JP2636240B2 - ヘリウム液化方法 - Google Patents
ヘリウム液化方法Info
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Classifications
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25J—LIQUEFACTION, SOLIDIFICATION OR SEPARATION OF GASES OR GASEOUS OR LIQUEFIED GASEOUS MIXTURES BY PRESSURE AND COLD TREATMENT OR BY BRINGING THEM INTO THE SUPERCRITICAL STATE
- F25J1/00—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures
- F25J1/02—Processes or apparatus for liquefying or solidifying gases or gaseous mixtures requiring the use of refrigeration, e.g. of helium or hydrogen ; Details and kind of the refrigeration system used; Integration with other units or processes; Controlling aspects of the process
- F25J1/0243—Start-up or control of the process; Details of the apparatus used; Details of the refrigerant compression system used
- F25J1/0257—Construction and layout of liquefaction equipments, e.g. valves, machines
- F25J1/0275—Construction and layout of liquefaction equipments, e.g. valves, machines adapted for special use of the liquefaction unit, e.g. portable or transportable devices
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Description
【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明はヘリウムガスの液化方法に関する。本発明は
超高速コンピュータ、赤外線検出器、核磁気共鳴装置な
どに使用される液体ヘリウムを得ることができる。
超高速コンピュータ、赤外線検出器、核磁気共鳴装置な
どに使用される液体ヘリウムを得ることができる。
(従来の技術) 従来の液体ヘリウムを得る方法としては、J−Tルー
プ付蓄冷式冷凍サイクルが知られている。この方法は、
スターリング(stirling)、ギフォード−マクマフォン
(gifford−memahon)、ソルベイ(solvay)およびブィ
リウマ(vuilleumer)等の蓄冷式冷凍サイクルで15〜20
K程度の冷凍温度を得、これによりヘリウムガスを15〜2
0Kに冷却する。次ぎにJ−Tループにより15〜20Kに冷
却されたヘリウムガスをジュールトムソンバルブを通し
て断熱膨脹させ一部のガスを液化させて液体ヘリウムを
得るものである。
プ付蓄冷式冷凍サイクルが知られている。この方法は、
スターリング(stirling)、ギフォード−マクマフォン
(gifford−memahon)、ソルベイ(solvay)およびブィ
リウマ(vuilleumer)等の蓄冷式冷凍サイクルで15〜20
K程度の冷凍温度を得、これによりヘリウムガスを15〜2
0Kに冷却する。次ぎにJ−Tループにより15〜20Kに冷
却されたヘリウムガスをジュールトムソンバルブを通し
て断熱膨脹させ一部のガスを液化させて液体ヘリウムを
得るものである。
J−Tループ付蓄冷式冷凍サイクルを利用した冷凍機
の代表的なものを第4図に示す。この冷凍機は蓄冷式第
1冷却装置100とJ−Tループ式第2冷却装置200とから
なる。蓄冷式第1冷却装置100はコンプレッサー101と第
1膨脹室102、第2膨脹室103を有する膨脹器104とから
なる。J−T式第2冷却装置200はコンプレッサー201と
第1熱交換器202、第2熱交換器203、第3熱交換器204
と第1冷却部205、第2冷却部206とJ−Tバルブ207と
液体ヘリウム槽208とからなる。そしてヘリウムガスの
ループはコンプレッサー201から第1熱交換器202、第1
冷却部205、第2熱交換器203、第2冷却部206、第3熱
交換器204、J−Tバルブ207を通り液体ヘリウム槽208
に至る往路と、さらに、この液体ヘリウム槽208より第
3熱交換器204、第2熱交換器203、第1熱交換器202を
通りコンプレッサー201に戻る復路とからなる。この冷
凍機ではJ−T式第2冷却装置200のヘリウムガスが蓄
冷式第1冷凍装置100の第1冷却部205、第2冷却部206
を通って充分に予冷され、J−Tバルブ207において等
エンタルピー膨脹しガスの一部が液化し、液体ヘリウム
槽208内に蓄えられる。液化しなかった大部分のヘリウ
ムガスは復路を液体ヘリウム槽208より第3熱交換器20
4、第2熱交換器203、第1熱交換器202とつぎつぎと熱
交換しコンプレッサー201に戻る。
の代表的なものを第4図に示す。この冷凍機は蓄冷式第
1冷却装置100とJ−Tループ式第2冷却装置200とから
なる。蓄冷式第1冷却装置100はコンプレッサー101と第
1膨脹室102、第2膨脹室103を有する膨脹器104とから
なる。J−T式第2冷却装置200はコンプレッサー201と
第1熱交換器202、第2熱交換器203、第3熱交換器204
と第1冷却部205、第2冷却部206とJ−Tバルブ207と
液体ヘリウム槽208とからなる。そしてヘリウムガスの
ループはコンプレッサー201から第1熱交換器202、第1
冷却部205、第2熱交換器203、第2冷却部206、第3熱
交換器204、J−Tバルブ207を通り液体ヘリウム槽208
に至る往路と、さらに、この液体ヘリウム槽208より第
3熱交換器204、第2熱交換器203、第1熱交換器202を
通りコンプレッサー201に戻る復路とからなる。この冷
凍機ではJ−T式第2冷却装置200のヘリウムガスが蓄
冷式第1冷凍装置100の第1冷却部205、第2冷却部206
を通って充分に予冷され、J−Tバルブ207において等
エンタルピー膨脹しガスの一部が液化し、液体ヘリウム
槽208内に蓄えられる。液化しなかった大部分のヘリウ
ムガスは復路を液体ヘリウム槽208より第3熱交換器20
4、第2熱交換器203、第1熱交換器202とつぎつぎと熱
交換しコンプレッサー201に戻る。
(発明が解決しようとする問題点) このJ−Tループ付蓄冷式冷凍サイクルを利用した冷
凍機は多量のヘリウムガスをJ−Tループにそって循環
する必要があるため、冷凍機そのものが大型になるとい
う問題がある。
凍機は多量のヘリウムガスをJ−Tループにそって循環
する必要があるため、冷凍機そのものが大型になるとい
う問題がある。
また、J−Tバルブによる膨脹ではヘリウムガスは1
〜2K程度わずかに冷却されるにすぎず、ジュールトムソ
ン膨脹を利用した作動媒体の冷却には限界があった。
〜2K程度わずかに冷却されるにすぎず、ジュールトムソ
ン膨脹を利用した作動媒体の冷却には限界があった。
本発明は上記した実情に鑑みなされたものであり、よ
り簡単に液体ヘリウムが得られるヘリウム液化方法を提
供するものである。
り簡単に液体ヘリウムが得られるヘリウム液化方法を提
供するものである。
[問題点を解決するための手段] 本発明のヘリウム液化方法は、作動媒体としてのヘリ
ウムが圧縮される圧縮室と、圧縮されたヘリウムの圧縮
熱を放出する放熱部と、該放熱部と連通する蓄冷器と、
該蓄冷器を経た該ヘリウムが膨脹する膨脹室とを有する
冷凍機の該蓄冷器および該膨脹室の間に設けた熱交換器
により該冷凍機の作動媒体であるヘリウムと別個のヘリ
ウムガスを冷却液化することを特徴とするものである。
ウムが圧縮される圧縮室と、圧縮されたヘリウムの圧縮
熱を放出する放熱部と、該放熱部と連通する蓄冷器と、
該蓄冷器を経た該ヘリウムが膨脹する膨脹室とを有する
冷凍機の該蓄冷器および該膨脹室の間に設けた熱交換器
により該冷凍機の作動媒体であるヘリウムと別個のヘリ
ウムガスを冷却液化することを特徴とするものである。
本発明はヘリウムガスを作動媒体とする蓄冷式冷凍機
で放熱部を20K程度の冷凍で冷却することによりヘリウ
ムの液化温度以下の冷凍が得られることを発見したこと
にもとずく。
で放熱部を20K程度の冷凍で冷却することによりヘリウ
ムの液化温度以下の冷凍が得られることを発見したこと
にもとずく。
本発明のヘリウム液化方法に使用される冷凍機は、作
動媒体としてのヘリウムが圧縮される圧縮室と、圧縮さ
れたヘリウムの圧縮熱を放出する放熱部と、該放熱部と
連通する蓄冷器と、該蓄冷器を経た該ヘリウムが膨脹す
る膨脹室とを有する。かかる冷凍機としてはスターリン
グ、ギフォード−マクマフォン、ソルベイおよびブィリ
ウマ等の蓄冷式冷凍サイクルで作動する冷凍機を使用で
きる。この冷凍機の放熱部は少なくとも40K程度の冷
凍、より好ましくは20Kより低い冷凍で冷却する必要が
ある。この冷却機にはその蓄冷部および膨脹室の間に作
動媒体のヘリウムとは別のヘリウムガスを冷却するため
の熱交換器を設ける必要がある。
動媒体としてのヘリウムが圧縮される圧縮室と、圧縮さ
れたヘリウムの圧縮熱を放出する放熱部と、該放熱部と
連通する蓄冷器と、該蓄冷器を経た該ヘリウムが膨脹す
る膨脹室とを有する。かかる冷凍機としてはスターリン
グ、ギフォード−マクマフォン、ソルベイおよびブィリ
ウマ等の蓄冷式冷凍サイクルで作動する冷凍機を使用で
きる。この冷凍機の放熱部は少なくとも40K程度の冷
凍、より好ましくは20Kより低い冷凍で冷却する必要が
ある。この冷却機にはその蓄冷部および膨脹室の間に作
動媒体のヘリウムとは別のヘリウムガスを冷却するため
の熱交換器を設ける必要がある。
液化されるヘリウムガスも予め40K以下より好ましく
は20K以下の温度に冷却する。この予冷については公知
の冷凍機を使用できる。この予冷されたヘリウムガスを
冷凍機の熱交換器に送りここでヘリウムの液化温度以下
に冷却して液体ヘリウムを得るものである。
は20K以下の温度に冷却する。この予冷については公知
の冷凍機を使用できる。この予冷されたヘリウムガスを
冷凍機の熱交換器に送りここでヘリウムの液化温度以下
に冷却して液体ヘリウムを得るものである。
ヘリウムガスが液化される熱交換器内のヘリウムガス
の圧力は冷凍機の膨脹室内の最低圧力より高く維持され
る必要がある。この条件が満たされないと液化効率が極
端に悪くなり、また、液化が不可能になる。液化される
ヘリウムガスは熱交換器により冷却液化される前に断熱
膨脹させることもできる。これにより液化されるヘリウ
ムガスの温度をさらに低下させ、液化温度に予めちかず
けることができる。
の圧力は冷凍機の膨脹室内の最低圧力より高く維持され
る必要がある。この条件が満たされないと液化効率が極
端に悪くなり、また、液化が不可能になる。液化される
ヘリウムガスは熱交換器により冷却液化される前に断熱
膨脹させることもできる。これにより液化されるヘリウ
ムガスの温度をさらに低下させ、液化温度に予めちかず
けることができる。
液化された液体ヘリウムは液体ヘリウム槽に蓄える。
なお外部からの熱の侵入により気化するヘリウムガスは
熱交換器に戻して再度液化しても、あるいはヘリウムガ
スボンベに戻してもよい。
なお外部からの熱の侵入により気化するヘリウムガスは
熱交換器に戻して再度液化しても、あるいはヘリウムガ
スボンベに戻してもよい。
「作用効果」 本発明のヘリウム液化方法は、ヘリウムを作動媒体と
する蓄冷式冷凍機の蓄冷器および膨脹室の間に設けた熱
交換器に作動媒体と別のヘリウムガスを送り、熱交換器
内でヘリウムガスの液化温度以下に冷却して液体ヘリウ
ムを得るものである。本発明のヘリウム液化方法では、
J−Tループによる冷却で液体ヘリウムを得るのではな
く、熱交換器内で液化温度以下に冷却してヘリウムを液
化する。このため使用する冷凍機が小形化され、単純に
なる。
する蓄冷式冷凍機の蓄冷器および膨脹室の間に設けた熱
交換器に作動媒体と別のヘリウムガスを送り、熱交換器
内でヘリウムガスの液化温度以下に冷却して液体ヘリウ
ムを得るものである。本発明のヘリウム液化方法では、
J−Tループによる冷却で液体ヘリウムを得るのではな
く、熱交換器内で液化温度以下に冷却してヘリウムを液
化する。このため使用する冷凍機が小形化され、単純に
なる。
[実施例] 本発明のヘリウム液化方法に使用した極低温冷凍機の
システム構成図を第1図に、要部断面図を第2図に示
す。
システム構成図を第1図に、要部断面図を第2図に示
す。
この極低温冷凍機は、逆スターリングサイクルで寒冷
を取出す第1冷凍装置1と、同じく逆スターリングサイ
クルでさらに一層低温度の寒冷を取出す第2冷凍装置2
と、ヘリウム供給装置3とから構成されている。
を取出す第1冷凍装置1と、同じく逆スターリングサイ
クルでさらに一層低温度の寒冷を取出す第2冷凍装置2
と、ヘリウム供給装置3とから構成されている。
第1冷凍装置1は、ヘリウムを作動媒体とし、第1冷
凍第1膨張室11と第1冷凍第2膨張室12の2個の膨張室
をもつ通常のスターリング冷凍機で、第1冷凍2段シリ
ンダ13に圧縮用の第1冷凍2段ピストン(図示せず)が
摺動自在にはめこまれ、第1冷凍2段ピストンと第1冷
凍2段シリンダ13とで、容積が変動する上記第1冷凍第
1膨張室11と第1冷凍第2膨張室12が形成されている。
凍第1膨張室11と第1冷凍第2膨張室12の2個の膨張室
をもつ通常のスターリング冷凍機で、第1冷凍2段シリ
ンダ13に圧縮用の第1冷凍2段ピストン(図示せず)が
摺動自在にはめこまれ、第1冷凍2段ピストンと第1冷
凍2段シリンダ13とで、容積が変動する上記第1冷凍第
1膨張室11と第1冷凍第2膨張室12が形成されている。
この第1冷凍装置1は、図示しない第1冷凍圧縮室と
第1冷凍第1膨張室11との間に図示しない第1冷凍放熱
部、第1冷凍第1蓄冷室をもち、さらに第1冷凍第1膨
張室11と第1冷凍第2膨張室12の間に図示しない第1冷
凍第2蓄冷室をもつ。そして図示しない第1冷凍駆動部
で第1冷凍圧縮室と第1冷凍第1膨張室11および第1冷
凍第2膨張室12間にヘリウムガスを往復動させ、第1冷
凍第1膨張室11に第1冷凍第1寒冷、第1冷凍第2膨張
室12に約20K程度の第1冷凍第2寒冷を作るものであ
る。
第1冷凍第1膨張室11との間に図示しない第1冷凍放熱
部、第1冷凍第1蓄冷室をもち、さらに第1冷凍第1膨
張室11と第1冷凍第2膨張室12の間に図示しない第1冷
凍第2蓄冷室をもつ。そして図示しない第1冷凍駆動部
で第1冷凍圧縮室と第1冷凍第1膨張室11および第1冷
凍第2膨張室12間にヘリウムガスを往復動させ、第1冷
凍第1膨張室11に第1冷凍第1寒冷、第1冷凍第2膨張
室12に約20K程度の第1冷凍第2寒冷を作るものであ
る。
第2冷凍装置2は、同じくヘリウムを作動媒体とする
第2冷凍第1シリンダ21、第2冷凍第2シリンダ22およ
び第2冷凍第3シリンダ23をもつ2段膨張式のスターリ
ング冷凍機である。第2冷凍第1シリンダ21には摺動自
在に第2冷凍第1ピストン211が装着され、かつ第2冷
凍第1シリンダ21をもつ第2冷凍第1ピストン211との
間には第2冷凍シール212が設けられ、第2冷凍第1シ
リンダ21内にこの第2冷凍シール212でシールされた第
2冷凍圧縮室215が形成されている。第2冷凍第2シリ
ンダ22および第2冷凍第3シリンダ23にはそれぞれ第2
冷凍第2ピストン221、第2冷凍第3ピストン231が装着
され、第2冷凍第2シリンダ22および第2冷凍第3シリ
ンダ23内には各々第2冷凍シール222、シール232でシー
ルされた第2冷凍第1膨張室225および第2冷凍第2膨
張室235が形成されている。
第2冷凍第1シリンダ21、第2冷凍第2シリンダ22およ
び第2冷凍第3シリンダ23をもつ2段膨張式のスターリ
ング冷凍機である。第2冷凍第1シリンダ21には摺動自
在に第2冷凍第1ピストン211が装着され、かつ第2冷
凍第1シリンダ21をもつ第2冷凍第1ピストン211との
間には第2冷凍シール212が設けられ、第2冷凍第1シ
リンダ21内にこの第2冷凍シール212でシールされた第
2冷凍圧縮室215が形成されている。第2冷凍第2シリ
ンダ22および第2冷凍第3シリンダ23にはそれぞれ第2
冷凍第2ピストン221、第2冷凍第3ピストン231が装着
され、第2冷凍第2シリンダ22および第2冷凍第3シリ
ンダ23内には各々第2冷凍シール222、シール232でシー
ルされた第2冷凍第1膨張室225および第2冷凍第2膨
張室235が形成されている。
なお、各第2冷凍シリンダ21、22、23のシールに近い
外周部には第1冷凍装置1の第1冷凍第1膨張室11の寒
冷を伝える銅製の第1冷凍第1冷却部材14が当接してい
る。また、第2冷凍第1シリンダ21の先端外周部(図1
上の下端外周部)には第1冷凍装置1の第1冷凍第2膨
張室12の寒冷を伝える銅製の第1冷凍第2冷却部材15が
当接し、第2冷凍圧縮室215と第2冷凍第1膨張室225と
の間で第2冷凍圧縮室215側に設けられた第2冷凍放熱
部27を冷却している。
外周部には第1冷凍装置1の第1冷凍第1膨張室11の寒
冷を伝える銅製の第1冷凍第1冷却部材14が当接してい
る。また、第2冷凍第1シリンダ21の先端外周部(図1
上の下端外周部)には第1冷凍装置1の第1冷凍第2膨
張室12の寒冷を伝える銅製の第1冷凍第2冷却部材15が
当接し、第2冷凍圧縮室215と第2冷凍第1膨張室225と
の間で第2冷凍圧縮室215側に設けられた第2冷凍放熱
部27を冷却している。
さらに第2冷凍圧縮室215と第2冷凍第1膨張室225の
間で第2冷凍第1膨張室225側に第2冷凍第1蓄冷室2
4、第2冷凍第1蓄冷室225と第2冷凍第2膨張室235の
間で第2冷凍第1膨張室225側に第2冷凍第2蓄冷室2
5、第2冷凍第2膨張室235側に第2冷凍熱交換器26が設
けられている。
間で第2冷凍第1膨張室225側に第2冷凍第1蓄冷室2
4、第2冷凍第1蓄冷室225と第2冷凍第2膨張室235の
間で第2冷凍第1膨張室225側に第2冷凍第2蓄冷室2
5、第2冷凍第2膨張室235側に第2冷凍熱交換器26が設
けられている。
この第2冷凍装置2は、図示しない第2冷凍駆動部で
第2冷凍第1ピストン211、第2冷凍第2ピストン221お
よび第2冷凍第3ピストン231を駆動し、作動媒体であ
るヘリウムを第2冷凍圧縮室215と第2冷凍第1膨張室2
25および第2冷凍第2膨張室235との間で往復動させ、
第2冷凍熱交換器26を4.2K以下に冷却するものである。
第2冷凍第1ピストン211、第2冷凍第2ピストン221お
よび第2冷凍第3ピストン231を駆動し、作動媒体であ
るヘリウムを第2冷凍圧縮室215と第2冷凍第1膨張室2
25および第2冷凍第2膨張室235との間で往復動させ、
第2冷凍熱交換器26を4.2K以下に冷却するものである。
ヘリウム供給装置3は、ヘリウムガスボンベ31、ポン
プ32、第1冷凍装置1の第1冷凍第1膨張室11を形成す
る第1冷凍2段シリンダ13の部分の外周に当接して巻き
付けられた第1コイル331、第1冷凍第2膨張室12を形
成する第1冷凍2段シリンダ13の部分の外周に当接して
巻き付けられた第2コイル332、第2冷凍第1蓄冷室24
および第2冷凍第2蓄冷室25の外周に当接して巻き付け
られた第3コイル333、上記した第2冷凍熱交換器26、
液体ヘリウム槽34、第3コイル333、第2コイル332およ
び第1コイル331のそれぞれ外周に当接して巻き付けら
れた第4コイル334、第5コイル335および第6コイル33
6とよりなるループで構成されている。
プ32、第1冷凍装置1の第1冷凍第1膨張室11を形成す
る第1冷凍2段シリンダ13の部分の外周に当接して巻き
付けられた第1コイル331、第1冷凍第2膨張室12を形
成する第1冷凍2段シリンダ13の部分の外周に当接して
巻き付けられた第2コイル332、第2冷凍第1蓄冷室24
および第2冷凍第2蓄冷室25の外周に当接して巻き付け
られた第3コイル333、上記した第2冷凍熱交換器26、
液体ヘリウム槽34、第3コイル333、第2コイル332およ
び第1コイル331のそれぞれ外周に当接して巻き付けら
れた第4コイル334、第5コイル335および第6コイル33
6とよりなるループで構成されている。
ヘリウム供給装置3はヘリウムガスボンベ31内のヘリ
ウムガスをポンプ32で圧縮し、第1コイル331、第2コ
イル332、第3コイル333を通して次々に冷却し、最後に
第2冷凍熱交換器26内で4.2K以下に冷却してヘリウムガ
スを液化し、液体ヘリウム槽34に蓄えるものである。な
お、液化しなかったヘリウムガスおよび外部からの熱で
気化したヘリウムガスは第4コイル334、第5コイル335
および第6コイル336で次々に熱交換されて寒冷を失
い、最後にヘリウムガスボンベ31に戻る。
ウムガスをポンプ32で圧縮し、第1コイル331、第2コ
イル332、第3コイル333を通して次々に冷却し、最後に
第2冷凍熱交換器26内で4.2K以下に冷却してヘリウムガ
スを液化し、液体ヘリウム槽34に蓄えるものである。な
お、液化しなかったヘリウムガスおよび外部からの熱で
気化したヘリウムガスは第4コイル334、第5コイル335
および第6コイル336で次々に熱交換されて寒冷を失
い、最後にヘリウムガスボンベ31に戻る。
本実施例のヘリウム液化方法は、この極低温冷凍機で
実施される。すなわち、第1冷凍装置1を作動させ、第
2冷凍装置2の第2冷凍放熱部27を20K程度に冷却する
とともに、ヘリウム供給装置3の第2コイル332を同じ
く20K程度に冷却する。また、第2冷凍装置2を駆動
し、作動媒体のヘリウムを第2冷凍圧縮室215と第2冷
凍第1膨張室225および第2冷凍第2膨張室235との間を
往復動させ、第2冷凍熱交換器26を4.2K以下に冷却す
る。(なお、ヘリウムを作動媒体に使用してヘリウムの
液化温度より低い寒冷が得られるのか不明であるが、逆
スターリングサイクルで放熱部を20K程度の寒冷で冷却
した場合には4.2K以下の寒冷が得られることを実証して
いる。)この状態でヘリウム供給装置3のポンプ32を駆
動してヘリウムガスを第2冷凍装置2の第2冷凍第2膨
張室235の最低圧力より高い1.6kgm cm2程度に高める。
そして第2冷凍熱交換器26にヘリウムガスを導き、第2
冷凍熱交換器26内で液化させ、液化した液体ヘリウムを
液体ヘリウム槽34に蓄える。
実施される。すなわち、第1冷凍装置1を作動させ、第
2冷凍装置2の第2冷凍放熱部27を20K程度に冷却する
とともに、ヘリウム供給装置3の第2コイル332を同じ
く20K程度に冷却する。また、第2冷凍装置2を駆動
し、作動媒体のヘリウムを第2冷凍圧縮室215と第2冷
凍第1膨張室225および第2冷凍第2膨張室235との間を
往復動させ、第2冷凍熱交換器26を4.2K以下に冷却す
る。(なお、ヘリウムを作動媒体に使用してヘリウムの
液化温度より低い寒冷が得られるのか不明であるが、逆
スターリングサイクルで放熱部を20K程度の寒冷で冷却
した場合には4.2K以下の寒冷が得られることを実証して
いる。)この状態でヘリウム供給装置3のポンプ32を駆
動してヘリウムガスを第2冷凍装置2の第2冷凍第2膨
張室235の最低圧力より高い1.6kgm cm2程度に高める。
そして第2冷凍熱交換器26にヘリウムガスを導き、第2
冷凍熱交換器26内で液化させ、液化した液体ヘリウムを
液体ヘリウム槽34に蓄える。
本実施例に使用した極低温冷凍機の代りに、第3図に
システム構成図を示す極低温冷凍機を使用して本発明の
ヘリウム液化方法を実施することができる。
システム構成図を示す極低温冷凍機を使用して本発明の
ヘリウム液化方法を実施することができる。
この極低温冷凍機は上記した極低温冷凍機の第3コイ
ル333と第2冷凍熱交換器26との間にジュールトムソン
バルブ35を設けたもので、他の構成は同じである。この
極低温冷凍機では、比較的高圧で第3コイル333により
4.2K近くにまで冷却されているヘリウムガスがジュール
トムソンバルブ35を通過することにより断熱膨張し、ヘ
リウムガスの温度はさらに低下する。これにより第2冷
凍熱交換器26内での液化をより容易にするものである。
ル333と第2冷凍熱交換器26との間にジュールトムソン
バルブ35を設けたもので、他の構成は同じである。この
極低温冷凍機では、比較的高圧で第3コイル333により
4.2K近くにまで冷却されているヘリウムガスがジュール
トムソンバルブ35を通過することにより断熱膨張し、ヘ
リウムガスの温度はさらに低下する。これにより第2冷
凍熱交換器26内での液化をより容易にするものである。
第1図は実施例で使用した極低温装置のシステム構成
図、第2図はその極低温装置の要部断面図、第3図は第
2図の極低温冷凍機の一部を変更した極低温冷凍機のシ
ステム構成図、第4図は従来の極低温装置のシステム構
成図である。 1……第1冷凍装置、2……第2冷凍装置 3……ヘリウム供給装置 24……第2冷凍第1蓄冷室、25……第2冷凍第2蓄冷
室、26……第2冷凍熱交換器、27……第2冷凍放熱部、
34……液体ヘリウム槽、215……第2冷凍圧縮室、225…
…第2冷凍第1膨張室、235……第2冷凍第2膨張室
図、第2図はその極低温装置の要部断面図、第3図は第
2図の極低温冷凍機の一部を変更した極低温冷凍機のシ
ステム構成図、第4図は従来の極低温装置のシステム構
成図である。 1……第1冷凍装置、2……第2冷凍装置 3……ヘリウム供給装置 24……第2冷凍第1蓄冷室、25……第2冷凍第2蓄冷
室、26……第2冷凍熱交換器、27……第2冷凍放熱部、
34……液体ヘリウム槽、215……第2冷凍圧縮室、225…
…第2冷凍第1膨張室、235……第2冷凍第2膨張室
Claims (5)
- 【請求項1】作動媒体としてのヘリウムが圧縮される圧
縮室と、圧縮されたヘリウムの圧縮熱を放出する放熱部
と、該放熱部と連通する蓄冷器と、該蓄冷器を経た該ヘ
リウムが膨脹する膨脹室とを有する冷凍機の該蓄冷器お
よび該膨脹室の間に設けた熱交換器により該冷凍機の作
動媒体であるヘリウムと別個のヘリウムガスを冷却液化
することを特徴とするヘリウム液化方法。 - 【請求項2】放熱部は40K以下の寒冷により冷却される
特許請求の範囲第1項記載のヘリウム液化方法。 - 【請求項3】ヘリウムガスが液化される熱交換器内のヘ
リウムガス圧力は冷凍機の膨脹室内の最低圧力より高く
維持されている特許請求の範囲第1項記載のヘリウム液
化方法。 - 【請求項4】液化されるヘリウムガスは熱交換器により
冷却液化される前に断熱膨脹して該熱交換器に導入され
る特許請求の範囲第1項記載のヘリウム液化方法。 - 【請求項5】冷凍機は逆スターリング冷凍機である特許
請求の範囲第1項記載のヘリウム液化方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62136378A JP2636240B2 (ja) | 1987-05-31 | 1987-05-31 | ヘリウム液化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62136378A JP2636240B2 (ja) | 1987-05-31 | 1987-05-31 | ヘリウム液化方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63302280A JPS63302280A (ja) | 1988-12-09 |
JP2636240B2 true JP2636240B2 (ja) | 1997-07-30 |
Family
ID=15173757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62136378A Expired - Fee Related JP2636240B2 (ja) | 1987-05-31 | 1987-05-31 | ヘリウム液化方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2636240B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4595121B2 (ja) * | 2005-06-10 | 2010-12-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 機械式冷凍機とジュール・トムソン膨張を用いた極低温冷凍装置 |
JP4570546B2 (ja) * | 2005-09-26 | 2010-10-27 | 大陽日酸株式会社 | ヘリウム凝縮装置 |
-
1987
- 1987-05-31 JP JP62136378A patent/JP2636240B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS63302280A (ja) | 1988-12-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |