JP2019207186A - 光量計及びこれを備える光照射装置 - Google Patents

光量計及びこれを備える光照射装置 Download PDF

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Abstract

【課題】小型かつ簡単な構成でありながら、光を遮ることなく光量を測定することが可能な光量計を提供する。【解決手段】光量計1が、光が入射する入射面と、入射面に入射した光が透過して出射される出射面と、入射面に入射した光の一部が導光されて出射される一端面と、を有する導光部12と、一端面から出射される光を受光して電流に変換する光電変換部と、電流に基づいて、入射光の光量を算出する演算部と、演算部によって算出された光量を表示する表示部26と、を備え、一端面から出射される光は、実質的に導光部の内部で発生する散乱光からなるように構成される。【選択図】図1

Description

本発明は、光の光量を測定する光量計と、これを備える光照射装置に関する。
従来、紫外光の照射によって硬化するUVインクを用いて印刷を行なう印刷装置が知られている。このような印刷装置では、ヘッドのノズルから媒体にインクを吐出した後、媒体に形成されたドットに紫外光を照射する。紫外光の照射により、ドットが硬化して媒体に定着するので、液体を吸収しにくい媒体に対しても良好な印刷を行うことができる。このような印刷装置は、例えば、特許文献1に記載されている。
特許文献1には、印刷媒体を搬送する搬送ユニットと、搬送方向に並び、シアン、マゼンダ、イエロー、ブラック、オレンジ、グリーンのカラーインクをそれぞれ吐出する6つのヘッドと、各ヘッド間の搬送方向下流側に配置され、各ヘッドから印刷媒体上に吐出されたドットインクを仮硬化(ピニング)させる6つの仮硬化用照射部と、ドットインクを本硬化させて印刷媒体に定着させる本硬化用照射部とを備えた印刷装置が記載されている。特許文献1に記載の印刷装置は、ドットインクを仮硬化、本硬化の2段階で硬化させることにより、カラーインク間の滲みやドットの広がりを抑制している。
特許文献1に記載の仮硬化用照射部は、印刷媒体の上方に配置されて印刷媒体に紫外光を照射する、いわゆる紫外光照射装置であり、印刷媒体の幅方向にライン状の紫外光を照射する。仮硬化用照射部には、印刷装置自体の軽量化、及びコンパクト化の要請から、光源としてLEDが用いられており、印刷媒体の幅方向沿って複数のLEDが並んで配置されている。
このような印刷用途の紫外光照射装置においては、照射される紫外光のエネルギー量が低下すると、ドットインクの硬化状態が悪化してしまうため、エネルギー量(つまり、積算光量)を管理することが求められている。そして、一般に、このような紫外光のエネルギー量を管理するために、光量計による光量(照度)測定が行われている。
例えば、特許文献2に記載の光量計(紫外線照度測定装置)は、ワークの搬送方向に沿って並置される複数の紫外線ランプの下方に配置された紫外線受光部と、紫外線受光部を移動させる駆動部と、紫外線受光部入射した紫外線に基づいて紫外線ランプの照度を測定する制御部と、を有し、紫外線受光部を紫外線ランプの並置方向に移動させることによって、紫外線ランプの照度が測定されるように構成されている。
特開2013−252720号公報 特開2016−200425号公報
特許文献2に記載された光量計によれば、被照射物の被照射面に照射される光の照度を測定することが可能であるが、紫外線照射装置ごとに光量計(つまり、紫外線受光部、駆動部、制御部)を設ける必要があるため、紫外線照射装置自体が大型化してしまうといった問題があった。
また、特許文献2に記載の光量計の紫外線受光部においては、紫外線による劣化及び発熱を防止するため、紫外線を可視光に変換する波長変換ガラス部材を備えているが、かかる波長変換ガラス部材は非常に高価であることから、波長変換ガラス部材を使用しない構成が求められていた。
また、特許文献2に記載の構成は、紫外線ランプの前方に紫外線受光部(つまり、光量計)を配置して紫外線照度を測定するため、紫外線照度を測定する場合には、紫外線ランプからの紫外光を遮ってしまい、リアルタイムに(つまり、ワークに対して紫外線を照射しながら)紫外線照度測定を行うことができないといった問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小型かつ簡単な構成でありながら、光を遮ることなく光量を測定することが可能な光量計、及びこれを備える光照射装置を提供することである。
上記目的を達成するため、本発明の光量計は、光が入射する入射面と、入射面に入射した光が透過して出射される出射面と、入射面に入射した光の一部が導光されて出射される一端面と、を有する導光部と、一端面から出射される光を受光して電流に変換する光電変換部と、電流に基づいて、入射光の光量を算出する演算部と、演算部によって算出された光量を表示する表示部と、を備え、一端面から出射される光は、実質的に導光部の内部で発生する散乱光からなることを特徴とする。
このような構成によれば、導光部を光が通過する構成を採りつつも、導光部の内部で発生する散乱光によって光の光量を測定することができるため、光を遮ることなく光量を測定することが可能となる。
また、入射面及び出射面が、鏡面状に研磨されていることが望ましい。
また、導光部が、入射面及び出射面を覆うように形成され、入射面及び出射面の界面における反射を防止する第1の反射防止部を備えることが望ましい。また、この場合、第1の反射防止部が、入射面に入射する光の一部を吸収する材料を含有し、該光の他の一部を透過可能なシリコーン樹脂からなることが望ましい。
また、散乱光が、導光部内のレイリー散乱による光であることが望ましい。
また、導光部の透過率が、90%以上であることが望ましい。
また、導光部は、第1方向と、第1方向と直交する第2方向とで規定される平面に平行な平板状のライトガイドからなり、該ライトガイドの第1主面及び第2主面に、それぞれ入射面及び出射面が形成されていることが望ましい。
また、導光部は、第1方向と、第1方向と直交する第2方向とで規定される平面上を、第1方向又は第2方向に延びる略円柱状のN本(Nは、1以上の整数)のライトガイドからなり、該ライトガイドの周面に入射面及び出射面が形成されていることが望ましい。また、この場合、Nは、2以上であり、ライトガイドが、第1方向又は第2方向に並列に配置され、ライトガイドの一端面側が、光電変換部の受光面と対向するように束ねられていることが望ましい。また、光電変換部は、第1の受光感度を有する第1の光センサと、第1の受光感度とは異なる第2の受光感度を有する第2の光センサと、を有し、ライトガイドの一端面側は、2分岐するように束ねられており、一方側の一端面が第1の光センサの受光面と対向し、他方側の基端面が第2の光センサの受光面と対向するように配置され、演算部は、第1の光センサの電流と第2の光センサの電流の比率に基づいて光の波長を算出し、表示部は、演算部によって算出された光の波長を表示することが望ましい。
また、ライトガイドの一端面と対向する他端面を覆い、該他端面での光の反射を防止する第2の反射防止部を備えることが望ましい。また、この場合、第2の反射防止部が、他端面から出射される光を吸収可能な材料を含有するシリコーン樹脂からなることが望ましい。
また、導光部は、第1方向と、第1方向と直交する第2方向とで規定される平面上を蛇行する略円柱状の1本のライトガイドからなることが望ましい。また、この場合、ライトガイドの一端面と対向する他端面が、光電変換部の受光面と対向するように配置されていることが望ましい。
また、ライトガイドは、石英ガラスからなるコアと、フッ素含有ポリマーからなるクラッドから構成される光ファイバであり、少なくとも入射面及び出射面において、クラッドが除去されていることが望ましい。
また、ライトガイドは、石英ガラスからなる石英ロッドであることが望ましい。
また、光量計は、第1方向と、第2方向とで規定される平面上を、第2方向に相対的に移動する被照射物に対し光を照射する光照射装置に対向して配置され、入射面が、光照射装置の照射領域を第1方向に横切るように配置されることが望ましい。また、この場合、演算部は、光電変換部によって発生した電流と、被照射物の移動速度に基づいて、被照射物の単位面積あたりに照射されるエネルギー量を算出し、表示部は、エネルギー量を表示することが望ましい。
また、導光部を支持する平板状の支持部材を備えることが望ましい。また、この場合、支持部材が、石英ガラスからなることが望ましい。
また、入射面に入射する光が、紫外線の波長域の光を含むように構成してもよい。
また、光電変換部が、シリコンフォトダイオードであることが望ましい。
また、別の観点からは、本発明の光照射装置は、上記いずれかの光量計と、入射面に対して光を出射する光源と、を備えることを特徴とする。
以上のように、本発明によれば、小型かつ簡単な構成でありながら、光を遮ることなく光量を測定することが可能な光量計が実現される。また、このような光量計を備える光照射装置が実現される。
本発明の第1の実施形態に係る光量計の概略構成を示す図である。 本発明の第1の実施形態に係る光量計の用途及び使用方法を説明する図である。 本発明の第1の実施形態に係る光量計の受光部の詳細な構成を説明するための模式図である。 本発明の第1の実施形態に係る光量計の本体部の構成を説明するブロック図である。 本発明の第1の実施形態に係る光量計の変形例を示す図である。 本発明の第2の実施形態に係る光量計の受光部の構成を示す模式図である。 本発明の第3の実施形態に係る光量計の受光部の構成を示す模式図である。 本発明の第3の実施形態に係る光量計の本体部の構成を説明するブロック図である。 本発明の第3の実施形態に係る光量計に備わる第1受光素子及び第2受光素子の受光感度特性を説明するグラフである。 本発明の第4の実施形態に係る光量計の受光部の構成を示す模式図である。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。なお、図中同一又は相当部分には同一の符号を付してその説明は繰り返さない。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光量計1の概略構成を示す図である。図1に示すように、本実施形態の光量計1は、受光部10と、受光部10と光学的に接続された本体部20とで構成されており、例えば、紫外光の照射によって硬化するUVインクを用いて印刷を行なう印刷装置に搭載され、ライン状の紫外光を出射する光照射装置の光量とエネルギー量(つまり、積算光量)を測定する装置である。
図2は、本実施形態の光量計1の用途及び使用方法を説明する図であり、図2(a)は、光量計1の測定対象である光照射装置100の一例を説明する図であり、図2(b)は、光量計1の使用方法を説明する図である。なお、図2においては、説明の便宜のため、光照射装置100から出射される紫外光の照射領域Lを灰色で示している。
図2(a)に示すように、一般に、印刷装置に搭載される光照射装置100は、複数のLED110を有し、LED110が、光照射装置100に対して相対的に移動する被照射物M(例えば、印刷媒体)に対向するように配置され、照射領域Lを通過する被照射物M上に所定強度の紫外光(例えば、波長365nmの光)が照射されるように構成されている。本実施形態の光量計1は、このように光照射装置100に対して相対的に移動する被照射物Mに対し、光照射装置100から照射される紫外光の光量とエネルギー量を測定するための装置であり、図2(b)に示すように、受光部10の受光領域Sが照射領域Lを、被照射物Mの移動方向に横切るように配置されて使用される。なお、本明細書においては、説明の便宜のため、光照射装置100から出射されるライン状の紫外光の長手方向をX軸方向、短手方向(つまり、被照射物Mの移動方向)をY軸方向、X軸及びY軸と直交する方向(つまり、紫外光の出射方向)をZ軸方向と定義して以下説明する。また、本実施形態においては、照射領域Lのサイズは、21cm(X軸方向)×2cm(Y軸方向)に設定されているものとして以下説明する。
図1に示すように、光量計1の受光部10は、複数のライトガイド12(導光部)と、複数のライトガイド12の先端部側の所定の領域を支持する支持板14等を有し、光照射装置100から出射される紫外光を、ライトガイド12の受光領域Sの部分で受光して導光するように構成されている。本体部20は、表示器26と、操作部25等を有し、受光部10によって導光された紫外光の照射強度を求め、光照射装置100に対して相対的に移動する被照射物Mに照射される光の光量とエネルギー量を算出するように構成されている。
図3は、本実施形態の受光部10の詳細な構成を説明するための模式図であり、図3(a)は、平面図であり、図3(b)は、側面図である。なお、図3の「L」は、受光部10が光照射装置100の出射面に対向して配置されたときの、紫外光の照射領域Lを示し、「S」は、受光部10の受光領域Sを示している。また、図3においては、図面を分かり易くするために、支持板14上において隣接するライトガイド12間に空間を設けて示しているが、実際には支持板14上において隣接するライトガイド12はX軸方向に密接するように配置されている。
図3に示すように、受光部10は、複数のライトガイド12と、支持板14と、反射防止部材16と、コート材18と、光コネクタ19と、で構成されている。
ライトガイド12は、石英ガラスからなるコアと、フッ素含有ポリマーからなるクラッドから構成される、直径約70μmのポリマークラッド光ファイバであり、本実施形態においては、例えば、30〜40本のポリマークラッド光ファイバが用いられている。
支持板14は、複数のライトガイド12の先端部を支持する、石英ガラスからなる矩形板状の部材である。支持板14の表面には、各ライトガイド12がY軸方向に延び、X軸方向に密接するように(つまり、複数のライトガイド12が平面状に並べられて)並列に配置され、コート材18によって被覆されて支持板14の表面に固定されている。コート材18は、例えば、紫外光を透過可能な樹脂(例えば、シリコーン)である。なお、本実施形態においては、複数のライトガイド12が平面状に並べられている部分において、各ライトガイド12のポリマークラッドが除去されており(つまり、コアが露出した状態になっており)、この部分に光照射装置100からの紫外光を受光する受光領域Sが形成されている。なお、本実施形態においては、受光領域Sのサイズは、2cm(X軸方向)×10cm(Y軸方向)に設定されている。
受光部10が光照射装置100の出射面に対向して配置され、受光領域Sが照射領域LをY軸方向に横切るように配置されると(図2(b)、図3(a))、光照射装置100からの紫外光がコート材18を通り、各ライトガイド12のコアの円筒面に入射する。そして、各ライトガイド12のコアの円筒面に入射した紫外光は、各ライトガイド12のコアと支持板14を透過して、支持板14の裏面側から出射される。また、各ライトガイド12のコアの円筒面に入射した紫外光は、各ライトガイド12のコアを通過するときに、コア内の粒子によって散乱され(つまり、レイリー散乱が生じ)、その散乱光が各ライトガイド12によって導光されるようになっている。なお、紫外光が各ライトガイド12のコアを通過するときに、コアの境界面で反射すると、該反射光がコアの内部で発生する散乱光と同様に各ライトガイド12によって導光されるが、本実施形態の各ライトガイド12のコアの表面(つまり、入射面及び出射面)は、鏡面状に研磨されており、コアの境界面での反射が極力少なくなるように構成されている。従って、実質的にコアの内部で発生する散乱光のみが各ライトガイド12によって導光される。また、別の実施形態として、各ライトガイド12のコアを被覆するコート材18に、コアの境界面での反射を防止する反射防止機能(第1の反射防止部)を持たせることもできる。この場合、コート材18は、入射する紫外光の一部を吸収すると共に、入射する紫外光の他の一部を透過可能であることが望ましく、例えば、紫外線吸収材を含有するシリコーン樹脂によって構成することができる。
図3に示すように、複数のライトガイド12は、基端部において1つに束ねられており、光コネクタ19が取り付けられている。光コネクタ19は、複数のライトガイド12を本体部20に光学的に接続する部材であり、本体部20と接続されたときに、各ライトガイド12の基端面が本体部20の内部に設けられた受光素子21の受光面と対向するように配置される。つまり、上述したように、光照射装置100から出射された紫外光は、受光領域Sから各ライトガイド12のコアに入射し、コアの内部で発生する散乱光が各ライトガイド12によって導光され、各ライトガイド12の基端面から、光コネクタ19を介して、本体部20の受光素子21に入射するように構成されている(図4)。
反射防止部材16(第2の反射防止部)は、複数のライトガイド12の先端部を覆うように設けられ、各ライトガイド12の先端面での反射を防止する部材であり、例えば、紫外光を吸収する材料を含有する樹脂(例えば、シリコーン樹脂)によって形成されている。上述したように、光照射装置100から出射された紫外光は、受光領域Sから各ライトガイド12のコアに入射し、コアの内部で発生する散乱光が各ライトガイド12によって導光されるが、各ライトガイド12の先端面の方向(Y軸方向と相反する方向)に導光される散乱光が、先端面で反射されてしまうと、その反射光が各ライトガイド12の基端面の方向(Y軸方向)に戻ってしまい、各ライトガイド12の基端面から出射される光(つまり、本体部20の受光素子21に入射する光)が増加してしまうといった問題がある。そこで、本実施形態においては、かかる問題を解決するため、反射防止部材16を設け、各ライトガイド12の先端面での反射を防止している。
このように、本実施形態の受光部10は、光照射装置100からの紫外光を、複数のライトガイド12が平面状に並べられた受光領域Sによって受光し、各ライトガイド12のコアの内部で発生する散乱光を本体部20の受光素子21に導光している。なお、受光部10は、光照射装置100からの紫外光に曝されることによって高温となるが、本実施形態においては、支持板14及び各ライトガイド12に石英ガラスを使用しており、両者の熱膨張率が略等しいため、支持板14及び各ライトガイド12が高温になったとしても、ライトガイド12が破損することはない。
また、本実施形態の受光部10は、各ライトガイド12のコアの内部で発生する散乱光を本体部20の受光素子21に導光するが、各ライトガイド12のコアに入射した紫外光の殆どは、コアを透過して支持板14の裏面側から出射するため、受光部10において紫外光の損失は殆どない。つまり、受光部10の受光領域Sの透過率は極めて高く、例えば、90%以上であり、好ましくは95%以上である。このように、本実施形態の受光部10においては、各ライトガイド12のコアに入射した紫外光がほぼ損失することなく出射されるため、受光部10を光照射装置100と被照射物Mとの間に常に配置しておくことも可能である。そして、このような構成によれば、光照射装置100から被照射物Mに対して出射される紫外光の光量をリアルタイムで測定することが可能となる。
図4は、本実施形態の本体部20の構成を説明するためのブロック図である。図4に示すように、本体部20は、受光素子21と、電流電圧変換回路22と、A/D変換回路23と、演算回路24と、操作部25と、表示器26と、電源回路27と、レセプタクル29とを備えており、受光部10の光コネクタ19がレセプタクル29に接続されることにより、受光部10の各ライトガイド12の基端面が受光素子21の受光面と対向するように配置され、受光領域Sによって受光された紫外光が、受光素子21に導光される。
電源回路27は、本体部20の各構成部品(電流電圧変換回路22、A/D変換回路23、演算回路24、操作部25、表示器26)に電力を供給する回路であり、例えば、バッテリである。電源回路27は、不図示の電源ボタンがユーザによって押下されると、本体部20の各構成部品に電力を供給する。
受光素子21は、受光面(不図示)に入射される紫外光の強度に応じて電流を発生する光電変換素子であり、例えば、紫外域に感度を有するシリコンフォトダイオード(例えば、浜松ホトニクス製:S1336)である。受光部10からの紫外光が受光素子21に入射すると、紫外光の強度に応じた電流が発生し、後段の電流電圧変換回路22に出力される。一般に、紫外光が受光素子21に入射すると、受光素子21の紫外線による劣化が問題となるが、本実施形態においては、各ライトガイド12のコアの内部で発生する、極めて微弱な散乱光を受光する構成であるため、受光素子21の劣化の問題は殆どなく、紫外域に感度を有する一般的なシリコンフォトダイオードを使用することが可能となる。
電流電圧変換回路22は、受光素子21において発生した電流を電圧に変換する回路であり、例えば、抵抗器によって構成される。電流電圧変換回路22を通ることによって、受光素子21において発生した電流が電圧に変換され、後段のA/D変換回路23に出力される。
A/D変換回路23は、電流電圧変換回路22から入力される電圧をデジタル値に変換する部材であり、A/D変換回路23を通ることによって、受光素子21において発生した電流がデジタル値として演算回路24に出力される。
操作部25は、ユーザからの入力を受け付けるユーザインターフェースであり、例えば、キーパッドである。ユーザが、操作部25を操作することにより、測定モード(光量又はエネルギー量)の設定、測定レンジの設定、被照射物Mの移動速度の設定、表示モードの設定、光照射装置100から出射される紫外光の波長の設定等を行うことができる。
演算回路24は、A/D変換回路23から入力される、受光素子21において発生した電流のデジタル値と、操作部25から入力される各設定値に基づいて、被照射物Mに対して光照射装置100から照射される紫外光の光量とエネルギー量(つまり、積算光量)を算出する回路であり、例えば、マイクロプロセッサである。具体的には、演算回路24は、紫外光の光量をP(W)、操作部25から入力された紫外光の波長における受光素子21の受光感度をR(A/W)、A/D変換回路23の出力値(つまり、受光素子21において発生した電流の電流値)をI(A)としたときに、以下の式(1)を演算する。

P=I/R ・・・ (1)
また、演算回路24は、照射領域Lを被照射物Mが速度v(cm/s)で通過すると仮定したときの、被照射物Mの単位面積(1cm)に照射される紫外光のエネルギー量E(J/cm)を以下の式(2)によって算出する。なお、式(2)において、d(cm)は、照射領域LのY軸方向の長さを示している。

E=P/(v・d) ・・・ (2)
表示器26は、演算回路24によって演算された結果を表示する表示装置であり、例えば、LCD(Liquid Crystal Display)ディスプレイである。表示器26は、操作部25によって設定された測定モードに応じて、紫外光の光量P(W)またはエネルギー量E(J/cm)を表示する。
このように、本実施形態の本体部20は、受光部10の受光領域Sによって受光された紫外光が入力されるように構成されており、入力された光から、その光量P(W)を演算、表示するように構成されている。また、受光部10又は光照射装置100を移動させることなく、光照射装置100に対して相対的に移動する被照射物Mに照射される光のエネルギー量E(J/cm)を演算、表示するように構成されている。従って、本実施形態の光量計1の構成によれば、光照射装置100から出射される紫外光の光量P(W)及び被照射物Mに照射される光のエネルギー量E(J/cm)を的確に管理することが可能となる。また、本実施形態の受光部10においては、各ライトガイド12のコアに入射した紫外光がほぼ損失することなく出射されるため、受光部10を光照射装置100と被照射物Mとの間に常に配置しておくことも可能であり、光照射装置100から被照射物Mに対して出射される紫外光の光量P(W)及びエネルギー量E(J/cm)をリアルタイムで測定、管理することが可能となる。
以上が本実施形態の説明であるが、本発明は、上記の構成に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内において様々な変形が可能である。
例えば、本実施形態においては、ライトガイド12は、ポリマークラッド光ファイバであるものとして説明したが、ライトガイド12は、受光領域Sによって受光された紫外光を導光できるものであればよく、例えば、円筒面から紫外光が入射可能に構成された石英ロッドを用いることもできる。
また、本実施形態においては、本体部20が受光素子21を備えるものとして説明したが、受光素子21は、各ライトガイド12に接続される態様で、受光部10側にあってもよい。なお、この場合、受光部10と本体部20は電気的に接続される。
また、本実施形態の受光部10は、複数(30〜40本)のライトガイド12を備えるものとして説明したが、このような構成に限定されるものではなく、N本(Nは、1以上の整数)のライトガイド12を用いることができる。
また、本実施形態の光量計1は、光照射装置100から被照射物Mに照射される紫外光の光量及びエネルギー量を測定するものとして説明したが、必ずしも紫外光を測定するものに限定されるものではなく、可視光や赤外光のエネルギー量を測定するものであってもよく、光照射装置100の用途は、UVインクを用いて印刷を行なう印刷装置に限定されるものでもない。
また、本実施形態の光量計1は、受光部10が光照射装置100の出射面に対向して配置され、受光領域Sが照射領域LをY軸方向に横切るように配置される(つまり、受光領域Sが照射領域Lの光の一部を取り込む)ものとしたが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、受光領域SのサイズをX軸方向に大きくし、照射領域Lの光の全部(つまり、光照射装置100から出射される光の全部)を受光領域Sに取り込むように構成することもできる。
また、本実施形態の光量計1は、受光部10が光照射装置100の出射面に対向して配置され、受光領域Sが照射領域LをY軸方向に横切るように配置されるものとしたが、図5に示すように、受光領域Sが照射領域Lを覆うように配置し(つまり、各ライトガイド12がX軸方向に延び、Y軸方向に密接するように配置し)、光照射装置100から出射される全ての紫外光が受光領域Sに入射するように構成することもできる。また、受光部10を光照射装置100の出射面(例えば、出射窓)と一体的に構成することができる。
(第2の実施形態)
図6は、本発明の第2の実施形態に係る光量計1Aの受光部10Aの構成を示す模式図である。図6に示すように、本実施形態の受光部10Aは、照射領域LをY軸方向に複数回横切るように蛇行し、かつX軸方向に密接するように並列配置された1本の略円柱状のライトガイド12Aを有する点で、第1の実施形態の受光部10と異なる。
本実施形態のライトガイド12Aは、第1の実施形態のライトガイド12と同様、直径約70μmのポリマークラッド光ファイバであり、受光領域Sにおいて、ライトガイド12AがY軸方向に沿って複数回折り返され、折り返された部分がX軸方向に密接するように配置され、コート材18によって支持板14の表面に固定されている。なお、本実施形態においては、ライトガイド12Aの先端部及び基端部を1つに束ねるように光コネクタ19が取り付けられており、光コネクタ19を本体部20に接続したときに、ライトガイド12Aの先端面及び基端面が、本体部20の受光素子21の受光面と対向するように配置される。このように、1本のライトガイド12Aを蛇行させて(屈曲させて)、受光領域Sで平面状に並べることによっても、第1の実施形態と同様の機能及び作用効果を有する受光部10Aが得られる。
なお、本実施形態の受光部10Aは、照射領域LをY軸方向に複数回横切るように蛇行し、かつX軸方向に密接するように並列配置された1本のライトガイド12Aを有するものとしたが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、ライトガイド12Aは、照射領域LをX軸方向に複数回横切るように蛇行し、かつY軸方向に密接するように並列配置されてもよい。
(第3の実施形態)
図7は、本発明の第3の実施形態に係る光量計1Bの受光部10Bの構成を示す模式図である。また、図8は、本発明の第3の実施形態に係る光量計1Bの本体部20Bの構成を説明するブロック図である。
図7に示すように、本実施形態の受光部10Bは、複数のライトガイド12が支持板14の外側において1つに束ねられた後、基端部において2分岐するように束ねられており、一方側に光コネクタ19aが取り付けられ、他方側に光コネクタ19bが取り付けられている点で、第1の実施形態の受光部10と異なる。また、図8に示すように、本実施形態の本体部20Bは、光コネクタ19a、19bにそれぞれ接続される2つのレセプタクル29a、29bと、2つの光学フィルタ(第1フィルタ28a、第2フィルタ28b)と、2つの受光素子(第1受光素子21a、第2受光素子21b)を備え、演算回路24Bが2つの受光素子(第1受光素子21a、第2受光素子21b)の出力に基づいて、上記式(1)、式(2)によって、紫外光の光量P(W)及びエネルギー量E(J/cm)を求めると共に、さらに受光部10Bの受光領域Sによって受光された紫外光の波長を求める点で、第1の実施形態の本体部20と異なる。
上述のように、本実施形態の受光部10Bにおいては、複数のライトガイド12が支持板14の外側において1つに束ねられているため、第1の実施形態の受光部10と同様、各ライトガイド12によって導光される光(つまり、散乱光)が互いにミキシングされる。そして、ミキシングされた光が、基端部において2分岐するため、各光コネクタ19a、19bからは略等しい強度の紫外光が出射される。そして、光コネクタ19aから出射された紫外光(散乱光)は、第1フィルタ28aを通って、第1受光素子21aによって受光され、光コネクタ19bから出射された紫外光(散乱光)は、第2フィルタ28bを通って、第2受光素子21bによって受光される。
第1フィルタ28a及び第2フィルタ28bは、それぞれ異なる透過率特性を有する、青色の波長域の光を選択的に透過させる色ガラスフィルタであり、例えば、第1フィルタ28aは、HOYA株式会社製:硝種B370であり、第2フィルタ28bは、HOYA株式会社製:硝種B390である。なお、第1受光素子21a及び第2受光素子21bは、同一のシリコンフォトダイオード(例えば、浜松ホトニクス製:S1336)である。
図9は、本実施形態の第1受光素子21a及び第2受光素子21bの受光感度特性を説明するグラフであり、「α」は、第1フィルタ28aと第1受光素子21aの合成感度を示し、「β」は、第2フィルタ28bと第2受光素子21bの合成感度を示し、「γ」は、第1フィルタ28aと第2フィルタ28bの感度比率を示している。なお、図9の左側の縦軸は受光感度(A/W)であり、右側の縦軸は感度比率であり、横軸は波長λ(nm)である。
図9に示すように、本実施形態の第1フィルタ28a及び第2フィルタ28bは、それぞれ異なる透過率特性を有するため、第1フィルタ28aと第1受光素子21aの合成感度αは、波長約380nmをピークとする特性となり、第2フィルタ28bと第2受光素子21bの合成感度βは、波長約380nmをピークとする特性となり、第2フィルタ28bと第2受光素子21bの合成感度βは、波長約420nmをピークとする特性となっている。そして、第1フィルタ28aと第2フィルタ28bの感度比率γが、波長365nm〜405nmの範囲において、リニアに変化するように構成されている。本実施形態においては、このよう波長に応じてリニアに変化する第1フィルタ28aと第2フィルタ28bの感度比率γを利用して、受光部10Bの受光領域Sによって受光された紫外光の波長を求めている。つまり、本実施形態の構成においては、第1フィルタ28aと第2フィルタ28bの感度比率γは、そのまま第1受光素子21aと第2受光素子21bの出力比率となって現れることから、第1受光素子21aの出力と第2受光素子21bの出力との比率を求め、その結果から受光部10Bの受光領域Sによって受光された紫外光の波長を求めている。
具体的には、第1受光素子21aの電流と第2受光素子21bの電流は、それぞれ後段の電流電圧変換回路22によって電圧に変換され、さらにA/D変換回路23によってデジタル値に変換された後、演算回路24Bによって、以下の式(3)の演算が行われる。なお、式(3)において、「A1」は第1受光素子21aの出力値であり、「A2」は第2受光素子21bの出力値であり、「k」は、第1受光素子21aの出力と第2受光素子21bの出力の比率である。

k=A1/A2 ・・・ (3)
そして、式(3)によって比率kが求まると、演算回路24Bは、予め不図示のメモリに記憶された図9の感度比率γの特性から、紫外光の波長を求める。例えば、比率k=1.0の場合には、図9の感度比率γから紫外光の波長は390nmとなり、比率k=1.2の場合には、図9の感度比率γから紫外光の波長は365nmとなる。そして、演算回路24Bによって得られた紫外光の波長は、表示器26に表示されると共に、上記式(1)、式(2)によって紫外光の光量P(W)及びエネルギー量E(J/cm)を算出する際に利用される。
このように、本実施形態の光量計1Bにおいては、受光部10Bの受光領域Sによって受光された紫外光の波長が自動で求められるため、ユーザによる波長の設定が不要となる。つまり、ユーザが波長の設定を行わなくとも、紫外光の光量P(W)及びエネルギー量E(J/cm)が正確に得られる。
(第4の実施形態)
図10は、本発明の第4の実施形態に係る光量計1Cの受光部10Cの構成を示す模式図であり、図10(a)は、平面図であり、図10(b)は、側面図である。図10に示すように、本実施形態の受光部10Cは、X軸方向及びY軸方向とで規定される平面に平行な矩形平板状のライトガイド12Cと、ライトガイド12Cによって導光される散乱光を受光する受光素子15とを備え、不図示の本体部に対して受光素子15で発生した電流を、ケーブル15aを介して出力する点で、第1の実施形態の受光部10と異なる。
図10に示すように、本実施形態の受光部10Cは、支持板14上に、石英ガラスからなるライトガイド12Cを備えている。第1の実施形態の受光部10と同様、本実施形態の受光部10Cが光照射装置100の出射面に対向して配置され、受光領域Sが照射領域LをY軸方向に横切るように配置されると、光照射装置100からの紫外光がライトガイド12Cの表面(X軸方向側の面)に入射する。そして、ライトガイド12Cの表面に入射した紫外光は、ライトガイド12Cと支持板14を透過して、支持板14の裏面側(Z軸方向側の面)から出射される。また、ライトガイド12Cの表面に入射した紫外光は、ライトガイド12Cを通過するときに、ライトガイド12Cの内部の粒子によって散乱され(つまり、レイリー散乱が生じ)、その散乱光がライトガイド12Cによって導光されるようになっている。なお、紫外光がライトガイド12Cを通過するときに、ライトガイド12Cの境界面で反射すると、該反射光が内部で発生する散乱光と同様にライトガイド12Cによって導光されるが、本実施形態のライトガイド12Cの表面及び裏面(つまり、入射面及び出射面)は、鏡面状に研磨されており、境界面(入射面及び出射面)での反射が極力少なくなるように構成されている。従って、実質的にライトガイド12Cの内部で発生する散乱光のみがライトガイド12Cによって導光される。また、別の実施形態として、第1の実施形態と同様、ライトガイド12Cの表面を被覆するコート材18を設け、ライトガイド12Cの境界面での反射を防止するように構成することもできる。
図10に示すように、ライトガイド12Cの基端部には、受光素子15が取り付けられている。受光素子15は、受光面に入射される紫外光の強度に応じて電流を発生する光電変換素子である。ライトガイド12Cからの紫外光(散乱光)が受光素子15に入射すると、紫外光の強度に応じた電流が発生し、ケーブル15aを介して後段の本体部に出力される。なお、本実施形態においても、第1の実施形態と同様、ライトガイド12Cの先端部は、反射防止部材16によって覆われており、ライトガイド12Cの先端面での反射が防止されている。
このように、矩形平板状のライトガイド12Cを用いることによっても、第1の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。つまり、本実施形態の受光部10Cにおいても、ライトガイド12Cに入射した紫外光がほぼ損失することなく出射されるため、受光部10Cを光照射装置100と被照射物Mとの間に常に配置しておくことが可能である。そして、このような構成によれば、光照射装置100から被照射物Mに対して出射される紫外光の光量をリアルタイムで測定することが可能となる。
なお、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
1、1A、1B、1C 光量計
10、10A、10B、10C 受光部
12、12A、12C ライトガイド
14 支持板
15 受光素子
15a ケーブル
16 反射防止部材
18 コート材
19、19a、19b 光コネクタ
20、20B 本体部
21 受光素子
21a 第1受光素子
21b 第2受光素子
22 電流電圧変換回路
23 A/D変換回路
24 演算回路
25 操作部
26 表示器
27 電源回路
28a 第1フィルタ
28b 第2フィルタ
29、29a、29b レセプタクル
100 光照射装置
110 LED

Claims (23)

  1. 光が入射する入射面と、前記入射面に入射した光が透過して出射される出射面と、前記入射面に入射した光の一部が導光されて出射される一端面と、を有する導光部と、
    前記一端面から出射される光を受光して電流に変換する光電変換部と、
    前記電流に基づいて、前記入射光の光量を算出する演算部と、
    前記演算部によって算出された前記光量を表示する表示部と、
    を備え、
    前記一端面から出射される光は、実質的に前記導光部の内部で発生する散乱光からなる
    ことを特徴とする光量計。
  2. 前記入射面及び前記出射面が、鏡面状に研磨されていることを特徴とする請求項1に記載の光量計。
  3. 前記導光部が、前記入射面及び前記出射面を覆うように形成され、前記入射面及び前記出射面の界面における反射を防止する第1の反射防止部を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の光量計。
  4. 前記第1の反射防止部が、前記入射面に入射する光の一部を吸収する材料を含有し、該光の他の一部を透過可能なシリコーン樹脂からなることを特徴とする請求項3に記載の光量計。
  5. 前記散乱光が、前記導光部内のレイリー散乱による光であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の光量計。
  6. 前記導光部の透過率が、90%以上であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の光量計。
  7. 前記導光部は、第1方向と、前記第1方向と直交する第2方向とで規定される平面に平行な平板状のライトガイドからなり、該ライトガイドの第1主面及び第2主面に、それぞれ前記入射面及び前記出射面が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の光量計。
  8. 前記導光部は、第1方向と、前記第1方向と直交する第2方向とで規定される平面上を、前記第1方向又は前記第2方向に延びる略円柱状のN本(Nは、1以上の整数)のライトガイドからなり、該ライトガイドの周面に前記入射面及び前記出射面が形成されていることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の光量計。
  9. 前記Nは、2以上であり、
    前記ライトガイドが、前記第1方向又は前記第2方向に並列に配置され、
    前記ライトガイドの前記一端面側が、前記光電変換部の受光面と対向するように束ねられていることを特徴とする請求項8に記載の光量計。
  10. 前記光電変換部は、第1の受光感度を有する第1の光センサと、前記第1の受光感度とは異なる第2の受光感度を有する第2の光センサと、を有し、
    前記ライトガイドの前記一端面側は、2分岐するように束ねられており、一方側の前記一端面が前記第1の光センサの受光面と対向し、他方側の前記基端面が前記第2の光センサの受光面と対向するように配置され、
    前記演算部は、前記第1の光センサの電流と前記第2の光センサの電流の比率に基づいて前記光の波長を算出し、
    前記表示部は、前記演算部によって算出された前記光の波長を表示する
    ことを特徴とする請求項9に記載の光量計。
  11. 前記ライトガイドの前記一端面と対向する他端面を覆い、該他端面での光の反射を防止する第2の反射防止部を備えることを特徴とする請求項7から請求項10のいずれか一項に記載の光量計。
  12. 前記第2の反射防止部が、前記他端面から出射される光を吸収可能な材料を含有するシリコーン樹脂からなることを特徴とする請求項11に記載の光量計。
  13. 前記導光部は、第1方向と、前記第1方向と直交する第2方向とで規定される平面上を蛇行する略円柱状の1本のライトガイドからなることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の光量計。
  14. 前記ライトガイドの前記一端面と対向する他端面が、前記光電変換部の受光面と対向するように配置されていることを特徴とする請求項13に記載の光量計。
  15. 前記ライトガイドは、石英ガラスからなるコアと、フッ素含有ポリマーからなるクラッドから構成される光ファイバであり、少なくとも前記入射面及び前記出射面において、前記クラッドが除去されていることを特徴とする請求項8から請求項14のいずれか一項に記載の光量計。
  16. 前記ライトガイドは、石英ガラスからなる石英ロッドであることを特徴とする請求項8から請求項14のいずれか一項に記載の光量計。
  17. 前記光量計は、前記第1方向と、前記第2方向とで規定される平面上を、前記第2方向に相対的に移動する被照射物に対し光を照射する光照射装置に対向して配置され、
    前記入射面が、前記光照射装置の照射領域を前記第1方向に横切るように配置される
    ことを特徴とする請求項7から請求項16のいずれか一項に記載の光量計。
  18. 前記演算部は、前記光電変換部によって発生した電流と、前記被照射物の移動速度に基づいて、前記被照射物の単位面積あたりに照射されるエネルギー量を算出し、
    前記表示部は、前記エネルギー量を表示する
    ことを特徴とする請求項17に記載の光量計。
  19. 前記導光部を支持する平板状の支持部材を備えることを特徴とする請求項1から請求項18のいずれか一項に記載の光量計。
  20. 前記支持部材が、石英ガラスからなることを特徴とする請求項19に記載の光量計。
  21. 前記入射面に入射する光が、紫外線の波長域の光を含むことを特徴とする請求項1から請求項20のいずれか一項に記載の光量計。
  22. 前記光電変換部が、シリコンフォトダイオードであることを特徴とする請求項1から請求項21のいずれか一項に記載の光量計。
  23. 請求項1から請求項22のいずれか一項に記載の光量計と、
    前記入射面に対して光を出射する光源と、
    を備えることを特徴とする光照射装置。
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