JP2614632B2 - 負イオン発生装置 - Google Patents
負イオン発生装置Info
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は気体放電を利用した負イオン発生装置に係
り、特に核融合プラズマ追加熱用中性粒子ビーム入射装
置などのように多量の負イオンを必要とする装置に好適
な負イオン発生装置に関する。
り、特に核融合プラズマ追加熱用中性粒子ビーム入射装
置などのように多量の負イオンを必要とする装置に好適
な負イオン発生装置に関する。
この種の気体放電を用いた水素負イオン発生装置とし
ては、「レビユー オブ サイエンテイフイツク イン
ストラメンテーシヨン」57巻 ３号1986年（Rev.Sci.In
strum.,Vol.57,No.3,March 1986）の第321頁から第324
頁に記載されたものがある。この装置は、第１の熱陰極
からの直流放電によつて放出された高速電子を用いて気
体を電離・励起してプラズマを生成し、更に第２の熱陰
極からの直流放電によつて励起状態の粒子に電子を付加
して負イオンを生成するものである。
ては、「レビユー オブ サイエンテイフイツク イン
ストラメンテーシヨン」57巻 ３号1986年（Rev.Sci.In
strum.,Vol.57,No.3,March 1986）の第321頁から第324
頁に記載されたものがある。この装置は、第１の熱陰極
からの直流放電によつて放出された高速電子を用いて気
体を電離・励起してプラズマを生成し、更に第２の熱陰
極からの直流放電によつて励起状態の粒子に電子を付加
して負イオンを生成するものである。
しかしながら、熱陰極放電は高エネルギー電子の放出
効率が悪いので、供給電力に対して負イオン生成効率が
悪く、従つて多量の負イオンを生成するためには熱陰極
への供給電力を大きくしなければならず、熱陰極の発熱
量が多くなるので、該熱陰極周辺の構成部品は耐熱性を
必要として複雑になり、また電子に対して負イオンの生
成率が低いと引出し電極群に流れる電子電流が大きくな
つて大容量の引出し電源が必要となる。更に、熱陰極は
フイラメント交換が必要なことからメンテナンス性が悪
いという問題があつた。
効率が悪いので、供給電力に対して負イオン生成効率が
悪く、従つて多量の負イオンを生成するためには熱陰極
への供給電力を大きくしなければならず、熱陰極の発熱
量が多くなるので、該熱陰極周辺の構成部品は耐熱性を
必要として複雑になり、また電子に対して負イオンの生
成率が低いと引出し電極群に流れる電子電流が大きくな
つて大容量の引出し電源が必要となる。更に、熱陰極は
フイラメント交換が必要なことからメンテナンス性が悪
いという問題があつた。
また、特開昭61−239546号公報には、熱陰極を用いる
ことなく、気体にマイクロ波電力と磁界を作用させて電
子サイクロトロン共鳴によつてプラズマを生成し、この
プラズマから負イオンを抽出する負イオン発生装置が記
載されているが、多量の負イオンを発生するには不向き
であつた。
ことなく、気体にマイクロ波電力と磁界を作用させて電
子サイクロトロン共鳴によつてプラズマを生成し、この
プラズマから負イオンを抽出する負イオン発生装置が記
載されているが、多量の負イオンを発生するには不向き
であつた。
従つて本発明の目的は、負イオン生成効率を高めて低
電力で多量の負イオンを発生することができ、しかもメ
ンテナンス性のよい負イオン発生装置を提供することに
ある。
電力で多量の負イオンを発生することができ、しかもメ
ンテナンス性のよい負イオン発生装置を提供することに
ある。
本発明はこの目的を達成するために、容器内の気体を
電離・励起してプラズマを生成するプラズマ生成手段
と、励起状態の粒子に電子を作用させて負イオンを生成
する熱陰極を有する負イオン生成手段と、容器から負イ
オンを引出す引出し電極群とを備えた負イオン発生装置
において、前記プラズマ生成手段に、前記容器中に電子
サイクロトロン共鳴領域を生成するために、マイクロ波
電力を供給するマイクロ波供給手段と磁界を作用させる
励磁手段を設けたことを特徴とする。
電離・励起してプラズマを生成するプラズマ生成手段
と、励起状態の粒子に電子を作用させて負イオンを生成
する熱陰極を有する負イオン生成手段と、容器から負イ
オンを引出す引出し電極群とを備えた負イオン発生装置
において、前記プラズマ生成手段に、前記容器中に電子
サイクロトロン共鳴領域を生成するために、マイクロ波
電力を供給するマイクロ波供給手段と磁界を作用させる
励磁手段を設けたことを特徴とする。
磁界とマイクロ波電力を用いて電子サイクロトロン共
鳴により気体を電離・励起してプラズマを生成すると、
熱陰極放電に比較して電子温度・密度を高くすることが
できるために、負イオン生成に必要な励起状態の粒子を
効率良く生成することができる。そして熱陰極はこの励
起状態の粒子に付着効率の高いエネルギーの電子を供給
して、電子に対して高い比率で多量の負イオンを効率良
く生成する。
鳴により気体を電離・励起してプラズマを生成すると、
熱陰極放電に比較して電子温度・密度を高くすることが
できるために、負イオン生成に必要な励起状態の粒子を
効率良く生成することができる。そして熱陰極はこの励
起状態の粒子に付着効率の高いエネルギーの電子を供給
して、電子に対して高い比率で多量の負イオンを効率良
く生成する。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
マイクロ波発振器1,ダミーロード2,方向性結合器3,ス
タブチユーナ４および導波管５から成るマイクロ波電力
供給回路は、2,45GHzのマイクロ波電力をマイクロ波透
過窓６を介してプラズマ生成室７に供給する。このプラ
ズマ生成室７を生成する金属の真空容器９の周囲にはこ
のプラズマ生成室７内に電子サイクロトロン共鳴のため
の磁界を生成する永久磁石８が設けられる。プラズマ生
成室７は前記マイクロ波電力供給側からホーン状に拡が
つて形成され、その先は前記真空容器９内に形成された
負イオン生成室14に連通する。この負イオン生成室14と
前記プラズマ生成室７の間には、前記マイクロ波の波長
よりも目の細かいメツシユで構成されたマイクロ波電力
遮へいメツシユ11が配置され、マイクロ波電力がプラズ
マ生成室７から負イオン生成室14に伝播するのを防止し
ている。負イオン生成室14には、前記マイクロ波電力遮
へいメツシユ11の内側に隣接して棒状永久磁石群12を配
置して磁気フイルタを生成する。この棒状永久磁石群12
は、幅方向に着磁された複数の棒状永久磁石を間隙をお
いて並設した（紙面と直角方向に伸びている）もので、
プラズマ生成室７から流入する高速電子を抑制する。そ
して熱電子放出可能なタングステン線などの熱陰極13は
前記棒状永久磁石群12の間隙内に並べて架設される（紙
面と直角方向に伸びている）。この熱陰極13は、前記プ
ラズマ室７から拡散してくる励起状態の粒子と衝突して
これに付着する確立が高く負イオンを生成するのに適し
たエネルギーをもつた熱電子を放出する。このために、
熱陰極13は周囲の空間電位に対するバイアス電圧が与え
られており、しかも電子のエネルギー幅を小さくするた
めに電子放出時の該熱陰極13の両端の電位差が2V程度以
下となるような長さに分割して並設される。
タブチユーナ４および導波管５から成るマイクロ波電力
供給回路は、2,45GHzのマイクロ波電力をマイクロ波透
過窓６を介してプラズマ生成室７に供給する。このプラ
ズマ生成室７を生成する金属の真空容器９の周囲にはこ
のプラズマ生成室７内に電子サイクロトロン共鳴のため
の磁界を生成する永久磁石８が設けられる。プラズマ生
成室７は前記マイクロ波電力供給側からホーン状に拡が
つて形成され、その先は前記真空容器９内に形成された
負イオン生成室14に連通する。この負イオン生成室14と
前記プラズマ生成室７の間には、前記マイクロ波の波長
よりも目の細かいメツシユで構成されたマイクロ波電力
遮へいメツシユ11が配置され、マイクロ波電力がプラズ
マ生成室７から負イオン生成室14に伝播するのを防止し
ている。負イオン生成室14には、前記マイクロ波電力遮
へいメツシユ11の内側に隣接して棒状永久磁石群12を配
置して磁気フイルタを生成する。この棒状永久磁石群12
は、幅方向に着磁された複数の棒状永久磁石を間隙をお
いて並設した（紙面と直角方向に伸びている）もので、
プラズマ生成室７から流入する高速電子を抑制する。そ
して熱電子放出可能なタングステン線などの熱陰極13は
前記棒状永久磁石群12の間隙内に並べて架設される（紙
面と直角方向に伸びている）。この熱陰極13は、前記プ
ラズマ室７から拡散してくる励起状態の粒子と衝突して
これに付着する確立が高く負イオンを生成するのに適し
たエネルギーをもつた熱電子を放出する。このために、
熱陰極13は周囲の空間電位に対するバイアス電圧が与え
られており、しかも電子のエネルギー幅を小さくするた
めに電子放出時の該熱陰極13の両端の電位差が2V程度以
下となるような長さに分割して並設される。
負イオン生成室14を形成する真空容器９の周囲には、
第２図に示すように、永久磁石群10を配置しマルチポー
ル磁界を生成して負イオンを閉じ込める。
第２図に示すように、永久磁石群10を配置しマルチポー
ル磁界を生成して負イオンを閉じ込める。
加速電極，減速電極および接地電極から成るイオン引
出し電極群15はイオン生成室14の端に設けられ、該イオ
ン生成室14内に閉じ込められた負イオンを引出す。
出し電極群15はイオン生成室14の端に設けられ、該イオ
ン生成室14内に閉じ込められた負イオンを引出す。
以上の構成において、プラズマ生成室７に原料となる
気体を供給し更にマイクロ波電力を供給すると、永久磁
石８が作る磁界とと相互作用（電子サイクロトロン共
鳴）で気体が電離・励起されてプラズマが生成される。
マイクロ波は電子に直接作用してこれに連続的にエネル
ギーを注入できるのでプラズマ生成室７内の電子温度・
密度を熱陰極放電に比較して高くでき、負イオン生成に
必要な励起状態の粒子を効率良く生成することができ
る。このプラズマ生成室７からマイクロ波電力遮へいメ
ツシユ11を通して負イオン生成室14内に拡散してくる励
起状態の粒子には、熱陰極13から放出された電子が衝
突，付着して負イオンが効率良く生成される。そしてこ
の負イオンは永久磁石群10で生成したマルチポール磁界
内に閉じ込められ、引出し電極群15によつて引出され
る。
気体を供給し更にマイクロ波電力を供給すると、永久磁
石８が作る磁界とと相互作用（電子サイクロトロン共
鳴）で気体が電離・励起されてプラズマが生成される。
マイクロ波は電子に直接作用してこれに連続的にエネル
ギーを注入できるのでプラズマ生成室７内の電子温度・
密度を熱陰極放電に比較して高くでき、負イオン生成に
必要な励起状態の粒子を効率良く生成することができ
る。このプラズマ生成室７からマイクロ波電力遮へいメ
ツシユ11を通して負イオン生成室14内に拡散してくる励
起状態の粒子には、熱陰極13から放出された電子が衝
突，付着して負イオンが効率良く生成される。そしてこ
の負イオンは永久磁石群10で生成したマルチポール磁界
内に閉じ込められ、引出し電極群15によつて引出され
る。
このようにして負イオン生成室14で生成される負イオ
ンの生成効率向上を第３図および第４図を参照して説明
する。
ンの生成効率向上を第３図および第４図を参照して説明
する。
第３図は負イオン発生効率測定のための装置を示して
おり、負イオン生成室14から引出し電極群15によつて引
出される粒子がもつ負電荷による引出し電流はI-で示さ
れる。この引出し電流I-は、フアラデーカツプ入口に加
えられた偏向電界Ｂによつて電子電流Ieと負イオン電流
IH -に分離して測定される。前記偏向磁界の強度は0.06T
である。
おり、負イオン生成室14から引出し電極群15によつて引
出される粒子がもつ負電荷による引出し電流はI-で示さ
れる。この引出し電流I-は、フアラデーカツプ入口に加
えられた偏向電界Ｂによつて電子電流Ieと負イオン電流
IH -に分離して測定される。前記偏向磁界の強度は0.06T
である。
プラズマ生成室７に0.5Paの圧力の水素ガスと400Wの
マイクロ波電力を供給して水素ガスをプラズマ化し、熱
電極13に40Vのアーク電圧を与えて0.5Aのアーク電流を
発生させたとき、8mmの直径の引出し穴（単孔）から引
出される引出し電流I-,電子電流Ie,負イオン電流IH -が
第４図に示されている。
マイクロ波電力を供給して水素ガスをプラズマ化し、熱
電極13に40Vのアーク電圧を与えて0.5Aのアーク電流を
発生させたとき、8mmの直径の引出し穴（単孔）から引
出される引出し電流I-,電子電流Ie,負イオン電流IH -が
第４図に示されている。
加速電圧（Vacc）を5kVとしたときの負イオン電流IH -
は5mAであり、電流密度は10mA/cm2となる。この負イオ
ン電流密度は、熱陰極放電のみの負イオン発生装置で得
られるものと同レベルのものであるが、電子電流Ieに対
する比率は20％もあり、従来装置の10％に比較して効率
良く負イオンが生成されていることがわかる。
は5mAであり、電流密度は10mA/cm2となる。この負イオ
ン電流密度は、熱陰極放電のみの負イオン発生装置で得
られるものと同レベルのものであるが、電子電流Ieに対
する比率は20％もあり、従来装置の10％に比較して効率
良く負イオンが生成されていることがわかる。
第５図は本発明になる他の負イオン発生装置を示して
いる。この負イオン発生装置は、プラズマ生成室７に電
子サイクロトロン共鳴用の磁界を生成するために真空容
器９の周囲に配置する励磁手段を２つの電磁コイル16a,
16bで構成したもので、これらの電磁コイル16a,16bは熱
陰極13が架設された位置に径方向の磁力線を発生して磁
気フイルタが生成されるように位置決めされる。
いる。この負イオン発生装置は、プラズマ生成室７に電
子サイクロトロン共鳴用の磁界を生成するために真空容
器９の周囲に配置する励磁手段を２つの電磁コイル16a,
16bで構成したもので、これらの電磁コイル16a,16bは熱
陰極13が架設された位置に径方向の磁力線を発生して磁
気フイルタが生成されるように位置決めされる。
この装置は、電磁コイル16a,16bに流す電流を変化さ
せることによつて電子サイクロトロン共鳴のための磁界
の領域を変えることができ、マイクロ波のチユーニング
を取ることができる。
せることによつて電子サイクロトロン共鳴のための磁界
の領域を変えることができ、マイクロ波のチユーニング
を取ることができる。
第６図は本発明になる更に他の負イオン発生装置を示
している。この負イオン発生装置は負イオン源の大口径
化（負イオン生成量増加）に対応するもので、１つの負
イオン生成室14に対してこれに連通した２つのプラズマ
生成室7a,7bを備え、各プラズマ生成室7a,7b毎にマイク
ロ波透過窓6a,6bを介してマイクロ波電力供給回路が接
続され、更に電子サイクロトロン共鳴用磁界生成のため
の永久磁石8a,8bが設けられ、励起状態の粒子を多量に
生成するようにしている。磁気フイルタを生成する棒状
永久磁石群と電子を放出する熱陰極は参照符号12a,12b
および13a,13bで示すように２分して前記プラズマ生成
室7a,7bに対向して配置される。負イオン生成室14は生
成された負イオンが拡散して一様な分布となるように前
記熱陰極13a,13bから引出し電極群15までの寸法が設定
される。
している。この負イオン発生装置は負イオン源の大口径
化（負イオン生成量増加）に対応するもので、１つの負
イオン生成室14に対してこれに連通した２つのプラズマ
生成室7a,7bを備え、各プラズマ生成室7a,7b毎にマイク
ロ波透過窓6a,6bを介してマイクロ波電力供給回路が接
続され、更に電子サイクロトロン共鳴用磁界生成のため
の永久磁石8a,8bが設けられ、励起状態の粒子を多量に
生成するようにしている。磁気フイルタを生成する棒状
永久磁石群と電子を放出する熱陰極は参照符号12a,12b
および13a,13bで示すように２分して前記プラズマ生成
室7a,7bに対向して配置される。負イオン生成室14は生
成された負イオンが拡散して一様な分布となるように前
記熱陰極13a,13bから引出し電極群15までの寸法が設定
される。
なお、電子サイクロトロン共鳴用磁石は、前述の装置
と同様に、電磁コイルによつて生成するようにすること
もでき、また、プラズマ生成室の数は必要に応じて更に
増加することもできる。
と同様に、電磁コイルによつて生成するようにすること
もでき、また、プラズマ生成室の数は必要に応じて更に
増加することもできる。
第７図は、前述の大口径負イオン源に対応するための
負イオン発生装置を改良して、負イオン生成断面積を大
きくした負イオン発生装置である。この装置は、２つの
プラズマ生成室7a,7bと負イオン生成室14の間にマイク
ロ波電力遮へいメツシユ11a,11bが設けられ、磁気フイ
ルタを生成する棒状永久磁石群12と電子を放出する熱陰
極13は後退して負イオン生成室14の中央に全面に渡つて
広く設けられている。
負イオン発生装置を改良して、負イオン生成断面積を大
きくした負イオン発生装置である。この装置は、２つの
プラズマ生成室7a,7bと負イオン生成室14の間にマイク
ロ波電力遮へいメツシユ11a,11bが設けられ、磁気フイ
ルタを生成する棒状永久磁石群12と電子を放出する熱陰
極13は後退して負イオン生成室14の中央に全面に渡つて
広く設けられている。
このために２つのプラズマ生成室7a,7bで生成された
励起状態の粒子は負イオン生成室14の前半の領域で拡散
され、広い面積で電子が供給されるので、より多くの負
イオンを生成することができる。
励起状態の粒子は負イオン生成室14の前半の領域で拡散
され、広い面積で電子が供給されるので、より多くの負
イオンを生成することができる。
マイクロ波電力遮へいメツシユ11は磁気フイルタに隣
接した位置まで後退しても同様の効果を得ることがで
き、また、永久磁石8a,8bは電磁コイルに置換すること
もでき、更に、プラズマ生成室の数を増すこともでき
る。
接した位置まで後退しても同様の効果を得ることがで
き、また、永久磁石8a,8bは電磁コイルに置換すること
もでき、更に、プラズマ生成室の数を増すこともでき
る。
以上のように本発明は、磁界とマイクロ波電力を用い
て電子サイクロトロン共鳴により気体を電離・励起して
プラズマを生成して負イオン生成のために必要な励起状
態の粒子を効率良く得、この粒子に熱陰極から放出した
電子を付着させるようにしているので、電子に対して高
い比率で多重の負イオンを生成することができる。従つ
て、比較的小さい引出し電流で多量の負イオンを引出す
ことができる。また、励起状態の粒子は磁界とマイクロ
波電流によつて生成しているのでメンテナンス性が向上
する。
て電子サイクロトロン共鳴により気体を電離・励起して
プラズマを生成して負イオン生成のために必要な励起状
態の粒子を効率良く得、この粒子に熱陰極から放出した
電子を付着させるようにしているので、電子に対して高
い比率で多重の負イオンを生成することができる。従つ
て、比較的小さい引出し電流で多量の負イオンを引出す
ことができる。また、励起状態の粒子は磁界とマイクロ
波電流によつて生成しているのでメンテナンス性が向上
する。
図面は本発明の実施例を示すもので、第１図は負イオン
発生装置の縦断側面図、第２図は第１図のII−II断面
図、第３図は負イオン発生効率測定装置の縦断側面図、
第４図は特性図、第５図〜第７図は他の負イオン発生装
置の要部縦断側面図である。 １……マイクロ波発振器、６……マイクロ波透過窓、７
……プラズマ生成室、８……永久磁石、９……真空容
器、10……永久磁石群、11……マイクロ波電力遮へいメ
ツシユ、12……棒状永久磁石群、13……熱陰極、14……
負イオン生成室、15……引出し電極群。
発生装置の縦断側面図、第２図は第１図のII−II断面
図、第３図は負イオン発生効率測定装置の縦断側面図、
第４図は特性図、第５図〜第７図は他の負イオン発生装
置の要部縦断側面図である。 １……マイクロ波発振器、６……マイクロ波透過窓、７
……プラズマ生成室、８……永久磁石、９……真空容
器、10……永久磁石群、11……マイクロ波電力遮へいメ
ツシユ、12……棒状永久磁石群、13……熱陰極、14……
負イオン生成室、15……引出し電極群。
Claims (12)
- 【請求項１】容器と、この容器中の気体を電離・励起し
てプラズマを生成するプラズマ生成手段と、容器中の励
起状態の粒子に電子を作用させて負イオンを生成する熱
陰極を有する負イオン生成手段と、容器中から負イオン
を引出す引出し電極群とを備えた負イオン発生装置にお
いて、前記プラズマ生成手段は、前記容器中に電子サイ
クロトロン共鳴領域を生成するために、マイクロ波電力
を供給するマイクロ波供給手段と磁界を作用させる励磁
手段を備えたことを特徴とする負イオン発生装置。 - 【請求項２】特許請求の範囲第１項において、前記容器
はプラズマ生成領域と負イオン生成領域の間をマイクロ
波電力遮へいメツシユで仕切つたことを特徴とする負イ
オン発生装置。 - 【請求項３】特許請求の範囲第１項または第２項におい
て、前記負イオン生成手段は負イオン生成領域の周囲に
は該領域内に負イオンを閉じ込めるためのマルチポール
磁界を生成する永久磁石群を備えたことを特徴とする負
イオン発生装置。 - 【請求項４】特許請求の範囲第１項または第２項または
第３項において、前記負イオン生成手段は、プラズマ生
成領域から流入する高速電子を抑制する磁気フイルタを
生成する棒状永久磁石群を備えたことを特徴とする負イ
オン発生装置。 - 【請求項５】特許請求の範囲第４項において、前記熱陰
極は前記棒状永久磁石群に隣接して設けられたことを特
徴とする負イオン発生装置。 - 【請求項６】特許請求の範囲第４項において、前記棒状
永久磁石群は間隙をおいて並設された複数の棒状永久磁
石から成り、前記熱陰極は前記間隙内に並設されたこと
を特徴とする負イオン発生装置。 - 【請求項７】容器内の気体を電離・励起してプラズマを
生成するプラズマ生成手段と、励起状態の粒子に電子を
作用させて負イオンを生成する熱陰極を有する負イオン
生成手段と、容器から負イオンを引出す引出し電極群と
を備えた負イオン発生装置において、前記プラズマ生成
手段は、複数のプラズマ生成室と前記複数のプラズマ生
成室にマイクロ波電力を供給するマイクロ波電力供給手
段と前記複数のプラズマ生成室の周囲に配置された励磁
手段とを備え、前記負イオン生成手段は、前記複数のプ
ラズマ生成室に連通し前記熱陰極が配置された１つの負
イオン生成室を備えたことを特徴とする負イオン発生装
置。 - 【請求項８】特許請求の範囲第７項において、前記プラ
ズマ生成室と負イオン生成室の間にマイクロ波電力遮へ
いメツシユを設けたことを特徴とする負イオン発生装
置。 - 【請求項９】特許請求の範囲第７項または第８項におい
て、前記負イオン生成手段は、負イオン生成室の周囲に
該室内に負イオンを閉じ込めるためのマルチポール磁界
を生成する永久磁石群を備えたことを特徴とする負イオ
ン発生装置。 - 【請求項１０】特許請求の範囲第７項または第８項また
は第９項において、前記負イオン生成手段は前記プラズ
マ生成手段から流入する高速電子を抑制する磁気フイル
タを生成する棒状永久磁石群を備えたことを特徴とする
負イオン発生装置。 - 【請求項１１】特許請求の範囲第10項において、前記熱
陰極は前記棒状永久磁石群に隣接して設けられたことを
特徴とする負イオン発生装置。 - 【請求項１２】特許請求の範囲第10項において、前記棒
状永久磁石群は間隙をおいて並設された複数の棒状永久
磁石から成り、前記熱陰極は前記間隙内に並設されたこ
とを特徴とする負イオン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63047383A JP2614632B2 (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | 負イオン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63047383A JP2614632B2 (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | 負イオン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01225042A JPH01225042A (ja) | 1989-09-07 |
| JP2614632B2 true JP2614632B2 (ja) | 1997-05-28 |
Family
ID=12773579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63047383A Expired - Lifetime JP2614632B2 (ja) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | 負イオン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2614632B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03254047A (ja) * | 1990-03-02 | 1991-11-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | マイクロ波イオン銃 |
| JP3042450B2 (ja) * | 1997-06-24 | 2000-05-15 | 日本電気株式会社 | プラズマ処理方法 |
| JP2023119144A (ja) * | 2022-02-16 | 2023-08-28 | 国立研究開発法人日本原子力研究開発機構 | 負イオン源及び負イオン生成方法 |
-
1988
- 1988-03-02 JP JP63047383A patent/JP2614632B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01225042A (ja) | 1989-09-07 |
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