JP2614413B2 - 集積回路 - Google Patents

集積回路

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JP2614413B2
JP2614413B2 JP6086982A JP8698294A JP2614413B2 JP 2614413 B2 JP2614413 B2 JP 2614413B2 JP 6086982 A JP6086982 A JP 6086982A JP 8698294 A JP8698294 A JP 8698294A JP 2614413 B2 JP2614413 B2 JP 2614413B2
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    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/04Detection or location of defective memory elements, e.g. cell constructio details, timing of test signals
    • G11C29/08Functional testing, e.g. testing during refresh, power-on self testing [POST] or distributed testing
    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/14Implementation of control logic, e.g. test mode decoders

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、論理及びメモリ故障を
検出するための組込み自己テスト能力を備え、半導体チ
ップ内に製造される、独立型SRAM又は埋込みSRA
Mマクロを備えた論理アレイ等のメモリタイプの集積回
路に関する。本発明は、特に、新たなプロセッサ方式の
アレイ組込み自己テスト(ABIST)回路に関する。
メモリがより速く、より複雑で且つより高密度になるに
つれて、高速かつ広いテスト範囲を提供すると共に、半
導体チップ上で最小限の領域を使用するようなABIS
T構造体への需要が高まる。
【0002】
【従来の技術】説明のため、図1はABISTユニット
11を備えた現行のSRAMマクロ10のアーキテクチ
ャを示している。同様のアーキテクチャは、米国特許第
5173906号明細書に記載されている。図1に示さ
れる機能ユニットは、独立型SRAMの一部、又は集積
回路チップの論理アレイのSRAMマクロを形成する。
後者の場合、チップは、各々が専用のABISTユニッ
トを備える複数のSRAMマクロを含むことが可能であ
る。この集積回路チップは、超大規模集積回路(VLS
I)半導体技術で製造されるウェハの一部であり、レベ
ルセンシティブスキャン設計(LSSD)規則に従って
設計される。
【0003】当業者に公知のように、図1のSRAMマ
クロ10は3つの基本動作モードを有する。第1モード
は、SRAMマクロ10が通常の動作を行うシステムモ
ードである。即ち、メモリユニット12が、Mビットの
データイン信号DATAIN1〜DATAINM、Pビ
ットのSRAMアドレス信号ADDIN1〜ADDIN
P、及び読み取り/ 書き込み制御信号R/WINを用い
て、読み取り又は書き込みされる。第2モードは、LS
SD構造のために必要とされる。即ち、図1のSRAM
マクロアーキテクチャにおいてLSSDチェーンを形成
するラッチ対の全てのデータを初期化/解析(スキャン
イン/スキャンアウト)するために用いられるスキャン
モードである。最後に、第3モードはメモリユニット1
2の機能性がテストされるABISTモードである。こ
れは、チップが市場に出る前に、製造環境で最初に行わ
れる自己テストである。チップがシステムに組み込まれ
てしまうと、例えば出荷先、従ってシステム環境下で僅
かに異なったより緩やかな自己テストが行われる。結果
として、ABISTモードは、以下にABIST製造サ
ブモード及びABISTシステムサブモードと称される
異なった環境で使用される。
【0004】ABISTモードでは、自己テスト技術の
原理に従って、ABISTユニット11が複数のテスト
パターンシーケンスを生成する。各テストパターンは、
所定の1及び0の組合せからなり、先ずメモリユニット
12へ書き込まれ、読み出されて、期待パターンと比較
される。このようなテストパターンシーケンスは、テス
ト中のメモリユニット12が適切に機能しているかどう
かを確認する、即ち、読み取り動作又は書き込み動作が
成功したかどうかを決定するために、メモリユニット1
2を作動する重要な役割を有する。このために、ABI
STユニット11は自己テストデータ信号STDAT
A、自己テストアドレス信号STADD、及び自己テス
ト読み取り/書き込み制御信号STRWを生成する。
【0005】3つのグループのマルチプレクサは、メモ
リユニット12に供給すべき信号、即ち、SRAMマク
ロ10の外部からのデータイン信号DATAIN1〜D
ATAINM、アドレス信号ADDIN1〜ADDIN
P、及び読み取り/書き込み信号R/WIN、又は、A
BISTユニット11によって生成される上述の内部自
己テスト信号STDATA、STADD及びSTRWを
選択する。図1において、これら3つのグループのマル
チプレクサは、それぞれ符号13−1〜13−M、1
3'−1〜13'−P、及び13"によって示されてい
る。信号の選択はABIST制御信号による。ABIS
T信号が0のときは、外部信号が選択され、1のとき
は、ABISTユニット11からの内部生成信号が選択
される。このように、ABIST信号は、SRAMマク
ロ10をシステムモード又はABISTモードで動作さ
せる。3つのグループのマルチプレクサ13−1〜13
−M、13'−1〜13'−P、及び13" は、マルチプ
レクサブロック13を形成する。第1マルチプレクサグ
ループの出力はMビットのデータバスDATAであり、
第2マルチプレクサグループの出力はPビットのアドレ
スバスADDである。マルチプレクサ13" の出力は、
メモリユニット12の動作が読み取りか書き込みかを指
定するR/W制御信号を転送する単一線である。
【0006】メモリユニット12から出力されたデータ
アウト信号は、データアウトシフトレジスタユニット1
4を形成する一組のL1/L2ラッチ対14−1〜14
−Mに記憶される。一般に、これらの出力用ラッチ対は
メモリユニット12に組み込まれる。L1ラッチは出力
バスDATAOUTにデータアウト信号DATAOUT
1〜DATAOUTMを出力し、L2ラッチは出力バス
DOUTにデータアウト信号を出力する。ABISTモ
ードでは、読み取り動作が実行された後で、期待データ
信号EXDATAがABISTユニット11により生成
され、データ圧縮ユニット15において出力バスDOU
Tからのデータアウト信号と比較される。一般には、メ
モリユニット12の各ワードに使用されるテストパター
ンは、0及び1の2種類の交番パターン(010
1...01及び1010...10)、全て0のパタ
ーン、及び全て1のパターンの4種類である。従って、
ABISTユニット11は自己テストデータ信号として
4つの信号、即ちSTDATA0、STDATA1及び
それらの補数信号を生成すればよい。これら4つのテス
トパターンが特定の構造をしているので、バスDOUT
上のデータアウト信号は偶数番及び奇数番のデータアウ
ト信号に分けられる。データアウトシフトレジスタユニ
ット14から出力される偶数番のデータアウト信号はD
OUT2、DOUT4・・・DOUT2Jで示され、同
様に、奇数番のデータアウト信号はDOUT1、DOU
T3・・・DOUT(2J−1)で示される(ここで、
JはMを偶数と仮定した場合の、M/2に等しい整数で
ある)。従って、データアウト信号の全ての偶数番ビッ
ト及び奇数番ビットが同時に同じ0又は1の値にあるの
で、各々が単一のビットから成る2つの期待データ信号
EXDATA0及びEXDATA1だけが必要とされ
る。例えば、出力バスDOUTに現れるべきデータアウ
ト信号が010101・・・01と仮定すると、偶数番
ビットの期待データ信号EXDATA0は"1"であり、
奇数番ビットの期待データ信号EXDATA1は"0"で
ある。最後に、信号の比較で不一致があるならば、デー
タ圧縮ユニット15は高論理レベル、即ち、論理"1"状
態の比較結果信号RESULTを生成する。不一致は、
少なくとも1つのデータアウト信号が、ABISTユニ
ット11によって生成された、対応する偶数番又は奇数
番の期待データと同じ論理値を有していないことを示
す。この不一致は、しばしばメモリユニット12におけ
る欠陥のあるワードラインによって引き起こされる。こ
の不一致は、通常、「故障」と称される。反対に、もし
全てのデータアウト信号が対応する偶数番又は奇数番の
期待データ信号と一致する(いかなる故障も検出されな
いことを意味する)ならば、結果信号RESULTは低
論理レベル、即ち、"0"論理状態に保持される。文献で
はしばしば「故障が発見された最後のサイクル」信号と
称される結果信号RESULTは、読み取り動作の後、
テストされている現アドレスにおいてメモリユニット1
2に欠陥があるかどうかを示す。従って、結果信号RE
SULTはサイクル毎にメモリユニット12の故障あり
/故障なし状況を示す。SRAMマクロ10のもう1つ
の重要な構成要素は、故障レジスタユニット16であ
る。ABIST製造サブモードでは、欠陥のあるワード
ラインのアドレスを識別し、システムモードでの使用に
備えてそれらのアドレスを記憶しておかなければならな
いので、そのために故障レジスタユニット16が必要で
ある。結果信号RESULTが故障の存在を示す論理"
1"へ立ち上げられると、ABISTユニット11によ
って自己テストアドレスバスSTADD上に生成され
た現アドレスのワード部分が、この故障アドレスレジス
タユニット16のラッチ対のバンクに記憶される。従っ
て、この記憶されたワードアドレスは、欠陥のあるワー
ドラインのアドレスに対応する。
【0007】ABISTユニット11はまた、全てのテ
ストパターンシーケンスがメモリユニット12に適用さ
れてしまうと、ABIST自己テストモードを禁止する
ためのCNOOP(NOOPはノーオペレーションを表
す)信号を生成する。この信号は、単一の半導体チップ
に埋め込まれた複数のSRAMマクロがあるときに絶対
的に必要となる。それらのマクロのサイズが異なってい
ると、それぞれのテストで異なる持続時間を要する。各
SRAMマクロのABISTユニットによって生成され
るCNOOP信号は、全てのマクロのメモリユニットの
同時テストを可能にする。
【0008】SRAMマクロ10の一般的なクロッキン
グは、LSSD規則に従っている。図1に示されるSR
AMマクロ10のアーキテクチャにおいて、クロッキン
グは、通常、標準外部LSSDクロック信号A、B、C
及びS、並びに、CS(独立型SRAMチップの場合は
チップ選択、SRAMマクロの場合はアレイ選択)信号
によって実施される。Bクロック信号と略同じSクロッ
ク信号は、データアウトシフトレジスタユニット14の
ラッチ対14−1〜14−MのL2ラッチへ入力され
る。ABIST製造サブモードでは、クロック信号及び
CS信号はテスターから導出される。ABISTシステ
ムサブモードでは、これらの信号はシステムクロックか
ら導出される。図1に示されるように、スキャンイン信
号SIは、標準LSSD規則に従ってABISTユニッ
ト11へ入力される。しかしながら、簡潔にするため
に、スキャンイン信号に応じてABISTユニット11
によって生成され、LSSDチェーン全体に沿って次段
のラッチ対等へスキャンイン信号として入力される、ス
キャンアウト信号は、表示されていない。次の説明で
は、LSSD概念に従って、実際には対になっているラ
ッチだけが述べられる。Cクロック信号及びCS信号を
除くこれら全ての信号は、ABISTユニット11とメ
モリユニット12の内の少なくとも一方へ直接入力され
る。Cクロック信号は、2入力ANDゲート17Aの一
方の入力へ入力される。CS信号は、2入力ANDゲー
ト17Bの一方の入力へ入力される。CNOOP信号
は、必要なとき、Cクロック信号及びCS信号のそれぞ
れの伝送を阻止するために、ゲーティング信号としてこ
れらのANDゲート17A及び17Bの他方の入力へ入
力される。この伝送阻止は、ABISTモードでの自己
テストが終了し、システムモードにある間はずっと続
く。A、B及びSクロック信号はスキャンモードの間に
使用され、B、C、S及びCS信号はABISTモード
の間に使用される。CS信号はシステムモードに単独で
用いられ、LSSDクロック信号は非活動状態に保持さ
れる。符号18はSRAMマクロ10におけるクロック
分配設計を概略的に示し、SRAMマクロ10のための
内部チップクロック分配ネットワークも含む。以上が、
ABIST構造体を備えた現行のSRAMについての説
明である。
【0009】米国特許第5173906号明細書に記載
の前述のABISTユニットは、サイクル毎に自己テス
トデータ励振及び自己テスト読み取り/書き込み励振を
決定する状態機械手法を中心に実質的に構成されてい
る。このABISTユニットはハードコードメカニズム
に基づいているので、自己テストデータ信号STDAT
A、自己テストアドレス信号STADD、及び自己テス
ト読み取り/書き込み信号STRWの生成には、多数の
組合せ論理回路が使用される。更に、このメカニズムは
比較的遅いことが知られており、またプログラム可能性
が制限されている。その結果、メモリアクセスタイムが
短くなる一方の高速SRAMマクロのABIST自己テ
ストに対する現在の要求(将来は更に高まると予想され
る) に合わせるために、状態機械論理回路がより一層複
雑になる必要がある。上記米国特許第5173906号
明細書に記載の従来の状態機械方式ユニットのシステム
サイクルタイムは、高度のCMOS技術で設計されたS
RAMマクロにおいて、一般的に約10〜13ナノ秒で
ある。これはデータ生成及び状態機械論理回路において
論理レベルが9個あることを意味し、全体で約200個
の論理ゲートになる。多数の論理ゲートは、メモリアク
セスタイムの測定とABISTサイクルタイムへ好まし
くない影響を及ぼすだけでなく、半導体チップ表面を過
度に使用することにもなる。従って、今日では、上述の
特有の制限又は欠点が克服される、新たなABIST構
造体の開発が強く要求されている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の主な
目的は、前記公知の状態機械方式ABISTユニットと
十分に互換性があり、高速SRAMマクロで実施される
のが好ましい新規のプロセッサ方式ABIST回路を提
供することである。
【0011】本発明のもう1つの目的は、メモリアクセ
スタイムが短い高速SRAMマクロのテストに適する新
規のプロセッサ方式ABIST回路を提供することであ
る。
【0012】本発明のもう1つの目的は、システムサイ
クルタイムが最小限の高速SRAMマクロのテストに適
する新規のプロセッサ方式ABIST回路を提供するこ
とである。
【0013】本発明のもう一つの目的は、論理回路集積
の複雑度が減り、マクロサイズが大幅に減少した新規の
プロセッサ方式ABIST回路を提供することである。
【0014】本発明の更にもう1つの目的は、高いプロ
グラム可能性を有する新規のプロセッサ方式ABIST
回路を提供することである。
【0015】本発明の更にもう1つの目的は、あらゆる
SRAMマクロアーキテクチャに適用可能な新規のプロ
セッサ方式ABIST回路を提供することである。
【0016】
【課題を解決するための手段と作用】これらの目的は、
特に、請求項1に従ったプロセッサ方式ABIST回路
を含むSRAMマクロ等の集積回路によって達成され
る。
【0017】実施の際に9個の論理レベル、従って、多
数の組合せ論理回路の使用を必要とする、ハードコード
パターンで生成される自己テストデータに実質的に基づ
いた米国特許第5173906号明細書に記載の従来の
状態機械方式ABISTユニットに対して、新規の構造
体はプログラマブルデータに反復動作を行うプロセッサ
方式ABIST回路に依存している。本発明の新規のプ
ロセッサ方式ユニットは、従来の構造体と比較して必要
とする論理レベルの数が少なく、組合せ論理回路の数が
大幅に減少する。
【0018】ハードウェアの観点から、このプロセッサ
方式ABIST回路は、3個の主ブロック、即ち、従来
のアドレスジェネレータブロック、制御信号を生成する
特定の制御論理ブロック、及びそれらの制御信号によっ
て駆動され、本発明のプロセッサ方式ABIST回路の
中心をなす新規の処理ブロック、を備える。
【0019】アドレスジェネレータブロックは、従来と
同様に、CNOOP信号、STADD信号、並びに、S
TBA0E信号及びSTWA0E信号(次のサイクルで
LSB(最下位ビット)を生成するために用いられる自
己テストビット信号及びワードアドレス信号) を生成す
るが、後者の2個の信号は、新規であると考えられる制
御論理ブロックで用いられる。制御論理ブロックの役割
は、各メモリアドレス毎に、ABISTモード中に処理
ブロックの適切な信号の順序付けを行うことである。こ
のために、4個の制御信号TS0、TS1、CTS0及
びCTS1を生成する。CTS0はTS0の補数であ
り、CTS1はTS1の補数である。制御信号は、テス
トパターンのタイプとABISTサイクルによって決定
される。処理ブロックは、これらの制御信号に応じて自
己テストデータ信号STDATA、期待データ信号EX
DATA、及び自己テスト読み取り/書き込み信号ST
RWを生成する重要な役割を持つ。処理ブロックは、3
個のデータジェネレータを含む。各データジェネレータ
は、データサブブロックのテーブルを形成する4個のL
SSDスキャン専用ラッチ(スキャンモードの間に初期
設定される)及び4対1マルチプレクササブブロックか
ら成る。マルチプレクササブブロックは、前述の4個の
制御信号の論理的組合せによって制御されて、4個のス
キャン専用ラッチ出力の内の1個を選択する。処理ブロ
ックは、更に、各データジェネレータにつき1個の合計
3個のラッチ対を含む。これらのラッチ対は、マルチプ
レクササブブロックによって出力される信号を捕獲し、
次のサイクルの間に解放する。データジェネレータから
出力される信号は、OROUT信号と称される。第1及
び第2のデータジェネレータからのOROUT信号は、
第1ラッチ対及び第2ラッチ対にそれぞれ記憶されて、
STDATA信号を生成する。第3データジェネレータ
からのOROUT信号は、第3ラッチ対に記憶されて、
STRW信号を生成する。最後に、STDATA信号は
2つのラッチ対に記憶されて、対応するEXDATA信
号を生成する。
【0020】従って、本発明の基本原則によって、デー
タテーブルは先ずスキャンモードの間に初期設定され
る。次に、これらデータテーブルはABISTモードの
間に各サイクル毎に多重化される。自己テストデータ信
号及び読み取り/書き込み信号の多重化は、制御論理ブ
ロックの制御の下に処理ブロックで実行される。
【0021】
【実施例】なお、簡潔にするために、図2乃至図4で
は、さまざまなスキャンイン/スキャンアウト信号は表
示されないか、又は、点線で表示される。これらの相互
接続はLSSD構造に特有のもので、当業者であれば理
解できよう。
【0022】図2は、図1のABISTユニット11の
役割を果たす、本発明に従ったプロセッサ方式ABIS
T回路20の主な構成要素を示している。プロセッサ方
式ABIST回路20は、3つの主ブロック、即ち、従
来のアドレスジェネレータブロック20−A、ABIS
T回路20の適切な順序付けを行う制御論理ブロック2
0−B、及び新たな処理ブロック20−C、から成る。
【0023】アドレスジェネレータブロック20−A
は、ABIST回路20のアドレス指定部である。一般
的に、アドレスジェネレータブロック20−Aは、自己
テストアドレス信号STADD、自己テストビットアド
レス0早期信号STBA0E、自己テストワードアドレ
ス0早期信号STWA0E、及びCNOOP信号を生成
する。前述のように、CNOOP信号は、メモリユニッ
ト12のテストの際に、図1のANDゲート17A及び
17Bを禁止することによって、ABISTモードの終
了を知らせるゲーティング信号である。
【0024】アドレスジェネレータブロック20−A
は、最大アドレスを含むレジスタ21、アドレス比較器
22、及び、アドレス空間をカウントするときに、ビッ
トアドレス又はワードアドレスをLSBとして用いるよ
うにプログラミングできる高速同期上昇/下降カウンタ
23を含む。アドレスジェネレータブロック20−A
は、更に、2つのL1/L2 ラッチ対24、25を含
んで、それぞれリップルビットリップルワード信号RB
RW及びアドレス減分信号ADを上昇/下降カウンタ2
3へ供給する。実質的に、アドレスジェネレータブロッ
ク20−Aは、LSBとしてビットアドレス又はワード
アドレスを有することが可能な増分器/減分器として動
作する。AD信号及びRBRW信号は、スキャンモード
の間に初期設定される。AD信号は、カウンタが増分す
るか減分するかを制御する。RBRW信号は、カウンタ
のLSBがビットアドレスかワードアドレスかを制御す
る。アドレスカウンタは、図3に関連して後で説明され
るようなMULTOP信号を生成するラッチ対37−1
で初期設定されるデータに応じて、1サイクル毎又は4
サイクル毎に変化する。自己テストアドレスバスは、A
BISTモードにおいてメモリユニット12をアドレス
指定する自己テストアドレス信号STADDを運ぶ。自
己テストビットアドレス0早期信号STBA0E及び自
己テストワードアドレス0早期信号STWA0Eは、2
つの早期アドレスである。従来のABISTユニットで
は、これらの信号はアドレスジェネレータブロック20
−Aの内部で使用されるだけだったが、本発明によっ
て、制御論理ブロック20−Bへも送信される。CNO
OP信号は、アドレスカウンタ23が、増分中に最大ア
ドレスに達する(又は、減分中にゼロアドレスに達す
る)とすぐに活動化される。このCNOOP信号は、テ
ストパターンシーケンスがABISTモードの間に完全
に実行されると現れ、上記のようにゲーティング信号と
して働く。アドレスカウンタ23は、アドレス空間全体
がスイープ(掃引)されると直ちにアドレススイーピン
グを自動的に停止する。
【0025】制御論理ブロック20−Bは、ABIST
回路20の制御信号ジェネレータ部である。制御論理ブ
ロック20−Bは、アドレスジェネレータブロック20
−Aで生成されるSTBA0E信号及びSTWA0E信
号によって駆動され、4つの制御信号TS0、TS1、
CTS0、及びCTS1を生成する。CTS0及びCT
S1はそれぞれTS0及びTS1の補数信号である。こ
れら4つの制御信号は、処理ブロック20−Cの動作、
特に、処理ブロック20−Cに含まれるデータジェネレ
ータ26−1〜26−3の動作に欠かせない。この制御
論理ブロック20−Bの詳細は、あとで図3を参照して
説明する。
【0026】図2を参照すると、処理ブロック20−C
は、ABIST回路20における、自己テストデータ信
号STDATA、期待データ信号EXDATA、及び自
己テスト読み取り/書き込み信号STRWの生成部であ
る。機能的に、このブロックはメモリユニット12に書
き込むためのSTDATA信号と共に、メモリユニット
12から、データアウトシフトレジスタユニット14及
びデータ圧縮ユニット15(図1参照)を介して出力さ
れる値が正しいかどうかを検査するために用いられるE
XDATA信号を生成し、更に、メモリユニット12が
読み取り動作モードにあるか書き込み動作モードにある
かを制御するためのSTRW信号を生成する。処理ブロ
ック20−Cの主要部は、一体となってブロック26を
形成する3つのデータジェネレータ26−1〜26−3
である。データジェネレータ26−1〜26−3から出
力される信号は、それぞれOROUT0、OROUT
1、及びOROUT2と称され、一体となってブロック
27を形成する3つのラッチ対27−1〜27−3を用
いて、1サイクルだけ遅延される。第1ラッチ対27−
1及び第2ラッチ対27−2は、2つの自己テストデー
タ信号STDATA0及びSTDATA1を生成する。
第3ラッチ対27−3はSTRW信号を生成する。ま
た、STDATA0信号及びSTDATA1信号は、一
体となってブロック28を形成するラッチ対28−1及
び28−2でそれぞれラッチされて、2つの期待データ
信号EXDATA0及びEXDATA1を生成する。
【0027】制御論理ブロック20−Bの回路構造の詳
細を示す図3を参照して、制御論理ブロック20−Bに
ついて説明する。図3を参照すると、制御論理ブロック
20−Bは、4個の2入力ANDゲート30〜33、4
個のインバータ34−1〜34−4、1個の2入力排他
的OR(XOR)ゲート35、2個の2入力ORゲート
36−1及び36−2、1個のL1/L2スキャン専用
ラッチ対37−1、並びに、2個のL1/L2正規ラッ
チ対37−2及び37−3から成る。各正規ラッチ対3
7−2及び37−3は、L1ラッチ及びL2ラッチから
成る。各正規ラッチ対37−2及び37−3の内のL1
ラッチは、I0入力、及びI0入力のデータが捕獲され
るのを可能にするAクロック入力を有する。更に、L1
ラッチは、D0入力、及びD0入力のデータが捕獲され
るのを可能にするCクロック入力を有する。スキャン専
用ラッチ対37−1は、L1ラッチがD0入力及びCク
ロック入力を備えていない点を除いて、正規ラッチ対3
7−2及び37−3と同じ構造を持つ。スキャン専用ラ
ッチ対37−1、並びに正規ラッチ対37−2及び37
−3の内のL2ラッチは、データがL1ラッチからL2
ラッチへと転送されるのを可能にするBクロック入力を
有する。スキャン専用ラッチ対37−1、並びに正規ラ
ッチ対37−2及び37−3の内のL2ラッチは、L2
ラッチに含まれるデータと同じ論理値を有する出力を持
つ。なお、3個のラッチ対37−1〜37−3は、一般
的にLSSDスキャンチェーンに接続される。制御論理
ブロック20−Bへ入力される入力信号は、スキャンイ
ン信号SI、外部で生成されるA、B、Cクロック信
号、並びに、図2のアドレスジェネレータブロック20
−Aにおいて生成される2つの信号STWA0E及びS
TBA0Eである。出力される信号は、TS0及びTS
1並びにそれらの補数CTS0及びCTS1である。図
3において、入力端子及び出力端子は、それぞれ概略的
に38及び39で示されている。
【0028】スキャンイン信号SIはラッチ対37−1
のI0入力へ入力される。ラッチ対37−1の出力は、
ラッチ対37−2のL1ラッチのI0入力、インバータ
34−1の入力、並びに、ANDゲート32及び33の
第1入力へ接続される。インバータ34−1の出力は、
ANDゲート30及び31の第1入力へ接続される。S
TWA0E信号はANDゲート30の第2入力へ入力さ
れ、STBA0E信号はANDゲート31の第2入力へ
入力される。ANDゲート32の第2入力はXORゲー
ト35の出力へ接続され、ANDゲート33の第2入力
はインバータ34−2の出力へ接続される。XORゲー
ト35の第1入力はラッチ対37−2の出力へ接続さ
れ、第2入力はラッチ対37−3の出力へ接続される。
なお、ラッチ対37−3による出力信号は、当業者に周
知のLSSD設計回路で重要な役割を果たすいわゆスキ
ャンアウト信号SOの一般例である。インバータ34−
2の入力もまた、ラッチ対37−3の出力へ接続され
る。ORゲート36−1の第1入力はANDゲート31
の出力へ接続され、第2入力はラッチ対37−2の出力
へ接続される。ORゲート36−1の出力は端子39−
1において制御信号TS0を供給し、端子39−2にお
いてインバータ34−3を介して制御信号TS0の補数
CTS0を供給する。ORゲート36−2の第1入力は
ANDゲート30の出力へ接続され、第2入力はラッチ
対37−3の出力へ接続される。同様に、ORゲート3
6−2の出力は端子39−3において制御信号TS1を
供給し、端子39−4においてインバータ34−4を介
して制御信号TS1の補数CTS1を供給する。図3か
ら明らかなように、一般的に、A及びBクロック信号は
スキャン専用ラッチ対37−1へ入力され、A、B及び
Cクロック信号は正規ラッチ対37−2及び37−3へ
入力される。ラッチ対37−1の出力において生成され
るMULTOP信号は、その論理値に応じて、制御論理
ブロック20−Bの機能モードを制御する。ABIST
モードにおいて、制御論理ブロック20−Bは2つのサ
ブモード、即ち、単一動作サブモード及び複数動作サブ
モード、を有する。単一動作サブモードでは、MULT
OP信号は低レベル(ロー)であり、制御信号TS0及
びTS1はそれぞれSTWA0E信号及びSTBA0E
信号によって画定される値と同じ論理値を有する。AN
Dゲート30及び31だけが単一動作サブモードで作動
する。複数動作サブモードでは、MULTOP信号は高
レベル(ハイ)であり、信号TS0及びTS1はモジュ
ーロ4方式でカウントされる。すなわち、TS0、TS
1は(0、0)、(0、1)、(1、0)及び(1、
1)のパターンを繰り返す。これは、ラッチ対37−2
及び37−3の入出力接続を見れば明らかであろう。複
数動作サブモードでは、2つのラッチ対37−2及び3
7−3、並びに、それらに関連する論理回路が作動す
る。MULTOP信号は、また、アドレスカウンタ23
(図2参照)が1サイクル毎又は4サイクル毎にその中
身を変えるかどうかも制御する。最後に、ORゲート3
6−1及び36−2が前記2つのサブモードの間で適切
な選択を行う。
【0029】図2を再度参照すると、プロセッサ方式A
BIST回路20の中心部は主に処理ブロック20−C
にあり、その主要部は同じ構造を持つ3つのデータジェ
ネレータ26−1〜26−3から成り、一体となってデ
ータジェネレータブロック26を形成する。データジェ
ネレータ26−1〜26−3は、データ選択機能のテー
ブルにおいて決定的な役割を果たす。図4を参照して、
データジェネレータ26−1の詳細な回路の構造が説明
される。
【0030】図4を参照すると、データジェネレータ2
6−1は2つのサブブロック40−A及び40−Bから
成る。データサブブロック40−Aのテーブルは、4個
のLSSDスキャン専用ラッチ対41−1〜41−4か
ら成る。マルチプレクササブブロック40−Bは、4入
力ORゲート43へ接続される4個の3入力ANDゲー
ト42−1〜42−4から成る。4個のスキャン専用ラ
ッチ対41−1〜41−4の各ラッチ対は、単一のサイ
クルのためのデータを含む。制御信号TS0、TS1及
びそれらの補数CTS0、CTS1は、次のサイクルの
間で4個のデータの内のどのデータがメモリユニット1
2へ送信されるかを選ぶ。データジェネレータ26−1
の入力信号は、スキャンイン信号SI、A/Bクロック
信号、並びに、前記4個の制御信号TS0、TS1、C
TS0及びCTS1である。
【0031】スキャンイン信号SIは、ラッチ対41−
1のI0入力へ入力される。第1テーブルデータ信号T
ABD00を生成するラッチ対41−1の出力(実際
は、L2ラッチの出力) は、ラッチ対41−2のI0入
力へ接続される。同様に、第2テーブルデータ信号TA
BD10を生成するラッチ対41−2の出力は、ラッチ
対41−3のI0入力へ接続される。また、第3テーブ
ルデータ信号TABD20を生成するラッチ対41−3
の出力は、ラッチ対41−4のI0入力へ接続される。
ラッチ対41−4によって生成される第4テーブルデー
タ信号TABD30は、図2から明らかなように、デー
タジェネレータブロック26−1から出力されて、ラッ
チ対27−1のI0入力へ入力される。これら全ての信
号TABD00〜TABD30は、点線で示すように、
周知のスキャンイン/スキャンアウト機能を有する。各
ラッチ対41−1〜41−4の出力は、それぞれ3入力
ANDゲート42−1〜42−4の第1入力へ接続され
る。これらのANDゲートの他の2つの入力は、制御論
理ブロック20−Bによって生成された4個の制御信号
のうちの特定の組合せを受け取る。図4に示されるよう
に、ANDゲート42−1は、入力として、ラッチ対4
1−1からのTABD00信号、並びに制御論理ブロッ
ク20−BからのCTS0信号及びCTS1信号、を有
する。ANDゲート42−2は、入力として、ラッチ対
41−2からのTABD10信号、並びに制御論理ブロ
ック20−BからのTS0信号及びCTS1信号、を有
する。ANDゲート42−3は、入力として、ラッチ対
41−3からのTABD20信号、並びに制御論理ブロ
ック20−BからのCTS0信号及びTS1信号、を有
する。最後に、ANDゲート42−4は、入力として、
ラッチ対41−4からのTABD30信号、並びに制御
論理ブロック20−BからのTS0信号及びTS1信
号、を有する。
【0032】各ANDゲート42−1〜42−4の出力
は、それらの論理和を実行する4入力ORゲート43の
各入力へ接続される。OROUT0信号を転送するOR
ゲート43の出力端子44−1は、本発明の重要な特徴
に従って、正規ラッチ対27−1(図2参照)のD0入
力へ接続される。
【0033】結果として、サブブロック40−Bを形成
する4個のANDゲート42−1〜42−4とORゲー
ト43の組合せにより、制御論理ブロック20−Bから
の4個の制御信号の制御下で多重化(マルチプレック
ス)機能が行われる。サブブロック40−Bは、サブブ
ロック40−Aから出力される4個のテーブルデータ信
号TABD00〜TABD30の内のいずれが、図2の
正規ラッチ対27−1のD0入力へ伝播されるかを選択
する。換言すれば、正規ラッチ対27−1のD0入力へ
入力される信号は、各ラッチ対41−1〜41−4によ
って生成される4個の信号TABD00〜TABD30
の内の1つと同じ論理値を有する。
【0034】全てのデータジェネレータは同じ構造を有
しているので、図4を参照して行われたデータジェネレ
ータ26−1についての説明は、他のデータジェネレー
タ26−2及び26−3にも適用される。
【0035】図2を再度参照すると、データジェネレー
タ26−1、26−2及び26−3は、中間出力信号O
ROUT0、OROUT1及びOROUT2をそれぞれ
生成し、更にスキャンイン/スキャンアウト信号TAB
D30、TABD31及びTABD32をそれぞれ生成
する。信号TABD30及びOROUT0は、それぞれ
ラッチ対27−1のI0入力及びD0入力へ入力され
る。説明のためにラッチ対27−1について考えると、
一般的に、Aクロック信号及びCクロック信号はL1ラ
ッチのA入力及びC入力( 共に図示せず) へ入力され、
Bクロック信号はL2ラッチのB入力へ入力される。ラ
ッチ対27−1〜27−3は、1サイクル毎に中間出力
信号OROUT0〜OROUT2を記憶する役割を持
ち、一体となって記憶遅延ブロック27を形成する。ラ
ッチ対27−1及び27−2は、それぞれ自己テストデ
ータ信号STDATA0及びSTDADA1を供給す
る。ラッチ対27−3は、自己テスト読み取り/書き込
み信号STRWを供給する。STDATA0信号及びS
TDATA1信号は、ラッチ対28−1及び28−2の
各D0入力へ入力される。ラッチ28−1の出力は、点
線で示すように、LSSDチェーンに沿ってラッチ対2
8−2のI0入力へ接続される。期待データジェネレー
タブロック28を一体となって形成するラッチ対28−
1及び28−2は、それぞれ期待データ信号EXDAT
A0及びEXDATA1を供給する。図2から明らかな
ように、STDATA0信号及びSTDATA1信号も
また、次の使用のために処理ブロック20−Cから出力
される。要するに、5個の信号、即ち、STDATA
0、STDATA1、EXDATA0、EXDATA
1、及びSTRWが処理ブロック20−Cから出力され
る。
【0036】図2の処理ブロック20−Cにおいて、デ
ータジェネレータ26−1〜26−3は、各アドレスに
つき最大で4個の動作があるならば、必要とされる自己
テストデータ信号STDATA及び自己テスト読み取り
/書き込み信号STRWを生成するために、4対1の多
重化を保証する決定的な役割を持つ。しかしながら、こ
れは自己テストデータ信号STDATA及び自己テスト
読み取り/書き込み信号STRWのN対1の多重化へ容
易に一般化できるために、1アドレス当たりN個の動作
を行うことが可能になる。テーブルデータの初期設定
は、処理ブロック20−Cの標準LSSD構造のために
スキャンモードの間に終了する。スキャンモードが終了
した後、プロセッサ方式ABIST回路20は、単にテ
ーブルから正しいデータを選ぶだけで、プログラミング
されたパターンを非常に迅速に実行することができる。
増分又は減分によって、メモリユニット12で1回の全
アドレススイープが完了すると、プロセッサ方式ABI
ST回路20は、スキャンモードでの初期設定に従い、
ゼロアドレスから最大アドレスまでの各アドレス毎にメ
モリユニット12でテストパターンを実行したことにな
る。また、スキャンモードにおいて、新たな初期設定が
行われて、ラッチ対のデータが解析される。
【0037】本発明のプロセッサ方式ABIST回路2
0の動作は、図5に示されるタイミングを参照すること
で最も良く理解される。
【0038】図5は、ABISTモードでの本発明のプ
ロセッサ方式ABIST回路20のクロック信号、制御
信号及びデータ信号のタイミング波形を詳細に示してい
る。図5は、2つの連続サイクルJ及びJ+1を示す。
Bクロック信号及びCクロック信号の下に示される信号
は、STWA0E、STBA0Eアドレス信号、TS
0、TS1制御信号、並びに、OROUT0、EXDA
TA0、STDATA0データ信号である。Cクロック
信号は、プロセッサ方式ABIST回路20の全ての正
規ラッチ対の内の全てのL1ラッチにデータを捕獲する
のに用いられるが、図5に示されるいかなる信号も変化
させない。Bクロック信号が立ち上がると、各L1/L
2ラッチ対の内のL1ラッチにあるデータがL2ラッチ
出力へ伝播され、同時に、図5に示される信号が値を変
えることができる。Bクロック信号の立ち上がりエッジ
と特定のアドレス信号、制御信号、又はデータ信号の変
化との間の遅延は、プロセッサ方式ABIST回路20
における遅延の関数である。例えば、サブブロック40
−B(図4)の2つの論理レベルによって生じる余分な
遅延の結果として、OROUT0信号はTS0信号より
も後で変化する。特定のプロセッサ方式ABIST回路
において、図5に示されるアドレス信号、データ信号及
び制御信号の正確なタイミングは、当該回路の設計シス
テム及び製造プロセスの特定のパラメータに依存してい
る。これら正確なタイミングの選択は、当業者には容易
であろう。
【0039】本発明のプロセッサ方式ABIST回路2
0は、米国特許第5173906号明細書に記載の状態
機械よりもプログラム可能性の点でより柔軟である。こ
れは、以下の例によって示される。新たなテストパター
ンが第1パスの間に検出されなかった故障を検出する必
要があるならば、プロセッサ方式ABIST回路20
は、製造サイクルの後半での新たなテストパターンによ
って再プログラミングされる。これは、以前にできなか
ったテストパターンの初期設定を単に変えることによっ
て達成される。先行技術の状態機械方式に対する本発明
のプロセッサ方式ABIST回路のもう1つの利点は、
設計の単純さにあり、その結果として、設計エラー数が
減少する。米国特許第5173906号明細書に記載の
状態機械方式で、現在の高速SRAMマクロに必要とさ
れる短いシステムサイクルタイムに適合させるために
は、多くのカスタム論理ブックを設計する必要がある。
本発明のプロセッサ方式のアプローチを採用することに
よって、そのようなカスタム論理ブックを設計せずに非
常に短いサイクルタイムが得られる。
【0040】米国特許第5173906号明細書に記載
の従来の状態機械方式ABISTユニットでは、各ハー
ドコードテストパターンを生成するために多くの組合せ
論理回路と、大きなシーケンサを必要とする。結果とし
て、全ての制御論理と多数の内部信号を考慮しなければ
ならないために、データを生成するのに多数の論理回路
レベル(9レベル)を必要とする。米国特許第5173
906号明細書に記載の従来のABISTユニットと比
較すると、標準CMOS技術において、本発明のプロセ
ッサ方式ABIST回路20の実施により、マクロサイ
ズが少なくとも50%減少して、半導体チップ表面の領
域を大幅に節約する。更に、自己テストデータは、米国
特許第5173906号明細書に記載の従来のABIS
Tユニットによって得られる約6.3ナノ秒に対して、
約2.1ナノ秒(図5の遅延dtによって示される)で
生成される。将来は、新たなABIST構造体が、約5
ナノ秒以下の短いシステムサイクルタイムで作動するよ
うに設計される。
【0041】更に、従来の状態機械方式ABISTユニ
ットと異なり、本発明の新規のプロセッサ方式ABIS
T回路は、「0ブランケットパターン書き込み」、又は
「補数チェッカーボードパターン読み取り」等の各タス
ク毎に、制限なしにプログラミングすることが可能であ
る。結果として、従来の状態機械方式ABISTユニッ
トによって生成された全てのテストパターンを、新たな
プログラマブルテストパターンの組合せと共に使用する
ことができる。最後に、プロセッサ方式ABIST回路
20は状態機械タイプのいかなる従来のABIST構造
体とも互換性がある。
【0042】要するに、本発明のプロセッサ方式ABI
ST回路のアーキテクチャの利点は、より速いデータ生
成、半導体領域の使用を最小限にする複雑度低減、拡張
されたプログラム可能性、及び完全な互換性である。
【0043】本発明はSRAMマクロに関して記載され
たが、プロセッサ方式ABIST回路20はDRAM、
フラッシュメモリ等、及び独立型SRAMチップにも同
様に広く適用される。
【0044】
【発明の効果】本発明によれば、従来の状態機械方式A
BISTユニットと十分に互換性があり、高速SRAM
マクロでの実施に適した新規のプロセッサ方式ABIS
T回路が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】ABISTユニットを含む現行のSRAMマク
ロのブロック図アーキテクチャの部分的概略図を示す。
【図2】図1のSRAMマクロのABISTユニットで
実施される、3個の主ブロックを含む本発明のプロセッ
サ方式ABIST回路の概略ブロック図を示す。
【図3】図2のプロセッサ方式回路の制御論理ブロック
の回路の詳細を示す。
【図4】図2のプロセッサ方式回路の処理ブロックの重
要部分である3個のデータジェネレータの内の1つの回
路の詳細を示す。
【図5】ABISTモードにある図2のプロセッサ方式
ABIST回路の動作を示すための重要な信号の波形を
示す。
【符号の説明】
20 ABIST回路 20−A アドレスジェネレータブロック 20−B 制御論理ブロック 20−C 処理ブロック 21 レジスタ 22 アドレス比較器 23 アドレスカウンタ 24、25 ラッチ対 26−1、2、3 データジェネレータ 27−1、2、3 ラッチ対 28−1、2 ラッチ対
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−96898(JP,A) 特開 平1−282798(JP,A) 特開 平3−216900(JP,A)

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリユニット(12)と、 前記メモリユニットをテストするための自己テストデー
    タ信号、自己テストアドレス信号、及び期待データ信号
    を生成するアレイ組込み自己テスト(ABIST)回路
    (20)と、 前記ABIST回路による自己テスト時に前記メモリユ
    ニットから読み出されたデータ信号を前記期待データ信
    号と比較することにより前記メモリユニットに故障が生
    じているか否かを示す結果信号を生成するデータ圧縮ユ
    ニット(15)とを含み、 前記ABIST回路が、 前記自己テストアドレス信号を生成するアドレス生成手
    段(20−A)と、 前記ABIST回路を適切に順序づけるための制御信号
    を生成する制御論理手段(20−B)と、 前記自己テストデータ信号及び前記期待データ信号を生
    成する処理手段(20−C)とで構成され、 前記処理手段が、 スキャンインによって複数のデータが設定されるテーブ
    ル手段(40−A)と、 前記制御信号に応答して前記複数のデータを多重化して
    繰り返し出力する多重化手段(40−B)と、 前記多重化手段からの出力信号を記憶し、それを前記自
    己テストデータ信号として出力する第1ラッチ手段(2
    7−1、・・・)と、 前記第1ラッチ手段からの前記自己テストデータ信号を
    記憶し、それを次のサイクルで前記期待データ信号とし
    て出力する第2ラッチ手段(28−1、・・・)とを備
    える、 ことを特徴とする集積回路。
  2. 【請求項2】 前記テーブル手段が複数のスキャン専用
    ラッチ対(41−1、・・・)によって構成され、 前記多重化手段が、 前記複数のスキャン専用ラッチ対にそれぞれ対応して設
    けられ、対応するラッチ対の出力と前記制御信号の特定
    の組合せを入力に受け取る複数のANDゲート(42−
    1、・・・)と、 入力が前記ANDゲートの出力に接続され、出力が前記
    第1ラッチ手段に接続されたORゲート(43)とによ
    って構成される、 請求項1に記載の集積回路。
JP6086982A 1993-06-30 1994-04-25 集積回路 Expired - Lifetime JP2614413B2 (ja)

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FR93480083/0 1993-06-30
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JPH0793998A JPH0793998A (ja) 1995-04-07
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