JP2636771B2 - 廃液の連続的処理方法 - Google Patents

廃液の連続的処理方法

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JP2636771B2
JP2636771B2 JP7005083A JP508395A JP2636771B2 JP 2636771 B2 JP2636771 B2 JP 2636771B2 JP 7005083 A JP7005083 A JP 7005083A JP 508395 A JP508395 A JP 508395A JP 2636771 B2 JP2636771 B2 JP 2636771B2
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aeration
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裕志 草野
和也 中島
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Mitsubishi Chemical Corp
Mitsubishi Chemical Engineering Corp
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Mitsubishi Chemical Corp
Mitsubishi Chemical Engineering Corp
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    • Y02WCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
    • Y02W10/00Technologies for wastewater treatment
    • Y02W10/10Biological treatment of water, waste water, or sewage

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  • Activated Sludge Processes (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、テトラメチルアンモニ
ウムハイドロオキサイド(以下TMAHと略す。)を含
有する溶液の連続的処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】TMAHは、フォトレジストの現像工程
の洗浄剤として大量に使用されているが、これらの工程
から排出される、TMAHを含む溶液を、通常の活性汚
泥法により分解処理する方法、あるいは特殊な培養方法
により馴養した菌体を、特殊な条件で使用することによ
り分解処理する方法が知られている〔例えば、造水技
術、12(2)、p.65〜67(1986)〕。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】TMAHを含有する溶
液に通常の活性汚泥処理法を適用する上記方法では、処
理の初期段階では、安定であるが、30日頃より次第に
不安定となり、ついには、実施不能となる。一方、特殊
な培養方法により馴養した菌体を特殊な条件で使用する
ことによりTMAH含有溶液を分解処理する上記方法
は、特殊な菌体を使用し、そして特殊な汚泥処理方法を
採用しなければならないという欠点を有している。本発
明は、TMAHを含有する溶液の分解処理に当り、通常
の活性汚泥法により、安定的に処理する方法の提供を目
的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、テ
トラメチルアンモニウムハイドロオキサイドを含有する
廃液を連続的に分解処理するに当り、a)該廃液と後曝
気槽排出液とを原液供給槽Dに供給し、混合して原液を
得、これを排出する工程、b)原液供給槽Dから排出さ
れる原液を堰Eにより主曝気域Aと固液分離域Bに分割
された1つの槽の主曝気域Aに供給し、該主曝気域Aに
おいて曝気処理する工程、c)主曝気域Aにおいて曝気
処理された曝気液の一部、又は固液分離域B内の固形分
を含むスラリーの一部を後曝気槽Cに供給するととも
に、固液分離域Bの下部から余剰汚泥を、上部から処理
水をそれぞれ排出する工程、d)後曝気槽Cへ供給され
た、曝気液又は固液分離域B内の固形分を含むスラリー
を曝気処理したのち原液供給槽Dに排出する工程、の各
工程を含むことを特徴とする廃液の連続的処理方法をそ
の要旨とする。
【0005】本発明は、TMAHを含有する溶液を対象
とし、特に、レジストの現像工程から排出される、TM
AHを含有する廃液に好適に適用される。本発明の処理
方法はa)〜d)の工程から構成される。a)工程は、
原液供給槽Dにおいて、後曝気槽Cからスラリー状態で
抜き出された汚泥と、TMAHを含む廃液と混合し、原
液とし、これを排出する工程である。b)工程は、TM
AHを含む原液を受入れ、活性汚泥と共に主曝気域Aで
曝気処理し、TMAHを無害化する工程である。
【0006】c)工程は、主曝気域Aより曝気液の一部
をスラリー状態で抜き出し、後曝気槽Cに供給するとと
もに残部は主曝気域Aと堰Eで分割された固液分離域B
において汚泥と分離して処理水を得る工程または、主曝
気域A内の曝気液の全量を主曝気域Aと堰Eで分割され
た固液分離域Bに導入し、固液分離域B内の固形分を含
むスラリーの一部を後曝気槽Cに供給するとともに、残
部を汚泥と分離して処理水を得る工程である。
【0007】d)工程は、後曝気槽Cへ導入された曝気
液または固形分を含むスラリーを再度曝気処理し、汚泥
の一部をスラリー状態で抜き出す工程である。以下、各
工程について、更に詳しく説明する。主曝気域Aには、
原液と、原液と混合処理された返送汚泥とが供給され、
TMAHの分解反応を受ける。主曝気域Aにおける運転
条件は、通常の活性汚泥処理と略同様の条件で運転され
る。使用する汚泥には、特に制限はなく、下水処理場等
の汚泥を、予め該原液で馴養処理して用いる。
【0008】本発明の方法に於て、主曝気域Aに供給さ
れるTMAH量は分解速度の面から2g−TMAH/主
曝気域−l・日以下が好ましく、更に好適には0.2〜
1.5g−TMAH/主曝気域−l・日が採用される。
この際汚泥濃度(MLSS)は2〜10g/lが好まし
く、更に好適には3〜6g/lが好ましい。槽から得ら
れる処理水は、主曝気域Aの液体を、固液分離域Bに導
き、汚泥を沈降分離した後、上澄液を抜き出すことによ
って得られる。
【0009】主曝気域Aから抜き出される曝気液又は固
液分離域Bから抜き出される固形分を含むスラリーは、
スラリー状態で抜き出され、これらに含まれ、後曝気槽
Cに導入される汚泥量は、1日当り、主曝気域Aに存在
する汚泥量の1/20〜1/2倍量程度が好適である。
抜出し、循環量が余り多いと経済的に不利であり、少な
過ぎると、発明の効果が発現されない。
【0010】後曝気槽Cの容積は主曝気域Aの容積の1
/2〜1/20程度で、その平均滞溜時間を1〜10時
間とするのが好ましい。滞溜時間が長すぎると、硝化菌
の過剰な発生や、菌体の自己消化を起こし、短かすぎる
と、発明の効果を発現しない。原液供給槽Dでは、汚泥
はTMAHを含む廃液と接触混合される。この際、廃液
と汚泥の平均接触時間は0.1〜30分程度になるよう
に、原液供給槽Dの大きさ、廃水供給水量、及び循環汚
泥含有水量が調整される。
【0011】原液供給槽Dでの接触時間が長すぎるの
は、経済的に好ましくなく、かつ、TMAH由来の高p
H雰囲気下で、汚泥が死滅する可能性があり、一方接触
時間が短かすぎると、本発明の効果が十分に発現されな
い。活性汚泥処理は、通常曝気槽に、必須栄養源とし
て、不足分の窒素およびリン源を供給しながら運転され
るが、本発明の方法では、TMAHとして十分な窒素源
が含まれているので、これについては別途供給する必要
はない。リン源としては、公知の方法と同様に、例え
ば、リン酸、リン酸アンモニウム、リン酸水素カリウム
等が、必要に応じて添加される。槽内のpHは、TMA
Hの分解速度の点からpH6〜7.5に保つのが好まし
く、必要に応じ、酸又はアルカリを添加して調整され
る。
【0012】
【実施例】次に実施例により本発明を説明するが、本発
明はこれら実施例に限定されるものではない。 実施例1 図2に示す主曝気域A(内容積5.0l)、固液分離域
B(内容積2.5l)、後曝気槽C(内容積0.3
l)、原液供給槽D(内容積0.02l)からなる、活
性汚泥処理装置により、本発明方法を実施した。主曝気
域Aには、生活廃水処理系より採取した、汚泥をMLS
Sとして20g添加し、主曝気域A、固液分離域B、後
曝気槽Cにそれぞれ所定量の水道水を注入した。
【0013】廃液は2.5l/日で注入し、余剰汚泥の
抜出しは固液分離域Bの上部から2.5l/日の流速で
行い、主曝気域Aと後曝気槽Cには圧空を導入し、それ
ぞれ曝気処理を施した。主曝気域AのpHはHClを添
加し6.4〜6.8の間に保った。廃液のTMAH濃度
は徐々に増加させ、運転開始後5日後に、TMAHとし
て2400mg/l全有機炭素(TOC)として120
0mg/lとし、以後この濃度で供給を行い定常運転を
続けた。尚リン源としてリン酸1水素2カリウムを20
0mg/lの濃度となるよう廃液に添加した。主曝気域
A、後曝気槽C内水温は20℃とした。
【0014】固液分離域Bの上部から、上澄水を処理水
として放出させ、この処理水中の全有機炭素(TOC)
と、TMAH濃度を間欠的に測定した。処理結果を図3
に示す。処理水中のTMAH濃度は常に1ppm以下で
あり、処理水中のTOC濃度も、定常運転後150日間
常に20mg/l以下であり、その後も安定的に運転さ
れた。尚この際、定常運転時の主曝気域Aの容量当りの
TMAH負荷は1.2g/l・dayであり、MLSS
濃度は4000〜5000mg/lに保って運転され
た。
【0015】比較例1 実施例1に於て、定常運転を51日間行なった後、原液
供給槽Dを取り外して、返送汚泥と廃液は、それぞれ別
々に主曝気域Aに注入されるようにした外は、全て実施
例1と同様に運転した。比較例1の運転開始後、7日目
から処理水のTOC濃度は徐々に上昇し始め、10日後
には80mg/l以上に達し、以降処理水水質は廃液と
ほぼ等しくなった。
【0016】比較例2 実施例1に於て後曝気槽Cを除去して、返送汚泥を原液
供給槽Dに直接戻した以外は実施例1と同様に運転し
た。運転開始後5〜17日間は処理水のTOCは20m
g/l以下を保ったが、18日目よりTOCは徐々に増
加し始め、21日目には120ppm以上に達し、汚泥
の沈降性も極めて悪化する現象が見られ、以降、処理水
水質は廃液とほぼ等しくなった。
【0017】
【発明の効果】本発明の方法によってTMAH含有廃液
の活性汚泥による連続処理が効率的かつ長期安定的に行
える理由は、必ずしも明確ではないが、汚泥が、原液供
給槽Dでは、高濃度TMAHと接触し、一方後曝気槽C
ではTMAHの非存在雰囲気化におかれ、TMAHの濃
度変化を周期的に与えることにより、活性化されるため
と考えられる。本発明の方法によれば、TMAHを含有
する廃液を、特殊な菌体や栄養源を必要とせずに、活性
汚泥処理により、無害化分解することができる。又長期
安定的な連続運転処理が可能となり、維持管理もきわめ
て容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の処理装置の概念図の一例を表わす。
【図2】実施例1で使用した処理装置の概念図を表わ
す。
【図3】実施例1における、処理水中の溶解TOC濃度
を示す図であり、縦軸は処理水中のTOC濃度、横軸は
定常運転後の経過日数を示す。
【符号の説明】
A 主曝気域 B 固液分離域 C 後曝気槽 D 原液供給槽 E 堰
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−150592(JP,A) 造水技術、12〜2!(1986)、三沢輝 八郎ら、P.65−67

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 テトラメチルアンモニウムハイドロオキ
    サイドを含有する廃液を連続的に分解処理するに当り、 a)該廃液と後曝気槽排出液とを原液供給槽Dに供給
    し、混合して原液を得、これを排出する工程、 b)原液供給槽Dから排出される原液を堰Eにより主曝
    気域Aと固液分離域Bに分割された1つの槽の主曝気域
    Aに供給し、該主曝気域Aにおいて曝気処理する工程、 c)主曝気域Aにおいて曝気処理された曝気液の一部、
    又は固液分離域B内の固形分を含むスラリーの一部を後
    曝気槽Cに供給するとともに、固液分離域Bの下部から
    余剰汚泥を、上部から処理水をそれぞれ排出する工程、 d)後曝気槽Cへ供給された、曝気液又は固液分離域B
    内の固形分を含むスラリーを曝気処理したのち原液供給
    槽Dに排出する工程、 の各工程を含むことを特徴とする廃液の連続的処理方
    法。
JP7005083A 1995-01-17 1995-01-17 廃液の連続的処理方法 Expired - Lifetime JP2636771B2 (ja)

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造水技術、12〜2!(1986)、三沢輝八郎ら、P.65−67

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