JP2630295B2 - マルチ・チップ・モジュール - Google Patents

マルチ・チップ・モジュール

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JP2630295B2
JP2630295B2 JP4022395A JP4022395A JP2630295B2 JP 2630295 B2 JP2630295 B2 JP 2630295B2 JP 4022395 A JP4022395 A JP 4022395A JP 4022395 A JP4022395 A JP 4022395A JP 2630295 B2 JP2630295 B2 JP 2630295B2
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JP
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sub
substrate
board
chip
chip module
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由美 吉田
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NEC Corp
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Nippon Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の半導体チップを
予めサブ基板に実装し、そのサブ基板を更に一つの基板
上に実装した構造のマルチ・チップ・モジュールに関
し、特に、チップ実装済みサブ基板の検査、選別を容易
にするための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】マルチ・チップ・モジュール(以下MC
Mと略す)の組み立て技術としては、従来、特開昭64
−72538号公報に開示されているように、サブ基板
(中間基板)に一旦部品を実装し、検査したものを、M
CM基板への組み立てを行なうことにより、MCM基板
全ての部品を実装してから検査を行なうよりも組み立て
歩留まりをあげるという従来技術が知られている。
【0003】一方、サブ基板を用いると部品の実装面積
が大きくなるという欠点があることから、特開平3−1
01289号公報に開示されているように、サブ基板を
フィルム状のものにすることで、部品を直付けした場合
と実装面積を同じにする技術が開発されている。
【0004】図3は、従来のMCM全体を表す図であ
る。MCM基板50上に、サブ基板20A、20Bが実
装され、それぞれのサブ基板上にはチップ10Aと10
B、10Cと10Dがワイヤー・ボンディング実装され
ている。チップのリード11をサブ基板上のパッド21
に接続することで、配線はサブ基板の内部を通ってサブ
基板のリード22まで通じ、またMCM基板上のパッド
51とサブ基板のリード22とを接続することにより、
MCM基板からチップまでの配線がすべて接続されるこ
とになる。
【0005】図4は、チップ実装前のサブ基板のみの上
面図である。サブ基板20は、表側にチップのリードと
の接点になるパッド21を持ち、側面にはMCM基板と
の接点になるリード22が並んでいる。
【0006】このMCMを組み立てる際は、まずチップ
をサブ基板に実装し、専用装置を用いてサブ基板の検
査、選別を行ない(中間選別)、合格したサブ基板のみ
を基板に実装するという手順が必要である。
【0007】ところで上記の中間選別では、サブ基板が
正常動作するかを確認するため、各端子の状態を確認す
る必要がある。実際の作業としては、サブ基板を専用装
置上に装着し、検査プログラムを実行させ、表示される
結果を装置上で確認する。このとき、サブ基板に実装さ
れているチップのワイヤーボンディングされた部分は微
細なので、市販のピンやクリップでそれぞれの端子に接
続することは実際上不可能である。また、サブ基板のリ
ード部分に接続するには、まずサブ基板を何らかの方法
で固定しておいてから、各端子への接続を行わなければ
ならない。この解決策として、サブ基板実装用のソケッ
トを作成するのが一般的である。しかしその場合、検査
するサブ基板の大きさやピン配置に合わせソケットを個
別に設計、製作する必要がある。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】サブ基板を用いると装
置全体の歩留まり上がるという利点があるが、一方で、
中間選別専用の検査装置を作成しなければならないの
で、選別作業の準備に多大な工数と費用がかかるという
問題点があった。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決するため、サブ基板に、実装用の端子群の他に、テ
スト用の端子群を設け、これらの端子同士を一対ずつ接
続させることを特徴とする。
【0010】
【実施例】次に、本発明の好適な実施例を、図面を用い
て説明する。図1は本発明の第一の実施例によるサブ基
板を側面および裏面から見た図である。サブ基板30上
にチップ10A、10Bが実装されているという構成は
従来と変わらないが、サブ基板30裏面にテスト端子3
1を設けている点が従来と異なる。このテスト端子31
は、表面のチップ実装用パッド(図示せず)を裏面に引
き出したものである。裏面のテスト端子31は、表面の
チップ実装用パッドに対して表裏対称の位置に配置さ
れ、表面のパッドより大きく設定されている。
【0011】このテスト端子31を利用することで、サ
ブ基板30の裏側にピンを圧着させて導通させるだけで
ソケットから配線したときと同様に端子情報を得ること
ができる。従って、例えば市販のピンを検査用基板上に
並べるといった、従来より簡単な検査装置で中間選別を
行うことができ、専用ソケットの設計、製作の必要がな
くなる。従って、中間選別の準備にかかる工数と費用を
大幅に削減することができる。
【0012】次に、本発明の第2の実施例を、図4を用
いて説明する。図2は、本発明の第2の実施例によるサ
ブ基板を裏面からみた底面図である。第1の実施例でサ
ブ基板裏面の中央部に配置していたテスト端子を、テス
ト端子41のように、サブ基板40の周縁部に配置し、
ICテスター用プローブ・カードのピン配置と同じ配置
にしている。これにより、本サブ基板40は、裏面をプ
ローブ・カードに装着することで、ICテスターで中間
選別を行なうことができ、専用装置の準備が不要とな
る。以上のように、サブ基板40のテスト端子41をI
Cテスターと共有することで、検査の準備及び検査にか
かる工数と費用を大幅に削減することができる。
【0013】
【発明の効果】本発明は、マルチ・チップ・モジュール
のサブ基板に、テスト端子を設けることで、テスタビリ
ティを向上させ、その結果検査装置の簡素化、装置作成
のための工数削減、検査工数の削減という効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例によるサブ基板の側面図
および底面図である。
【図2】本発明の第2の実施例によるサブ基板の底面図
である。
【図3】従来の技術によるMCMの一例の斜視図であ
る。
【図4】図3に示すMCMに用いられるサブ基板の平面
図である。
【符号の説明】
10A,10B,10C,10D チップ 11 リード 20,20A,20B サブ基板 21 パッド 22 リード 30,40 サブ基板 31,41 テスト端子 50 MCM基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 25/18

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一方の主面上に予め複数の半導体チップ
    が実装されたサブ基板を、一つの基板に実装して成るマ
    ルチ・チップ・モジュールにおいて、 前記サブ基板の前記主面上に半導体チップ実装用電極を
    設けると共に、前記主面とは反対の面上に、前記主面上
    のチップ実装用電極に一対一対応で電気的に接続するテ
    スト用電極を設けたことを特徴とするマルチ・チップ・
    モジュール。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のマルチ・チップ・モジュ
    ールにおいて、 前記テスト用電極を、前記サブ基板を挟んで、前記チッ
    プ実装用電極と対称になるように配置したことを特徴と
    するマルチ・チップ・モジュール。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のマルチ・チップ・モジュ
    ールにおいて、 前記テスト用電極を、サブ基板の周に沿って配置したこ
    とを特徴とするマルチ・チップ・モジュール。
JP4022395A 1995-02-28 1995-02-28 マルチ・チップ・モジュール Expired - Lifetime JP2630295B2 (ja)

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JPH08236693A JPH08236693A (ja) 1996-09-13
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TW338180B (en) * 1996-03-29 1998-08-11 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor and its manufacturing method
US6764869B2 (en) 2001-09-12 2004-07-20 Formfactor, Inc. Method of assembling and testing an electronics module
JP2005123542A (ja) 2003-10-20 2005-05-12 Genusion:Kk 半導体装置のパッケージ構造およびパッケージ化方法
JP6235423B2 (ja) * 2014-06-30 2017-11-22 東芝メモリ株式会社 半導体装置

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