JP2627279B2 - Magnetoresistive element assembly - Google Patents

Magnetoresistive element assembly

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、主としてファクシミリ,電話機等の電話線
ライン入力電流検出用素子,各種電気回路の電流検出用
素子,あるいは位置検出素子などに使用される強磁性体
薄膜素子による磁気抵抗素子アセンブリーに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention is mainly used for a facsimile, a telephone line input current detecting element such as a telephone, a current detecting element of various electric circuits, or a position detecting element. The present invention relates to a magnetoresistive element assembly using a ferromagnetic thin film element.

〔従来の技術〕 第9図は従来の磁気抵抗素子の外観斜視図であり,第
10図はそのファインパターンの構成図,第11図はその等
価回路図である。11は磁気抵抗素子全体を示し,その構
造は基板71(シリコンあるいはアルミナ基板)の上にフ
ァインパターン部分112が蒸着あるいはスパッターなど
により形成されており,基板71がモールド樹脂21により
モールドされ,外部端子31,32,33,34が出ており,34,32
より出力電圧がとり出されるようになっている。又一方
磁気抵抗素子11の裏側には,バイアス用マグネット81が
接着されている。
[Prior Art] FIG. 9 is an external perspective view of a conventional magnetoresistive element.
FIG. 10 is a configuration diagram of the fine pattern, and FIG. 11 is an equivalent circuit diagram thereof. Reference numeral 11 denotes the entire magnetoresistive element, and its structure is such that a fine pattern portion 112 is formed on a substrate 71 (silicon or alumina substrate) by vapor deposition or sputtering. 31,32,33,34 appear, 34,32
The output voltage is taken out more. On the other hand, a bias magnet 81 is adhered to the back side of the magnetoresistive element 11 .

ファインパターン112の構成は第10図に示すごとく,
折り返しの磁気抵抗素子エレメント102,103が互に接近
されて配置され,その外側に薄膜ヨーク105,106が配置
され,一方エレメント101,104が互にはなされて,しか
も,102,103と段差をつけて配置されている。エレメント
102,103及び101,104は第11図の等価回路に示すごとく,
ブリッジ回路構成での互に対抗する辺の組合せと対応し
ている。
The configuration of the fine pattern 112 is as shown in FIG.
Folded magnetoresistive element elements 102 and 103 are arranged close to each other, and thin-film yokes 105 and 106 are arranged outside thereof. On the other hand, elements 101 and 104 are arranged mutually and are arranged with a step difference from 102 and 103. element
102, 103 and 101, 104 are as shown in the equivalent circuit of FIG.
This corresponds to the combination of opposing sides in the bridge circuit configuration.

第12図に電流検出用としての従来の応用例を示す。9
はヘッド(パーマロイ材)であり,そのエアギャップ部
分はファインパターンのエレメント102,103をはさみ込
むように配置されている。
FIG. 12 shows a conventional application example for current detection. 9
Is a head (permalloy material), and its air gap portion is arranged so as to sandwich the elements 102 and 103 of the fine pattern.

第13図は,,端子間に電流電圧を印加し,,
間の出力電圧V (端子側を+とする。)を測定し
た場合の出力電圧V 対一次電流Iの特性例である。
室温25℃中の特性に着目するとバイアスMG81の磁場がエ
レメント102,103の長て方向と直角に加わり,従ってバ
イアス磁界の効果によって電流の負方向,正方向にまた
がってほぼ直線的な特性が得られる。
 Fig. 13 shows that current and voltage are applied between terminals,
Output voltage V (Terminal side is +).
Output voltage V It is a characteristic example of the primary current I.
Focusing on the characteristics at room temperature of 25 ° C, the magnetic field of the bias MG81 is
The elements 102, 103 join at right angles to the length of the
In the negative and positive directions of the current,
Thus, a substantially linear characteristic is obtained.

ここで検出すべき電流に対応して例えば閾値電圧VA
びVBを設定すると(後段の処理回路にて設定する。)こ
れと対応してマイナス側電流−I1,及びプラス側電流+I
1を検出できる。
Here, when setting the corresponding to the current to be detected, for example, a threshold voltage V A and V B (set at subsequent processing circuit.) At the negative current -I 1 corresponds, and positive current + I
1 can be detected.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

ここで従来の問題点は,第13図にて第1にオフセット
電圧Voff自体がロット内でバラツク事であり第2にオフ
セット電圧Voff自体が温度特性をもつ事で,第13図の例
では0℃,25℃,60℃と温度が上昇するのに対して特性全
体が上側へ移行する傾向が出る。従って,あらかじめ設
定された閾値電圧に対してロット内及び温度変動によっ
て検出電流値が大巾に変動するという問題点がある。
Here, the conventional problem is that the offset voltage V off itself varies within a lot in FIG. 13 and the offset voltage V off itself has temperature characteristics in FIG. In this case, the temperature rises to 0 ° C., 25 ° C., and 60 ° C., but the entire characteristic tends to shift upward. Therefore, there is a problem that the detected current value largely fluctuates due to temperature fluctuations within the lot with respect to a preset threshold voltage.

上記オフセット電圧のバラツキ及び温度変動の原因
は,第10図各エレメント101,102,103,104自体のバラツ
キ及び熱的ひずみの不均一性によるブリッジ回路の抵抗
バランスのくずれが主原因と考えられ,第14図のごとく
温度上昇に対してオフセット電圧が上昇傾向を示すロッ
トあるいは,ロットによっては点線のごとく下降傾向を
示すものである。
The causes of the offset voltage variations and temperature fluctuations are considered to be mainly caused by variations in the elements 101, 102, 103, and 104 themselves and loss of resistance balance of the bridge circuit due to non-uniform thermal distortion. The lot in which the offset voltage shows a rising tendency with respect to the rising, or a lot in which the offset voltage shows a falling trend like a dotted line.

従来,これらオフセット電圧の温度変動の補正方法と
しては第15図に示す如く後段の増幅回路に,NTCサーミス
タ等の素子を追加して後段増幅回路によって補正を行な
う等の方法がとられているが,実際の磁気抵抗素子と増
幅回路とは,例えば1体型のケースに入っていても両者
間には若干の温度差が生じこの影響によって正確なオフ
セット電圧の温特補正が出来ず,又,磁気抵抗素子と増
幅回路とが互に離されて設置される場合には大巾な温度
差の影響が生じ,従って電流値測定の温特による誤差を
完全に補正できないという問題点が生じていた。
Conventionally, as a method of correcting the temperature fluctuation of the offset voltage, a method such as adding an element such as an NTC thermistor to the subsequent amplifier circuit and performing correction by the latter amplifier circuit as shown in FIG. 15 has been adopted. For example, even if the actual magnetoresistive element and the amplifying circuit are in, for example, a one-piece case, a slight temperature difference occurs between them, and due to this effect, accurate offset voltage temperature correction cannot be performed. When the resistance element and the amplifier circuit are installed at a distance from each other, a large temperature difference causes an effect, so that an error due to the temperature characteristic of the current measurement cannot be completely corrected.

〔発明の目的〕[Object of the invention]

本発明の目的は,増幅回路以前のセンサー部分に範囲
にてオフセット電圧の温特補正を行い,しかも従来の方
法よりもより補正の精度を改善できる磁気抵抗素子アセ
ンブリーを提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetoresistive element assembly capable of performing temperature characteristic correction of an offset voltage in a range of a sensor portion before an amplifier circuit and improving the accuracy of the correction more than the conventional method.

〔発明の構成〕[Configuration of the invention]

本発明は強磁性体薄膜素子よりなる磁気抵抗素子エレ
メントと薄膜ヨークとにて構成され樹脂モールドされた
磁気抵抗素子が,厚膜抵抗素子を印刷した外付け基板上
に電気的に接続され,前記磁気抵抗素子のパターン構成
は互にブリッジ接続された4個の磁気抵抗素子エレメン
トが,その一方の対抗する2個のエレメントが互に近接
されていて,その両側には薄膜ヨークが配置され,一方
他の対抗する2個のエレメントは上記薄膜の両側まで離
されていることを特徴とする磁気抵抗素子アセンブリー
である。
According to the present invention, a resin-molded magnetoresistive element composed of a magnetoresistive element composed of a ferromagnetic thin film element and a thin film yoke is electrically connected to an external substrate on which a thick film resistive element is printed. The pattern configuration of the magnetoresistive element is such that four magnetoresistive element elements bridge-connected to each other, one of the two opposing elements are close to each other, and thin-film yokes are arranged on both sides thereof. The other two opposing elements are separated from each other on both sides of the thin film.

また,前記外づけ基板上に印刷された厚膜抵抗素子は
前記磁気抵抗素子のパターン中の少くとも互に離された
磁気抵抗エレメントを並列回路に含むように電気的に配
置されていて外部よりトリーミングに抵抗値を調整する
ことができる。
The thick-film resistance element printed on the external substrate is electrically arranged so that at least mutually separated magneto-resistance elements in the pattern of the magneto-resistance element are included in a parallel circuit, and is externally provided. The resistance value can be adjusted for trimming.

さらに前記厚膜抵抗素子は抵抗値の温度係数が負のNT
Cサーミスタまたは抵抗値の温度係数が正のPTCサーミス
タとすることもできる。
Further, the thick-film resistance element has a negative temperature coefficient of resistance NT.
It is also possible to use a C thermistor or a PTC thermistor having a positive temperature coefficient of resistance.

〔実施例〕〔Example〕

第1図に本発明による磁気抵抗素子アセンブリーの外
観図を示す。磁気抵抗素子はその下側にバイアス用マ
グネット8が接着されて,配線パターンが印刷された基
板5に電気的に接続されている。
FIG. 1 shows an external view of a magnetoresistive element assembly according to the present invention. The magnetoresistive element 1 has a bias magnet 8 adhered to its lower side, and is electrically connected to the substrate 5 on which the wiring pattern is printed.

磁気抵抗素子のファインパターン部分の構成は第10
図と同様であり,互にブリッジ接続された磁気抵抗素子
エレメント101,102,103,104がそれぞれブリッジの辺の
相対抗する組合せ102と103は互近接し,一方他の組合せ
101,104は離されている。ヨーク105,106は磁気抵抗素子
エレメント102,103の両側にあり,印加磁場をエレメン
ト102,103へ効率良く作用させる働きをもつ。
The configuration of the fine pattern portion of the magnetoresistive element 1 is the tenth
As shown in the figure, the magnetoresistive element elements 101, 102, 103, and 104, which are bridge-connected to each other, have opposing combinations 102 and 103 on the sides of the bridge, respectively.
101,104 are separated. The yokes 105 and 106 are located on both sides of the magnetoresistive element elements 102 and 103 and have a function of efficiently applying an applied magnetic field to the elements 102 and 103.

ここで102,103は外部磁界を受ける役目を持ち,一方1
01,104は外部磁界は受けずにブリッジ回路の対抗する固
定抵抗としての作用をもつ。第3図に磁気抵抗素子1の
等価回路を示す。ファインパターンは基板7の上に形成
され,外部端子3へボンディングワイヤー311を介して
電気的に接続されている。端子,は電源入力端子,
端子,が出力端子であり,第3図の等価回路にてR2
とR3が抵抗値が少となる方向に変化した場合,出力電力
(端子を+側とする)が正方向へ変化する傾向
を示す。
 Here, 102 and 103 have the role of receiving an external magnetic field, while 1
01 and 104 are fixed against the bridge circuit without receiving an external magnetic field.
It acts as a constant resistance. FIG. 3 shows the magnetoresistive element 1
An equivalent circuit is shown. Fine pattern is formed on substrate 7
To the external terminal 3 via the bonding wire 311
It is electrically connected. Terminal is the power input terminal,
Is an output terminal, and RTwo
And RThreeChanges in the direction in which the resistance decreases, the output power
V (The terminal is on the + side) tends to change in the positive direction
Is shown.

基板4上には配線パターン及び厚膜抵抗素子5(抵抗
値の初期値R50)が印刷されており第1図の例では磁気
抵抗素子の,端子に厚膜抵抗素子5が並列に挿入
されており,第2図の磁気抵抗素子アセンブリーの等価
回路に示すごとく,磁気抵抗素子のパターン上の固定
抵抗R4に並列に接続されている。
Insertion on the substrate 4 of the magnetic resistance element 1 in the example of FIG. 1 are printed (initial value R 50 of the resistance value) wiring pattern and thick film resistance element 5, the thick-film resistor element 5 is in parallel to the terminal It is, as shown in an equivalent circuit of the magnetoresistive element assembly of FIG. 2, are connected in parallel to a fixed resistor R 4 on the pattern of the magnetoresistive element 1.

基板4には外部への接続端子61,62,63,64がもうけら
れている。
The substrate 4 has connection terminals 61, 62, 63, 64 to the outside.

第4図は,厚膜抵抗素子5を付加した場合の (端子64と63間)の電圧 の変化の傾向を示した図である。FIG. 4 shows the case where the thick film resistance element 5 is added. When (Between terminals 64 and 63) FIG. 5 is a diagram showing a tendency of change of the data.

抵抗比R50/R4が5以下ではR50の変化に対応して急激
にV4′3′が低下しておりオフセット調整用としての
使用目的としては不適当であり,一般にR50/R4が5以上
の範囲にてR50を設定してオフセット電圧を調整するこ
とが望ましい。
The resistance ratio R 50 / R 4 is 5 or less is suitable as the intended use as a rapid offset adjustment have reduced V 4'3 'in response to changes in R 50, generally R 50 / R It is desirable to adjust R 50 by setting R 50 in a range where 4 is 5 or more.

第4図の特性カーブと (R50を接続しない前の電圧)の間隔がV4′3′の変
動幅ΔVであり一方V2′3′(端子61,62間の電圧)
は固定されているので,オフセット電圧Voff4′2′
変動幅ΔVoffは上記の変動ΔVと等しくΔVoff=ΔVの
関係となる。
With the characteristic curve of FIG. Interval (voltage before not connected to R 50) is V 4'3 'fluctuation width of ΔV and is on the other hand V 2'3' (voltage between the terminals 61 and 62)
Is fixed, the variation width ΔV off of the offset voltage V off4′2 ′ is equal to the above-mentioned variation ΔV and has a relationship of ΔV off = ΔV.

第5図は,厚膜抵抗5にオフセット電圧Voff4′2′
をモニターしながらレーザトリミング,あるいはサンド
ブラストによりカット部分51を加えて所定のオフセット
電圧値V0となるまで抵抗値を調整する例を示した。
FIG. 5 shows that the offset voltage V off4′2 ′ is applied to the thick film resistor 5.
Adding cuts 51 by laser trimming or sand blasting, while monitoring an example of adjusting the resistance value until a predetermined offset voltage value V 0.

前記第5図に示した方法により常温中でのオフセット
電圧の規格値への調整が可能となり,従来問題となって
いた磁気抵抗素子自体のオフセット電圧のバラツキの改
善対策となる。
The method shown in FIG. 5 makes it possible to adjust the offset voltage to a standard value at room temperature, which is a measure for improving the offset voltage variation of the magnetoresistive element itself, which has been a problem in the past.

第6図は本発明による他の実施例であり調整用の厚膜
抵抗に負の抵抗温度係数をもつNTCサーミスタ5″(第
6図(b)参考)を用いた場合の例である。
FIG. 6 shows another embodiment according to the present invention, in which an NTC thermistor 5 ″ (see FIG. 6 (b)) having a negative temperature coefficient of resistance is used for the thick film resistor for adjustment.

この場合,もとの磁気抵抗素子1のオフセット電圧が
正の温度係数をもつ場合について,そのオフセット電圧
の温特補正に対して有効である。
In this case, when the original offset voltage of the magnetoresistive element 1 has a positive temperature coefficient, it is effective for temperature characteristic correction of the offset voltage.

第6図(c)に示すごとく,温度係数ほぼ零になる調
整用抵抗5′の場合に比べて,オフセット電圧の温度特
性を平坦におさえる事が可能である。
As shown in FIG. 6 (c), the temperature characteristics of the offset voltage can be kept flat compared to the case of the adjusting resistor 5 'in which the temperature coefficient becomes almost zero.

又,もとの磁気抵抗素子のオフセット電圧が負の温
度係数をもつ場合については,補正抵抗5″としては抵
抗温度傾数が正であるPTCサーミスタの材質をもつ厚膜
抵抗素子とすればよい。
If the offset voltage of the original magnetoresistive element 1 has a negative temperature coefficient, the correction resistor 5 ″ may be a thick-film resistive element made of a PTC thermistor material having a positive resistance temperature gradient. Good.

第7図は,本発明の更に他の実施例であり,第8図に
その等価回路を示す。磁気抵抗素子のエレメント101,
(抵抗値R1)に並列に調整用厚膜抵抗素子5を入れた
ものである。
FIG. 7 shows still another embodiment of the present invention, and FIG. 8 shows an equivalent circuit thereof. The element 101 of the magnetoresistive element 1 ,
(Adjustment thick film resistance element 5) is inserted in parallel with (resistance value R 1 ).

前記第1図の実施例と,ほぼ同一の効果が得られる。
但し,厚膜抵抗5の抵抗値変化の方向とオフセット電
off4″2″の変化の方向とは第1図,第5図,第7図
の場合と丁度逆方向の効果となるが,実用上の使用につ
いては全く問題とならない。
Almost the same effects as in the embodiment of FIG. 1 can be obtained.
However, the direction of the change in the resistance value of the thick film resistor 5 and the direction of the change in the offset voltage off4 "2" have the effects just opposite to those in FIGS. 1, 5, and 7, but in practical use. There is no problem with the use of.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上本発明によれば従来の磁気抵抗素子のオフセット
電圧のバラツキ及び,オフセット電圧の温特を処理増幅
回路の前段にて改善可能となり,検出精度の高い磁気抵
抗素子アセンブリーを提供することができる。
As described above, according to the present invention, it is possible to improve the variation of the offset voltage of the conventional magnetoresistive element and the temperature characteristic of the offset voltage at a stage preceding the processing amplifier circuit, and it is possible to provide a magnetoresistive element assembly with high detection accuracy.

【図面の簡単な説明】 第1図は本発明による1実施例を示す斜視図,第2図は
その等価回路,第3図は磁気抵抗素子単体の等価回路
図,第4図は動作説明図,第5図,第6図,第7図はそ
れぞれ本発明による他の実施例であり,第8図は第7図
の等価回路,第9図は従来の磁気抵抗素子単体の説明
図,第10図はそのファインパターン図,第11図はその等
価回路,第12図は従来の応用例,第13図,第14図は従来
の特性図,第15図は従来の対策例を示す。11……磁気抵抗素子,12112……ファインパター
ン部分,2,21……樹脂モールド,31,32,33,34……端子,31
1……ボンディングクリヤー,4……回路基板,5,5′,5″,
5……膜厚抵抗体,51,52,53,54……抵抗値調整用カッ
ト部分,61,62,63,64……リード端子,8,81……バイアスM
g,7,71……磁気抵抗素子内基板,9……ヘッド。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment according to the present invention, FIG. 2 is an equivalent circuit thereof, FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of a single magnetoresistive element, and FIG. , FIG. 5, FIG. 6, and FIG. 7 are other embodiments according to the present invention. FIG. 8 is an equivalent circuit of FIG. 7, FIG. 10 shows the fine pattern diagram, FIG. 11 shows its equivalent circuit, FIG. 12 shows a conventional application example, FIGS. 13 and 14 show conventional characteristic diagrams, and FIG. 15 shows a conventional countermeasure example. 1 , 11 ... magnetoresistive element, 12 , 112 ... fine pattern part, 2, 21 ... resin mold, 31, 32, 33, 34 ... terminal, 31
1 ... bonding clear, 4 ... circuit board, 5,5 ', 5 ",
5 ... Thickness resistor, 51,52,53,54 ... Cut for resistance value adjustment, 61,62,63,64 ... Lead terminal, 8,81 ... Bias M
g, 7,71 …… the substrate inside the magnetoresistive element, 9 …… the head.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】強磁性体薄膜素子よりなる磁気抵抗素子エ
レメントと薄膜ヨークとにて構成され、さらに樹脂モー
ルドされた磁気抵抗素子が、厚膜抵抗素子を印刷した外
付け基板上にて電気的に接続され、前記磁気抵抗素子の
パターン構成は、互にブリッジ接続された4個の磁気抵
抗素子エレメントが2個づつの対になって配置されてお
り、その一方の対が互いに近接されており、前記一方の
対の両側には薄膜ヨークが配置されており、さらに、他
方の対が前記薄膜ヨークの領域外に離されていることを
特徴とする磁気抵抗素子アセンブリー。
1. A magnetoresistive element comprising a ferromagnetic thin film element and a thin film yoke, and a resin-molded magnetoresistive element is electrically connected to an external substrate on which a thick film resistive element is printed. And the pattern configuration of the magneto-resistive elements is such that four magneto-resistive element elements bridge-connected to each other are arranged in pairs of two, one pair being close to each other. A magnetoresistive element assembly, wherein a thin film yoke is disposed on both sides of the one pair, and the other pair is separated from a region of the thin film yoke.
【請求項2】前記外づけ基板上に印刷された厚膜抵抗素
子は、前記薄膜ヨークの領域外に離されている前記他方
の対のうちの少くとも一方の磁気抵抗素子エレメントに
対して、該磁気抵抗素子エレメントと共に並列抵抗回路
を構成するように電気的に接続されており、前記厚膜抵
抗素子はさらに、外部からのトリーミングにより抵抗値
の調整ができるものである特許請求の範囲第1項記載の
磁気抵抗素子アセンブリー。
2. A thick-film resistive element printed on said external substrate, wherein said thick-film resistive element is at least one of said other pair of magneto-resistive element elements spaced out of said thin-film yoke area. 2. The thick-film resistance element which is electrically connected to form a parallel resistance circuit together with the magneto-resistance element, wherein the resistance of the thick-film resistance element can be further adjusted by external trimming. Item 7. The magnetoresistive element assembly according to Item 1.
【請求項3】前記厚膜抵抗素子は、抵抗値の温度係数が
負のNTCサーミスタ、または抵抗値の温度計数が正のPTC
サーミスタである特許請求の範囲第1項記載の磁気抵抗
素子アセンブリー。
3. The thick-film resistance element is an NTC thermistor having a negative temperature coefficient of resistance or a PTC having a positive temperature coefficient of resistance.
2. The magnetoresistive element assembly according to claim 1, which is a thermistor.
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