JP2635966B2 - 撮像装置 - Google Patents

撮像装置

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JP2635966B2 JP62125926A JP12592687A JP2635966B2 JP 2635966 B2 JP2635966 B2 JP 2635966B2 JP 62125926 A JP62125926 A JP 62125926A JP 12592687 A JP12592687 A JP 12592687A JP 2635966 B2 JP2635966 B2 JP 2635966B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、固体撮像装置の駆動回路に係り、特に撮像
素子を駆動するための複数の駆動ラインに駆動信号を供
給する駆動回路に関する。
[従来の技術] 第11図は、従来の固体撮像装置における駆動部の概略
的回路図である。
同図において、走査回路401の各出力端子はトランジ
スタQy1〜Q4のゲート電極に接続され、走査パルスOy1
Oy2・・・によってON/OFF制御が行われる。
奇数フィールドを選択する信号F1は、トランジスタQy
1を介して水平ラインHDL1,3,5・・・、へ転送され、ま
たトランジスタQy2を介してHDL2,4,6・・・へ転送され
る。
偶数フィールドを選択する信号F2は、トランジスタQy
3を介してHDL2,4,6・・・へ転送され、またトランジス
タQy4を介してHDL3,4,5、・・・7に転送される。
したがって、信号F1が入力した場合、走査回路401の
動作によってトランジスタQy1およびQy2が順次ONとなる
ために、HDL1および2、HDL3および4、・・・というよ
うに2水平ラインずつが順次駆動され、奇数フィールド
の走査が行われる。
信号F2が入力した場合は、トランジスタQy3およびQy4
を通してHDL2および3、HDL4および5、・・・というよ
うに2水平ラインずつ順次駆動され、偶数フィールドの
走査が行われる。
[発明が解決しようとする問題点] しかしながら、上記従来の駆動回路は、2水平ライン
が同時に駆動されるために、垂直方向の信号読出しが各
々1本の垂直ラインで構成された撮像素子には使用でき
ない。すなわち、従来の構成では垂直ラインにも2本設
けて、タイミングをはかって駆動する必要が生じ、垂直
ラインの増加で撮像素子の開口率が狭くなり、結局撮像
素子の光電変換効率をも悪化させることとなるという問
題点を有していた。
[問題点を解決するための手段] 本発明による撮像装置は、行及び列状に配列された複
数の光電変換セルと、所定の列の光電変換セルの信号を
読み出すための複数の垂直信号線と、前記各垂直信号線
に接続された第1、第2のキャパシタと、垂直走査回路
と該垂直走査回路の各出力に接続された複数のスイッチ
手段とからなり、前記複数の光電変換セルの内の所定の
2行の光電変換セルの信号を1水平帰線期間中に順次選
択するための行選択手段と、前記行選択手段により順次
選択された2行の光電変換セルの信号をそれぞれ前記垂
直信号線を介して前記第1、第2のキャパシタに順次蓄
積させた後、前記第1、第2のキャパシタにそれぞれ蓄
積された信号を同時に読み出すための読み出し制御手段
と、を有することを特徴とする撮像装置。
[作用] このように構成することで、複数の駆動ラインを走査
する場合でも各ラインを独立して駆動することが可能と
なり、しかも垂直方向の信号読み出しを各々1本垂直信
号線で行え、2行分の信号を同時に読み出せる。
[実施例] 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳細に説
明する。
第1図は、本発明による駆動回路の第1実施例の概略
的回路図、第2図は、その動作を説明するためのタイミ
ングチャートである。
第1図に示すように、撮像素子は光電変換セルC11,C
12・・・等がエリア状に配列され、水平ラインHDL1、
2、3、・・・によって行ごとに駆動される。また光電
変換信号は、垂直ラインおよびトランジスタQ1およびQ2
を通して読み出される。
本実施例では、走査回路101の各出力端子にそれぞれ
3個のトランジスタQv1〜Qv3のゲート電極が接続されて
いる。
各トランジスタQv1は駆動電圧Vr1を水平ラインHDL1,
3,5,・・・に、各トランジスタQv2は駆動電圧Vr2をHDL
2,4,6,・・・に、そして各トランジスタQv3は駆動電圧V
r3をHDL3,5,7,・・・へ順次転送する。
このような回路構成において、走査回路101はパルス
φv1およびφv2に従って走査パルスφ、φ、・・を
順次出力する。したがって、駆動電圧Vr1〜Vr3を適当な
組合せで印加することにより、撮像素子を所望のモード
で走査することが可能となる。
たとえば第2図に示すように、奇数フィールドにおい
て駆動電圧Vr1およびVr3を印加して水平ラインHDL1およ
び2、HDL3および4、・・・を駆動し、偶数フィールド
において駆動電圧Vr2およびVr3を印加してHDL2および
3、HDL4および5、・・・を駆動することで、2組駆動
のインターレース走査を行うことができる。
また、駆動電圧Vr1およびVr2と駆動電圧Vr2およびVr3
とを各々時間的にずらせて印加すれば、撮像素子の垂直
ラインを1本で構成することも可能である。
第3図は、本発明の第2実施例の概略的回路図、第4
図は、その動作を説明するためのタイミングチャートで
ある。
このように走査回路101の各出力端子にトランジスタQ
v1〜Qv4を設け、駆動電圧Vr1〜Vr4をタイミングチャー
トに示すように組合わせることによって、3線駆動のイ
ンターレース走査を行うこともできる。
第5図は、上記実施例に用いられた走査回路の1例の
部分的回路図、第6図は、その動作を説明するための各
部分の電圧波形図である。
本例は単位回路がn段接続された構成であり、各単位
回路から走査パルスφ〜φnが順次出力される。な
お、第5図における各部分の電位は、各部分に付した番
号を用いてV(i)のように表わすものとする。
両図において、第1段の単位回路において、パルスPs
が印加された状態でパルスφv1が立上がると、トランジ
スタM1が導通状態にされ、電位V(4)が上昇する。電
位V(4)はトランジスタM2のゲート電位であるから、
トランジスタM2は電位V(4)に対応したコンダクタン
スを示している。
続いて、パルスφが立下がりパルスφが立上がる
と、トランジスタM2を通して電位V(5)が上昇する。
電位V(5)の上昇は、容量C1を通してトランジスタM2
のゲートにフィードバックされ、ブートストラップ効果
により電位V(4)を上昇させる。電位V(4)の上昇
はトランジスタM2のコンダンクタンスを上昇させるよう
に作用するために、パルスφv2はトランジスタM2によっ
てほとんど電圧降下することなく通過し、トランジスタ
M3を通して電位V(6)を上昇させる。
電位V(6)はトランジスタM6のゲート電位であるか
ら、トランジスタM6のコンダクタンスは電位(6)に対
応して上昇する。
続いて、パルスφが立上がると、トランジスタM6を
通して電位V(7)が上昇する。電位V(7)の上昇に
よって、上述したブートストラップ効果により電位V
(6)が更に上昇する。電位V(6)の上昇はトランジ
スタM6のコンダクタンスを上昇させるように作用するた
めに、パルスφv1はトランジスタM6およびM7を通して電
位V(8)を上昇させる(第6図参照)。したがって、
トランジスタM10はゲート電位V(8)に対応したコン
ダクタンスを示す。
続いて、パルスφv2が立上がると、トランジスタM8が
ONとなって電位V(7)は接地電位にリセットされ、ト
ランジスタM7がOFFとなる。したがって、電位V(8)
の部分は浮遊状態となる。
同時に、パルスφv2が立上がることによって、トラン
ジスタM10を通して電位V(9)が上昇する。この電位
の上昇がブーストラップ効果によって電位V(8)を更
に上昇させる。
このような電位V(8)の変化を走査パルスφとし
て利用すれば、高い電圧の走査パルスを得ることができ
る。
次に、パルスφv1によって電位V(8)がリセットさ
れ、同時に電位V(12)が上昇し、続くパルスφv2によ
って更に電位が上昇する。この電位V(12)を走査パル
スφとして利用する。以下同様に、高い電圧のパルス
φ〜φnがパルスφv2に同期して順次出力される。
なお、第6図において、駆動パルスφv1およびφv2
タイミングを適当に定めれば、走査パルスφ〜φnの
波形を矩形に近づけることができる。
このような高い電圧の走査パルスが得られるために、
本実施例の駆動回路に使用すれば、トランジスタQv1〜Q
v3のON時のコンダクタンスが高くなり駆動電圧Vr1〜Vr3
を電圧降下させることなく水平ラインへ転送することが
できる。
次に、上記第1実施例である固体撮像装置の具体例を
示す。
第7図は、固体撮像装置に使用される光電変換セルの
一例の模式的断面図である。
同図において、n型シリコン基板201上にエピタキシ
ャル成長によりコレクタ領域となるn-層202が形成さ
れ、その中にpベース領域203、更にn+エミッタ領域204
が形成され、バイポーラトランジスタを構成している。
pベース領域203は2次元状に配列され、各水平方向
のセルは垂直方向のセルと素子分離領域によって分離さ
れている。素子分離領域は、図示されていないが、LOCO
S酸化による酸化膜およびその下に形成されたn+領域か
ら成る。
また、水平方向に隣接するpベース領域203の間に
は、酸化膜207を挟んでゲート電極208が形成されてい
る。したがって、隣接するpベース老域203を各々ソー
ス・ドレイン領域としてpチャネルMOSトランジスタが
構成されている。
このMOSトランジスタノーマリオフ型であり、ゲート
電極208の電位が接地電位又は正電位であればOFF状態で
ある。したがって、隣接セル間のpベース領域203は電
気的に分離された状態となる。逆にゲート電極208の電
位がしきい値電圧Vthを超える負電位であると、ON状態
となり、各セルのpベース領域203は相互に導通した状
態となる。
ゲート電極208は水平方向の行ごとに駆動ラインに共
通接続され、さらにpベース領域203の電位を制御する
ためのキャパシタ209も同様に駆動ラインに接続されて
いる。駆動ラインは素子分離領域である酸化膜上を水平
方向に延びている。
さらに透明絶縁層211を形成した後、エミッタ電極212
を形成し、エミッタ電極212は列ごとに垂直ライン213に
接続されている。また、コレクタ電極214が基板201の裏
面にオーミックコンタクト層を挟んで形成されている。
第8図(A)は、上記光電変換セルの等価回路図、第
8図(B)は、その動作を説明するための電圧波形図で
ある。
まず、pベース領域203には、入射光量に対応したキ
ャリア(ここではホール)が蓄積されているとする。ま
た、トランジスタQcの端子には負電圧Vc、コレクタ電極
214には正電圧が各々印加されているとする。
この状態で駆動ライン210に正電圧のパルスφdを期
間Trdだけ印加する。これによって、キャパシタC0xを介
してpベース領域203の電位が上昇し、上述したように
エミッタ電極212に信号が読み出される。
続いて、駆動ライン210に負電圧のパルスφdを期間T
rhだけ印加する。これによってpチャネルMOSトランジ
スタQcはONとなり、ベース電位は電圧Vcにリセットさ
れ、完全リフレッシュが行われる。また、パルスφrを
ハイレベルとしてトランジスタQrをONとし垂直ライン21
3のリセットを行う。
なお、リフレッシュ動作としては、既に述べたよう
に、MOSトランジスタQcをONとした後で、エミッタ電極2
12を接地したままで、正電圧のパルスφdを印加しても
よい。この場合、Vcは負電圧である必要はなく、接地電
圧ないしは正電圧でもかまわない。
以上のリフレッシュ動作が終了すると、蓄積動作が開
始され、以下同様の動作が繰り返される。
第9図は、上記光電変換セルを用いた固体撮像装置の
回路図である。
ここでは、上記光電変換セルがm×n個エリア状に配
列されている。
各水平ラインのセルC11〜C1n、C21〜C2n、・・・にお
いて、MOSトランジスタQcのゲート電極208は駆動ライン
HDL1〜HDLmに各々共通接続されている。
各駆動ラインHDL1〜HDLmは、第1実施例である垂直バ
ッファ回路301に接続され、垂直バッファ回路301には垂
直走査回路101から走査パルスφ〜φmが各々入力す
ると共に、駆動電圧Vr1〜Vr3が入力する。これによっ
て、既に述べたように所望のモードの走査(たとえば第
2図に示す2線駆動インターレース走査)が行われる。
また、各セルのpベース領域203をソース・ドレイン
領域とするMOSトランジスタQcは、水平ラインごとに直
列接続された構成となる。ただし、端となるセルC11〜C
m1にはMOSトランジスタQcを形成するためのp領域が各
々形成され、またセルC1n〜CmnにはMOSトランジスタQx1
〜Qxmが各々直列接続されている。そして、両端には一
定電圧Vcが印加される。
各垂直方向のセルC11〜Cm1、C12〜Cm2、・・・におけ
るエミッタ電極は、垂直ラインVL1〜VLnに各々共通接続
され、各垂直ラインはリセットトランジスタQr1〜Qrnを
介して接地されている。トランジスタQr1〜Qrnのゲート
電極には共通にリセットパルスφnが入力する。
また、垂直ラインVL1〜VLnの各ラインは、トランジス
タQt1およびQt2を介してコンデンサC1およびC2に夫々接
続されている。トランジスタQt1およびQt2のゲート電極
には、各々パルスφt1およびφt2が入力する。
さらにコンデンサC1およびC2は、各々トランジスタQ1
およびQ2を通して信号線303および304に接続されてい
る。トランジスタQ1およびQ2の各ゲート電極には、水平
走査回路302の走査パルスφ11〜φn1がそれぞれ共通に
入力する。
なお、上記撮像装置を駆動するための各種パルスφお
よび電圧V等は、ドライバ305によって供給され、ドラ
イバ305はコントローラ306によって制御されている。
第10図は、上記撮像装置の動作を概略的に説明するた
めのタイミングチャートである。
奇数フィールドF0において、パルスφv1およびφv2
垂直走査回路101に入力することで走査パルスφが立
上がる。この走査パルスφは、上述したようにブート
ストラップ効果を利用することで高い電圧となってい
る。
これによって垂直バッファ回路301は入力Vr1およびVr
2を各々水平ラインHDL1およびHDL2へ出力する。
まず、パルスφv2の立上がりと同時に、パルスφt1
よびφrが立上がり転送用トランジスタQt1およびリセ
ットトランジスタQrをONとし、これにより垂直ラインVL
およびコンデンサC1をクリアする。
続いて、リセットトランジスタQrをOFFにした後、入
力Vr1を正電圧にしてラインHDL1のセルC11〜C1nの読出
し動作を行い、各信号を転送用トランジスタQt1を通し
てコンデンサC1に各々蓄積する。
次に、パルスφt2およびφrの立上がりによって転送
用トランジスタQt2およびリセットトランジスタQrをON
にし、コンデンサC2および垂直ラインVLをクリアする。
続いて、入力Vr2を正電圧にしてラインHDL2のセルC21
〜C2nの読出し動作を行い、各信号を転送用トランジス
タQt2を通してコンデンサC2に蓄積する。
以上の動作を水平ブランキング期間HBLK内に行い、続
いて水平有効期間内でコンデンサC1およびC2に各々蓄積
された第1行および第2行のセンサ信号を走査し出力す
る。
すなわち、水平走査回路302から順次出力する走査パ
ルスφ11〜φn1によって、トランジスタQ1およびQ2が順
次ONとなり、コンデンサC1およびC2に蓄積されている信
号が信号線303および304に読み出され出力される。
これと並行して、パルスφr1が立上がり、トランジス
タQrをONにして垂直ラインVLを接地する。また、入力Vr
1およびVr2は負電圧となって第1行および第2行のセル
をリフレッシュする。すなわち、各セルのMOSトランジ
スタQcがONとなって各ベース電位を一定値にリセットす
る。
続いて、入力Vr1およびVr2は正電圧となり、一定電位
にリセットされたベース領域203のリフレッシュを行
う。すなわち、各セルのエミッタ電極は垂直ラインVLを
通して接地されているために、キャパシタC0xに正電圧
が印加されると、ベース・エミッタ間が順バイアス状態
となり、読出し動作と同様にしてベース領域203に蓄積
されたキャリアが消滅する。
こうしてリフレッシュ動作が終了すると、第1行およ
び第2行のセルは、蓄積動作を開始する。
以下同様に、パルスφv1およびφv2によって、奇数フ
ィールドF0となる第3および第4行、第5行および第6
行・・・の読出しおよびリフレッシュ動作が順次行われ
る。
偶数フィールドFeでは、入力Vr2およびVr3によって、
第2および第3行、第4および第5行・・・の読出しお
よびリフレッシュ動作が同様に順次行われる。
[発明の効果] 以上詳細に説明したように、本発明による撮像装置
は、2行分の信号を読み出すことができると共に、垂直
方向の信号読出しを各々1本の垂直信号線で行うことが
でき、従って、光電変換効率の低下を伴わずに、2行分
の信号を、又、2つのキャパシタの信号を同時に読み出
すことから、奇数フィールド・偶数フィールドの走査を
も簡単な構成で達成できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による駆動回路の第1実施例の概略的
回路図、 第2図は、その動作を説明するためのタイミングチャー
ト、 第3図は、本発明の第2実施例の概略的回路図、 第4図は、その動作を説明するためのタイミングチャー
ト、 第5図は、上記実施例に用いられた走査回路の1例の部
分的回路図、 第6図は、その動作を説明するための各部分の電圧波形
図、 第7図は、固体撮像装置に使用される光電変換セルの一
例の模式的断面図、 第8図(A)は、上記光電変換セルの等価回路図、第8
図(B)は、その動作を説明するための電圧波形図、 第9図は、上記光電変換セルを用いた固体撮像装置の回
路図、 第10図は、上記撮像装置の動作を概略的に説明するため
のタイミングチャート、 第11図は、従来の固体撮像装置における駆動部の概略的
回路図である。 101……垂直走査回路 301……垂直バッファ回路 302……水平走査回路 303、304……信号線 φ〜φn……走査パルス φv1、φv2……駆動パルス C1〜Cn、Cp……ブートストラップ容量 HDL1〜HDLn……水平駆動ライン

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】行及び列状に配列された複数の光電変換セ
    ルと、 所定の列の光電変換セルの信号を読み出すための複数の
    垂直信号線と、 前記各垂直信号線に接続された第1、第2のキャパシタ
    と、 垂直走査回路と該垂直走査回路の各出力に接続された複
    数のスイッチ手段とからなり、前記複数の光電変換セル
    の内の所定の2行の光電変換セルの信号を1水平帰線期
    間中に順次選択するための行選択手段と、 前記行選択手段により順次選択された2行の光電変換セ
    ルの信号をそれぞれ前記垂直信号線を介して前記第1、
    第2のキャパシタに順次蓄積させた後、前記第1、第2
    のキャパシタにそれぞれ蓄積された信号を同時に読み出
    すための読み出し制御手段と、 を有することを特徴とする撮像装置。
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