JP2674575B2 - 光ファイバセンサ - Google Patents

光ファイバセンサ

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JP2674575B2
JP2674575B2 JP19173595A JP19173595A JP2674575B2 JP 2674575 B2 JP2674575 B2 JP 2674575B2 JP 19173595 A JP19173595 A JP 19173595A JP 19173595 A JP19173595 A JP 19173595A JP 2674575 B2 JP2674575 B2 JP 2674575B2
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亮 竹田
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバセンサ、特
に、任意の大面積内の発光点の2次元的な位置の検出に
適用可能な光ファイバセンサに関する。
【0002】
【従来の技術】漏洩光ファイバを用いて、光の位置を検
出する従来技術について、図面を参照して説明する。
【0003】図4(a)〜(d)は第1の従来例を示す
側面図および断面図である。図4(a)は、コア401
の外周面にクラッド2が設けられ、硫酸や塩酸等の薬品
でクラッド2を除去してできた光漏洩部403が長手方
向に一定のピッチPで形成されている。(例えば、特開
昭60−165504号公報参照) コア401の一端に発光ダイオード等からの光を入射さ
せ、光漏洩部403で散乱波を発生し、この散乱波のう
ち入射角の小さい光線を漏洩させ、得られた漏洩光を移
動体410に搭載したセンサにより検出し、漏洩光の極
大値の数の積算値とピッチPとを乗算して移動体410
の位置を知る。なお、特開昭57−173771号公報
には、移動体に発光源を搭載し、コアの一方に光センサ
を設ける位置検知システムが記載されている。
【0004】図4(b)は光漏洩部403aがピッチP
で螺旋状に形成されたもの、図4(c)はクラッド40
2bが広幅部403vと狭幅部403wとの間で、長手
方向に連続に除去されているので、移動体の位置を連続
的に検出できる。図4(d)はコア404とクラッド4
05を熱等により軟化させて半径方向に圧潰してくびら
せ光漏洩部406を形成している。
【0005】これらの例は、光漏洩部を用いた一次元位
置検出器であり、光漏洩部を必要としない(一次元また
は)二次元位置検出器としては、蛍光ファイバを利用し
たものがある。この種の技術は、プリント配線パターン
検査装置に用いられる。
【0006】図5(a)〜(c)は第2の従来例を示す
斜視図およびグラフである。図5(a)に示す光位置・
光量検出装置は、蛍光ファイバ束432と光結合レンズ
34A,34Bと一次元光センサ36A,36Bとを含
んで構成される。(例えば、特開平6−300518号
公報参照) 蛍光ファイバ束432は蛍光減衰率が無視できないもの
を使用し、一次元光センサ36A,36BがPSDであ
る場合、一次元光センサ36Aの一対の出力信号A1と
B1との和である光量(A1+B1)と、一次元光セン
サ37Aの一対の出力信号A2とB2との和である光量
(A2+B2)とは、光断面SPの、蛍光ファイバ束4
32の光軸方向位置Yにより、図5(c)に示すごとく
変化する。光位置Yは、(A2+B2)/(A1+B
1)で与えられ、光位置Xは(A1−B1)/(A1+
B1)と表すことができる。
【0007】なお、検出感度を倍増させるため、蛍光フ
ァイバ束432を通過した入射光を再利用する第2の蛍
光ファイバ束を、蛍光ファイバ束432の上に直交また
は(45度)させて置く技術も開示されているが、蛍光
ファイバの光透過率が小さい場合には、第2の蛍光ファ
イバ束に入射する光ビームの光量が低減するので、第2
の蛍光ファイバ束の出力信号のS/Nが低下することが
指摘されている。蛍光センサとして、光電子増倍管(分
解能のない高感度の面センサ)を用いた例も開示されて
いる。
【0008】図6は第3の従来例を示す模式図である。
図6に示す光位置・光量検出装置は、蛍光ファイバ束6
22,633と光電子増倍管666A,666B,67
6A,676Bとを含んで構成される。光電子増倍管6
66A,666Bの出力信号をPX1,PX2とする
と、光断面SPの位置が同一であっても、出力信号PX
1,PX2は受光量により異なるが、両者の比PX1/
PX2は受光量に依存せず、光断面SPの位置により定
まる。そこで、この値を光位置Xして用いる。光電子増
倍管676A,676Bの出力信号をPY1,PY2と
すると、光断面SPの位置が同一であっても、出力信号
PY1,PY2は受光量により異なるが、両者の比PY
1/PY2は受光量に依存せず、光断面SPの位置によ
り定まる。そこで、この値を光位置Yして用いる。
【0009】一般の光ファイバでは、曲げ半径と光の損
失量とは、伝送損失が曲げ半径の−2乗に比例する関係
にあり(例えば、特開平2−108008号公報参
照)、光ファイバに長期間にわたって微小な径の曲げを
強制的に加えると、機械的強度が劣化し、その曲げ部分
にて破断する(例えば、特開平3−62021号公報参
照)。曲げ半径と光の損失量との関係については実測デ
ータがある。(例えば、特開昭56−106110号公
報参照)。
【0010】図7は光漏洩部を設けない一般の光ファイ
バの回折損失(つまり光の漏れ量)を示すグラフであ
る。測定した3種類の光ファイバA,B,Cは、曲率半
径を90mm以下にすると漏れ量が非常に大きくなるこ
とがわかる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の光位置
検出装置は、大面積を検出するためには複数本の蛍光フ
ァイバと複数本の蛍光ファイバからの蛍光の位置を検出
するために必要な大きさの一次元センサを用意しなけれ
ばならないという欠点があった。
【0012】また従来の光位置検出装置は、検出すべき
光によって発生される蛍光を検出する構造になっている
ため、蛍光が発生しづらい赤外線の検出感度が低いとい
う欠点があった。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の光ファイバセン
サは、つづら折り状に張られかつ側面から一定の割合で
漏光する第1の光ファイバと、前記第1の光ファイバの
上に前記第1の光ファイバと直交する方向につづら折り
状に張られかつ側面から一定の割合で漏光する第2の光
ファイバと、前記第1の光ファイバの片端から出射する
光の強度を検出する第1の光検出器と、前記第1の光フ
ァイバの前記第1の光検出器がない端部から出射する光
の強度を検出する第2の光検出器と、前記第2の光ファ
イバの片端から出射する光の強度を検出する第3の光検
出器と、前記第2の光ファイバの前記第3の光検出器が
ない端部から出射する光の強度を検出する第4の光検出
器とを含んで構成される。
【0014】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して詳細に
説明する。
【0015】図1は、本発明の一実施例を示す斜視図で
ある。図1に示す光ファイバセンサは、任意のXY平面
11内でX軸に平行なつづら折り状(ただし、屈曲部は
適正な曲率でファイバを曲げることとする)に張られか
つ側面から一定の割合で漏光する光ファイバ12と、前
記光ファイバ12の上にY軸に平行なつづら折り状(た
だし、屈曲部は適正な曲率でファイバを曲げることとす
る)に張られかつ側面から一定の割合で漏光する光ファ
イバ13と、前記光ファイバ12の両端から出射する光
の強度をそれぞれ検出する光検出器14および光検出器
15と、光ファイバ13の両端から出射する光の強度を
それぞれ検出する光検出器16および光検出器17とを
含んで構成される。
【0016】ここで、漏光する光ファイバ12について
図2を用いて説明する。図2は光ファイバ12を延長方
向に切断したときの断面図である。光ファイバ12は高
い屈折率を有するコア21とコア21にまで達する特定
形状の傷22を形成しかつコア21より低い屈折率を有
するクラッド23から構成される。光ファイバ12の側
面にビーム24が入射すると、傷22を通してコア21
内にビーム24が入射する。ビーム24はコア21を通
って光ファイバ12内を伝達されるが、このときビーム
24の一部は傷22から漏光25として放出される。す
なわち入射したビーム24はある割合で漏光しながらフ
ァイバ12内を伝送されることになる。
【0017】ここで光ファイバ12および13に光ファ
イバ12および13の下方の任意の発光点31から入射
ビーム32が入射した場合について図面を用いて詳細に
説明する。
【0018】図3は図1の光ファイバセンサを真上から
見た場合の矢視図で、入射ビーム32が光ファイバ12
および光ファイバ13の受光点33に入射した時の様子
を模擬的に示す説明図である。光検出器14から受光点
33までの光ファイバ12の長さをX2、光検出器16
から受光点33までの光ファイバ13の長さをX3、光
ファイバ2の全長をL2、光ファイバ3の全長をL3、受
光点33に入射した光の強度をI0、光検出器14、1
5、16および17が検出する光の強度をそれぞれI
4、I5、I6、I7とすると、受光点33に入射した光は
一定の割合kで漏光しながら光ファイバ12および光フ
ァイバ13内を通って光検出器に伝達されるため、光検
出器14、15、16および17が受光する入射ビーム
の強度から、入射ビーム32の2次元的な位置を検出す
ることができる。
【0019】
【発明の効果】本発明の光ファイバセンサは、漏光する
2本の光ファイバをつづら折り状に交差させて配置して
いるため、大面積内のビームの2次元的な位置を2本の
ファイバと4個の光検出器のみで簡単に検出することが
できるという効果がある。また、検出できるビームの波
長が特に限定されないという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す斜視図である。
【図2】図1に示した光ファイバ12の延長方向の断面
図である。
【図3】図1に示した光ファイバセンサの真上からの矢
視図である。
【図4】(a)〜(d)は第1の従来例を示す側面図お
よび断面図である。
【図5】(a)〜(c)は第2の従来例を示す斜視図お
よびグラフである。
【図6】第3の従来例を示す模式図である。
【図7】光漏洩部を設けない一般の光ファイバの回折損
失を示すグラフである。
【符号の説明】
11 XY平面 12,13 光ファイバ 14〜17 光検出器 21 コア 22 傷 23 クラッド 24,32 入射ビーム 25 漏光 31 発光点 33 受光点

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 つづら折り状に張られかつ側面から一定
    の割合で漏光する第1の光ファイバと、前記第1の光フ
    ァイバの上に前記第1の光ファイバと直交する方向につ
    づら折り状に張られかつ側面から一定の割合で漏光する
    第2の光ファイバと、前記第1の光ファイバの片端から
    出射する光の強度を検出する第1の光検出器と、前記第
    1の光ファイバの前記第1の光検出器がない端部から出
    射する光の強度を検出する第2の光検出器と、前記第2
    の光ファイバの片端から出射する光の強度を検出する第
    3の光検出器と、前記第2の光ファイバの前記第3の光
    検出器がない端部から出射する光の強度を検出する第4
    の光検出器とを含んでいることを特徴とする光ファイバ
    センサ。
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