) H(s) } ……(1) G(s) ={P/(Im s2 +Cs+Kh )}KpoG0 /ZL ……(2) H(s) =Ktg/P ……(3) となる。
ば、 I(s) /A(s) =(P・KL /Ktg)/(Im s2 +Cs+Kh +KL ) ……(4) KL =Kpo・G0 ・Ktg/ZL ……(5) サーボ式加速度計1の伝達関数は(4)式で表される。
ーボ式加速度計1の出力側に第1,第2積分回路2,3
を縦続に接続した構成であり、それらの第1,第2積分
回路は積分誤差を極力小さく抑えるために高精度でなけ
ればならず、実用できる回路は構成が複雑となり、また
機械的にも堅牢でなければならず、構造が大きくなり、
結果として振動計測器が大型で高価となる欠点があっ
た。この発明の目的は、これら従来の欠点を解決して、
小型で経済的な振動計測器を提供しようとするものであ
る。
する片持ち梁式振子と、この振子の変位量を電気信号と
して検出する差動式変位検出器と、この変位検出器出力
を増幅するサーボ増幅器と、このサーボ増幅器の出力を
入力して、加速度で変位した上記振子を上記差動式変位
検出器の中立点に強制的に拘束するトルクを発生するト
ルカーからなるサーボ式加速度計を用い、上記差動式変
位検出器と上記サーボ増幅器間に第1,第2微分回路を
縦続接続し、上記差動式変位検出器の出力端から振動変
位信号を、上記第1微分回路出力端から振動速度信号
を、更に上記第2微分回路出力端から振動加速度信号を
出力できるようにしたものである。
より微小変位する片持ち梁式振子と、この振子の変位量
を電気信号として検出する差動式変位検出器と、この変
位検出器信号を増幅するサーボ増幅器と、このサーボ増
幅器の出力を入力して、加速度で変位した上記振子を上
記差動式変位検出器の中立点に強制的に拘束するトルク
を発生するトルカーからなるサーボ式加速度計を用い、
上記差動式変位検出器と上記サーボ増幅器間に第1,第
2微分回路を縦続に接続し、上記差動式変位検出器の出
力を第1補助増幅器で増幅し、上記第1微分回路の出力
を第2補助増幅器で増幅し、上記第2微分回路の出力
と、上記第1および第2補助増幅器の出力とを混合して
上記サーボ増幅器を介して上記トルカーに供給し、上記
差動式変位検出器の出力端から振動変位信号を、上記第
1微分回路出力端から振動速度信号を、更に上記第2微
分回路出力端から振動加速度信号を出力できるようにし
たものである。
る。図1は本発明による振動計測器のブロック図で、図
3と対応する部分に同じ符号を付してある。図1におい
て、入力振動加速度計a(t) により振子6が変位し、こ
れを差動式変位検出器7により検出信号d(t) として取
り出す。この信号d(t) を第1,第2微分回路21,2
2を通してサーボ増幅器8で増幅し、負荷インピーダン
ス11を介して電流i(t) に変換し、トルカー5のムー
ビングコイルに供給すると、振子6は差動式変位検出器
7の中立点に拘束される。このとき電流iは後述するよ
うに振動加速度aにほぼ比例させることができるので、
第2微分回路22の前の信号v(t) は振動速度に比例し
ている。従って第1微分回路21の前の信号d(t) は差
動式変位検出器7の出力でもあるが、振動変位に比例し
た信号になる。
出器7の出力信号は、出力電流i(t) が入力加速度aに
ほぼ比例した加速度信号であることから明らかなよう
に、電流iと同様に入力加速度aに比例した信号であっ
たが、図1の場合には上述した通り、入力変位に比例し
た信号に変わっている点に注意を要する。以上のよう
に、この発明では、従来からあるサーボ式加速度計1に
2段の微分回路を設けることにより振動変位検出機能、
振動速度検出機能および振動加速度検出機能を得ること
ができる。
検出器7の出力信号d(t) を第1補助増幅器23にて適
宜その電圧利得G1 を調整して加算点25に負の極性で
印加し、また第1微分回路21の出力信号v(t) を第2
補助増幅器24にて適宜その電圧利得G2 を調整して加
算点25に負の極性で印加することにより、後述するが
振子6の片持ち梁のバネ定数Kh と振子6の減衰係数C
を電気的に調整することができるので、振動計測器とし
ての周波数応答特性を改善することができる。
換を用いた伝達関数式で表す。振子6,トルカー5,差
動式変位検出器7,サーボ増幅器8の伝達関数および負
荷インピーダンスは従来の図3と同様であり、同じ符号
を用いる。この発明で新しく挿入した第1,第2微分回
路21,22の入力電圧に対する出力電圧の伝達関数を
それぞれsK1 ,sK2 とする。
場合には入力振動変位に対する出力振動変位の関係が重
要となる。入力振動変位は∬a(t) dtで表されるか
ら、入力振動変位のラプラス変換はA(s) /s2 とな
る。この入力振動変位に対する出力振動変位d(t) の伝
達関数F1 (s) は、D(s) =Ld(t) (Lはラプラス変
換の記号とする)と置けば、 F1 (s) =D(s) /{A(s) /s2 }=s2 {D(s) /A(s) }…(6) であるから、入力変位に対する出力変位の伝達関数F1
(s) は、入力加速度a(t) に対する出力変位d(t) の伝
達関数を求めて、それにs2 を掛ければよい。そこで図
1を入力加速度a(t) に対する出力変位d(t) の伝達関
数を求めるのに都合がよいように図2Aのように書き換
える。この場合、前向き伝達関数G(s) およびフィード
バック伝達関数H(s) は図2Bのように表される。図2
BのG(s),H(s) の式を、 D(s) /A(s) =G(s) /{1+G(s) H(s) } ……(7) に代入すれば D(s) /A(s) =PKpo/(Im s2 +Cs+Kh +s2 KL )…(8) ∴F1(s)=s2{D(s)/A(s)}=PKpos2/{(Im+KL)s2+Cs+Kh} ……(9) ここでKL =(Kpo・G0 ・Ktg・K1 ・K2 )/ZL …… (10) (Im +KL )s2 >Cs>Kh が成立するように振子
6の係数を設定すれば(9)式は、 F1 ≒P・Kpo/(Im +KL ) …… (11) と簡略化され、伝達関数F1 (s) の周波数特性は平坦と
なる。従って周波数に対する補正は必要でない。
する場合に重要な、入力振動速度∫a(t) dtに対する
出力振動速度v(t) の伝達関数F2 は上述と同様にし
て、 F2=sV(s)/A(s)=P・Kpo・K1・s2/{(Im+KL) s2+Cs+Kh } …… (12) 従って(Im +KL )s2 >Cs>Kh が成立するとき
は、 F2 ≒P・Kpo・K1 /(Im +KL ) …… (13) と簡略化され、周波数特性上は平坦となる。
な、入力振動加速度a(t) に対する出力振動加速度i
(t) の伝達関数F3 は、同様にして、 F3 =I(s)/A(s) =P・KL・s2/Ktg・{(Im+KL)s2 +Cs+Kh} …… (14) 従って(Im +KL )s2 >Cs>Kh が成立するとき
は、 F3 ≒P・KL /Ktg・(Im +KL ) …… (15) と簡略化され、周波数特性は平坦となる。即ち、図1の
出力電流i(t) は入力振動加速度a(t) にほぼ比例した
信号、つまり加速度信号であることが判る。従って、既
に述べたように、第2微分回路22の入力側の信号v
(t) は加速度信号を積分して得られる振動速度信号であ
り、更に第1微分回路21の入力側の信号d(t) は速度
信号を積分して得られる振動変位信号であることが判
る。
助増幅器23,24を追加した場合の伝達関数を求め
る。入力振動変位∬a(t) dtに対する出力振動変位d
(t) の伝達関数F1 は、 F1 =s2 D(s) /A(s) =P・Kpo・s2 /{(Im +KL )s2 +(C−KL ・G2 /K2 ) s+(Kh −KL ・G1 /K1 ・K2 )} …… (16) 従って(Im +KL )s2 >(C−KL ・G2 /K2 )
s>(Kh −KL ・G 1 /K1 ・K2 )が成立するよう
に各部の係数を設定すれば、 F1 ≒P・Kpo/(Im +KL ) …… (17) と簡略化され、周波数特性は平坦となる。
動速度v(t) の伝達関数F2 は、 F2 =sV(s) /A(s) =P・Kpo・K1・s2/{(Im+KL)s2 +(C−KL・G2/K2) s+(Kh −KL ・G1 /K1 ・K2 )} …… (18) 従って(Im +KL )s2 >(C−KL ・G2 /K2 )
s>(Kh −KL ・G1/K1 ・K2 )が成立するとき
は、 F2 ≒P・Kpo・K1 /(Im +KL ) …… (19) と簡略化され、周波数特性は平坦となる。
速度i(t) の伝達関数F3 は、 F3 =I(s) /A(s) =P・Kpo・K1・K2・s2/{(Im+KL)s2 +(C−KL・G2/K2)s+(Kh −KL ・G1 /K1 ・K2 )} …… (20) 従って(Im +KL )s2 >(C−KL ・G2 /K2 )
s>(Kh −KL ・G1/K1 ・K2 )が成立するとき
は、 F3 ≒P・Kpo・K1 ・K2 /(Im +KL ) …… (21) と簡略化され、周波数特性は平坦となる。
0)式において分母のsの0次項と1次項は電気回路的
に調整可能であることを示しており、耐環境性を考慮し
てバネ定数Kh を硬くしてもKL ・G1 /K1 ・K2 で
電気的に補正可能なため作動中はバネ定数をほとんど零
にして計測範囲を低周波側に拡大することが可能にな
る。また同様にしてダンピング定数CもKL G2 /K2
で調整可能となり系の安定性改善に効果がある。
2に示すように、コンデンサC,抵抗器Rおよびオペア
ンプOAにより簡単で、小型・安価に構成できるので、
図5に示した従来のサーボ式加速度計のケース内に収容
することもでき、振動計測器の小型化、経済化が図られ
る。
サーボ加速度計の差動式変位検出器7とサーボ増幅器8
との間に第1,第2微分回路21,22を縦続に接続
し、差動式変位検出器7の出力から振動変位信号d(t)
を、第1微分回路21の出力から振動速度信号v(t)
を、更に負荷インピーダンス11を流れる負荷電流i
(t) を振動加速度信号としてそれぞれ得ることができ
る。実用的な微分回路は積分回路と異なり構成が簡単
で、小型、安価にできるものであり、従来のサーボ加速
度計のケース内に収容するなどして、振動計測器を小型
軽量、堅牢かつ安価に供給できる効果が得られる。
回路2の出力をそれぞれ第1,第2補助増幅器23,2
4を介して適宜増幅し、加算点25に加えることによ
り、測定系の安定性や周波数特性を改善することがで
き、その結果、サーボ加速度計1の機構部を変更するこ
となく、その特徴である小型高性能を活かして容易に振
動計測器を供給できる効果が得られる。
関数を求めるのに適するように変形したブロック図、B
はAの等価回路図、CはAの第1または第2微分回路の
一例を示す回路図。
ブロック図。
図。
は一部を破断して示した斜視図、Bは原理的な構造図。
Claims (2)
- 【請求項1】 加速度により微小変位する片持ち梁式振
子と、 この振子の変位量を電気信号として検出する差動式変位
検出器と、 この変位検出器出力を増幅するサーボ増幅器と、 このサーボ増幅器の出力を入力して、加速度で変位した
上記振子を上記差動式変位検出器の中立点に強制的に拘
束するトルクを発生するトルカーからなるサーボ式加速
度計を用い、 上記差動式変位検出器と上記サーボ増幅器間に第1,第
2微分回路を縦続接続し、 上記差動式変位検出器の出力端から振動変位信号を、上
記第1微分回路出力端から振動速度信号を、更に上記第
2微分回路出力端から振動加速度信号をそれぞれ出力で
きるようにしたことを特徴とする、 振動計測器。 - 【請求項2】 加速度により微小変位する片持ち梁式振
子と、 この振子の変位量を電気信号として検出する差動式変位
検出器と、 この変位検出器信号を増幅するサーボ増幅器と、 このサーボ増幅器の出力を入力して、加速度で変位した
上記振子を上記差動式変位検出器の中立点に強制的に拘
束するトルクを発生するトルカーからなるサーボ式加速
度計を用い、 上記差動式変位検出器と上記サーボ増幅器間に第1,第
2微分回路を縦続に接続し、 上記差動式変位検出器の出力を第1補助増幅器で増幅
し、上記第1微分回路の出力を第2補助増幅器で増幅
し、 上記第2微分回路の出力と、上記第1および第2補助増
幅器の出力とを混合して上記サーボ増幅器を介して上記
トルカーに供給し、 上記差動式変位検出器の出力端から振動変位信号を、上
記第1微分回路出力端から振動速度信号を、更に上記第
2微分回路出力端から振動加速度信号をそれぞれ出力で
きるようにしたことを特徴とする、 振動計測器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7823993A JP2711790B2 (ja) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | 振動計測器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7823993A JP2711790B2 (ja) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | 振動計測器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06289045A JPH06289045A (ja) | 1994-10-18 |
JP2711790B2 true JP2711790B2 (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=13656484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7823993A Expired - Fee Related JP2711790B2 (ja) | 1993-04-05 | 1993-04-05 | 振動計測器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2711790B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5090266B2 (ja) * | 2008-06-23 | 2012-12-05 | 日本航空電子工業株式会社 | サーボ型加速度計及び加速度計測装置 |
US8086328B2 (en) * | 2008-08-29 | 2011-12-27 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for vibration rectification error reduction in closed-loop accelerometer systems |
-
1993
- 1993-04-05 JP JP7823993A patent/JP2711790B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06289045A (ja) | 1994-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4009607A (en) | Force measuring system including combined electrostatic sensing and torquing means | |
JP2812007B2 (ja) | 加速度センサ | |
US8171794B2 (en) | Operating method and circuit arrangement for a capacitive micromechanical sensor with analog reset | |
US4043204A (en) | Magnetic fluid bearing accelerometer | |
EP1424562B1 (en) | Sensor capacity sensing apparatus and sensor capacity sensing method | |
JP2711790B2 (ja) | 振動計測器 | |
US4887467A (en) | Temperature-compensating circuit for accelerometers | |
JP2687242B2 (ja) | サーボ加速度計 | |
JPS61502489A (ja) | ディジタル出力機器 | |
JPH0628698Y2 (ja) | サ−ボ型受振器 | |
KR20040041159A (ko) | 전위 고정 장치 및 전위 고정 방법 | |
JPS5960333A (ja) | 圧力検出器 | |
RU2809588C1 (ru) | Устройство для измерения ускорений | |
US3882731A (en) | Torquer scale factor temperature correction means | |
RU2793895C1 (ru) | Устройство для измерения ускорений | |
RU2792706C1 (ru) | Компенсационный акселерометр | |
CN116972839B (zh) | 嵌入频率脉冲转换电路的挠性加表数字伺服电路及方法 | |
RU2818692C1 (ru) | Акселерометр | |
JPS5946340B2 (ja) | 加速度計 | |
RU2793845C1 (ru) | Акселерометр | |
JPS59198361A (ja) | 信号入力装置 | |
CN112526169B (zh) | Mems电容式加速度计信号读出电路 | |
JPS5937729Y2 (ja) | サ−ボ形加速度計 | |
KR100206170B1 (ko) | 자이로 중력 영향 편류 보상방법 및 회로 | |
RU2199755C1 (ru) | Преобразователь инерциальной информации |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970902 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071031 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081031 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091031 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101031 Year of fee payment: 13 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101031 Year of fee payment: 13 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101031 Year of fee payment: 13 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101031 Year of fee payment: 13 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101031 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111031 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111031 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111031 Year of fee payment: 14 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |