JP2651394B2 - 電子ビーム検出装置 - Google Patents
電子ビーム検出装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空中で電子ビームを
用いて金属等を溶融又は蒸発させる真空溶解炉や蒸着装
置において、電子ビームを検出する装置に関する。
用いて金属等を溶融又は蒸発させる真空溶解炉や蒸着装
置において、電子ビームを検出する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図６に従来の蒸着装置を示す。同図に示
すように真空チャンバ９内は真空ポンプ１０により真空
状態が保持され、真空チャンバ９内には電子銃４及びる
つぼ３が収容されている。電子銃４は、高圧電源７によ
り加速電圧が印加されるアノード５及び所定の電圧が印
加されるフィラメント６を有しており、フィラメント６
から発生した熱電子はアノード５の加速電圧で引き出さ
れ、電子ビーム２となる。
すように真空チャンバ９内は真空ポンプ１０により真空
状態が保持され、真空チャンバ９内には電子銃４及びる
つぼ３が収容されている。電子銃４は、高圧電源７によ
り加速電圧が印加されるアノード５及び所定の電圧が印
加されるフィラメント６を有しており、フィラメント６
から発生した熱電子はアノード５の加速電圧で引き出さ
れ、電子ビーム２となる。
【０００３】るつぼ３上部には、溶融又は蒸発用ターゲ
ット１が収納されると共に電子ビーム偏向用ポールピー
ス８が設置され、電子銃４から出射した電子ビーム２は
270°偏向してターゲット１に照射される。電子ビーム
２の照射されたターゲット１は溶融して蒸気１８を発生
する。るつぼ３の上方には蒸着基板１９が配置され、溶
融液面から発生する蒸気１８は、この蒸着基板１９に蒸
着する。
ット１が収納されると共に電子ビーム偏向用ポールピー
ス８が設置され、電子銃４から出射した電子ビーム２は
270°偏向してターゲット１に照射される。電子ビーム
２の照射されたターゲット１は溶融して蒸気１８を発生
する。るつぼ３の上方には蒸着基板１９が配置され、溶
融液面から発生する蒸気１８は、この蒸着基板１９に蒸
着する。
【０００４】更に、真空チャンバ９には窓ガラス１６が
設けられ、この窓ガラス１６を通じて一点鎖線で示すよ
うにるつぼ３の電子ビーム照射位置、すなわち、溶融液
面が目視又はＴＶカメラで観察できるようになってい
る。窓ガラス１６の内側にはシャッタ１７が開閉自在に
設けられている。
設けられ、この窓ガラス１６を通じて一点鎖線で示すよ
うにるつぼ３の電子ビーム照射位置、すなわち、溶融液
面が目視又はＴＶカメラで観察できるようになってい
る。窓ガラス１６の内側にはシャッタ１７が開閉自在に
設けられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の装置では窓ガラ
ス１６を通して観察しているため、長時間運転すると、
蒸発物質が窓ガラス１６に蒸着し、光の透過率が低下し
て、るつぼ３の電子ビーム照射位置の確認や、るつぼ３
内の液面のモニターができなくなり、安全性や品質確保
を困難なものにしていた。更に、蒸着物質が大量に堆積
すると、真空容器の開放、窓ガラス清掃をある定期的に
実施する必要が生じるため稼動率が低下していた。
ス１６を通して観察しているため、長時間運転すると、
蒸発物質が窓ガラス１６に蒸着し、光の透過率が低下し
て、るつぼ３の電子ビーム照射位置の確認や、るつぼ３
内の液面のモニターができなくなり、安全性や品質確保
を困難なものにしていた。更に、蒸着物質が大量に堆積
すると、真空容器の開放、窓ガラス清掃をある定期的に
実施する必要が生じるため稼動率が低下していた。
【０００６】本発明は、上記従来技術に鑑みてなされた
ものであり、可視光でなく、電子ビーム照射部から放射
される制動Ｘ線を利用し、電子ビーム照射位置やるつぼ
内の液面をモニターすることのできる電子ビーム検出装
置を提供することを目的とする。
ものであり、可視光でなく、電子ビーム照射部から放射
される制動Ｘ線を利用し、電子ビーム照射位置やるつぼ
内の液面をモニターすることのできる電子ビーム検出装
置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成する本
発明の構成は真空容器内で電子ビームをるつぼ内のター
ゲットに照射することにより該ターゲットを溶融或いは
蒸発させる装置において、前記真空容器にＸ線透過率の
高いＸ線導入窓と、該Ｘ線導入窓と電子ビーム照射位置
との間に、Ｘ線を透過し蒸気を遮断する蒸着防止壁を設
け、該Ｘ線導入窓の外側に電子ビーム照射部から放射さ
れる制動Ｘ線を検出するマイクロチャンネルプレートを
有するＸ線検出器を配置し、該マイクロチャンネルプレ
ートの内壁にＣｓＩをコーティングし、更に、Ｘ線像を
前記マイクロチャンネルプレート上へ結像させる小径穴
を有するピンホール部材を前記Ｘ線導入窓と前記Ｘ線検
出器との間に移動自在に配設したことを特徴とする。
発明の構成は真空容器内で電子ビームをるつぼ内のター
ゲットに照射することにより該ターゲットを溶融或いは
蒸発させる装置において、前記真空容器にＸ線透過率の
高いＸ線導入窓と、該Ｘ線導入窓と電子ビーム照射位置
との間に、Ｘ線を透過し蒸気を遮断する蒸着防止壁を設
け、該Ｘ線導入窓の外側に電子ビーム照射部から放射さ
れる制動Ｘ線を検出するマイクロチャンネルプレートを
有するＸ線検出器を配置し、該マイクロチャンネルプレ
ートの内壁にＣｓＩをコーティングし、更に、Ｘ線像を
前記マイクロチャンネルプレート上へ結像させる小径穴
を有するピンホール部材を前記Ｘ線導入窓と前記Ｘ線検
出器との間に移動自在に配設したことを特徴とする。
【０００８】更に、真空容器内の蒸着防止壁は、蒸着物
質の融点以上に加熱する手段を備えるようにしても良
い。
質の融点以上に加熱する手段を備えるようにしても良
い。
【０００９】
【作用】真空チャンバに設けられるＸ線導入窓は、Ｘ線
透過率の高いベリリウム等であり、また、蒸着物質の蒸
着によりＸ線の透過率はほとんど変化しない為、電子ビ
ーム照射部から放射される制動Ｘ線を、Ｘ線導入窓を通
じて長時間観察することが可能となる。Ｘ線導入窓から
出射したＸ線は、マイクロチャンネルプレートのチャン
ネル壁で反射を繰り返すことにより増倍されてＸ線検出
器で検出されることになる。
透過率の高いベリリウム等であり、また、蒸着物質の蒸
着によりＸ線の透過率はほとんど変化しない為、電子ビ
ーム照射部から放射される制動Ｘ線を、Ｘ線導入窓を通
じて長時間観察することが可能となる。Ｘ線導入窓から
出射したＸ線は、マイクロチャンネルプレートのチャン
ネル壁で反射を繰り返すことにより増倍されてＸ線検出
器で検出されることになる。
【００１０】また、ピンホール部材によりマイクロチャ
ンネルプレートで結像したＸ線像は、Ｘ線発生部の２次
元像として検出され、電子ビーム形状、位置及びるつぼ
内の液面位置を知ることが可能となる。電子ビーム照射
位置とＸ線検出器の間に蒸発物質の融点以上の高温に保
持したグラファイト壁を設けることにより蒸発物はグラ
ファイト壁に、蒸着することなく流れ落ち、蒸着物によ
るＸ線の減衰は最少限となり、長時間にわたりモニター
が可能となる。
ンネルプレートで結像したＸ線像は、Ｘ線発生部の２次
元像として検出され、電子ビーム形状、位置及びるつぼ
内の液面位置を知ることが可能となる。電子ビーム照射
位置とＸ線検出器の間に蒸発物質の融点以上の高温に保
持したグラファイト壁を設けることにより蒸発物はグラ
ファイト壁に、蒸着することなく流れ落ち、蒸着物によ
るＸ線の減衰は最少限となり、長時間にわたりモニター
が可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明について、図面に示す実施例に
基づいて詳細に説明する。本発明の一実施例を図１及び
図２に示す。両図に示すように真空容器である真空チャ
ンバ９内は真空ポンプ１０により真空状態が保持され、
真空チャンバ９内には電子銃４及びるつぼ３が収容され
ている。電子銃４は、高圧電源７により加速電圧が印加
されるアノード５及び所定の電圧が印加されるフィラメ
ント６を有しており、フィラメント６から発生した熱電
子はアノード５の加速電圧で引き出され、電子ビーム２
となる。
基づいて詳細に説明する。本発明の一実施例を図１及び
図２に示す。両図に示すように真空容器である真空チャ
ンバ９内は真空ポンプ１０により真空状態が保持され、
真空チャンバ９内には電子銃４及びるつぼ３が収容され
ている。電子銃４は、高圧電源７により加速電圧が印加
されるアノード５及び所定の電圧が印加されるフィラメ
ント６を有しており、フィラメント６から発生した熱電
子はアノード５の加速電圧で引き出され、電子ビーム２
となる。
【００１２】るつぼ３上部には、溶融又は蒸発用ターゲ
ット１が収容されると共に電子ビーム偏向用ポールピー
ス８が設置され、電子銃４から出射した電子ビーム２は
270°偏向してターゲット１に照射される。電子ビーム
２の照射されたターゲット１は溶融し、蒸気１８を発生
する。るつぼ３の上方には蒸着基板１９が配置され、溶
融液面から発生する蒸気１８は、この蒸着基板１９に蒸
着する。
ット１が収容されると共に電子ビーム偏向用ポールピー
ス８が設置され、電子銃４から出射した電子ビーム２は
270°偏向してターゲット１に照射される。電子ビーム
２の照射されたターゲット１は溶融し、蒸気１８を発生
する。るつぼ３の上方には蒸着基板１９が配置され、溶
融液面から発生する蒸気１８は、この蒸着基板１９に蒸
着する。
【００１３】更に、本発明では真空チャンバ９には、Ｘ
線吸収係数の小さい窓材、例えば、ベリリウム等からな
るＸ線導入窓１１が設けられている。ベリリウムは、Ｘ
線吸収係数が小さく、しかも、蒸着物質が蒸着しても、
Ｘ線の透過率はほとんど変化しないため、長時間使用す
ることが可能である。Ｘ線導入窓１１の外側にはＸ線検
出器１３が配置されると共にこのＸ線検出器１３とＸ線
導入窓１１との間には小径穴を設けたピンホール部材１
２が配置されている。
線吸収係数の小さい窓材、例えば、ベリリウム等からな
るＸ線導入窓１１が設けられている。ベリリウムは、Ｘ
線吸収係数が小さく、しかも、蒸着物質が蒸着しても、
Ｘ線の透過率はほとんど変化しないため、長時間使用す
ることが可能である。Ｘ線導入窓１１の外側にはＸ線検
出器１３が配置されると共にこのＸ線検出器１３とＸ線
導入窓１１との間には小径穴を設けたピンホール部材１
２が配置されている。
【００１４】Ｘ線検出器１３は、図３に示すようにマイ
クロチャンネルプレート(Micro Channel Plate，以下Ｍ
ＣＰと略す) を使用したものである。即ち、Ｘ線検出器
１３は、図３(a)に示すように２枚のＭＣＰ２４に螢光
板２５を重ね合わせ、ファイバプレート２６を介してテ
ーパーファイバ２７に結合し、更に、このテーパーファ
イバ２７をＣＣＤカメラ２８に接続して構成されてい
る。ＭＣＰ２４は、図３(b)に示すように微細な小孔で
あるチャンネル２４ａを二次元的に多数配列し、同図
(c)に示すように各チャンネル２４ａの入射端とその出
射端との間に電圧ｖDを印加し、チャンネル壁２４ｂで
ある光電面にＣsＩをコーティングしたものである。従
って、同図(c)に示すように入射電子であるＸ線がチャ
ンネル２４ａに入射してチャンネル壁２４ｂで反射を繰
り返すことにより出力電子が増倍することになる。
クロチャンネルプレート(Micro Channel Plate，以下Ｍ
ＣＰと略す) を使用したものである。即ち、Ｘ線検出器
１３は、図３(a)に示すように２枚のＭＣＰ２４に螢光
板２５を重ね合わせ、ファイバプレート２６を介してテ
ーパーファイバ２７に結合し、更に、このテーパーファ
イバ２７をＣＣＤカメラ２８に接続して構成されてい
る。ＭＣＰ２４は、図３(b)に示すように微細な小孔で
あるチャンネル２４ａを二次元的に多数配列し、同図
(c)に示すように各チャンネル２４ａの入射端とその出
射端との間に電圧ｖDを印加し、チャンネル壁２４ｂで
ある光電面にＣsＩをコーティングしたものである。従
って、同図(c)に示すように入射電子であるＸ線がチャ
ンネル２４ａに入射してチャンネル壁２４ｂで反射を繰
り返すことにより出力電子が増倍することになる。
【００１５】この為、溶融液面の電子ビーム照射部から
発生する制動Ｘ線は、Ｘ線導入窓１１を透過してピンホ
ール部材１２の小径穴を通った後、ＭＣＰ２４で増倍さ
れ、更に、螢光板２５、ファイバープレート２６を経
て、ＣＣＤカメラ２７に結像することになる。これによ
り、Ｘ線発生部の２次元像が得られ、電子ビーム形状、
位置及びるつぼ内の液面位置を知ることが可能となる。
尚、図３中、２９はベリリウム板である。
発生する制動Ｘ線は、Ｘ線導入窓１１を透過してピンホ
ール部材１２の小径穴を通った後、ＭＣＰ２４で増倍さ
れ、更に、螢光板２５、ファイバープレート２６を経
て、ＣＣＤカメラ２７に結像することになる。これによ
り、Ｘ線発生部の２次元像が得られ、電子ビーム形状、
位置及びるつぼ内の液面位置を知ることが可能となる。
尚、図３中、２９はベリリウム板である。
【００１６】このように発明のＸ線検出器１３は、ＭＣ
Ｐ２４を使用してＸ線を増倍するので、他のＸ線検出
器、例えば、Ｘ線ビジコンカメラ等に比較して、検出感
度が高く、リアルタイムで検出できる特徴がある。この
為、本発明のＸ線検出器１３は、Ｘ線導入窓１１を透過
したＸ線の出力が低い場合でも、確実に検出することが
できる利点がある。
Ｐ２４を使用してＸ線を増倍するので、他のＸ線検出
器、例えば、Ｘ線ビジコンカメラ等に比較して、検出感
度が高く、リアルタイムで検出できる特徴がある。この
為、本発明のＸ線検出器１３は、Ｘ線導入窓１１を透過
したＸ線の出力が低い場合でも、確実に検出することが
できる利点がある。
【００１７】Ｘ線検出器１３は、画像処理装置１４、Ｃ
ＲＴモニタ１５に接続され、Ｘ線検出器１３で検出され
たＸ線発生源の位置、形状は、画像処理装置１４で画像
処理され、ＣＲＴモニタ１５により可視像として表示さ
れるようになっている。ここで、Ｘ線検出器１３により
溶融液面を観察する場合における倍率は次式で決定され
る。 ｌ2 ／ｌ1 ＝Ｌ2 ／Ｌ1 …（１） 但し、ｌ1は、溶融液面における長さ、ｌ2はＸ線検出器
１３での結像、Ｌ1は溶融液面からピンホール部材１２
までの距離、Ｌ2ピンホール部材１２からＸ線検出器１
３までの距離である。
ＲＴモニタ１５に接続され、Ｘ線検出器１３で検出され
たＸ線発生源の位置、形状は、画像処理装置１４で画像
処理され、ＣＲＴモニタ１５により可視像として表示さ
れるようになっている。ここで、Ｘ線検出器１３により
溶融液面を観察する場合における倍率は次式で決定され
る。 ｌ2 ／ｌ1 ＝Ｌ2 ／Ｌ1 …（１） 但し、ｌ1は、溶融液面における長さ、ｌ2はＸ線検出器
１３での結像、Ｌ1は溶融液面からピンホール部材１２
までの距離、Ｌ2ピンホール部材１２からＸ線検出器１
３までの距離である。
【００１８】更に、ピンホール部材１２は、図２に示す
ようにリニアガイド２０に図中左右に移動自在に設置さ
れ、ボールスクリュー２１をハンドル２２で回転するこ
とにより、ピンホール部材１２を図中左右、即ち、Ｘ線
導入窓１１とＸ線検出器１３との間で自由に移動させる
ことができる。その移動量は、ボールスクリュー２１の
回転数を表示する回転カウンタ２３で読みとれるように
なっている。従って、ピンホール部材１２を移動して、
上記（１）式におけるＬ1及びＬ2を変更し、Ｘ線検出器
１３に結像する像の大きさを、自由に拡大縮小すること
ができる。
ようにリニアガイド２０に図中左右に移動自在に設置さ
れ、ボールスクリュー２１をハンドル２２で回転するこ
とにより、ピンホール部材１２を図中左右、即ち、Ｘ線
導入窓１１とＸ線検出器１３との間で自由に移動させる
ことができる。その移動量は、ボールスクリュー２１の
回転数を表示する回転カウンタ２３で読みとれるように
なっている。従って、ピンホール部材１２を移動して、
上記（１）式におけるＬ1及びＬ2を変更し、Ｘ線検出器
１３に結像する像の大きさを、自由に拡大縮小すること
ができる。
【００１９】このように本実施例は、Ｘ線導入窓１１、
ピンホール部材１２及びＸ線検出器１３は一体的に構成
され、しかも、外部にＸ線が漏れないように鉛板により
囲まれている。上記構成を有する実施例の電子ビーム検
出器では、電子銃４から電子ビーム２をターゲット１に
照射して溶融液面から蒸気を発生させると、その蒸発物
質はＸ線度導入窓１１にも蒸着することとなる。この
為、Ｘ線度導入窓１１は、可視光についての透過率が低
下するが、多少の蒸着物質の堆積ではＸ線についての透
過率は低下することがない。この為、Ｘ線導入窓１１を
通じてＸ線を長時間観察することが可能となり、これに
より、るつぼ３の電子ビーム照射位置の確認が可能とな
る。更には、安全性や品質確保が容易となり、更には、
稼動率が向上することになる。
ピンホール部材１２及びＸ線検出器１３は一体的に構成
され、しかも、外部にＸ線が漏れないように鉛板により
囲まれている。上記構成を有する実施例の電子ビーム検
出器では、電子銃４から電子ビーム２をターゲット１に
照射して溶融液面から蒸気を発生させると、その蒸発物
質はＸ線度導入窓１１にも蒸着することとなる。この
為、Ｘ線度導入窓１１は、可視光についての透過率が低
下するが、多少の蒸着物質の堆積ではＸ線についての透
過率は低下することがない。この為、Ｘ線導入窓１１を
通じてＸ線を長時間観察することが可能となり、これに
より、るつぼ３の電子ビーム照射位置の確認が可能とな
る。更には、安全性や品質確保が容易となり、更には、
稼動率が向上することになる。
【００２０】また、Ｘ線検出器１３は、ＮＣＰ２４を使
用してＸ線を増倍するので、検出感度が高く、リアルタ
イムで検出でき、Ｘ線導入窓１１を透過したＸ線の出力
が低い場合でも、確実に検出することができる利点があ
る。また、その倍率は、ピンホール部材１２の移動によ
り、自由に調整可能であり、精度の高い観察が可能であ
る。
用してＸ線を増倍するので、検出感度が高く、リアルタ
イムで検出でき、Ｘ線導入窓１１を透過したＸ線の出力
が低い場合でも、確実に検出することができる利点があ
る。また、その倍率は、ピンホール部材１２の移動によ
り、自由に調整可能であり、精度の高い観察が可能であ
る。
【００２１】次に、本発明の他の実施例について図４及
び図５を参照して説明する。本実施例は、蒸着防止壁３
０及びヒータ用電源３１を追加したものであり、その他
の構成は前述した実施例と同様である。図４に示すよう
に、真空チャンバ９内においてＸ線導入窓１１と溶融液
面との間には、Ｘ線は透過するが蒸気を遮断する蒸着防
止壁３０としてグラファイト板が配置されている。この
蒸着防止壁３０はヒータ用電源３１に接続しており、通
電により蒸発物質の融点以上に加熱可能な構造となって
いる。
び図５を参照して説明する。本実施例は、蒸着防止壁３
０及びヒータ用電源３１を追加したものであり、その他
の構成は前述した実施例と同様である。図４に示すよう
に、真空チャンバ９内においてＸ線導入窓１１と溶融液
面との間には、Ｘ線は透過するが蒸気を遮断する蒸着防
止壁３０としてグラファイト板が配置されている。この
蒸着防止壁３０はヒータ用電源３１に接続しており、通
電により蒸発物質の融点以上に加熱可能な構造となって
いる。
【００２２】従って、蒸発物質の融点以上の高温に蒸着
防止壁３０を保持することにより、蒸気は蒸着防止壁３
０に蒸着することなく流れ落ち、蒸着物質によるＸ線の
減衰は最少限となり、長時間にわたりモニターが可能と
なる。蒸発防止壁３０としては、小さい面積であれば、
単純な平板状グラファイトが使用できるが、広い面積で
あると断面積に対する長さが短くなるため、抵抗が低く
なってしまう。そこで、そのような場合は、図５(a)に
示すようにスリット３２を上下から複数本入れて断面積
に対する長さを増大して抵抗を増大するようにすると有
効である。
防止壁３０を保持することにより、蒸気は蒸着防止壁３
０に蒸着することなく流れ落ち、蒸着物質によるＸ線の
減衰は最少限となり、長時間にわたりモニターが可能と
なる。蒸発防止壁３０としては、小さい面積であれば、
単純な平板状グラファイトが使用できるが、広い面積で
あると断面積に対する長さが短くなるため、抵抗が低く
なってしまう。そこで、そのような場合は、図５(a)に
示すようにスリット３２を上下から複数本入れて断面積
に対する長さを増大して抵抗を増大するようにすると有
効である。
【００２３】但し、スリット３２を通じて蒸気を通過さ
せないようにするため、スリット３２は板厚方向に対し
てある角度θを持たせると良い。更に、そのスリット３
２の角度θは下記条件を満足するものとすると良い。
せないようにするため、スリット３２は板厚方向に対し
てある角度θを持たせると良い。更に、そのスリット３
２の角度θは下記条件を満足するものとすると良い。
【００２４】上記実施例では、蒸着防止壁３０をＸ線導
入窓１１と溶融液面との間に配置したので、蒸気は蒸着
防止壁３０に遮断され、Ｘ線導入窓３０には蒸着物質が
殆ど蒸着しなくなる。Ｘ線導入窓３０に蒸着物質が多少
堆積する程度では、Ｘ線透過率は殆ど変化しないもの
の、長時間の使用により蒸着物質が大量に堆積すると、
蒸着物質によりＸ線は減衰し、Ｘ線透過率の低下は無視
できない。特に、Ａl等の軽元素に比較し、Ｕ等の重元
素の場合に著しい。
入窓１１と溶融液面との間に配置したので、蒸気は蒸着
防止壁３０に遮断され、Ｘ線導入窓３０には蒸着物質が
殆ど蒸着しなくなる。Ｘ線導入窓３０に蒸着物質が多少
堆積する程度では、Ｘ線透過率は殆ど変化しないもの
の、長時間の使用により蒸着物質が大量に堆積すると、
蒸着物質によりＸ線は減衰し、Ｘ線透過率の低下は無視
できない。特に、Ａl等の軽元素に比較し、Ｕ等の重元
素の場合に著しい。
【００２５】そこで、このような場合には、本実施例の
ようにグラファイト板からなる蒸着防止壁３０を設け
て、Ｘ線導入窓１１に対する蒸着物質の蒸着を防止する
と効果的である。尚、上記実施例では、Ｘ線導入窓１１
の材料としては、Ｘ線透過率の高いベリリウムを使用し
ていたが、本発明はこれに限るものではなく、他のＸ線
透過率の高い物質を使用してもよい。
ようにグラファイト板からなる蒸着防止壁３０を設け
て、Ｘ線導入窓１１に対する蒸着物質の蒸着を防止する
と効果的である。尚、上記実施例では、Ｘ線導入窓１１
の材料としては、Ｘ線透過率の高いベリリウムを使用し
ていたが、本発明はこれに限るものではなく、他のＸ線
透過率の高い物質を使用してもよい。
【００２６】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように本発明は、真空容器内の電子ビーム照射位置が
Ｘ線導入窓を介してチャンバ外部から長時間連続的に観
察することが可能となり、各種真空溶解、真空蒸着装置
を連続的に安全に、さらに高品質に運転することが可能
となった。特に、マイクロチャンネルプレートを使用し
たＸ線検出器は、検出精度が高く、リアルタイムで検出
が可能であり、また、ピンホール部材により、その結像
の大きさを自由に調整できるという利点がある。しか
も、本願発明では、マイクロチャンネルプレートの内壁
にＣｓＩをコーティングすることにより、２次電子を発
生する性質を強化させ、正確で、微小Ｘ線も逃がさない
性能アップを実現している。
たように本発明は、真空容器内の電子ビーム照射位置が
Ｘ線導入窓を介してチャンバ外部から長時間連続的に観
察することが可能となり、各種真空溶解、真空蒸着装置
を連続的に安全に、さらに高品質に運転することが可能
となった。特に、マイクロチャンネルプレートを使用し
たＸ線検出器は、検出精度が高く、リアルタイムで検出
が可能であり、また、ピンホール部材により、その結像
の大きさを自由に調整できるという利点がある。しか
も、本願発明では、マイクロチャンネルプレートの内壁
にＣｓＩをコーティングすることにより、２次電子を発
生する性質を強化させ、正確で、微小Ｘ線も逃がさない
性能アップを実現している。
【図１】本発明の一実施例に係る電子ビーム検出装置を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図２】上記実施例に係る電子ビーム検出装置の要部を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図３】マイクロチャンネルプレートを使用するＸ線検
出器の構成を示す説明図である。
出器の構成を示す説明図である。
【図４】本発明の他の実施例に係る電子ビーム検出装置
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図５】上記実施例に係る蒸着防止壁を示す説明図であ
る。
る。
【図６】従来の蒸着装置を示す説明図である。
１ 溶融液面 ２ 電子ビーム ３ るつぼ ４ 電子銃 ５ アノード（引出し電極） ６ フィラメント ７ 高圧電源 ８ 電子ビーム偏向用ポールピース ９ 真空チャンバ １０ 真空ポンプ １１ Ｘ線導入窓 １２ ピンホール部材 １３ Ｘ線検出器 １４ 画像処理装置 １５ ＣＲＴモニタ １６ 窓ガラス １７ シャッタ １８ 蒸気 １９ 蒸着基板 ２０ リニアガイド ２１ ボールスクリュー ２２ ハンドル ２３ 回転カウンタ ２４ マイクロチャンネルプレート ２５ 螢光板 ２６ ファイバプレート ２７ テーパーファイバ ２８ ＣＣＤカメラ ２９ ベリリウム板 ３０ 蒸着防止壁 ３１ ヒータ用電源 ３２ スリット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−39465（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−145379（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−117252（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−189574（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−76739（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−205900（ＪＰ，Ａ) 特公 昭52−36598（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (2)
- 【請求項１】 真空容器内で電子ビームをるつぼ内のタ
ーゲットに照射することにより該ターゲットを溶融或い
は蒸発させる装置において、前記真空容器にＸ線透過率
の高いＸ線導入窓と、該Ｘ線導入窓と電子ビーム照射位
置との間に、Ｘ線を透過し蒸気を遮断する蒸着防止壁を
設け、該Ｘ線導入窓の外側に電子ビーム照射部から放射
される制動Ｘ線を検出するマイクロチャンネルプレート
を有するＸ線検出器を配置し、該マイクロチャンネルプ
レートの内壁にＣｓＩをコーティングし、更に、Ｘ線像
を前記マイクロチャンネルプレート上へ結像させる小径
穴を有するピンホール部材を前記Ｘ線導入窓と前記Ｘ線
検出器との間に移動自在に配設したことを特徴とする電
子ビーム検出装置。 - 【請求項２】 前記真空容器内の蒸着防止壁は、蒸着物
質の融点以上に加熱する手段を備えていることを特徴と
する請求項１記載の電子ビーム検出装置。
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| JP3120021A JP2651394B2 (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 電子ビーム検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3120021A JP2651394B2 (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 電子ビーム検出装置 |
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|---|---|
| JPH04345796A JPH04345796A (ja) | 1992-12-01 |
| JP2651394B2 true JP2651394B2 (ja) | 1997-09-10 |
Family
ID=14775950
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3120021A Expired - Fee Related JP2651394B2 (ja) | 1991-05-24 | 1991-05-24 | 電子ビーム検出装置 |
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-
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