JP2641020B2 - Suction clamping mechanism and temperature test device using the same - Google Patents

Suction clamping mechanism and temperature test device using the same

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JP2641020B2
JP2641020B2 JP5195376A JP19537693A JP2641020B2 JP 2641020 B2 JP2641020 B2 JP 2641020B2 JP 5195376 A JP5195376 A JP 5195376A JP 19537693 A JP19537693 A JP 19537693A JP 2641020 B2 JP2641020 B2 JP 2641020B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、IC等のチップ部品の
温度試験に好適な吸着挟持機構及びそれを用いた温度試
験装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a suction holding mechanism suitable for a temperature test of a chip component such as an IC, and a temperature test apparatus using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種の温度試験装置は、順次供給され
るチップ部品を恒温室内に移動させ、チップ部品に温度
負荷例えば、−55乃至150℃を与えて、チップ部品
の温度試験を行うものである。
2. Description of the Related Art A temperature test apparatus of this type moves a chip component sequentially supplied into a constant temperature chamber and applies a temperature load, for example, -55 to 150 ° C. to the chip component to perform a temperature test of the chip component. It is.

【0003】従来の温度試験装置は、チップ部品を吸着
するか又はチップ部品をターンテーブル等のプレートや
ブロックに載置して水平に搬送することにより、チップ
部品を恒温室内に移動させていた。
In a conventional temperature test apparatus, a chip component is moved into a constant temperature chamber by sucking the chip component or placing the chip component on a plate or block such as a turntable and transporting the chip component horizontally.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
温度試験装置は、吸着による場合は、真空源が切れたと
きは、チップ部品が落下するという問題があり、また、
チップ部品をプレートやブロックに載置する場合は、チ
ップ部品の大きさに応じてプレートやブロックの段取換
えが必要であった。また、恒温室内を循環するファンの
風にチップ部品が吹き飛ばされるという問題があった。
However, the conventional temperature test apparatus has a problem that when suction is performed, chip components drop when the vacuum source is cut off.
When mounting chip components on a plate or a block, the plate or block needs to be changed according to the size of the chip component. Further, there is a problem that the chip components are blown off by the wind of a fan circulating in the constant temperature chamber.

【0005】また、多数のチップ部品を恒温室内で水平
に移動していたため、装置の大きな設置面積を必要と
し、スペース効率が悪いという問題もあった。
Further, since a large number of chip parts are moved horizontally in a temperature-controlled room, there is a problem that a large installation area for the device is required and space efficiency is poor.

【0006】そこで、本発明は、上記事情に鑑みてなさ
れたものであり、チップ部品を確実に保持でき、しかも
設置面積の小型化が可能な吸着挟持機構及びそれを用い
た温度試験装置を提供することを目的とする。
In view of the above, the present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a suction holding mechanism capable of securely holding a chip component and having a small installation area, and a temperature test apparatus using the same. The purpose is to do.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1記載の吸着挟持機構は、往復動可能に支持さ
れたスライド軸と、このスライド軸の先端に設けられ、
側面からリード端子が出ているチップ部品を真空吸着す
る吸着口を備えた平坦当接面と、前記スライド軸の往復
動作に連動して前記チップ部品を前記平坦当接面との間
で挟持するチャックとを有し、前記チャックは前記チッ
プ部品吸着時に回動支点が前記平坦当接面の下方に位置
するように設けられたものであることを特徴とするもの
である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a suction / holding mechanism which is provided at a tip end of a slide shaft supported reciprocally.
The chip component is sandwiched between a flat contact surface having a suction port for vacuum suctioning the chip component with the lead terminal protruding from the side surface and the flat component contact surface in conjunction with the reciprocating movement of the slide shaft. possess a chuck, the chuck is the chip
The fulcrum of rotation is located below the flat abutment surface when picking up parts.
It is characterized in that it is provided so that

【0008】また、請求項2記載の温度試験装置は、順
次供給される側面からリード端子が出ているチップ部品
を恒温室内に移動させ、前記チップ部品に温度負荷を与
える温度試験装置において、往復動可能に支持されたス
ライド軸と、このスライド軸の先端に設けられ、前記チ
ップ部品を真空吸着する吸着口を備えた平坦当接面と、
前記スライド軸の往復動作に連動して前記チップ部品を
前記平坦当接面との間で挟持するチャックとを備えた複
数の吸着挟持機構と、これら複数の吸着挟持機構を垂直
面内で回転可能に保持する回転機構とを有し、前記チャ
ックは前記チップ部品吸着時に回動支点が前記平坦当接
面の下方に位置するように設けられたものであることを
特徴とするものである。
Further, in the temperature test apparatus according to the second aspect of the invention, in the temperature test apparatus in which the chip parts having the lead terminals protruding from the side surfaces which are sequentially supplied are moved into a temperature-controlled room and a temperature load is applied to the chip parts, reciprocation A slide shaft movably supported, and a flat contact surface provided at the tip of the slide shaft and having a suction port for vacuum suctioning the chip component,
A plurality of suction and holding mechanisms including a chuck for holding the chip component between the flat contact surface in conjunction with the reciprocating operation of the slide shaft, and the plurality of suction and holding mechanisms can be rotated in a vertical plane possess a rotation mechanism for holding the said tea
When the chip part is picked up,
It is characterized in that it is provided below the surface .

【0009】[0009]

【0010】[0010]

【0011】[0011]

【作用】請求項1記載の吸着挟持機構によれば、スライ
ド軸の往復動作に連動してチップ部品を挟持するので、
当該機構の小型化,簡素化が可能となる。また、チップ
部品を平坦当接面との間で挟持すると共にチャックの回
動支点が平坦当接面の下方に位置するため、回動によっ
てチップ部品に干渉しないので、側面からリード端子が
出ているチップ部品吸着,挟持を容易に行うことが
能となる。
According to the suction holding mechanism of the first aspect, the chip component is held in conjunction with the reciprocating operation of the slide shaft.
The mechanism can be reduced in size and simplified. In addition, the chip component is sandwiched between the flat contact surface and the chuck is rotated.
Since the dynamic fulcrum is located below the flat contact surface,
It does not interfere with the chip component Te, adsorption of chip components that are out lead terminal from the side, be performed clamped easily be allowed <br/> ability.

【0012】請求項2記載の温度試験装置によれば、吸
着挟持機構は、チップ部品を真空吸着すると共にその部
品を挟持するので、真空源が切れた場合でもチップ部品
の保持が可能となり、チップ部品が大小異なるものであ
っても、段取換え無しに吸着,挟持を行うことができ
る。
According to the temperature test apparatus of the second aspect, the suction holding mechanism holds the chip part by vacuum suction and holds the chip part, so that the chip part can be held even when the vacuum source is cut off. Even if the parts are different in size, it is possible to perform suction and clamping without changing the setup.

【0013】また、回転機構は、複数の吸着挟持機構を
垂直面内で回転可能に保持するので、設置面積の小型化
が可能となる。
[0013] The rotation mechanism is so rotatably holds a plurality of suction gripping mechanism in a vertical plane, it is possible to downsize the footprint.

【0014】また、スライド軸の往復動作に連動してチ
ップ部品を挟持するので、吸着挟持機構の小型化,簡素
化が可能となる。さらに、チップ部品を平坦当接面との
間で挟持すると共にチャックの回動がチップ部品に干渉
しないので、側面からリード端子が突出しているチップ
部品吸着,挟持を容易に行うことが可能となる。
Further, since the chip component is held in conjunction with the reciprocating operation of the slide shaft, the suction holding mechanism can be reduced in size and simplified. Furthermore, the chip component is pinched between the flat contact surface and the rotation of the chuck interferes with the chip component.
Does not, it is possible to perform suction of the chip parts are lead terminals from the side protruding, the pinching easily.

【0015】[0015]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳述
する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0016】図1は本発明の温度試験装置の一実施例を
示す外観斜視図、図2はその概略構成を示す正面図であ
る。
FIG. 1 is an external perspective view showing an embodiment of a temperature test apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a front view showing a schematic configuration thereof.

【0017】本実施例装置は、図1に示すように、チッ
プ部品1の供給ライン2上に配置した箱状の恒温室3を
有し、この恒温室3内に、図2に示すように、チップ部
品1を挟持する複数の吸着挟持機構5と、これら複数の
吸着挟持機構5を垂直面内で回転可能に保持する回転機
構6と、吸着挟持機構5を駆動する後述する駆動機構7
とを配設したものである。
As shown in FIG. 1, the apparatus of this embodiment has a box-shaped constant temperature chamber 3 arranged on a supply line 2 for chip components 1, and in this constant temperature chamber 3, as shown in FIG. A plurality of suction and holding mechanisms 5 for holding the chip component 1, a rotation mechanism 6 for rotatably holding the plurality of suction and holding mechanisms 5 in a vertical plane, and a driving mechanism 7 to be described later for driving the suction and holding mechanism 5
And is arranged.

【0018】図3は吸着挟持機構5,回転機構6及び駆
動機構7を示す側面図、図4及び図5は吸着挟持機構5
の詳細を示す側面図であり、図4は動作前を示し、図5
は動作後を示す。
FIG. 3 is a side view showing the suction holding mechanism 5, the rotation mechanism 6 and the driving mechanism 7, and FIGS.
FIG. 4 is a side view showing details of FIG.
Indicates after operation.

【0019】前記吸着挟持機構5は、後述する回転機構
6の回転板61側に固定されたプレート50と、このプ
レート50に設けた穴50aに挿通して上下動可能に配
置されたバキュームシャフト(スライド軸)51と、こ
のバキュームシャフト51を保持する保持部材53と、
バキュームシャフト51を上方向に付勢する第1のスプ
リング52と、保持部材53と共にバキュームシャフト
51の移動を案内するスライドレール54と、バキュー
ムシャフト51の往復動作に連動してチップ部品1を挟
持又は解放するリンク機構55とを備えており、全体が
一つのユニットとして予め組立てられ、このユニット単
位で交換できるように構成されている。
The suction holding mechanism 5 includes a plate 50 fixed to a rotating plate 61 of a rotating mechanism 6 described later, and a vacuum shaft (a vertical shaft) which is inserted through a hole 50a provided in the plate 50 and is vertically movable. A sliding shaft) 51, a holding member 53 for holding the vacuum shaft 51,
A first spring 52 that urges the vacuum shaft 51 upward, a slide rail 54 that guides the movement of the vacuum shaft 51 together with the holding member 53, and a chip component 1 that is interposed or interlocked with the reciprocating operation of the vacuum shaft 51. A release link mechanism 55 is provided, and the whole is pre-assembled as a single unit, and is configured to be replaceable in units of this unit.

【0020】このリンク機構55は、プレート50に回
動可能に連結された一対のリンク550と、これら一対
のリンク550の先端側にそれぞれ回動可能に連結され
た一対のチャック551と、一対のチャック551の後
端側を互いに連結する連結リンク552と、この連結リ
ンク552を下方向に付勢する第2のスプリング553
と、チャック551の開き過ぎを防止する一対のストッ
パ554とを備えている。このチャック551は、バキ
ュームシャフト51の往復動作に連動してチップ部品1
を、後述するベローズ(吸着口)を備えた当接面(平坦
当接面)51aとの間で挟持するよう構成されている。
また、前記連結リンク552は、逆U字状を成し、図4
に示す吸着動作時には下方先端部が前記平坦当接面51
aの両端に対して所定の間隔をもって配置され、その下
端が前記平坦当接面51aの下方に位置するように配置
され、その両下端部に前記チャック551,551の端
部を回動可能に支持するようになっている。
The link mechanism 55 includes a pair of links 550 rotatably connected to the plate 50, a pair of chucks 551 respectively rotatably connected to the distal ends of the pair of links 550, and a pair of chucks 551. A connecting link 552 that connects the rear ends of the chuck 551 to each other, and a second spring 553 that urges the connecting link 552 downward.
And a pair of stoppers 554 that prevent the chuck 551 from opening too much. This chuck 551 is interlocked with the reciprocating motion of the vacuum shaft 51, and
Is held between an abutting surface (flat abutting surface) 51a having a bellows (suction port) described later.
Further, the connecting link 552 is formed in an inverted U-shape.
In the suction operation shown in FIG.
a at a predetermined distance from both ends of a
Arranged so that the end is located below the flat contact surface 51a
And the ends of the chucks 551 and 551 are attached to both lower ends thereof.
The part is rotatably supported.

【0021】バキュームシャフト51の先端側には、チ
ップ部品1が接触する平坦に形成された当接面51aを
備え、チップ部品1のクランプを確実に行うと共にチッ
プ部品1に熱を伝え易いようにしている。また、バキュ
ームシャフト51の中心には軸方向に沿って吸気孔51
bを形成し、この吸気孔51bを通ってチップ部品1を
吸引できるようにしている。また、吸気孔51bの先端
側にはベローズ(吸着口)56を設け、チップ部品1の
吸着を確実に行えるようにしている。
The tip end of the vacuum shaft 51 is provided with a flat contact surface 51a with which the chip component 1 comes into contact, so that the chip component 1 is securely clamped and heat is easily transmitted to the chip component 1. ing. In addition, at the center of the vacuum shaft 51, the intake hole 51 is formed along the axial direction.
B is formed so that the chip component 1 can be sucked through the suction hole 51b. Further, a bellows (suction port) 56 is provided on the tip end side of the air intake hole 51b to ensure that the chip component 1 can be suctioned.

【0022】動作前の吸着挟持機構5は、図4に示すよ
うに、第1のスプリング52のスプリング力が第2のス
プリング553のスプリング力に打ち勝って、第1のス
プリング52は伸長し、第2のスプリング553は圧縮
され、一対のチャック551は閉じた状態になってい
る。また、動作後の吸着挟持機構5は、図5に示すよう
に、後述する駆動機構7の支持部材71が、バキューム
シャフト51を押し下げ、第1のスプリング52は圧縮
され、第2のスプリング553は伸長して、一対のチャ
ック551は、開いた状態になっている。
In the suction holding mechanism 5 before the operation, as shown in FIG. 4, the spring force of the first spring 52 overcomes the spring force of the second spring 553, so that the first spring 52 extends and the first spring 52 extends. The second spring 553 is compressed and the pair of chucks 551 are in a closed state. Further, in the suction holding mechanism 5 after the operation, as shown in FIG. 5, the support member 71 of the drive mechanism 7 described later pushes down the vacuum shaft 51, the first spring 52 is compressed, and the second spring 553 is Extending, the pair of chucks 551 are in an open state.

【0023】前記回転機構6は、床側に固定された固定
板60と、この固定板60に回転可能に回転軸63によ
り軸支された回転板61と、この回転板61を回転させ
るステッピングモータの如き第1のモータ(図6参照)
62とを備えている。この回転機構6は、第1のモータ
62により回転板61を回転させると、複数の吸着挟持
機構5,回転板61及び回転軸63の全体が共に回転す
るようになっている。
The rotating mechanism 6 includes a fixed plate 60 fixed to the floor, a rotating plate 61 rotatably supported by a rotating shaft 63 on the fixed plate 60, and a stepping motor for rotating the rotating plate 61. First motor such as (see FIG. 6)
62. When the rotation plate 61 is rotated by the first motor 62, the rotation mechanism 6 rotates the plurality of suction holding mechanisms 5, the rotation plate 61, and the rotation shaft 63 together.

【0024】前記駆動機構7は、図2において恒温室3
の中央下部に配置され、図3に示すように、固定板60
に固定されたスライドレール70と、このスライドレー
ル70により上下動可能に支持された支持部材71と、
支持部材71を上下方向に移動させてチップ部品1を挟
持するためのステッピングモータの如き第2のモータ
(図6参照)72と、この第2のモータ72の回転駆動
力を直線方向に変換してスライドレール70に伝達する
図示しないラックピニオン機構とを具備し、制御部12
の制御によって、駆動機構7の対向する位置に移動した
吸着挟持機構5を駆動するようになっている。支持部材
71の先端側には、真空ポンプ9からパイプ(図示省
略)が接続される吸気孔71aを備え、その吸気孔71
aの先端側には、例えばOリング,ベローズ等の弾性部
材73を設け、吸着動作の際にバキュームシャフト51
の上端面51cに密着できるようにしている。
The drive mechanism 7 is a thermostatic chamber 3 in FIG.
As shown in FIG. 3, the fixing plate 60 is disposed at the lower center of the fixing plate 60.
A slide rail 70 fixed to the slide rail 70, a support member 71 supported by the slide rail 70 to be vertically movable,
A second motor (see FIG. 6) 72 such as a stepping motor for holding the chip component 1 by moving the support member 71 in the vertical direction, and converting the rotational driving force of the second motor 72 into a linear direction. And a rack and pinion mechanism (not shown) for transmitting the power to the slide rail 70.
Controls the suction holding mechanism 5 that has been moved to a position opposite to the drive mechanism 7. At the tip end of the support member 71, an intake hole 71a to which a pipe (not shown) is connected from the vacuum pump 9 is provided.
An elastic member 73 such as an O-ring or a bellows is provided on the tip side of the a so that the vacuum shaft 51
The upper end surface 51c of the above can be closely attached.

【0025】図6は本実施例の制御系を示すブロック図
である。
FIG. 6 is a block diagram showing the control system of this embodiment.

【0026】この装置は、恒温室3を一定温度に保つ恒
温部8と、吸気動作を行う真空ポンプ9と、この真空ポ
ンプ9を駆動するポンプ駆動部10と、前記第1及び第
2のモータ62,72を駆動するモータ駆動部11と、
この装置の各部を制御する制御部12とを有している。
なお、前記吸着挟持機構5,駆動機構7,真空ポンプ
9,ポンプ駆動部10及びモータ駆動部11により、チ
ップ部品1を真空吸着すると共にその部品1を挟持する
吸着挟持手段4を構成する。
The apparatus comprises a constant temperature section 8 for maintaining the constant temperature chamber 3 at a constant temperature, a vacuum pump 9 for performing a suction operation, a pump drive section 10 for driving the vacuum pump 9, a first and a second motor. A motor drive unit 11 that drives 62 and 72;
And a control unit 12 for controlling each unit of the apparatus.
The suction holding mechanism 5, the driving mechanism 7, the vacuum pump 9, the pump driving unit 10, and the motor driving unit 11 constitute suction holding means 4 for vacuum suctioning the chip component 1 and holding the component 1.

【0027】次に、本実施例の動作を説明する。Next, the operation of this embodiment will be described.

【0028】なお、恒温室3は、恒温部8により試験す
べき一定温度に保たれているとする。
The constant temperature chamber 3 is kept at a constant temperature to be tested by the constant temperature section 8.

【0029】温度試験対象のチップ部品1が供給ライン
2上を搬送され、恒温室3の真下に到達すると、モータ
駆動部11は、制御部12の制御の下に、駆動機構7の
第2のモータ72を駆動して、図示しないラックピニオ
ン機構を介して支持部材71をスライドレール70に沿
って降下させる。
When the chip component 1 to be subjected to the temperature test is conveyed on the supply line 2 and reaches just below the constant temperature chamber 3, the motor drive unit 11 controls the second drive mechanism 7 under the control of the control unit 12. The motor 72 is driven to lower the support member 71 along the slide rail 70 via a rack and pinion mechanism (not shown).

【0030】支持部材71が降下すると、支持部材71
の先端側に設けられた弾性部材73が、吸着挟持機構5
のバキュームシャフト51の上端面51cに当接し、更
に支持部材71が保持部材53を降下させる。第1のス
プリング52は圧縮され、リンク機構55の第2のスプ
リング553は伸長し、連結リンク552が下方向に押
されて、一対のチャック551は開いた状態になる。
When the support member 71 is lowered, the support member 71
The elastic member 73 provided on the distal end side of the suction holding mechanism 5
Abuts on the upper end surface 51c of the vacuum shaft 51, and the support member 71 further lowers the holding member 53. The first spring 52 is compressed, the second spring 553 of the link mechanism 55 is extended, the connecting link 552 is pushed downward, and the pair of chucks 551 are opened.

【0031】一方、バキュームシャフト51が降下を開
始すると、ポンプ駆動部10は、制御部12の制御によ
り、真空ポンプ9を駆動させ、吸気動作を開始する。
On the other hand, when the vacuum shaft 51 starts descending, the pump drive section 10 drives the vacuum pump 9 under the control of the control section 12 to start the intake operation.

【0032】バキュームシャフト51が、更に降下し
て、当接面51aがチップ部品1の上面に密着すると、
図7に示すように、ベローズ56は上方向に圧縮されて
チップ部品1の上面に密着し、チップ部品1はバキュー
ムシャフト51の当接面51aに吸着する。
When the vacuum shaft 51 further descends and the contact surface 51a comes into close contact with the upper surface of the chip component 1,
As shown in FIG. 7, the bellows 56 is compressed upward and adheres to the upper surface of the chip component 1, and the chip component 1 is adsorbed to the contact surface 51 a of the vacuum shaft 51.

【0033】次に、モータ駆動部11は、制御部12に
制御され、駆動機構7の第2のモータ72を逆転させ、
図示しないラックピニオン機構を介して支持部材71を
スライドレール70に沿って上昇させる。この時、図8
に示すように、第1のスプリング52は伸長し、第2の
スプリング553は圧縮され、連結リンク552が上方
向に戻り、一対のチャック551は閉じてチップ部品1
をクランプした状態になる。このとき、一対のチャック
551は、前記当接面51aより下方に位置する連結リ
ンク552の下端部に回動中心を有して移動するように
なっているので、両側にリード端子が突出しているチッ
プ部品1のリード端子に干渉することなく移動し、その
先端部がチップ部品の底面に当接するので、挟持を容易
に行うことができるようになっている。
Next, the motor drive section 11 is controlled by the control section 12 to reversely rotate the second motor 72 of the drive mechanism 7,
The support member 71 is raised along the slide rail 70 via a rack and pinion mechanism (not shown). At this time, FIG.
, The first spring 52 expands, the second spring 553 compresses, the connecting link 552 returns upward, and the pair of chucks 551 close to close the chip component 1.
Is clamped. At this time, a pair of chucks
Reference numeral 551 denotes a connection rib located below the contact surface 51a.
So that the lower end of the link 552 has a center of rotation.
The lead terminals are protruding on both sides.
Moves without interfering with the lead terminals of
Easy to pinch because the tip contacts the bottom of the chip component
To be able to do.

【0034】チップ部品1を一対のチャック551によ
りクランプすると、ポンプ駆動部10は、制御部12の
制御の下に、真空ポンプ9による吸気動作を停止させ
る。
When the chip component 1 is clamped by the pair of chucks 551, the pump driving unit 10 stops the suction operation by the vacuum pump 9 under the control of the control unit 12.

【0035】次に、モータ駆動部11は、制御部12の
制御により、回転板61を回転させ、チップ部品1をク
ランプした吸着挟持機構5に隣接する吸着挟持機構5を
駆動機構7の対向する位置に移動させ、前述したのと同
様に、チップ部品1の吸着,挟持動作を行う。このよう
にして、順次供給される複数のチップ部品1を恒温室3
内に順次移動させ、複数のチップ部品1に連続的に温度
負荷を与えることができる。回転板61が一周したとき
逆に、挟持したチップ部品1を供給ライン2の上に戻す
には、吸気動作によりチップ部品1を吸着した状態でバ
キュームシャフト51を降下させ、第2のスプリング5
53の伸長と連結リンク552の押し下げでチャック5
51を開いて解放した後、吸気動作を停止させる。
Next, the motor driving unit 11 rotates the rotary plate 61 under the control of the control unit 12 so that the suction holding mechanism 5 adjacent to the suction holding mechanism 5 that clamps the chip component 1 faces the driving mechanism 7. The chip component 1 is moved to the position and the chip component 1 is sucked and pinched in the same manner as described above. In this way, the plurality of chip components 1 that are sequentially supplied are placed in a thermostatic chamber 3
The temperature load can be continuously applied to the plurality of chip parts 1 by sequentially moving the inside. Conversely, when the rotating plate 61 makes one rotation, to return the sandwiched chip component 1 onto the supply line 2, the vacuum shaft 51 is lowered while the chip component 1 is sucked by the suction operation, and the second spring 5
When the link 53 is extended and the link 552 is pushed down, the chuck 5 is extended.
After opening and releasing 51, the intake operation is stopped.

【0036】このような本実施例によれば、チップ部品
1を真空吸着すると共にその部品1をクランプしている
ので、真空源が切れた場合でもチップ部品1の保持が可
能となり、チップ部品1を確実に保持できるようにな
る。従って、上下逆様の向きでも搬送が可能となり、多
数のチップ部品1を立体的に送ることができる。また、
複数の吸着挟持機構5を垂直面内で回転可能に保持して
いるので、設置面積の小型化が図れる。また、吸着挟持
機構5をバキュームシャフト51の移動動作に連動して
チップ部品1を挟持又は解放する構成としているので、
吸着挟持機構5の小型化,簡素化が図れる。更に、ター
ンテーブル等のプレートやブロックに載置するのと異な
り、大小異なるチップ部品1に対してクランプすること
ができるので、段取換えを不要にすることができる。
According to this embodiment, since the chip part 1 is vacuum-sucked and the part 1 is clamped, the chip part 1 can be held even when the vacuum source is cut off. Can be reliably held. Therefore, it is possible to carry the chips upside down, and a large number of chip components 1 can be sent three-dimensionally. Also,
Since the plurality of suction holding mechanisms 5 are rotatably held in a vertical plane, the installation area can be reduced. Further, since the suction holding mechanism 5 is configured to hold or release the chip component 1 in conjunction with the moving operation of the vacuum shaft 51,
The downsizing and simplification of the suction holding mechanism 5 can be achieved. Furthermore, unlike mounting on a plate or block such as a turntable, the chip components 1 of different sizes can be clamped, so that setup change can be eliminated.

【0037】なお、本発明は上記実施例に限定されず、
その要旨を変更しない範囲内で種々変形実施できる。
The present invention is not limited to the above embodiment,
Various modifications can be made without departing from the scope of the invention.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、以
下の効果を奏する。
According to the present invention, as described in detail above, the following effects can be obtained.

【0039】請求項1記載の発明によれば、スライド軸
の往復動作に連動してチップ部品を挟持するので、当該
機構の小型化,簡素化が図れ、ひいては当該機構を用い
る装置の設置面積の小型化が可能となる。また、チップ
部品が大小異なるものであっても吸着,挟持を行うこと
ができ、従来必要とされていた段取換えを不要にするこ
とができる。また、チップ部品を平坦当接面との間で挟
持すると共にチャックの回動がチップ部品に干渉しない
ので、側面からリード端子が出ているチップ部品、吸
着,挟持を容易に行うことができる。
According to the first aspect of the present invention, since the chip component is clamped in conjunction with the reciprocating operation of the slide shaft, the mechanism can be reduced in size and simplified, and the installation area of the device using the mechanism can be reduced. The size can be reduced. In addition, even if the chip components differ in size, suction and holding can be performed, and the setup change conventionally required can be eliminated. Further, the chip component is sandwiched between the flat contact surface and the rotation of the chuck does not interfere with the chip component.
Therefore , a chip component having a lead terminal protruding from the side surface can be easily sucked and held.

【0040】請求項2記載の発明よれば、チップ部品を
真空吸着すると共にその部品を挟持しているので、真空
源が切れた場合でもチップ部品の保持が可能となり、チ
ップ部品を確実に保持できるようになる。また、チップ
部品が大小異なるものであっても吸着,挟持を行うこと
ができ、従来必要とされていた段取換えを不要にするこ
とができる。
According to the second aspect of the present invention, since the chip component is vacuum-sucked and is sandwiched, the chip component can be held even when the vacuum source is cut off, and the chip component can be reliably held. Become like Further, even if the chip parts are different in size, they can be sucked and pinched, and the setup change which has been conventionally required can be eliminated.

【0041】また、複数の吸着挟持機構を垂直面内で回
転可能に保持しているので、設置面積の小型化が図れ
る。
Further, since rotatably holds a plurality of suction gripping mechanism in a vertical plane, it can be made compact footprint.

【0042】また、吸着挟持機構をスライド軸の往復動
作に連動してチップ部品を挟持する構成としているの
で、吸着挟持機構の小型化,簡素化が図れる。さらに、
チップ部品を平坦当接面との間で挟持すると共にチャッ
クの回動がチップ部品に干渉しないので、側面からリー
ド端子が出ているチップ部品、吸着,挟持を容易に
うことができる。
Since the suction holding mechanism is configured to hold the chip component in conjunction with the reciprocating operation of the slide shaft, the size of the suction holding mechanism can be reduced and simplified. further,
Chat while sandwiching the chip component with the flat abutment surface
Since click of rotation does not interfere with the chip component, the chip components are out lead terminal from the side, adsorption, the clamping can be easily row <br/> Ukoto.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の温度試験装置の一実施例を示す外観斜
視図。
FIG. 1 is an external perspective view showing one embodiment of a temperature test apparatus of the present invention.

【図2】本実施例の概略構成を示す正面図。FIG. 2 is a front view showing a schematic configuration of this embodiment.

【図3】本実施例の吸着挟持機構,回転機構及び駆動機
構を示す側面図。
FIG. 3 is a side view showing a suction holding mechanism, a rotation mechanism, and a driving mechanism of the embodiment.

【図4】本実施例の吸着挟持機構の動作前の状態を示す
詳細側面図。
FIG. 4 is a detailed side view showing a state before the operation of the suction holding mechanism of the embodiment.

【図5】本実施例の吸着挟持機構の動作後の状態を示す
詳細側面図。
FIG. 5 is a detailed side view showing a state after the operation of the suction holding mechanism of the embodiment.

【図6】本実施例の制御系を示すブロック図。FIG. 6 is a block diagram showing a control system according to the embodiment.

【図7】本実施例の動作を説明するための側面図。FIG. 7 is a side view for explaining the operation of the present embodiment.

【図8】本実施例の動作を説明するための側面図。FIG. 8 is a side view for explaining the operation of the present embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 チップ部品 2 供給ライン 3 恒温室 4 吸着挟持手段 5 吸着挟持機構 51 バキュームシャフト(スライド軸) 55 リンク機構 551 チャック 56 ベローズ(吸着口) 6 回転機構 61 回転板 63 回転軸 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Chip component 2 Supply line 3 Constant temperature chamber 4 Suction holding means 5 Suction holding mechanism 51 Vacuum shaft (slide shaft) 55 Link mechanism 551 Chuck 56 Bellows (suction port) 6 Rotating mechanism 61 Rotating plate 63 Rotating shaft

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 往復動可能に支持されたスライド軸と、
このスライド軸の先端に設けられ、側面からリード端子
が出ているチップ部品を真空吸着する吸着口を備えた平
坦当接面と、前記スライド軸の往復動作に連動して前記
チップ部品を前記平坦当接面との間で挟持するチャック
とを有し、前記チャックは前記チップ部品吸着時に回動
支点が前記平坦当接面の下方に位置するように設けられ
たものであることを特徴とする吸着挟持機構。
A slide shaft supported reciprocally;
Provided at the tip of this slide shaft, lead terminals from the side
A flat contact surface provided with a suction port for vacuum-sucking the chip component from which the protrusion has come out, and a chuck for holding the chip component between the flat contact surface in conjunction with the reciprocating operation of the slide shaft. And the chuck rotates when the chip component is sucked.
A fulcrum is provided below the flat contact surface.
Characterized in that it is a suction holding mechanism.
【請求項2】 順次供給される側面からリード端子が出
ているチップ部品を恒温室内に移動させ、前記チップ部
品に温度負荷を与える温度試験装置において、往復動可
能に支持されたスライド軸と、このスライド軸の先端に
設けられ、前記チップ部品を真空吸着する吸着口を備え
た平坦当接面と、前記スライド軸の往復動作に連動して
前記チップ部品を前記平坦当接面との間で挟持するチャ
ックとを備えた複数の吸着挟持機構と、これら複数の吸
着挟持機構を垂直面内で回転可能に保持する回転機構と
を有し、前記チャックは前記チップ部品吸着時に回動支
点が前記平坦当接面の下方に位置するように設けられた
ものであることを特徴とする吸着挟持機構。
2. The lead terminals come out from the side faces that are sequentially supplied.
In a temperature tester that applies a temperature load to the chip component by moving the chip component into a temperature-controlled room, a slide shaft supported so as to be capable of reciprocating and a tip end of this slide shaft are attached to the chip component by vacuum suction. A plurality of suction holding mechanisms having a flat contact surface having a suction port to perform, and a chuck for holding the chip component between the flat contact surface in conjunction with the reciprocating operation of the slide shaft; possess a rotation mechanism for rotatably holding the plurality of suction gripping mechanism in a vertical plane, said chuck Kaido支when the chip component pickup
The point is provided below the flat contact surface.
A suction holding mechanism characterized in that it is a thing.
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