JP2625948B2 - Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method - Google Patents

Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method

Info

Publication number
JP2625948B2
JP2625948B2 JP63214039A JP21403988A JP2625948B2 JP 2625948 B2 JP2625948 B2 JP 2625948B2 JP 63214039 A JP63214039 A JP 63214039A JP 21403988 A JP21403988 A JP 21403988A JP 2625948 B2 JP2625948 B2 JP 2625948B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cam
electronic component
nozzle
driving
motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP63214039A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0263199A (en
Inventor
渡 秀瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP63214039A priority Critical patent/JP2625948B2/en
Publication of JPH0263199A publication Critical patent/JPH0263199A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2625948B2 publication Critical patent/JP2625948B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は電子部品実装装置および電子部品実装方法に
係り、電子部品の厚さの変化に対応して、電子部品を吸
着するノズルの昇降ストロークを調整できるようにした
ものである。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an electronic component mounting apparatus and an electronic component mounting method, and relates to a vertical stroke of a nozzle for sucking an electronic component in response to a change in the thickness of the electronic component. Can be adjusted.

(従来の技術) ICやLSIなどの電子部品を基板に実装する電子部品実
装装置は、ノズルの下端部に電子部品を吸着することに
より、ウェハーやトレイなどに置かれた電子部品をテイ
クアップし、また基板に移送搭載するようになってい
る。
(Prior art) Electronic component mounting equipment that mounts electronic components such as ICs and LSIs on a board takes up electronic components placed on wafers and trays by adsorbing electronic components to the lower end of a nozzle. , And are transferred to and mounted on a substrate.

第7図は従来のノズルの昇降手段を示すものであっ
て、101はノズル,102は昇降シャフト,103はシャフト102
を上方に付勢するばね材、104はシャフト102を下方に押
圧する駆動部材、105はモータ(図外)により駆動され
る回転シャフトである。このものは、回転シャフト105
が回転することにより、昇降シャフト102は駆動部材104
に押圧されてばね材103のばね力に抗して下降し、ウェ
ハーやトレイなどに装備された電子部品Pを吸着してテ
イクアップする。また吸着した電子部品Pを基板に搭載
する時も、同様にしてノズル101は昇降する。
FIG. 7 shows a conventional nozzle elevating means, in which 101 is a nozzle, 102 is an elevating shaft, and 103 is a shaft 102.
Is a driving member for pressing the shaft 102 downward, and 105 is a rotating shaft driven by a motor (not shown). This is a rotating shaft 105
Is rotated, the elevating shaft 102 is driven by the driving member 104.
, And descends against the spring force of the spring material 103 to attract and take up the electronic components P mounted on the wafers and trays. Also, when the sucked electronic component P is mounted on the substrate, the nozzle 101 moves up and down in the same manner.

(発明が解決しようとする課題) ところで、電子部品Pの厚さは様々であるが、従来、
ノズル101のストロークSは一定であったため、次のよ
うな問題があった。すなわち、電子部品Pをテイクアッ
プする場合、電子部品Pが厚い場合には、第8図(a)
に示すように、電子部品Pの上面にノズル101の下端部
が強く当って電子部品Pは破壊される。また同図(b)
に示すように、電子部品Pが薄い場合には、ノズル101
は電子部品Pの上面に着地できず、間隔tが生じるた
め、電子部品Pを確実にテイクアップできない。かかる
不都合は、電子部品を基板に着地させる場合も同様に生
じる。
(Problems to be Solved by the Invention) By the way, although the thickness of the electronic component P is various, conventionally,
Since the stroke S of the nozzle 101 was constant, there were the following problems. That is, when the electronic component P is taken up, or when the electronic component P is thick, FIG.
As shown in (1), the lower end of the nozzle 101 strongly hits the upper surface of the electronic component P, and the electronic component P is broken. In addition, FIG.
When the electronic component P is thin as shown in FIG.
Cannot land on the upper surface of the electronic component P and the interval t occurs, so that the electronic component P cannot be taken up reliably. Such inconvenience also occurs when the electronic component lands on the substrate.

かかる問題を解消するための手段として、昇降シャフ
ト102のストロークを電子部品の厚さの変化に対応して
調整するように、シャフト105の回転量をコンピュータ
により制御することが考えられる。しかしながらこのよ
うにすると、以下に述べるような新たな問題を生じる。
すなわち、第9図は上記ノズル101の下降速度Vとスト
ロークSの曲線を示すものであって、下降開始時が最大
下降速度Vmax、下降終了時が最小速度Vminである。した
がってこのものは、電子部品の厚さが薄いときには、長
いストロークS1が得られるように、昇降時間t1を長く
し、また電子部品の厚さが厚い場合には、短いストロー
クS2が得られるように、昇降時間t2を短くしなければな
らない。この場合、図から明らかなように、厚い場合の
最終下降速度V2は、薄い場合の最終下降速度V1よりも速
い。このことは、電子部品の厚さが厚くなればなる程、
ノズル101の下端部は電子部品の上面に速い速度で強く
当り、電子部品が破壊されやすいことを意味している。
更には電子部品の厚さが薄いと、必要なストロークを得
るのに要する時間が長くなり、実装速度が低下すること
を意味する。以上のように、第7図に示す従来手段によ
っては、電子部品の厚さの変化に旨く対応することは困
難である。
As means for solving such a problem, it is conceivable to control the amount of rotation of the shaft 105 by a computer so that the stroke of the elevating shaft 102 is adjusted according to the change in the thickness of the electronic component. However, this causes a new problem as described below.
That is, FIG. 9 shows a curve of the descending speed V and the stroke S of the nozzle 101. The descending start time is the maximum descending speed Vmax, and the descending end is the minimum speed Vmin. Therefore, when the thickness of the electronic component is small, the elevating time t1 is increased so that the long stroke S1 is obtained, and when the thickness of the electronic component is large, the short stroke S2 is obtained. The lifting time t2 must be shortened. In this case, as is clear from the figure, the final descending speed V2 when thick is higher than the final descending speed V1 when thin. This means that the thicker the electronic components, the more
The lower end of the nozzle 101 strongly hits the upper surface of the electronic component at a high speed, which means that the electronic component is easily broken.
Further, when the thickness of the electronic component is thin, the time required to obtain a necessary stroke becomes long, which means that the mounting speed is reduced. As described above, it is difficult for the conventional means shown in FIG. 7 to properly cope with a change in the thickness of the electronic component.

そこで本発明は、電子部品の厚さの変化に対応して、
ノズルの昇降ストロークを簡単に調整できる手段を提供
することを第1の目的とする。また高速にて実装作業が
できるように、ノズルの昇降速度をできるだけ速くする
とともに、しかもノズルが電子部品の上面に着地する時
や、基板に電子部品を着地させる時の下降速度をできる
だけ遅くして、電子部品に与える衝撃を極力緩和するこ
とができる手段を提供することを第2の目的とする。
Therefore, the present invention responds to changes in the thickness of electronic components,
A first object is to provide means for easily adjusting the up / down stroke of the nozzle. In addition, in order to be able to perform mounting work at a high speed, raise and lower the nozzle as fast as possible, and at the same time make the nozzle as low as possible when landing on the upper surface of the electronic component or when landing the electronic component on the board. It is a second object of the present invention to provide means for minimizing the impact on electronic components.

(課題を解決するための手段) 本発明の電子部品実装装置は、電子部品を吸着するノ
ズルを昇降駆動する昇降シャフトと、この昇降シャフト
を昇降駆動する駆動部材と、第1のモータに駆動される
第1のカムと、第2のモータに駆動される第2のカム
と、第1のカムの運動に連動して第2のカムの位置を変
える第1の伝動部材と、第2のカムの運動に連動して上
記昇降シャフトを昇降させるように上記駆動部材を駆動
する第2の伝動部材と、基板に実装される電子部品の厚
さのデータが記憶されて、このデータに基いて上記第2
のモータを制御する制御装置とを備えた。
(Means for Solving the Problems) An electronic component mounting apparatus of the present invention is driven by a lifting shaft that drives a nozzle that sucks an electronic component up and down, a driving member that drives this lifting shaft up and down, and a first motor. A first cam, a second cam driven by a second motor, a first transmission member for changing the position of the second cam in conjunction with the movement of the first cam, and a second cam A second transmission member for driving the driving member so as to move the elevating shaft up and down in conjunction with the movement of the electronic component, and data of the thickness of the electronic component mounted on the substrate are stored. Second
And a control device for controlling the motor.

また本発明は、第1のモータに駆動される第1のカム
および第2のモータに駆動される第2のカムにより電子
部品を真空吸着するノズルを昇降させるようにした電子
部品実装方法であって、上記第1のカムと上記第2のカ
ムを同時に駆動することにより上記ノズルを高速度で下
降させ、ノズルが目標高さに近づいたならば上記第2の
カムの駆動を停止し上記第1のカムの駆動によって上記
ノズルを目標高さまで低速度で下降させ、かつ上記第1
のカムおよびまたは上記第2のカムの駆動量を電子部品
の厚さに応じて制御装置により制御するようにした。
Further, the present invention is an electronic component mounting method in which a first cam driven by a first motor and a second cam driven by a second motor move up and down a nozzle for vacuum suction of an electronic component. By driving the first cam and the second cam at the same time, the nozzle is lowered at a high speed. When the nozzle approaches the target height, the driving of the second cam is stopped and the second cam is stopped. Driving the first cam to lower the nozzle at a low speed to a target height;
The driving amount of the cam and / or the second cam is controlled by the control device according to the thickness of the electronic component.

(作用) 上記構成において、電子部品のテイクアップや基板へ
の着地等のためのノズルの昇降駆動は、第1のカムと第
2のカムの駆動により行われる。この場合、ノズルは、
第1のカムと第2のカムが共に駆動することにより高速
度で下降し、ノズルが目標高さに近づくと一方のカムに
より低速度で下降する。また第1のカムおよびまたは第
2のカムの駆動量を電子部品の厚さに応じて制御装置に
より制御することにより、電子部品の厚さに応じてノズ
ルの昇降ストロークを調整できる。
(Operation) In the above configuration, the up / down driving of the nozzle for take-up of the electronic component and landing on the substrate is performed by driving the first cam and the second cam. In this case, the nozzle
When the first cam and the second cam are driven together, they descend at a high speed, and when the nozzle approaches the target height, it descends at a low speed by one of the cams. In addition, by controlling the driving amount of the first cam and / or the second cam by the control device according to the thickness of the electronic component, the up / down stroke of the nozzle can be adjusted according to the thickness of the electronic component.

(実施例) 次に、図面を参照しながら本発明の実施例の説明を行
う。
(Example) Next, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は電子部品実装装置を示すものであって、この
装置は、サブ移送ヘッドAと、マウントヘッドBと、転
写ヘッドCの3つのヘッドを有している。これらの3つ
のヘッドA,B,Cは基本的に同一構造であるが、サブ移送
ヘッドAとマウントヘッドBは電子部品を吸着するノズ
ル1を装備しているのに対し、転写ヘッドCは、ボンド
を付着する転写ピン2を装備している点において構造上
の差異を有している。なおノズルとしては、箱型の吸着
部を備えたダイコレット式ノズルでもよい。また後に詳
述するように、これらの3つのヘッドA,B,Cは、電子部
品の位置ずれ補正,基板への電子部品の実装,基板への
ボンド塗布等の一連の作業を、横方向に一体的に往復摺
動しながら、同時に行う。
FIG. 1 shows an electronic component mounting apparatus, which has three heads: a sub-transfer head A, a mount head B, and a transfer head C. Although these three heads A, B, and C have basically the same structure, the sub-transfer head A and the mount head B are equipped with a nozzle 1 for sucking electronic components, whereas the transfer head C is There is a structural difference in that a transfer pin 2 for attaching a bond is provided. The nozzle may be a die collet type nozzle having a box-shaped suction unit. As will be described later in detail, these three heads A, B, and C perform a series of operations such as correction of misalignment of electronic components, mounting of electronic components on a substrate, and application of a bond to a substrate in a lateral direction. Perform simultaneously while reciprocating and sliding together.

3は支持部、4はこの支持部3に設けられたガイド部
であり、ヘッドA〜Cの背面に設けられた嵌合部22はこ
のガイド部4に摺動自在に嵌合している。40は支持部3
の側方に設けられた横方向駆動装置であって、41は駆動
ボックス、42は駆動用モータ、43は昇降シャフト、44,4
5はリンク、46は上記ヘッドCに結合されたロッドであ
り、モータ42が駆動すると、3つのヘッドA,B,Cはガイ
ド部4に沿って一体的に横方向に往復摺動する。
Reference numeral 3 denotes a support portion, and 4 denotes a guide portion provided on the support portion 3, and a fitting portion 22 provided on the back surface of the heads A to C is slidably fitted on the guide portion 4. 40 is the support 3
, A lateral drive device provided on the side of, 41 is a drive box, 42 is a drive motor, 43 is a lifting shaft, 44, 4
Reference numeral 5 denotes a link, and reference numeral 46 denotes a rod connected to the head C. When the motor 42 is driven, the three heads A, B, and C reciprocally slide along the guide portion 4 in the horizontal direction.

各ヘッドA,B,Cの下方には、電子部品供給部10、サブ
ステージ11,基板14の位置決め部12、ボンド皿9が置か
れたボンド供給部13が配設されている。基板としては、
通常の基板の他、リードフレームでもよい。電子部品供
給部10には、電子部品Pを装備するウェハー15が置かれ
ている。16はウェハー15の載置テーブル、17はダイエジ
ェクタであり、テーブル16が回転することにより、所望
のウェハー15がダイエジェクタ17の上方に移動する。46
は上記駆動ボックス40から延出する駆動シャフトであ
り、ダイエジェクタ17のピン17aを突没させて、ウェハ
ー15上の電子部品Pを突き上げる。なお供給部10として
は、ウェハーのかわりに、トレイ等を装備するものでも
よい。
Below the heads A, B, and C, an electronic component supply unit 10, a substage 11, a positioning unit 12 for a substrate 14, and a bond supply unit 13 on which a bond plate 9 is placed are arranged. As a substrate,
In addition to a normal substrate, a lead frame may be used. In the electronic component supply unit 10, a wafer 15 equipped with electronic components P is placed. Reference numeral 16 denotes a mounting table for the wafer 15, and 17 denotes a die ejector. When the table 16 rotates, a desired wafer 15 moves above the die ejector 17. 46
Is a drive shaft extending from the drive box 40, which pushes up and down the pins 17a of the die ejector 17 to push up the electronic components P on the wafer 15. Note that the supply unit 10 may be equipped with a tray or the like instead of a wafer.

サブステージ11は、電子部品Pのxyθ方向の位置ずれ
の補正やカメラによる観察などを行うためのステージで
ある。位置決め部12は、XY方向移動装置18,19から成
り、その上部に位置決めされた基板14をXY方向に移動さ
せることにより、基板14の所定位置にノズル1を下降さ
せる。次に、第2図と第3図を併せて参照しながら、マ
ウントヘッドBの詳細な構造を説明する。なお上述のよ
うに、他のヘッドA,CもマウントヘッドBと同様の構造
を有している。
The substage 11 is a stage for correcting a displacement of the electronic component P in the xyθ direction, performing observation with a camera, and the like. The positioning unit 12 is composed of XY direction moving devices 18 and 19, and moves the substrate 14 positioned above it in the XY direction to lower the nozzle 1 to a predetermined position on the substrate 14. Next, the detailed structure of the mount head B will be described with reference to FIGS. 2 and 3. As described above, the other heads A and C have the same structure as the mount head B.

21はマウントヘッドBの主体となるフレームであっ
て、上述したように、その背面には上記ガイド部4に摺
動自在に嵌合する嵌合体22が装着されている。25はスラ
イダ、26は第1のモータM1により駆動される第1のカ
ム、27はカムフォロア、28,29はリンクから成る第1の
伝動部材であり、カム26が回転すると、スライダ25は前
後方向Nに往復摺動する。31,32はスライダ25のガイド
部材である。M2はスライダ25上に設けられた第2のモー
タ、33はこのモータM2に駆動される第2のカム、34はカ
ムフォロア、35はこのカムフォロア34を支持する第2の
伝動部材、30はその支持材である。なおモータM2は、パ
ルスモータであり、コンピュータから成る制御装置50に
より制御される。第2図および第3図において、第1の
モータM1が駆動してスライダ25が矢印N方向へ前進後退
することにより、スライダ25上の第2のカム33は同方向
へ前進後退してその位置を変える。36は上記フレーム21
にピン37に軸支された駆動部材であって、その上部背面
には、上記伝動部材35の下端部に軸着されたロール38が
当接している。39は、駆動部材36の先端部に軸着された
ローラ、51はこのローラ39が接地するプレート、52はこ
のプレート51に垂設された上記ノズル1の昇降シャフ
ト、53は付勢用ばね材、54はガイドシャフトである。
Reference numeral 21 denotes a frame serving as a main body of the mount head B. As described above, a fitting body 22 slidably fitted to the guide portion 4 is mounted on the back surface thereof. 25 is a slider, 26 is a first cam driven by a first motor M1, 27 is a cam follower, 28 and 29 are first transmission members formed of links, and when the cam 26 rotates, the slider 25 moves in the front-rear direction. Reciprocating sliding to N. 31 and 32 are guide members of the slider 25. M2 is a second motor provided on the slider 25; 33 is a second cam driven by the motor M2; 34 is a cam follower; 35 is a second transmission member that supports the cam follower 34; Material. Note that the motor M2 is a pulse motor and is controlled by the control device 50 including a computer. 2 and 3, when the first motor M1 is driven and the slider 25 advances and retreats in the direction of arrow N, the second cam 33 on the slider 25 advances and retreats in the same direction and moves to the position. change. 36 is the above frame 21
A roller 38 pivotally mounted on a lower end of the transmission member 35 is in contact with a driving member which is rotatably supported by a pin 37. Reference numeral 39 denotes a roller pivotally mounted on the distal end of the driving member 36, 51 denotes a plate on which the roller 39 is grounded, 52 denotes an elevating shaft of the nozzle 1 suspended from the plate 51, and 53 denotes a biasing spring material. , 54 are guide shafts.

第4図は第3図の昇降手段を理解しやすいように簡略
に示すものであり、次にこれを参照しながら、ノズル1
の昇降動作を説明する。第1のカム26が回転すると、第
1の伝動部材29とスライダ25は前後方向Nに往復摺動す
る。L1はその摺動ストロークである。また第2のカム33
が回転すると、第2の伝動部材35も前後方向に移動す
る。L2はカム33の回転による摺動ストロークであり、し
たがって伝動部材35は、合算ストロークL1+L2で前後方
向に往復動する。駆動部材36は、伝動部材35に押されて
ピン37を中心に揺動するので、第5図(a)に示すよう
にカム33の大径側がローラ34に当接した状態では、駆動
部材36の揺動量は大きく、したがってノズル1の昇降ス
トロークは大きい。また同図(b)に示すように、カム
33の小径側がローラ34に当接した状態では、ノズル1の
昇降ストロークは小さい。したがってカム33の回転角度
を調整することにより、ノズル1の昇降ストロークを調
整することができる。このように、第1のカム26と第1
の伝動部材28,29は、駆動部材36の第1の駆動装置55を
構成しており、ノズル1はこの駆動装置55に駆動され
て、一定のストロークで昇降する。また第2のカム33や
第2の伝動部材35は、第2の駆動装置56を構成してお
り、しかもこの第2の駆動装置56は、カム33の回転角度
を変えることにより、ノズル1のストロークを調整でき
る昇降ストロークの調整装置となっている。
FIG. 4 schematically shows the lifting / lowering means of FIG. 3 for easy understanding.
Will be described. When the first cam 26 rotates, the first transmission member 29 and the slider 25 slide back and forth in the front-rear direction N. L1 is the sliding stroke. Also, the second cam 33
When rotates, the second transmission member 35 also moves in the front-back direction. L2 is a sliding stroke caused by the rotation of the cam 33, so that the transmission member 35 reciprocates in the front-rear direction with the total stroke L1 + L2. Since the driving member 36 is pushed by the transmission member 35 and swings around the pin 37, the driving member 36 is in a state where the large-diameter side of the cam 33 contacts the roller 34 as shown in FIG. Of the nozzle 1 is large, and therefore, the up / down stroke of the nozzle 1 is large. Also, as shown in FIG.
When the small diameter side of 33 is in contact with the roller 34, the up / down stroke of the nozzle 1 is small. Therefore, by adjusting the rotation angle of the cam 33, the vertical stroke of the nozzle 1 can be adjusted. Thus, the first cam 26 and the first cam 26
The transmission members 28 and 29 constitute a first driving device 55 of the driving member 36, and the nozzle 1 is driven by the driving device 55 to move up and down with a constant stroke. Further, the second cam 33 and the second transmission member 35 constitute a second driving device 56, and the second driving device 56 changes the rotation angle of the cam 33 so that the nozzle 1 It is a device for adjusting the lifting stroke that can adjust the stroke.

第6図は、ノズル1の昇降速度Vと、ストロークSと
時間tの関係を示すグラフであって、t1は第1のカム26
の回転スタート時、t2は第2のカム33の回転スタート
時、t3は同カム33の回転停止時、t4はカム26の回転停止
時である。またS1,S2は各カム26,33による昇降ストロー
クである。この図から明らかなように、まず第1のカム
26が回転を開始してノズル1が下降を始め、次に第2の
カム33が回転を開始する。次にノズル1が目標高さに近
づいたならば、第2のカム33は回転を停止する。そして
ノズル1がさらに下降して目標高さに到達すると、第1
のカム26も回転を停止する。したがって両カム26,33が
共に回転する時間(t2〜t3)は、ノズル1は両カム26,3
3による下降速度の和V1+V2で高速にて下降するが、電
子部品Pに着地する直前(t3〜t4)には、第1のカム26
だけの回転により、ゆっくりと下降する。この場合、合
算ストロークS1+S2は、第5図を参照しながら説明した
ように、カム33の回転速度を調整することにより変更で
きる。したがって基板14に実装される電子部品Pの厚さ
のデータを制御装置50に予め記憶させておき、このデー
タに基づいてパルスモータM2を制御してカム33の回転角
度を調整すれば、最良のストロークでノズル1を昇降さ
せることができる。また、上記時間t3〜t4においては、
下降速度のスロープは緩やかであって、このことは、電
子部品Pを低速でソフトに基板14に着地させることがで
き、またノズル1をウェハー15上の電子部品Pの上面に
ソフトに着地させることができることを意味しており、
また途中の時間t2〜t3の合算速度V1+V2の勾配は急であ
って、このことは、ノズル1は中間速度をアップして高
速で昇降し、実装速度をあげることができることを意味
している。なおノズルの昇降ストロークは、各電子部品
毎にその都度変更することが望ましいが、例えばその基
板に実装される電子部品の厚さの平均値に対応する平均
ストロークが得られるように、第2のカム33の回転角度
を設定してもよい。
FIG. 6 is a graph showing the relationship between the vertical speed V of the nozzle 1, the stroke S, and the time t, where t1 is the first cam 26.
, T2 is when the rotation of the second cam 33 is started, t3 is when the rotation of the cam 33 is stopped, and t4 is when the rotation of the cam 26 is stopped. S1 and S2 are vertical strokes by the respective cams 26 and 33. As is clear from this figure, first the first cam
26 starts rotating and the nozzle 1 starts lowering, and then the second cam 33 starts rotating. Next, when the nozzle 1 approaches the target height, the second cam 33 stops rotating. When the nozzle 1 further descends and reaches the target height, the first
Of the cam 26 also stops rotating. Therefore, during the time (t2 to t3) during which both the cams 26 and 33 rotate together, the nozzle 1 moves the two cams 26 and 3 together.
3 descends at a high speed with the sum of the descending speeds V1 + V2, but immediately before landing on the electronic component P (t3 to t4), the first cam 26
With only rotation, it descends slowly. In this case, the total stroke S1 + S2 can be changed by adjusting the rotation speed of the cam 33 as described with reference to FIG. Therefore, if the data of the thickness of the electronic component P mounted on the board 14 is stored in the control device 50 in advance, and the pulse motor M2 is controlled based on this data to adjust the rotation angle of the cam 33, The nozzle 1 can be moved up and down by a stroke. In addition, in the time t3 to t4,
The slope of the descending speed is gentle, which means that the electronic component P can be softly landed on the substrate 14 at a low speed, and the nozzle 1 can be softly landed on the upper surface of the electronic component P on the wafer 15. Means that you can
Also, the gradient of the sum speed V1 + V2 in the middle time t2 to t3 is steep, which means that the nozzle 1 can move up and down at a high speed by increasing the intermediate speed, thereby increasing the mounting speed. It is desirable to change the up / down stroke of the nozzle each time for each electronic component. For example, the second stroke is set so that an average stroke corresponding to the average value of the thickness of the electronic components mounted on the board is obtained. The rotation angle of the cam 33 may be set.

(発明の効果) 本発明によれば、ノズルの昇降を第1のカムと第2の
カムを用いて行うことにより、電子部品の厚さに応じて
ノズルの昇降ストロークを自由に調整できる。さらには
ノズルが下降するときの中間速度をアップして実装速度
をあげるとともに、ノズルが電子部品の上面に着地する
時や、基板に電子部品を着地させる時の下降速度を遅く
して電子部品に与える衝撃を極力抑え、ランディング時
の衝撃による電子部品の破損を解消できる。
(Effects of the Invention) According to the present invention, the up / down stroke of the nozzle can be freely adjusted according to the thickness of the electronic component by raising / lowering the nozzle using the first cam and the second cam. In addition to increasing the mounting speed by increasing the intermediate speed when the nozzle descends, the lowering speed when the nozzle lands on the upper surface of the electronic component or when the electronic component lands on the board is reduced, The applied impact is suppressed as much as possible, and damage to electronic components due to impact during landing can be eliminated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図は本発明の実施例を示すものであって、第1図は電子
部品実装装置の要部正面図、第2図,第3図は昇降装置
の斜視図及び側面図、第4図は簡略図、第5図は部分平
面図、第6図はグラフ図、第7図及び第8図は従来装置
の側面図、第9図はグラフ図である。 1……ノズル 26……第1のカム 28,29……第1の伝動部材 33……第2のカム 35……第2の伝動部材 36……駆動部材 50……制御装置 52……昇降シャフト M2……モータ P……電子部品
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a front view of a main part of an electronic component mounting apparatus, FIGS. 2 and 3 are perspective views and side views of an elevating apparatus, and FIG. FIG. 5, FIG. 5 is a partial plan view, FIG. 6 is a graph, FIGS. 7 and 8 are side views of the conventional device, and FIG. 9 is a graph. 1 Nozzle 26 First cam 28, 29 First transmission member 33 Second cam 35 Second transmission member 36 Driving member 50 Control device 52 Elevating Shaft M2: Motor P: Electronic components

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】電子部品を吸着するノズルを昇降駆動する
昇降シャフトと、この昇降シャフトを昇降駆動する駆動
部材と、第1のモータに駆動される第1のカムと、第2
のモータに駆動される第2のカムと、第1のカムの運動
に連動して第2のカムの位置を変える第1の伝動部材
と、第2のカムの運動に連動して上記昇降シャフトを昇
降させるように上記駆動部材を駆動する第2の伝動部材
と、基板に実装される電子部品の厚さのデータが記憶さ
れて、このデータに基いて上記第2のモータを制御する
制御装置とを備えたことを特徴とする電子部品実装装
置。
An elevating shaft for elevating and lowering a nozzle for sucking an electronic component, a driving member for elevating and lowering the elevating shaft, a first cam driven by a first motor, and a second cam.
A second cam driven by a first motor, a first transmission member for changing the position of the second cam in conjunction with the movement of the first cam, and the elevating shaft in association with the movement of the second cam A second transmission member for driving the driving member so as to raise and lower, and a control device for storing data of the thickness of the electronic component mounted on the substrate and controlling the second motor based on the data An electronic component mounting apparatus comprising:
【請求項2】第1のモータに駆動される第1のカムおよ
び第2のモータに駆動される第2のカムにより電子部品
を真空吸着するノズルを昇降させるようにした電子部品
実装方法であって、上記第1のカムと上記第2のカムを
同時に駆動することにより上記ノズルを高速度で下降さ
せ、ノズルが目標高さに近づいたならば上記第2のカム
の駆動を停止し上記第1のカムの駆動によって上記ノズ
ルを目標高さまで低速度で下降させ、かつ上記第1のカ
ムおよびまたは上記第2のカムの駆動量を電子部品の厚
さに応じて制御装置により制御するようにしたことを特
徴とする電子部品実装方法。
2. A method of mounting an electronic component, wherein a first cam driven by a first motor and a second cam driven by a second motor raise and lower a nozzle for vacuum-sucking the electronic component. By driving the first cam and the second cam at the same time, the nozzle is lowered at a high speed. When the nozzle approaches the target height, the driving of the second cam is stopped and the second cam is stopped. By driving the first cam, the nozzle is lowered at a low speed to a target height, and the driving amount of the first cam and / or the second cam is controlled by a control device according to the thickness of the electronic component. An electronic component mounting method, characterized in that:
JP63214039A 1988-08-29 1988-08-29 Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method Expired - Fee Related JP2625948B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63214039A JP2625948B2 (en) 1988-08-29 1988-08-29 Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63214039A JP2625948B2 (en) 1988-08-29 1988-08-29 Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0263199A JPH0263199A (en) 1990-03-02
JP2625948B2 true JP2625948B2 (en) 1997-07-02

Family

ID=16649263

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63214039A Expired - Fee Related JP2625948B2 (en) 1988-08-29 1988-08-29 Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2625948B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5878484A (en) * 1992-10-08 1999-03-09 Tdk Corporation Chip-type circuit element mounting apparatus
US6435808B1 (en) 1993-10-06 2002-08-20 Tdk Corporation Chip-type circuit element mounting apparatus
JP2022541862A (en) * 2020-06-30 2022-09-28 東莞宇宙電路板設備有限公司 surface treatment equipment

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6285490A (en) * 1985-10-09 1987-04-18 松下電器産業株式会社 Device for mounting part

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0263199A (en) 1990-03-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100921231B1 (en) Electronic Component Mounting Apparatus and Electronic Component Mounting Method
JP2625948B2 (en) Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method
JPH07214748A (en) Screen printing apparatus
JP2805854B2 (en) Electronic component mounting method
JP4234300B2 (en) Chip transfer device
JP3835932B2 (en) Screen printing apparatus and screen printing method
JP5018749B2 (en) Component mounting apparatus and component mounting method
JP2591097B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP3235012B2 (en) Die transfer device
JP2517162B2 (en) Electronic component mounting device
JP2578934B2 (en) Die bonding equipment
JP2002100896A (en) Parts mounting machine
JP3149796B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP3304076B2 (en) How to mount chip components
JP2578935B2 (en) Die bonding equipment
JPH0897595A (en) Electronic part mounting device
JP3031035B2 (en) Gel pack tray positioning device
JP2578936B2 (en) Electronic component mounting equipment
JP2568649B2 (en) Die bonding equipment
JPH11224882A (en) Push-up device and push-up method for chip
JP3959294B2 (en) Cream solder screen printing equipment
JP2783519B2 (en) Centering equipment for component mounters
JP2001068897A (en) Electronic part mounting device
JP2001057497A (en) Method for mounting electronic component
JP3339500B2 (en) Electronic component mounting method

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees