JP2623322B2

JP2623322B2 - 流体回路ユニット

Info

Publication number: JP2623322B2
Application number: JP63302428A
Authority: JP
Inventors: 隆人福原; 定一薮田; 重章松田; 由紀夫伊藤
Original assignee: 東亜医用電子株式会社
Priority date: 1988-11-30
Filing date: 1988-11-30
Publication date: 1997-06-25
Anticipated expiration: 2012-06-25
Also published as: JPH02147935A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、試料分析装置等に使用される流体回路ユニ
ットに関し、詳しくは、流体回路における弁、シリン
ジ、流路等の構成要素、及びそれらの駆動手段、制御手
段がコンパクトにまとめられた流体回路ユニットに関す
るものである。

〔従来の技術〕試料分析装置等において流体回路を構成しようとする
場合、従来は、弁やシリンジ等の要素を流路となるチュ
ーブを用いて配管することにより、所定の流体回路を実
現するのが通例であった。この場合、弁やシリンジ等を
駆動するための駆動源、弁やシリンジ等を制御するため
の制御装置がそれぞれ別途必要なため、装置全体が大き
くなってしまい高価となっていた。また、流体回路に流
す試料や希釈液等の液量も多く必要であり不経済であっ
た。

そこで、流体回路をコンパクトにすることが考えられ
た。特開昭61-155838号公報には、硬質の板に通路を設
け、軟質シートを弁アクチュエータで硬質板に押しつけ
たり離したりすることにより、近接している通路を不通
にしたり通じさせたりする（弁を開閉する）ことができ
るユニットが示されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

前述の公報に記載されたユニットの場合、流路とその
流路を開閉するための弁が一つにまとめられただけであ
り、シリンジ等はユニットの外部に別に設けられ、外部
で制御する必要がある。さらに、弁を開閉するための弁
アクチュエータも外部の制御装置を用いて制御しなけれ
ばならず、必ずしもコンパクト化が図られたとは言い難
い。

本発明は、弁や流路だけでなくシリンジも含め、さら
に、弁やシリンジの駆動源、制御手段も一つにまとめる
ことにより、コンパクトな流体回路ユニットを提供する
ことを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために、本発明の流体回路ユニ
ットは、図面に示すように、駆動源16と、該駆動源の軸
に接続された回転可能な主軸10と、該主軸を回転可能に
支持する支持具22と、主軸10に取り付けられた複数のカ
ムK₁〜K₁₀と、上記支持具22を貫通し、該カムにそれぞ
れ直接的に又は間接的に当接し該カムの回転にともな
い、該カムの形状に従ってそれぞれ所定の運動を行う複
数のピストンP₁〜P₁₀と、該ピストンがそれぞれ内部を
往復直線移動することができる複数の空洞部A₁〜A₁₀及
び該空洞部に通ずる複数の通路が設けられたシリンダ部
36と、周囲が上記支持具22とシリンダ部36との間に挾ま
れ、中央部が前記複数のピストンP₁〜P₁₀のうちいくつ
かのピストンP₂〜P₆、P₉に連結されたダイヤフラムD₁〜
D₆と、上記シリンダ部36の複数の通路とそれぞれ通じる
ように複数の通路が設けられたマニホールド部38と、を
包含し、前記いくつかのピストンP₂〜P₆、P₉、ダイヤフラムD₁
〜D₆及び該ピストンに対応するシリンダ部の空洞部A₂〜
A₆、A₉によりシリンダ部の該空洞部に通ずる通路をダイ
ヤフラムD₁〜D₆で開閉する弁を構成し、その他のピスト
ンP₁、P₇、P₈、P₁₀とシリンダ部のその他の空洞部A₁、A
₇、A₈、A₁₀とによりシリンダ部のその他の空洞部に通ず
る通路を介して流体の吸引及び排出を行うシリンジを構
成し、前記弁、シリンジ、及び通路により所定の流体回
路を構成することを特徴とする。

本発明ではダイヤフラムを用いているが、ダイヤフラ
ム以外の弁体を用いることも勿論可能である。弁体と
は、通路開口部分に当接したり離れたりすることによ
り、その通路を開閉できるものを意味し、ゴムなどの軟
質弾性部材からなるものが好ましい。また、複数のダイ
ヤフラム（弁体）がシート状シール材に一体的に設けら
れていてもよい。

前記複数のカムのうち第１のカム群K₁〜K₇が、主軸10
に対し正方向又は逆方向には回転でき逆方向又は正方向
には回転できない第１の一方向クラッチ24、26を介して
主軸10に取り付けられ、第２のカム群K₈〜K₁₀が、主軸1
0に対し逆方向又は正方向には回転でき正方向又は逆方
向には回転できない第２の一方向クラッチ28、30を介し
て主軸10に取り付けられて構成されていてもよい。

なお、ピストンがカムに間接的に当接するとは、ピス
トンとカムとの間に部材を介入させることである。ま
た、説明を明瞭にするために、カムおよびピストンがそ
れぞれ10個の場合について、記号を用いて説明したが、
これは一例であって、10個に限定されるものではない。

本発明の流体回路ユニットにおいて、「正方向に回転
する」とは、第１図で主軸10を駆動源16側から見て時計
針方向に回転することを言い、「逆方向に回転する」と
は、第１図で主軸10を駆動源16側から見て反時計針方向
に回転することを言う。

なお、正方向回転を逆方向回転に、逆方向回転を正方
向回転にすることも、勿論可能である。

〔作用〕

駆動源16により主軸10が回転させられると、カムK₁〜
K₁₀が回転する。ピストンP₁〜P₁₀はカムK₁〜K₁₀に直接
的に又は間接的に当接しているので、カムの形状に応じ
て各ピストンは所定の往復直線移動をする（駆動され制
御される）。

ダイヤフラムD₁〜D₆がいくつかのピストンP₂〜P₆、P₉
に取り付けられているので、それらのピストンが移動す
れば、ダイヤフラムが空洞部A₂〜A₆、A₉の壁面である弁
座から離れたり当接したりして、その空洞部に通じてい
る通路を開閉させることができる（弁が構成される）。
また、その他のピストンP₁、P₇、P₈、P₁₀は、空洞部
A₁、A₇、A₈、A₁₀内を気密性が保たれて往復直線移動す
ることにより、液体や気体の吸引、排出が行われる（シ
リンジが構成される）。以上、弁、シリンジ、通路を所
定の状態に組み合せることにより、目的とする所定の流
体回路が構成される。

主軸10に対して正方向には回転できるが逆方向には回
転できない第１の一方向クラッチ24、26、主軸10に対し
て逆方向には回転できるが正方向には回転できない第２
の一方向クラッチ28、30を介して、それぞれ第１のカム
群K₁〜K₇、第２のカム群K₈〜K₁₀が主軸に取り付けられ
ている場合には、駆動源16により主軸10を正方向に回転
させようとすると、相対的に第１及び第２の一方向クラ
ッチは主軸に対し逆方向に回転させられることになる。
ところが、第１の一方向クラッチは主軸に対し逆方向に
は摺動できないので、第１のカム群K₁〜K₇は主軸ととも
に正方向に回転する。第２の一方向クラッチは逆方向に
は摺動できるので、第２のカム群K₈〜K₁₀は回転せず停
止したままとなる。

主軸10を逆方向に回転させようとすると、上記とは逆
の作用により第１のカム群K₁〜K₇は回転せず停止したま
まとなり、第２のカム群K₈〜K₁₀は主軸とともに逆方向
に回転する。

ピストンP₁〜P₁₀はカムK₁〜K₁₀の動きにより、その動
きを規制されているので、駆動源16の回転方向を変える
だけで、２種類の流体回路を別々に駆動、制御すること
ができることになる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明の好適な実施例を詳細に
説明する。ただしこの実施例に記載されている構成機器
の個数、材質、形状、その相対配置などは、とくに特定
的な記載がない限りは、本発明の範囲をそれらのみに限
定する趣旨のものではなく、単なる説明例にすぎない。

第１図は本発明の流体回路ユニットの一実施例の一部
断面側面を示し、第２図は第１図の流体回路ユニットの
流体回路を示し、第３図は第２図の流体回路の各素子の
動作順序を示すシーケンス図を示している。

第１図の流体回路ユニットは、血液を所定倍率に希釈
する機能と、その希釈された血液を用いて白血球数及び
ヘモグロビン量を測定する機能とを有している。

以下、一例として、カムおよびピストンがそれぞれ10
個で、第１のカム群が７個、第２のカム群が３個の場合
について説明する。なお、カムおよびピストンの数は、
勿論、これらの数に限定されるものではなく、適宜変更
される。

第１図に示すように、主軸10がベアリング12、14を介
して支持具22に正逆回転自在に支持されている。モータ
などの駆動源16が取付具18によって、支持具22に取り付
けられている。主軸10は接続用部材20によって、駆動源
16の軸と接続されている。

一方向クラッチ24、26が筒状部材32内側に貫入され、
一方向クラッチ24、26に主軸10が挿入されている。ま
た、一方向クラッチ28、30も筒状部材34内側に貫入さ
れ、一方向クラッチ28、30に主軸10が挿入されている。
第１図を駆動源16側から見た場合、一方向クラッチ24、
26及び筒状部材32は、静止状態にある主軸10に対し、時
計方向（以後、正方向と呼ぶ）には摺動して回転でき、
反時計方向（以後、逆方向と呼ぶ）には摺動しないで回
転できず、一方向クラッチ28、30及び筒状部材34は、静
止状態にある主軸10に対し反時計方向（逆方向）には摺
動して回転でき、時計方向（正方向）には摺動せず回転
できない。上記一方向クラッチ24、26を第１の一方向ク
ラッチと呼び、一方向クラッチ28、30を第２の一方向ク
ラッチと呼ぶ。筒状部材32には複数のカムK₁、K₂、K₃、
K₄、K₅、K₆、K₇が固定して取り付けられている。これら
のカムK₁〜K₇を第１のカム群と呼ぶ。筒状部材34には複
数のカムK₈、K₉、K₁₀が固定して取り付けられている。
これらのカムK₈〜K₁₀を第２のカム群と呼ぶ。

第１の一方向クラッチ24、26と第２の一方向クラッチ
28、30の作用のため、主軸10が駆動源16により正方向に
回転させられると、第１のカム群K₁〜K₇は主軸10ととも
に正方向に回転し、第２のカム群K₈〜K₁₀は停止したま
ま回転しない。逆に主軸10が逆方向に回転すると、第２
のカム群K₈〜K₁₀が主軸10とともに逆方向に回転し、第
１のカム群K₁〜K₇は停止したまま回転しない。

支持具22に設けられた複数の段付き孔に、それぞれス
プリングS₁、S₂、S₃、S₄、S₅、S₆、S₇、S₈、S₉、S₁₀が
配置されて、ピストンP₁、P₂、P₃、P₄、P₅、P₆、P₇、
P₈、P₉、P₁₀がそれぞれの下から挿入される。さらに、
ピストンP₁〜P₁₀のうちピストンP₂、P₃、P₄、P₅、P₆、P
₉の下にそれぞれスプリングS₁₁、S₁₂、S₁₃、S₁₄、S₁₅、
S₁₆が配置され、さらに棒状部材U₁、U₂、U₃、U₄、U₅、U
₆が下から挿入される。スプリングS₁、S₇、S₈、S₁₀の作
用により、ピストンP₁、P₇、P₈、P₁₀は下降しようと
し、スプリングS₂〜S₆、S₉、又はS₁₁〜S₁₆の作用によ
り、棒状部材U₁〜U₆も下降しようとして、カムK₁〜K₁₀
に当接する。よって、ピストンP₁〜P₁₀、棒状部材U₁〜U
₆はカムK₁〜K₁₀の形状に応じて上下に移動することがで
きる。棒状部材U₁〜U₆が移動すれば、スプリングS₁₁〜S
₁₆を介してピストンP₂、P₃、P₄、P₅、P₆、P₉も上下に移
動する。72、74、76、78は、それぞれピストンP₁、P₇、
P₈、P₁₀に取り付けられたベアリングである。

支持具22の上側には、ゴム製のシート状シール材35を
挾んでシリンダ部36が取り付けられ、さらに、シリンダ
部36の上側には、ゴム製のシート状シール材37を挾んで
マニホールド部38が取り付けられている。シリンダ部36
にはピストンP₁〜P₁₀がそれぞれ往復直線移動できる空
洞部A₁、A₂、A₃、A₄、A₅、A₆、A₇、A₈、A₉、A₁₀が設け
られている。また、これらの空洞部A₁〜A₁₀につづい
て、シリンダ部36を貫通した通路T₁、T₂、T₃、T₄、T₅、
T₆、T₇、T₈、T₉、T₁₀が設けられている。シート状シー
ル材35の、ピストンP₁、P₇、P₈、P₁₀が当る部分には孔
が開けられ、ＯリングQ₁、Q₂、Q₃、Q₄が配置される。ピ
ストンP₁、P₇、P₈、P₁₀はそれぞれＯリングQ₁〜Q₄によ
り気密性が保たれた状態で、空洞部A₁、A₇、A₈、A₁₀内
を移動することができる。すなわち、シリンジが構成さ
れる。

シート状シール材35の、ピストンP₂〜P₆、P₉が当る部
分には、ダイヤフラムD₁、D₂、D₃、D₄、D₅、D₆が形成さ
れ、それぞれピストンP₂〜P₆、P₉に接合されている。こ
のため、ピストンP₂〜P₆、P₉が移動することにより、ダ
イヤフラムD₁〜D₆も上下に移動し、空洞部A₂〜A₆、A₉上
部の壁面である弁座にダイヤフラムD₁〜D₆を押しつけた
り離したりして、通路の開閉が行われる。すなわち、弁
が構成される。

孔径100μｍ程度の細孔43を有するペレット42が設け
られた有底筒状の検出器40が、シリンダ部36に取り付け
られている。シリンダ部36、マニホールド部38には空洞
部A₁〜A₁₀、検出器40を所定の組み合せで通じさせるた
めの複数の通路が設けられている。例えば、シリンダ部
36のシート状シール材35側の表面もしくはシート状シー
ル材37側の表面、又はマニホールド部38のシート状シー
ル材37側の表面に溝状の通路を設けることができる。こ
のため、目的とする流体回路の配管設計が容易に行え
る。

本実施例の流体回路ユニットにおいては、シリンダ部
36の上に、さらに、シート状シール材37を挾んでマニホ
ールド部38が取り付けられているので、シリンダ部36の
シート状シール材35側表面だけでなく、シリンダ部36の
シート状シール材37側表面又はマニホールド部38のシー
ト状シール材37側表面にも、通路を設けることができ
る。このため、複雑な流体回路の場合にも、配管設計が
容易に行える。つまり、前述の特開昭61-155838号公報
に記載された従来技術は、電気回路における片面のプリ
ント配線基板に相当し、本実施例の技術は両面又は多層
のプリント配線基板に相当する。すなわち、本実施例の
技術と従来技術との間には質的に大きな違いがある。

以上のようにして本実施例においては、第２図に示す
流体回路が構成される。ピストンP₁、P₇、P₈、P₁₀はそ
れぞれシリンジC₁、C₂、C₃、C₄のピストンとなってお
り、ピストンP₂〜P₆、P₉はそれぞれ弁V₁、V₂、V₃、V₄、
V₅、V₆の可動部となっている。

第４図、第５図は弁V₆の部分拡大図である。第４図は
弁が閉じている状態、第５図は弁が開いている状態を示
している。スプリングS₉は比較的大きな弾性を有し、ス
プリングS₁₆は比較的小さな弾性を有している。第４図
においては棒状部材U₆がカムK₉に押し上げられているの
で、スプリングS₁₆が縮められてその弾性力がスプリン
グS₉の弾性力に勝り、ピストンP₉を上方に移動させてい
る。シート状シール材35のダイヤフラムD₆は、ピストン
P₉に接合されているので、ダイヤフラムD₆はシリンダ部
36の空洞部A₉の上部壁面に形成された弁座39に押圧さ
れ、通路T₉、T₉aは遮断され相通じていない。しかし、
カムK₉が回転し下方に変位すれば、次第にスプリング
S₉、S₁₆は伸長し、第５図に示されるように、ダイヤフ
ラムD₆は弁座39から離されて通路T₉、T₉aは相通じ弁が
開くことになる。他の弁V₁、V₂、V₃、V₄、V₅も同様の構
造である。

第２図の流体回路図に示された絶縁チャンバZ₁、Z₂は
シリンダ部36に設けられた、流体の流れを不連続にする
ための比較的大容量の通路であり、流路を通って外部か
ら侵入する電気的ノイズを遮断する効果を有する。測光
部48は、比色法により試料中のヘモグロビン量を測定す
るためのものである。測光部48を挾んで光源（図示せ
ず）と受光素子（図示せず）が配置される。弁V₃にチュ
ーブ50が接続され、弁V₂と絶縁チャンバZ₁の間に、切換
弁56を介して洗浄液槽58と希釈液槽60とが接続され、シ
リンジC₂に逆流止め弁62を介し廃液槽64が接続され、シ
リンジC₄に逆流止め弁68を介して希釈液槽70が接続さ
れ、シリンジC₃にピペット66が接続されている。

次に流路回路の動作について説明する。まず試料の希
釈について説明する。駆動源16が逆方向に回転すると、
第１のカム群K₁〜K₇は回転せず、第２のカム群K₈〜K₁₀
のみ逆方向に回転する。このとき、カムK₉の半径は変化
しないのでピストンP₉も移動せず、弁V₆は閉じたままと
なっている。シリンジC₄が希釈液槽70から希釈液を一定
量（例えば5ml）吸引し、シリンジC₃がピペット66から
試料である血液を所定量（例えば20μｌ）吸引する。そ
して、第２のカム群K₈〜K₁₀が所定角度（例えば150度）
回転し終ると、駆動源16は停止し、第２のカム群K₈〜K
₁₀も停止する。再び駆動源16が逆方向に回転すると、カ
ムK₉の半径が変化しピストンP₉が移動するので、弁V₆は
開いた状態になる。また、シリンジC₃、C₄は排出動作を
始め、ピペット66から先程の希釈液と血液がともに吐出
される。それをビーカ52で受けることにより、希釈試料
が得られる。駆動源16及び第２のカム群K₈〜K₁₀は元の
位置で停止する。この希釈試料に少量（例えば100μ
ｌ）の溶血剤を滴下して、赤血球を破壊しヘモグロビン
を溶出させる。ただし、白血球は破壊されない。この約
250倍に希釈された白血球及びヘモグロビン測定用の希
釈試料54中に検出器40及びチューブ50が浸される。

次に試料の測定について説明する。駆動源16が正方向
に回転すると、第２のカム群K₈〜K₁₀は回転せず第１の
カム群K₁〜K₇のみ正方向に回転する。この場合のシリン
ジC₁、C₂、弁V₁〜V₅の各動作順序は第３図に示す通りで
ある。なお、第３図において、↓はピストンの下降、す
なわち吸引を示し、↑はピストンの上昇、すなわち排出
を示し、Ｃは弁が閉じた状態を示し、Ｏは弁が開いた状
態を示している。通常、切換弁56は希釈液槽60側と通じ
ている。

まず、弁V₁〜V₅が閉じた状態でシリンジC₁が排出動作
をする。これにより、チューブ46内の液がチューブ46を
通って検出器40内に供給され、ペレット42の細孔43から
押し出されることにより、細孔のつまり除去がなされ
る。

次に、弁V₁、V₅がともに開き、シリンジC₁が排出動
作、シリンジC₂が吸引動作をする。よって、希釈液槽60
からの希釈液が検出器40内部に供給されてシリンジC₂に
吸引されることにより、検出器40内の洗浄がなされる。

次に、弁V₁、V₅が閉じ、シリンジC₁が吸引動作をす
る。よって、希釈試料54がペレット42の細孔43から所定
量吸引され、希釈試料54中の白血球が順々に細孔43を通
過する。このとき、検出器40内部に配置された電極51と
検出器40外部に配置された電極53との間の電気的インピ
ーダンス（例えば電気抵抗）の変化を検出装置55にて検
出し、その信号を計測することにより、白血球の数や大
きさを求めることができる。

一方、弁V₂、V₄も開き、シリンジC₂が吸引動作をす
る。このようにして、比色測定法のブランク液として希
釈液が希釈液槽60から測光部48に充満される。そして、
弁V₂、V₄が閉じられ、そのブランク液の吸光度が測定さ
れる。次に、弁V₃、V₄が開きシリンジC₂が吸引動作をす
る。このため、希釈試料54が測光部48に充満される。そ
して、弁V₃、V₄が閉じられ試料の吸光度が測定される。
次に、再び弁V₂、V₄が開き、シリンジC₂が吸引動作をす
ることにより、測光部48は希釈液により洗い流され洗浄
される。次に、弁V₂、V₄が閉じられ、シリンジC₂が排出
動作をすることにより、廃液が廃液槽64に排出される。
測定された上記ブランク液の吸光度と試料の吸光度とか
ら、演算により試料中のヘモグロビン量が算出される。
ところで、切換弁56洗浄液槽58側に切り換え弁V₁、V₅を
開け、シリンジC₂を吸引動作させると、検出器40内に洗
浄液を充満させることができ、より確実な洗浄が行え
る。

なお、チューブ46とシリンジC₁間の通路45を蛇行させ
て距離をかせぐことにより、シリンジC₁の吸引量より大
きな容量にすることができる。この場合には、試料がシ
リンジC₁内に入ることがないので、内部が汚れず故障を
少なくすることができる。

また、シリンダ部36、マニホールド部38の内部の構造
は、必要に応じて任意に設計することができる。カムの
形状も必要に応じて任意に設定できる。

ところで、白血球やヘモグロビンを測定する場合に
は、前述したように溶血処理を行う必要があるが、赤血
球を測定する場合には、溶血処理を行わず、約250倍の
希釈試料を再度希釈することにより、約62500倍の希釈
試料を作製し、検出器40に供すればよい。

以上説明したように、主軸10に対し一方向にのみ回転
可能な一方向クラッチを用いた場合には、第１のカム群
K₁〜K₇のみを回転させたり、逆に第２のカム群K₈〜K₁₀
のみを回転させたりすることができる。よって、一つの
駆動源16で２つの流体回路を別々に駆動、制御すること
ができ、さらにコンパクトな流体回路ユニットを構成す
ることができる。

〔発明の効果〕

本発明の流体回路ユニットは、弁や流路だけでなく、
シリンジ等流体回路における構成要素及びそれらの駆
動、制御手段等が一つにまとめられているので、装置全
体がコンパクトであり、低コスト化を図ることができ
る。

また、流体回路が小型になるので、使用する希釈液や
洗浄液、試料の液量を少なくすることができ、きわめて
経済的である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の流体回路ユニットの一実施例を示す一
部断面側面図、第２図は第１図の流体回路ユニットにお
ける流体回路の説明図、第３図は第２図の流体回路の各
素子の動作順序を示すシーケンス図、第４図および第５
図は第１図における弁V₆の部分拡大図で、第４図は弁V₆
が閉じている状態を、第５図は弁V₆が開いている状態を
示すものである。 10……主軸、12、14、72、74、76、78……ベアリング、
16……駆動源、18……取付具、20……接続用部材、22…
…支持具、24、26、28、30……一方向クラッチ、32、34
……筒状部材、35、37……シート状シール材、36……シ
リンダ部、38……マニホールド部、39……弁座、40……
検出器、42……ペレット、43……細孔、45……通路、46
……チューブ、48……測光部、50……チューブ、51、53
……電極、52……ビーカ、54……希釈試料、55……検出
装置、56……切換弁、58……洗浄液槽、60、70……希釈
液槽、62、68……逆流止め弁、64……廃液槽、66……ピ
ペット、K₁〜K₁₀……カム、P₁〜P₁₀……ピストン、S₁〜
S₁₆……スプリング、D₁〜D₆……ダイヤフラム、A₁〜A₁₀
……空洞部、T₁〜T₁₀、T₉a……通路、Q₁〜Q₆……Ｏリン
グ、U₁〜U₆……棒状部材、C₁〜C₄……シリンジ、V₁〜V₆
……弁、Z₁、Z₂……絶縁チャンバ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭51−99589（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−178569（ＪＰ，Ａ) 実開昭61−161674（ＪＰ，Ｕ) 特公昭54−2618（ＪＰ，Ｂ２)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】駆動源と、該駆動源の軸に接続された回転
可能な主軸と、該主軸を回転可能に支持する支持具と、
主軸に取り付けられた複数のカムと、上記支持具を貫通
し、該カムにそれぞれ直接的に又は間接的に当接し該カ
ムの回転にともない、該カムの形状に従ってそれぞれ所
定の運動を行う複数のピストンと、該ピストンがそれぞ
れ内部を往復直線移動することができる複数の空洞部及
び該空洞部に通ずる複数の通路が設けられたシリンダ部
と、周囲が上記支持具とシリンダ部との間に挾まれ、中
央部が前記複数のピストンのうちいくつかのピストンに
連結されたダイヤフラムと、上記シリンダ部の複数の通
路とそれぞれ通じるように複数の通路が設けられたマニ
ホールド部と、を包含し、前記いくつかのピストン、ダイヤフラム及び該ピストン
に対応するシリンダ部の空洞部によりシリンダ部の該空
洞部に通ずる通路をダイヤフラムで開閉する弁を構成
し、その他のピストンとシリンダ部のその他の空洞部と
によりシリンダ部のその他の空洞部に通ずる通路を介し
て流体の吸引及び排出を行うシリンジを構成し、前記
弁、シリンジ、及び通路により所定の流体回路を構成す
ることを特徴とする流体回路ユニット。