JP2634161B2 - 空中超音波トランスジユーサの製造方法 - Google Patents

空中超音波トランスジユーサの製造方法

Info

Publication number
JP2634161B2
JP2634161B2 JP61250399A JP25039986A JP2634161B2 JP 2634161 B2 JP2634161 B2 JP 2634161B2 JP 61250399 A JP61250399 A JP 61250399A JP 25039986 A JP25039986 A JP 25039986A JP 2634161 B2 JP2634161 B2 JP 2634161B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin layer
resin
microballoons
layer
acoustic matching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP61250399A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63103994A (ja
Inventor
士朗 牧野
康雄 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP61250399A priority Critical patent/JP2634161B2/ja
Publication of JPS63103994A publication Critical patent/JPS63103994A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2634161B2 publication Critical patent/JP2634161B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は自動車の車高センサ等に使用される空中超音
波トランスジューサの製造方法に関する。
従来の技術 圧電素子の広がり振動モード、或いは厚み縦振動モー
ドによって超音波を発する空中超音波トランスジューサ
としては、第3図に示す如く、圧電素子1の上に中間媒
体として音響整合層2を載置したものが一般的に知られ
ている。図中10はケース、11は端子板、12はリード端
子、13は該端子板11及びリード端子12を破覆する破覆部
である。
上記音響整合層2は、上記圧電素子1と空気との間の
音響インピーダンスを結合させ効率良く超音波を発する
ためのものであって、上記圧電素子1の共振周波数の1/
4波長に相当する厚みtを有してなる。すなわち、圧電
素子1の固有音響インピーダンスρ0C0(ρ0:密度,C0:
縦波伝播速度)は、 ρ0C0=30×106kg/m2・s の値を有する一方、空気の固有音響インピーダンスρaC
a(ρa:密度,Ca:縦波伝播速度)は、 ρaCa=4.2×102kg/m2・s の値を有しており、圧電素子1の固有音響インピーダン
スρ0C0は空気の固有音響インピーダンスρaCaに比べか
なり大きく、上記音響整合層2は、この両者の固有音響
インピーダンスの間を整合すべくその固有音響インピー
ダンスが上記両者の中間値に設定されてなるものであ
る。
そして従来このような音響整合層2は、ガラス等で形
成された比重の軽い中空状の多数のマイクロバルーン
と、エポキシ等の溶融された樹脂とを混合し、硬化させ
ることにより製造されていた。
発明が解決しようとする問題点 ところで、上記空中超音波トランスジューサとして上
記圧電素子1から発生した超音波エネルギを最大に空中
に放射させる条件としての上記音響整合層の固有音響イ
ンピーダンスρLCL(ρL:密度,CL:縦波伝播速度)は、
上記圧電素子1の固有音響インピーダンスρ0C0と空気
の固有音響インピーダンスρaCaの幾何平均値、即ち が好ましいことが知られており、したがって実用上もで
きるだけ上記した数値に近づけることが望ましい。
しかし、上述の如く製造された音響整合層2はマイク
ロバルーンと樹脂との単なる混合物であるため、樹脂の
粘性等の物理的原因によりマイクロバルーンの樹脂への
充填比率が20〜30%のものしか得られず、その固有音響
インピーダンスρLCLも、 ρLCL=2〜5×106kg/m2・s と理論値(1.1×105kg/m2・s)より約20倍も高いとい
う欠点があった。このため従来の音響整合層は実質上音
響インピーダンスを整合する役割を果たし得ず、超音波
の発振効率の低い超音波トランスジューサしか得られな
いという問題点があった。
本発明は従来のこのような問題点に鑑み、音響整合層
の製造方法を改善して理論値に近い音響整合層を製造で
きる新規製造方法を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段 上記目的を達成するために本発明の空中超音波トラン
スジューサの製造方法は、多数のマイクロバルーンと樹
脂とを遠心分離器に供給して、上記マイクロバルーンが
高充填された第1の樹脂層と該第1の樹脂層より比重の
重い第2の樹脂層とに分離し、上記第1の樹脂層を音響
整合層として圧電素子上に載置することを要旨としてい
る。
作用 上記製造方法によれば、多数のマイクロバルーンと樹
脂とを遠心分離器に入れて該遠心分離器を駆動すると、
比重の軽いマイクロバルーンは内周側に集合すると共に
比重の重い樹脂は遠心力により弾き飛ばされ外周側に集
合する。そして所定時間経過後、上記遠心分離器を停止
すると、マイクロバルーンの外周及び間隙に樹脂が付着
してなる第1の樹脂層と樹脂のみからなる第2の樹脂層
とが形成される。この第1の樹脂層はマイクロバルーン
が高充填されているので樹脂密度の低いものとなり、従
って該第1の樹脂層を降下させて音響整合層とし、圧電
素子に載置すると、該音響整合層は固有音響インピーダ
ンスの小さい理論値に近いものであるから、該空中超音
波トランスジューサの送受感度も良好なものとなる。
実 施 例 以下、図示の実施例に基づき本発明を詳説する。第1
図(イ)〜(ハ)は本発明の一実施例としての音響整合
層の製造方法を示す図である。すなわち、同図(イ)に
示す如く、まずウレタン,エポキシ,シリコン等からな
る溶融樹脂4とガラス,樹脂等で形成された多数のマイ
クロバルーン5……とをアクリル,テフロン,金属等で
形成された容器3に混入する。該樹脂4とマイクロバル
ーン5……は予め所定の割合で調合されたものを使用
し、本実施例ではその混合比は従来と同様マイクロバル
ーン5……の充填率が20%のものを使用した。
該樹脂4はその密度ρが約1×103kg/m3の値を有す
る一方、該マイクロバルーン5……は、第2図に示す如
く、粒径Dが10〜200μm,肉厚Tが1〜3μmの中空状
とされ、その密度ρが0.1〜0.4×103kg/m3に保持され
てなる。尚、該マイクロバルーン5……の内部は真空状
としてもよく、低密度のガスを充満させてもよい。
次いで、上記容器3を施蓋して後、適宜な手段でもっ
て該容器3を遠心分離器6に固定する。そして、同図
(ロ)に示す如く、該遠心分離器6を駆動させて容器3
を矢印A方向に回転させると、上記マイクロバルーン5
……と上記樹脂4の比重差によって、マイクロバルーン
5……を主成分とする第1の樹脂層8と樹脂のみからな
る第2の樹脂層9とに分離される。すなわち、比重の軽
いマイクロバルーン5……は内周側に集合すると共に比
重の重い樹脂4は遠心力により弾き飛ばされて外周側に
集合し、上記マイクロバルーン5……を主成分とする第
1の樹脂層8と上記樹脂4のみからなる第2の樹脂層9
とに分離されるのである。次いで所定時間経過して完全
に分離された状態になって後、該遠心分離器6を停止
し、上記容器3を遠心分離器6から取り出すと、同図
(ハ)に示す如く、比重の重い樹脂4のみからなる第2
の樹脂層9が容器3の下部に形成されると共に、該第2
の樹脂層9上にはマイクロバルーン5……の周囲及び間
隙に樹脂4が付着してなる第1の樹脂層8が形成され
る。このようにして形成された上記第1の樹脂層8は比
重の軽いマイクロバルーン5……が高充填され(充填率
70〜80%)、低密度のものとなる。すなわち、上記遠心
分離器6にかけることにより、比重差によって第1の樹
脂層9と第2の樹脂層9に分離され、マイクロバルーン
5……の充填率20%(第1図(イ)の状態)であったも
のからマイクロバルーン5……の充填率が70〜80%と低
密度化された第1の樹脂層8を得ることができる。そし
て該第1の樹脂層8を取り出し、加熱したのち冷却して
硬化させ、該第1の樹脂層8を音響整合層2として圧電
素子1に載置することにより、固有音響インピーダンス
ρLCLの小さい音響整合層2を備えた空中超音波トラン
スジューサが製造される(第3図参照)。
第1表はマイクロバルーンの密度ρを0.2×103kg/m
3,樹脂の密度ρを1×103kg/m3,縦波伝播速度CLを2.5
×103m/sとした場合の音響整合層2の固有音響インピー
ダンスρLCLを従来例と共に示したものである。尚、音
響整合層2の密度ρは次のように表される。
ρ=ρρ1/{(1−X)ρ+Xρ} ここで、 X:マイクロバルーンの重量充填比率(wt%) このように本発明の方法で製造された音響整合層2は
固有音響インピーダンスρLCLがその理論値1.1×105kg/
m2・sに近づく。従って該音響整合層2を備えた空中超
音波トランスジューサは、超音波の発射効率が良くなっ
て送受感度が良好となり、S/N比も改善され、誤動作を
生じる虞が少なくなり、車高センサ等のセンサに好適し
たものとなる。
発明の効果 以上詳述したように本発明の製造方法によれば、多数
のマイクロバルーンと樹脂とを遠心分離器に混入して該
遠心分離器を駆動し、上記マイクロバルーンが高充填さ
れた第1の樹脂層と比重の重い第2の樹脂層とに分離し
たので、該第1の樹脂層は、マイクロバルーンの充填率
が70〜80%と充填率された低密度のものとなる。さらに
このようにして製造された第1の樹脂層を音響整合層と
して圧電素子に載置したので、該音響整合層は固有音響
インピーダンスが小さく理論値(1.1×105kg/m2.s)に
近いものとなる。したがって該音響整合層を具備した該
空中超音波トランスジューサは、超音波を空中に向けて
効率良く発射でき、送受感度が従来に比し良好となり、
S/N比も改善され、誤動作をすることも少なくなる。さ
らに該空中超音波トランスジューサの発する振動モード
も所謂「ピストン振動」に近づき、指向性がシャープに
なるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例としての音響整合層の製造方
法を説明する説明図、第2図はマイクロバルーンの断面
図、第3図は空中超音波トランスジューサの断面図であ
る。 1……圧電素子、2……音響整合層、4……樹脂、5…
…マイクロバルーン、6……遠心分離器、8……第1の
樹脂層、9……第2の樹脂層。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−208200(JP,A) 特開 昭54−12822(JP,A) 特開 昭47−39170(JP,A)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】多数のマイクロバルーンと樹脂とを遠心分
    離器に供給して、上記マイクロバルーンが高充填された
    第1の樹脂層と、この第1の樹脂層より比重の重い第2
    の樹脂層とに分離する工程と、 上記第1の樹脂層を取り出す工程と、 上記第1の樹脂層を加熱したのち冷却して硬化させる工
    程と、 この第1の樹脂層を音響整合層として圧電素子上に載置
    する工程と を有することを特徴とする空中超音波トランジューサの
    製造方法。
JP61250399A 1986-10-20 1986-10-20 空中超音波トランスジユーサの製造方法 Expired - Lifetime JP2634161B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61250399A JP2634161B2 (ja) 1986-10-20 1986-10-20 空中超音波トランスジユーサの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61250399A JP2634161B2 (ja) 1986-10-20 1986-10-20 空中超音波トランスジユーサの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63103994A JPS63103994A (ja) 1988-05-09
JP2634161B2 true JP2634161B2 (ja) 1997-07-23

Family

ID=17207335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61250399A Expired - Lifetime JP2634161B2 (ja) 1986-10-20 1986-10-20 空中超音波トランスジユーサの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2634161B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023112439A1 (ja) * 2021-12-16 2023-06-22 株式会社レゾナック 成形材料、音響整合部材、及び超音波センサ

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5412822A (en) * 1977-06-30 1979-01-30 Pioneer Electronic Corp Acoustic member fiber reinforced plastic and vibrator
JPS60208200A (ja) * 1984-04-02 1985-10-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波送受波器

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63103994A (ja) 1988-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2972068A (en) Uni-directional ultrasonic transducer
JPH07121158B2 (ja) 超音波探触子
JPS5959000A (ja) 凹面型超音波探触子及びその製造方法
US20160310105A1 (en) Ultrasound probe and ultrasound diagnostic device using same
JP2634161B2 (ja) 空中超音波トランスジユーサの製造方法
EP3384849B1 (en) Ultrasound probe with acoustic amplifier
US4381470A (en) Stratified particle absorber
JP4530836B2 (ja) 超音波探触子
EP0190948B1 (en) Ultrasonic probe
JP3954543B2 (ja) 複合圧電体
JPH0378039B2 (ja)
US3114848A (en) High efficiency sonic generator
JPH0865795A (ja) 超音波センサ
JPH0510879B2 (ja)
US3764116A (en) Ultrasonic treatment apparatus
JPS59171295A (ja) 超音波トランスジユ−サ
JP3283035B2 (ja) 超音波探触子
JPS59171296A (ja) 超音波トランスジユ−サ
CN207652695U (zh) 一种高频球冠换能器
JPH06101880B2 (ja) 空中超音波トランスジユ−サの製造方法
CN219464762U (zh) 金属粉末的制备装置
JP3538817B2 (ja) 複数周波数発射可能な水中送受波装置
JPH0237175B2 (ja)
JPS631542B2 (ja)
JPH11113908A (ja) 超音波探触子

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term