JP2641706B2 - 側面接合を利用した大面積の平板ディスプレーの製造方法 - Google Patents
側面接合を利用した大面積の平板ディスプレーの製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、大形の平板ディスプレ
ーの製造方法に関するもので、特に、側面接合の方法を
使用して大面積化を具現するようにした側面接合を利用
した大面積の平板ディスプレーの製造方法に関するもの
である。より具体的には、ガラスを基板として使用する
すべての平板ディスプレーに使用可能な薄膜トランジス
ターの液晶ディスプレーの製造方法に関するものであ
る。
ーの製造方法に関するもので、特に、側面接合の方法を
使用して大面積化を具現するようにした側面接合を利用
した大面積の平板ディスプレーの製造方法に関するもの
である。より具体的には、ガラスを基板として使用する
すべての平板ディスプレーに使用可能な薄膜トランジス
ターの液晶ディスプレーの製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】平板ディスプレー（ＦＰＤ，Ｆｌａｔ
Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）の技術は、オーディオ、
ビデオおよびコンピューターに到るまで電子産業におい
ては重要な役割をしている。
Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）の技術は、オーディオ、
ビデオおよびコンピューターに到るまで電子産業におい
ては重要な役割をしている。
【０００３】最近には、携帯用のコンピューターにこれ
らを応用することによって、その需要が大幅に増加して
いる。全世界的に、高画質ＴＶ（ＨＤＴＶ）の時代が到
来する２０００年代には、既存の陰極線管の市場よりそ
の規模が尨大になると予想される。平板ディスプレーの
製品には、ＰＤＰ（ｐｌａｓｍａ ｄｉｓｐｌａｙｐａ
ｎｅｌ）、ＬＥＤ（ｌｉｇｈｔ ｅｍｍｉｔｅｒ ｄｉ
ｏｄｅ）、ＥＣＤ（ｅｌｅｃｔｒｏ ｃｈｒｏｍｉｃ
ｄｅｖｉｃｅｓ）、ＥＬＤ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎ
ｅｓｃｅｎｔ ｄｉｓｐｌａｙ）、ＦＥＤ（ｆｉｅｌｄ
ｅｍｍｉｓｉｏｎ ｄｉｓｐｌａｙ）、液晶ディスプ
レー等があるが、これらの中で一番有望な次世代のディ
スプレーは、液晶ディスプレーである。
らを応用することによって、その需要が大幅に増加して
いる。全世界的に、高画質ＴＶ（ＨＤＴＶ）の時代が到
来する２０００年代には、既存の陰極線管の市場よりそ
の規模が尨大になると予想される。平板ディスプレーの
製品には、ＰＤＰ（ｐｌａｓｍａ ｄｉｓｐｌａｙｐａ
ｎｅｌ）、ＬＥＤ（ｌｉｇｈｔ ｅｍｍｉｔｅｒ ｄｉ
ｏｄｅ）、ＥＣＤ（ｅｌｅｃｔｒｏ ｃｈｒｏｍｉｃ
ｄｅｖｉｃｅｓ）、ＥＬＤ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎ
ｅｓｃｅｎｔ ｄｉｓｐｌａｙ）、ＦＥＤ（ｆｉｅｌｄ
ｅｍｍｉｓｉｏｎ ｄｉｓｐｌａｙ）、液晶ディスプ
レー等があるが、これらの中で一番有望な次世代のディ
スプレーは、液晶ディスプレーである。
【０００４】液晶ディスプレーは、画素の駆動方式によ
り、単純マトリックス（ＳＭ，ｓｉｍｐｌｅ ｍａｔｒ
ｉｘ）と能動マトリックス型とに分類しうる。
り、単純マトリックス（ＳＭ，ｓｉｍｐｌｅ ｍａｔｒ
ｉｘ）と能動マトリックス型とに分類しうる。
【０００５】特に、能動マトリックス方式の中の、薄膜
トランジスター（ＴＦＴ，ｔｈｉｎｆｉｌｍ ｔｒａｎ
ｓｉｓｔｏｒ）を使用する液晶ディスプレーは、高い解
像度、高いコントラストおよび低電力化によって、現
在、ノート形のコンピューターに採用されている。
トランジスター（ＴＦＴ，ｔｈｉｎｆｉｌｍ ｔｒａｎ
ｓｉｓｔｏｒ）を使用する液晶ディスプレーは、高い解
像度、高いコントラストおよび低電力化によって、現
在、ノート形のコンピューターに採用されている。
【０００６】薄膜トランジスターの液晶ディスプレー
は、例えば、完全カラー化、高精細化等によって常用化
されているが、製造装備の高価と生産性の欠如のため、
大変高価な価格で供給されている。
は、例えば、完全カラー化、高精細化等によって常用化
されているが、製造装備の高価と生産性の欠如のため、
大変高価な価格で供給されている。
【０００７】これは、実質的に、生産の歩留りの確保が
大形薄膜トランジスターの液晶ディスプレーを商品化す
る上で、一番重要な要素であることを示している。しか
し、工程における、塵埃、異物等の微粒子の低減のため
の処理であるパーティクル（ｐａｒｔｉｃｌｅ）調整も
限界があり、また、基板そのものが熱的に安定されてい
ないガラスを使用しているので、生産の歩留りが確保さ
れた３０インチ級の大面積の薄膜トランジスターの液晶
ディスプレーの商品化は相当に困難であると判断され
る。
大形薄膜トランジスターの液晶ディスプレーを商品化す
る上で、一番重要な要素であることを示している。しか
し、工程における、塵埃、異物等の微粒子の低減のため
の処理であるパーティクル（ｐａｒｔｉｃｌｅ）調整も
限界があり、また、基板そのものが熱的に安定されてい
ないガラスを使用しているので、生産の歩留りが確保さ
れた３０インチ級の大面積の薄膜トランジスターの液晶
ディスプレーの商品化は相当に困難であると判断され
る。
【０００８】現在、薄膜トランジスターの液晶ディスプ
レーの製品技術の最大の鍵は、薄膜トランジスターとカ
ラーフィルターの製造技術である。
レーの製品技術の最大の鍵は、薄膜トランジスターとカ
ラーフィルターの製造技術である。
【０００９】これらの中で、薄膜トランジスターの製造
技術が製造原価を節減することに一番重要な要素であ
る。現在の薄膜トランジスターの液晶ディスプレーの主
要市場は、ノート型のコンピューターやエンジニアリン
グワークステーション等であり、究極的な市場の目標
は、高品位ＴＶ等のビーディオ市場である。
技術が製造原価を節減することに一番重要な要素であ
る。現在の薄膜トランジスターの液晶ディスプレーの主
要市場は、ノート型のコンピューターやエンジニアリン
グワークステーション等であり、究極的な市場の目標
は、高品位ＴＶ等のビーディオ市場である。
【００１０】２０″級以上の大形画面は、現在、投射型
の薄膜トランジスターの液晶ディスプレーが有望であ
る。
の薄膜トランジスターの液晶ディスプレーが有望であ
る。
【００１１】しかし、この製品は、画質およびその製品
が占有する空間等の問題のため、家庭用のＨＤＴＶのス
クリーンとしては不可能である。
が占有する空間等の問題のため、家庭用のＨＤＴＶのス
クリーンとしては不可能である。
【００１２】ＨＤＴＶは、本来の目的である臨場感およ
び高画質の情報を提供するためには、４０−６０″級以
上でなければならない。このとき、現在の薄膜トランジ
スターの液晶ディスプレーの製品技術としては、これを
実現することは不可能であると見做される。薄膜トラン
ジスターの液晶ディスプレーを除外した他の方法、ま
た、技術的な限界のため、この壁を飛び越すことは非常
に難しいと予見することができる。
び高画質の情報を提供するためには、４０−６０″級以
上でなければならない。このとき、現在の薄膜トランジ
スターの液晶ディスプレーの製品技術としては、これを
実現することは不可能であると見做される。薄膜トラン
ジスターの液晶ディスプレーを除外した他の方法、ま
た、技術的な限界のため、この壁を飛び越すことは非常
に難しいと予見することができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、薄膜トラン
ジスターが加工されているパネルを如何に精密加工し、
大面積化のために接合した方法を詳細に記述することに
よって、平板ディスプレーの大面積化の技術を確立しよ
うとする。
ジスターが加工されているパネルを如何に精密加工し、
大面積化のために接合した方法を詳細に記述することに
よって、平板ディスプレーの大面積化の技術を確立しよ
うとする。
【００１４】したがって、本発明は、現在の確保された
薄膜トランジスターの技術を利用して大画面を具現する
ことができる製品の技術を側面接合という全く新たな方
法によって実現した側面接合を利用した大面積の平板デ
ィスプレーの製造方法を提供することにその目的があ
る。
薄膜トランジスターの技術を利用して大画面を具現する
ことができる製品の技術を側面接合という全く新たな方
法によって実現した側面接合を利用した大面積の平板デ
ィスプレーの製造方法を提供することにその目的があ
る。
【００１５】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、既存のよく発達した薄膜トランジスタ
ーの工程ラインから製作された単位基板を、側面接合の
技術を通じて高画質の大画面の製作技術を具現したもの
である。
めに、本発明は、既存のよく発達した薄膜トランジスタ
ーの工程ラインから製作された単位基板を、側面接合の
技術を通じて高画質の大画面の製作技術を具現したもの
である。
【００１６】これにより、基本的に、平板ディスプレー
の最大関心事である高画質の大面積の画像情報提供用の
ディスプレー製造の歩留りの極大化と、商業的に、早期
実現できる具体的な技術を提供しようとする。
の最大関心事である高画質の大面積の画像情報提供用の
ディスプレー製造の歩留りの極大化と、商業的に、早期
実現できる具体的な技術を提供しようとする。
【００１７】
【実施例】以下、実施例を参照しながら本発明を詳細に
説明する。
説明する。
【００１８】図１は、本発明の概念を説明するためのも
ので、（Ａ）は部分拡大の分離斜視図であり、（Ｂ）は
全体の斜視図である。
ので、（Ａ）は部分拡大の分離斜視図であり、（Ｂ）は
全体の斜視図である。
【００１９】既存の薄膜トランジスター１のパネル加工
技術の中で、パッド配置を多少変更して単位パネル２を
製作する。パッドは、４個の単位パネル２の一つの面
に、それぞれ異なる方法によって配置されるように設計
された。即ち、４個の単位パネル２のパッド配置が異な
る。
技術の中で、パッド配置を多少変更して単位パネル２を
製作する。パッドは、４個の単位パネル２の一つの面
に、それぞれ異なる方法によって配置されるように設計
された。即ち、４個の単位パネル２のパッド配置が異な
る。
【００２０】この場合、接合工程後に、単位パネル２の
間の電気的な連結作業は必要ない。もし、電気的な連結
作業が容易であるとすると、４枚以上の単位パネル２の
接合も可能である。単位パネルを側面加工した後に、支
持用のガラス４上に接着剤３を塗布し、４枚の単位パネ
ル２の整列および露光作業を経る。
間の電気的な連結作業は必要ない。もし、電気的な連結
作業が容易であるとすると、４枚以上の単位パネル２の
接合も可能である。単位パネルを側面加工した後に、支
持用のガラス４上に接着剤３を塗布し、４枚の単位パネ
ル２の整列および露光作業を経る。
【００２１】このように、既存の最大の大きさをもつ製
品より２倍、４倍、または、それ以上の大きさをもつ平
板ディスプレーを製造することができる。
品より２倍、４倍、または、それ以上の大きさをもつ平
板ディスプレーを製造することができる。
【００２２】勿論、本発明は、電界放出ディスプレー
（ＦＥＤ）のような他の平板ディスプレーにも適用する
ことができる。
（ＦＥＤ）のような他の平板ディスプレーにも適用する
ことができる。
【００２３】図２は発明の結果として接合方式によって
製造された大画面の薄膜トランジスターの液晶ディスプ
レーの断面図である。支持用のガラス４上に薄膜トラン
ジスターの単位パネル２が４枚接合されている。勿論、
単位パネル２の２枚の接合による大面積化も可能であ
る。
製造された大画面の薄膜トランジスターの液晶ディスプ
レーの断面図である。支持用のガラス４上に薄膜トラン
ジスターの単位パネル２が４枚接合されている。勿論、
単位パネル２の２枚の接合による大面積化も可能であ
る。
【００２４】前記２枚の接合を行なうときは、ガラス加
工面が一つの面であるので、生産時に歩留りが改善され
る。接合工程に使用される接着剤３は、紫外線硬化樹脂
である。上板は、接合せずに製作された大面積のカラー
フィルター７が加工されている共通電極用のパネル５で
ある。共通電極用のパネル５には、カラーフィルター７
のほか、ブラックマトリクス８および透明電極１０が設
けられる。
工面が一つの面であるので、生産時に歩留りが改善され
る。接合工程に使用される接着剤３は、紫外線硬化樹脂
である。上板は、接合せずに製作された大面積のカラー
フィルター７が加工されている共通電極用のパネル５で
ある。共通電極用のパネル５には、カラーフィルター７
のほか、ブラックマトリクス８および透明電極１０が設
けられる。
【００２５】勿論、共通電極用のパネル５も接合によっ
て大面積化が可能である。本発明では、一実施例とし
て、薄膜トランジスター単位パネル２の大面積化に適用
した。支持用のガラス４には、ＴＦＴ単位パネル２の整
列用マークとブラックマトリックス８が加工されてい
る。なお、整列用マークは、整列を行なうための装備内
に表示されるように設けられる。従って、図１（Ａ）上
には示すことができないので、図示していない。
て大面積化が可能である。本発明では、一実施例とし
て、薄膜トランジスター単位パネル２の大面積化に適用
した。支持用のガラス４には、ＴＦＴ単位パネル２の整
列用マークとブラックマトリックス８が加工されてい
る。なお、整列用マークは、整列を行なうための装備内
に表示されるように設けられる。従って、図１（Ａ）上
には示すことができないので、図示していない。
【００２６】その外の事項は、一般的な薄膜トランジス
ターの液晶ディスプレーと構造および用途が同一であ
る。
ターの液晶ディスプレーと構造および用途が同一であ
る。
【００２７】この製品の欠点は、支持用ガラス４による
重さの増加と接合専用装備の開発や、支持用ガラス４は
可能限りに薄いもの（０．７mm）を使用して解決した。
接合専用装備は、本発明の過程の副産物によって完成さ
れた。
重さの増加と接合専用装備の開発や、支持用ガラス４は
可能限りに薄いもの（０．７mm）を使用して解決した。
接合専用装備は、本発明の過程の副産物によって完成さ
れた。
【００２８】特別に考案された装備は、モールダー製造
器、グラインディングおよびポリシング装備、整列およ
び露光装置である。
器、グラインディングおよびポリシング装備、整列およ
び露光装置である。
【００２９】薄膜トランジスターの液晶ディスプレーモ
ジュールは、図２に図示のように、二つの基本的なガラ
ス板からなっている。一方は、薄膜トランジスターが製
造されているガラス４であり、他の一方は、カラーフィ
ルター７およびブラックマトリックス８が製造されてい
る共通電極用ガラス５である。この二つの板を、一定の
間隔に置いて、その間に液晶９を注入し、偏光板６と駆
動用回路を付着すると、薄膜トランジスターの液晶ディ
スプレーモジュールになる。
ジュールは、図２に図示のように、二つの基本的なガラ
ス板からなっている。一方は、薄膜トランジスターが製
造されているガラス４であり、他の一方は、カラーフィ
ルター７およびブラックマトリックス８が製造されてい
る共通電極用ガラス５である。この二つの板を、一定の
間隔に置いて、その間に液晶９を注入し、偏光板６と駆
動用回路を付着すると、薄膜トランジスターの液晶ディ
スプレーモジュールになる。
【００３０】本発明は、薄膜トランジスターの単位パネ
ル２を大面積化するために、共通電極用パネル５と組立
する前に、側面接合という工程を利用して大面積化を具
現する内容である。
ル２を大面積化するために、共通電極用パネル５と組立
する前に、側面接合という工程を利用して大面積化を具
現する内容である。
【００３１】このように製作された大面積の薄膜トラン
ジスター板を、共通電極用パネル５と結合させて大面積
の液晶製品を完成する。モジュール製造過程であるポリ
イミド１２塗布、ラピング、シーリング材料１１プリン
ティング、液晶注入等の工程は、一般的な薄膜トランジ
スターの液晶ディスプレー後の工程と同一である。
ジスター板を、共通電極用パネル５と結合させて大面積
の液晶製品を完成する。モジュール製造過程であるポリ
イミド１２塗布、ラピング、シーリング材料１１プリン
ティング、液晶注入等の工程は、一般的な薄膜トランジ
スターの液晶ディスプレー後の工程と同一である。
【００３２】図３（Ａ）から図４（Ｇ）までは、製造さ
れた薄膜トランジスターの単位パネル２を加工して接合
工程を通じて大面積の薄膜トランジスターのパネルを製
作することを説明したものである。製作された薄膜トラ
ンジスターの単位パネル２を所望位置まで精密加工する
ために、幾らかの工程を経なければならないし、単位パ
ネル製作時に、このための表示１６をしておかなければ
ならない。
れた薄膜トランジスターの単位パネル２を加工して接合
工程を通じて大面積の薄膜トランジスターのパネルを製
作することを説明したものである。製作された薄膜トラ
ンジスターの単位パネル２を所望位置まで精密加工する
ために、幾らかの工程を経なければならないし、単位パ
ネル製作時に、このための表示１６をしておかなければ
ならない。
【００３３】このとき必要な表示は、ガラス切断用、ガ
ラス積み重ね用、加工用、加工の終点判別用等の表示が
ある。加工の終点表示には、特定の物質を使用してパタ
ーンを加工した。この物質をガラス加工中に継続的に追
跡して、異物質が検出されると、加工を中止する。
ラス積み重ね用、加工用、加工の終点判別用等の表示が
ある。加工の終点表示には、特定の物質を使用してパタ
ーンを加工した。この物質をガラス加工中に継続的に追
跡して、異物質が検出されると、加工を中止する。
【００３４】図３（Ａ）の工程は、大量のガラスを同時
に加工して生産性を確保するためのものである。このと
き薄膜トランジスターの単位パネル２の設計時に考慮し
た整列表示を利用して積み重ねる。
に加工して生産性を確保するためのものである。このと
き薄膜トランジスターの単位パネル２の設計時に考慮し
た整列表示を利用して積み重ねる。
【００３５】まず、一つのパネルを、一時的に接着する
ための臨時接着剤１５で固定した後に、閉鎖回路カメラ
と精密なステージを利用して、次の他のパネルを整列す
る。このとき薄膜トランジスターの単位パネル２とパネ
ルとの間に、均一度が高い玉の形態のスペーサー１４を
配置してから積み重ねる。この積み重ねの枚数は、２０
枚から１００枚まで、任意に定めることができる。整列
誤差は、数マイクロメートルである。
ための臨時接着剤１５で固定した後に、閉鎖回路カメラ
と精密なステージを利用して、次の他のパネルを整列す
る。このとき薄膜トランジスターの単位パネル２とパネ
ルとの間に、均一度が高い玉の形態のスペーサー１４を
配置してから積み重ねる。この積み重ねの枚数は、２０
枚から１００枚まで、任意に定めることができる。整列
誤差は、数マイクロメートルである。
【００３６】所望枚数を積み重ねた後に、摂氏８０度以
下の低温で、パネルとパネルとの間に光学用パラフィン
１７を挿入する。このとき、単位面積の当りの入力を、
０．２から１kg／cm2加えながら行なう。全面に光学用
パラフィン１７が充填された後に、常温で徐々に冷や
す。
下の低温で、パネルとパネルとの間に光学用パラフィン
１７を挿入する。このとき、単位面積の当りの入力を、
０．２から１kg／cm2加えながら行なう。全面に光学用
パラフィン１７が充填された後に、常温で徐々に冷や
す。
【００３７】数十枚ずつ積み重ねて作ったもの（以下モ
ールダーという）を、加工用表示１６のある位置までガ
ラス加工を行なう。この加工は、３段階に行なう。
ールダーという）を、加工用表示１６のある位置までガ
ラス加工を行なう。この加工は、３段階に行なう。
【００３８】図３（Ｂ）は１段階と２段階のグラインデ
ィングを図示しているものである。
ィングを図示しているものである。
【００３９】まず、２００メッシュ以下のセラミックパ
ウダーで、モールダーをその加工形態に作る。このと
き、図４（Ｇ）に示すように、加工面１８が二つあるの
で、二つの面の間の直角度および平坦度を注意深く調整
する。
ウダーで、モールダーをその加工形態に作る。このと
き、図４（Ｇ）に示すように、加工面１８が二つあるの
で、二つの面の間の直角度および平坦度を注意深く調整
する。
【００４０】ガラスを加工しながら加工状態を顕微鏡で
観察する。モールダー加工用の精密値工具を付着した場
合は加工状態を観察する必要性があまり必要ではない。
観察する。モールダー加工用の精密値工具を付着した場
合は加工状態を観察する必要性があまり必要ではない。
【００４１】２００メッシュ以下のパウダーで加工後
に、１２００メッシュ程度のパウダーで精密研磨を行な
う。この工程で、すべての加工精密度が決定される。
に、１２００メッシュ程度のパウダーで精密研磨を行な
う。この工程で、すべての加工精密度が決定される。
【００４２】次は、ポリシング材料によって加工面をレ
ンズ加工の精密度に加工する。図３（Ｃ）はポリシング
工程を図示しているものである。
ンズ加工の精密度に加工する。図３（Ｃ）はポリシング
工程を図示しているものである。
【００４３】このとき、平坦度および直角度は、それぞ
れニュートン干渉系およびレーザー直角系を利用する。
干渉模様が垂直であると、ガラスの側面加工が完成され
たと判断する。このガラス加工の工程で、もし、モール
ダー製作時に充分な圧力を加えなかった状態で行なう
と、各単位パネルの端部が破壊される。
れニュートン干渉系およびレーザー直角系を利用する。
干渉模様が垂直であると、ガラスの側面加工が完成され
たと判断する。このガラス加工の工程で、もし、モール
ダー製作時に充分な圧力を加えなかった状態で行なう
と、各単位パネルの端部が破壊される。
【００４４】加工が終了されると、モールダーは解体作
業を経る。解体工程は、摂氏１００度以下で行なう。そ
の解体に使用される化学薬品は、モールダー製作時に使
用した臨時接着剤１５および光学用パラフィン１７の溶
剤であり、臨時接着剤の除去、光学用パラフィンの除去
段階を経て作る。
業を経る。解体工程は、摂氏１００度以下で行なう。そ
の解体に使用される化学薬品は、モールダー製作時に使
用した臨時接着剤１５および光学用パラフィン１７の溶
剤であり、臨時接着剤の除去、光学用パラフィンの除去
段階を経て作る。
【００４５】溶剤の温度が摂氏５０度以上で解体作業を
行なっており、解体速度を高めるために、超音波装置が
内装された容器を使用した。その使用された超音波の強
度があまり高いと、薄膜トランジスターに損傷が加えら
れるので、適当な強さにした。温度と超音波の強さが高
い程、解体速度は迅速になる。その解体された各単位パ
ネル２を、コーニング７０５９Ｆ標準洗浄工程を経て、
整列作業を行なう。
行なっており、解体速度を高めるために、超音波装置が
内装された容器を使用した。その使用された超音波の強
度があまり高いと、薄膜トランジスターに損傷が加えら
れるので、適当な強さにした。温度と超音波の強さが高
い程、解体速度は迅速になる。その解体された各単位パ
ネル２を、コーニング７０５９Ｆ標準洗浄工程を経て、
整列作業を行なう。
【００４６】整列作業の標準作業ダイは、温度に対する
熱膨張係数が殆んどゼロである石英類を使用した。
熱膨張係数が殆んどゼロである石英類を使用した。
【００４７】この石英板１３には、四つの切れ端の各単
位パネル２を独立的に真空を得ることができる真空チャ
ックと真空度調節器、真空測定器がある。また、この真
空チャックの石英板は、パネル間の段差を最小化するた
めに、光学的な原器水準によって精密加工した。この真
空チャックが内装された石英板１３は、赤外線を透過す
ることができるようになっている。
位パネル２を独立的に真空を得ることができる真空チャ
ックと真空度調節器、真空測定器がある。また、この真
空チャックの石英板は、パネル間の段差を最小化するた
めに、光学的な原器水準によって精密加工した。この真
空チャックが内装された石英板１３は、赤外線を透過す
ることができるようになっている。
【００４８】整列順序は、まず、単位パネル２二つを、
他の単位パネルの加工面を基準として整列した後に、真
空チャックを利用して動かないようにする。整列時に、
石英板１３と単位パネル２との接触による薄膜トランジ
スター素子の損傷を防止するために、停電防止用装置を
利用して作業する。
他の単位パネルの加工面を基準として整列した後に、真
空チャックを利用して動かないようにする。整列時に、
石英板１３と単位パネル２との接触による薄膜トランジ
スター素子の損傷を防止するために、停電防止用装置を
利用して作業する。
【００４９】二つの単位パネルを整列した後に、他の二
つのパネルを顕微鏡で観察しながら整列する。真空チャ
ックが内装された石英板１３には、単位パネルと整列す
ることができる表示が加工されている。
つのパネルを顕微鏡で観察しながら整列する。真空チャ
ックが内装された石英板１３には、単位パネルと整列す
ることができる表示が加工されている。
【００５０】また、接合部位から漏泄されることができ
る接着剤３の塗布を防止するために、石英板１３に溝を
彫刻しておいた。
る接着剤３の塗布を防止するために、石英板１３に溝を
彫刻しておいた。
【００５１】整列が終了された後に、単位パネルを摂氏
５０度程度加熱する。加熱源は、赤外線ランプを使用す
る。所望温度になったとき、十字架模様の接合部位に、
紫外線接着剤を塗布する。
５０度程度加熱する。加熱源は、赤外線ランプを使用す
る。所望温度になったとき、十字架模様の接合部位に、
紫外線接着剤を塗布する。
【００５２】その塗布後、周辺に残っている接着剤３を
洗浄した後に、紫外線等の下で露光する。露光が終了さ
れた後に、接着剤の量を調整するために、スペーサーを
散布した後、紫外線接着剤３を４個の単位パネルの全て
の領域に塗布する。整列用表示、ブラックマトリックス
が加工された支持用ガラス４を得る。
洗浄した後に、紫外線等の下で露光する。露光が終了さ
れた後に、接着剤の量を調整するために、スペーサーを
散布した後、紫外線接着剤３を４個の単位パネルの全て
の領域に塗布する。整列用表示、ブラックマトリックス
が加工された支持用ガラス４を得る。
【００５３】この作業を行なうとき、気泡が発生しない
ように、一定の圧力を加えてから紫外線を照射した後
に、充分に冷やす。
ように、一定の圧力を加えてから紫外線を照射した後
に、充分に冷やす。
【００５４】このように製作された大面積の薄膜トラン
ジスターのパネルは、低い紫外線エネルギーの下で充分
に放置する。この工程は、蓄積されたパネル間および接
着剤３と支持用ガラス４間のストレスを解いてやるため
である。
ジスターのパネルは、低い紫外線エネルギーの下で充分
に放置する。この工程は、蓄積されたパネル間および接
着剤３と支持用ガラス４間のストレスを解いてやるため
である。
【００５５】このように製作された薄膜トランジスター
の液晶ディスプレー製造用の下板２を、カラーフィルタ
ーとブラックマトリックスが加工されている共通電極パ
ネル５と結合する過程は、一般的な液晶製造工程と同一
である。
の液晶ディスプレー製造用の下板２を、カラーフィルタ
ーとブラックマトリックスが加工されている共通電極パ
ネル５と結合する過程は、一般的な液晶製造工程と同一
である。
【００５６】接合工程による大面積の薄膜トランジスタ
ーのパネルを製造するとき一番重要な技術的な関心事
は、接合部位の欠陥である。この欠陥の最小化が、本発
明の目標である。
ーのパネルを製造するとき一番重要な技術的な関心事
は、接合部位の欠陥である。この欠陥の最小化が、本発
明の目標である。
【００５７】第一に、図５に図示している接合部位の間
隔である。この欠陥は、人間が、設定されている距離か
ら肉眼によって識別することができない程度にならなけ
ればならない。大概１０インチ級のノート形のコンピュ
ーター用の薄膜トランジスターの液晶ディスプレーでの
ブラックマトリックスの線幅は、約２０〜３０マイクロ
メートルになる。
隔である。この欠陥は、人間が、設定されている距離か
ら肉眼によって識別することができない程度にならなけ
ればならない。大概１０インチ級のノート形のコンピュ
ーター用の薄膜トランジスターの液晶ディスプレーでの
ブラックマトリックスの線幅は、約２０〜３０マイクロ
メートルになる。
【００５８】接合部位の間隔が、ブラックマトリックス
線幅以下の値をもたなければならない。この値は、大面
積化になると加工余裕が増やすので、大面積化において
は有利な内容である。
線幅以下の値をもたなければならない。この値は、大面
積化になると加工余裕が増やすので、大面積化において
は有利な内容である。
【００５９】他の欠陥は、接合部位を断面によって観察
するとき、薄膜トランジスター素子のある部分が接合部
位から段差が急激に生ずることである。その接合部位の
段差に対する定義を図６に図示している。
するとき、薄膜トランジスター素子のある部分が接合部
位から段差が急激に生ずることである。その接合部位の
段差に対する定義を図６に図示している。
【００６０】この値は、液晶ディスプレーの画質を決定
する絶対的なものである。もし、この値が数マイクロメ
ートル以上を示すと、接合部位を基準として、２または
４個の液晶ディスプレーは、他の色情報およびコントラ
ストを示して、ディスプレーとしての意味を喪失する。
する絶対的なものである。もし、この値が数マイクロメ
ートル以上を示すと、接合部位を基準として、２または
４個の液晶ディスプレーは、他の色情報およびコントラ
ストを示して、ディスプレーとしての意味を喪失する。
【００６１】段差の大きさは、可能なら少くする程よい
が、５マイクロメートルの液晶の厚さを基準として０．
１マイクロメートル以下の値をもたなければならない。
が、５マイクロメートルの液晶の厚さを基準として０．
１マイクロメートル以下の値をもたなければならない。
【００６２】
【発明の効果】本発明によれば、側面接合の方法を使用
することにより、大形の平板ディスプレーの製造におい
て、大面積化を具現することができる効果がある。
することにより、大形の平板ディスプレーの製造におい
て、大面積化を具現することができる効果がある。
【図１】本発明の概念を説明するためのもので、（Ａ）
は部分拡大の分離斜視図であり、（Ｂ）は全体の斜視図
である。
は部分拡大の分離斜視図であり、（Ｂ）は全体の斜視図
である。
【図２】接合方式による薄膜トランジスターの液晶ディ
スプレーの断面図。
スプレーの断面図。
【図３】（Ａ）は単位パネルのモールディングの工程
図、（Ｂ）はモールダーされた単位パネルのグラインデ
ィングの工程図、（Ｃ）は研磨工程の後のポリシングの
工程図および（Ｄ）はモールダーの解体工程図。
図、（Ｂ）はモールダーされた単位パネルのグラインデ
ィングの工程図、（Ｃ）は研磨工程の後のポリシングの
工程図および（Ｄ）はモールダーの解体工程図。
【図４】（Ｅ）は整列作業工程図、（Ｆ）は接着剤の塗
布工程図および（Ｇ）は紫外線露光後の平面図（４−Ｆ
ＥＴ−ＬＣＤ用の下板の完成）。
布工程図および（Ｇ）は紫外線露光後の平面図（４−Ｆ
ＥＴ−ＬＣＤ用の下板の完成）。
【図５】接合部位の間隔の定義を示す説明図。
【図６】接合部位の段差の定義を示す説明図。
１ 薄膜トランジスター ２ 単位パネル ３ 接着剤 ４ 支持用ガラス ５ 共通電極用パネル ６ 偏光板 ７ カラーフィルター ８ ブラックマトリックス ９ 液晶 １０ 透明電極 １１ ポリシング材料 １２ ポリイミド １３ 真空チャックが内装された石英板 １４ スペーサー １５ 臨時接着剤 １６ ガラス加工用表示 １７ 光学用パラフィン １８ 単位パネル相互間接着部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−127605（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−262783（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−24283（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−117215（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−124665（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−42466（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭39−20049（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (12)
- 【請求項１】 複数の薄膜トランジスターの単位パネル
（２）を側面加工する工程と、 該側面加工された複数の単位パネルを側面接合する工程
と、 該側面接合により形成された大面積の薄膜トランジスタ
ー板の一面を支持用ガラス（４）と結合させる工程と、 前記側面接合により形成された大面積の薄膜トランジス
ター板の他面を共通電極用のパネルと結合させる工程と
を有し、 前記支持用ガラス（４）に、単位パネル（２）整列用マ
ークとブラックマトリックス（８）とを加工して、光の
散乱による接合部位から欠陥の可視化を減らすようにす
ることを特徴とする側面接合を利用した大面積の平板デ
ィスプレーの製造方法。 - 【請求項２】 側面加工の工程において、単位パネル
（２）の設計時に精密加工のために、ガラス側面の加工
に必要な切断用の表示、モールダー製作用の表示、グラ
インディング用の表示、ポリシング用の表示、ガラス加
工の終点表示等の表示を付する工程を随伴することを特
徴とする請求項１記載の側面接合を利用した大面積の平
板ディスプレーの製造方法。 - 【請求項３】 ガラス側面の加工時に、正確に所望部分
まで加工することができるようにするために、加工の終
了点を感知するための特定の物質を加工用の表示製作時
に挿入させて、ガラス加工時に、その物質を継続的に追
跡して、正確な加工が行なわれるようにすることを特徴
とする請求項１または２記載の側面接合を利用した大面
積の平板ディスプレーの製造方法。 - 【請求項４】 単位パネル（２）の接合は、２枚の単位
パネル（２）を接合して、その接合加工を容易にするこ
とを特徴とする請求項１記載の側面接合を利用した大面
積の平板ディスプレーの製造方法。 - 【請求項５】 モールダー製作用の整列表示を利用して
単位パネル（２）を多数個積み重ね、このとき、単位パ
ネル（２）の間には、超精密スペーサー（１４）を挿入
し、一時的に接着するための臨時接着剤（１５）によっ
て固定するようにすることを特徴とする請求項１または
２記載の側面接合を利用した大面積の平板ディスプレー
の製造方法。 - 【請求項６】 前記工程を通じて上記臨時接着剤（１
５）によって固定された単位パネル（２）の間に、圧力
を加えながら低温でパラフィン系の物質を挿入してか
ら、徐々に冷却させながらモールダーを製作することを
特徴とする請求項２または５記載の側面接合を利用した
大面積の平板ディスプレーの製造方法。 - 【請求項７】 前記の工程を通じて製作されたモールダ
ーの解体時には、１００℃以下の低温で実施し、パラフ
ィンおよび臨時接着剤の溶剤をその溶剤として使用して
おり、前記解体作業の速度を高めるために、超音波装置
を附加使用することを特徴とする請求項６記載の側面接
合を利用した大面積の平板ディスプレーの製造方法。 - 【請求項８】 側面加工された単位パネル（２）の整列
作業は、高精密度の維持のために、石英板（１３）を使
用し、前記石英板（１３）には、４面または２面に分離
して各単位パネル（２）を独立的に真空を得ることがで
きるように、真空チャックを内装させ、真空度の調節器
および真空測定器を設置することを特徴とする請求項１
または７記載の側面接合を利用した大面積の平板ディス
プレーの製造方法。 - 【請求項９】 真空チャックが内装された石英板には、
単位パネル（２）の接合のために整列表示をしており、
前記石英板の接合部位には、接着剤の漏泄を防止するた
めの溝を形成することを特徴とする請求項８記載の側面
接合を利用した大面積の平板ディスプレーの製造方法。 - 【請求項１０】 石英板の接合部位には、接着剤の漏泄
を防止するために、まず、接合部位のみに接着剤を塗布
し、充分に染み入れるようにしてから、紫外線を照射す
るようにしたことを特徴とする請求項９記載の側面接合
を利用した大面積の平板ディスプレーの製造方法。 - 【請求項１１】 支持用のガラス（４）で前記大面積の
薄膜トランジスター板を覆って圧力および熱を加えなが
ら製造することを特徴とする請求項９記載の側面接合を
利用した大面積の平板ディスプレーの製造方法。 - 【請求項１２】 薄膜トランジスターの単位パネル
（２）の側面接合の工程を通じて大面積化を具現する側
面接合の工程によって、カラーフィルターとブラックマ
トリックスが具備された共通電極用のパネル（５）の大
面積化を行なうようにすることを特徴とする請求項１記
載の側面接合を利用した大面積の平板ディスプレーの製
造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019940031733A KR0170182B1 (ko) | 1994-11-29 | 1994-11-29 | 측면접합을 이용한 대면적 평판 디스플레이 제조방법 |
| KR94-31733 | 1994-11-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08160406A JPH08160406A (ja) | 1996-06-21 |
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| KR100557733B1 (ko) * | 1998-02-23 | 2006-05-09 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 대화면 액정표시장치 제조방법 및 그 방법을 수행하는 장비 |
| US6129804A (en) * | 1998-05-01 | 2000-10-10 | International Business Machines Corporation | TFT panel alignment and attachment method and apparatus |
| US6193576B1 (en) * | 1998-05-19 | 2001-02-27 | International Business Machines Corporation | TFT panel alignment and attachment method and apparatus |
| KR100539971B1 (ko) * | 1998-08-26 | 2006-04-28 | 삼성전자주식회사 | 엘씨디 글래스 절단 장치, 엘씨디 글래스 절단방법 및 이를이용한 대형 평판 표시 소자 제조 방법 |
| KR100342995B1 (ko) * | 1998-12-08 | 2002-11-22 | 성필호 | 평판디스플레이의커버글라스 |
| US6567138B1 (en) * | 1999-02-15 | 2003-05-20 | Rainbow Displays, Inc. | Method for assembling a tiled, flat-panel microdisplay array having imperceptible seams |
| KR19990068730A (ko) * | 1999-06-15 | 1999-09-06 | 성필호 | 평판디스플레이의커버그라스 |
| US6458005B1 (en) | 1999-07-19 | 2002-10-01 | International Business Machines Corporation | Selectively compliant chuck for LCD assembly |
| JP2002372928A (ja) * | 2001-06-13 | 2002-12-26 | Sony Corp | タイリング型表示装置及びその製造方法 |
| JP2004326130A (ja) * | 2004-07-30 | 2004-11-18 | Sony Corp | タイリング型表示装置 |
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| WO2014043850A1 (zh) * | 2012-09-18 | 2014-03-27 | 深圳市柔宇科技有限公司 | 一种大尺寸显示屏及其制造方法 |
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| TW201923725A (zh) * | 2017-11-20 | 2019-06-16 | 美商康寧公司 | 子顯示器及由子顯示器製造拼接顯示器之方法 |
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| US4156833A (en) * | 1977-05-24 | 1979-05-29 | Westinghouse Electric Corp. | Information display panel and method of fabrication |
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| JPS61262783A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-20 | 松下電器産業株式会社 | 液晶表示パネル |
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-
1994
- 1994-11-29 KR KR1019940031733A patent/KR0170182B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-12-16 US US08/357,019 patent/US5711693A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-12-19 JP JP31506894A patent/JP2641706B2/ja not_active Expired - Fee Related
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