JP2608124B2 - 排ガス処理装置 - Google Patents
排ガス処理装置Info
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- JP2608124B2 JP2608124B2 JP63293478A JP29347888A JP2608124B2 JP 2608124 B2 JP2608124 B2 JP 2608124B2 JP 63293478 A JP63293478 A JP 63293478A JP 29347888 A JP29347888 A JP 29347888A JP 2608124 B2 JP2608124 B2 JP 2608124B2
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- Japan
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- exhaust gas
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- cleaning liquid
- cleaning
- gas treatment
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は排ガス処理装置に関し、更に詳しくは、光フ
ァイバの製造ラインで発生する排ガスを処理するジェッ
トスクラバ方式の装置における洗浄液噴出ノズル筒体の
改良に関する。
ァイバの製造ラインで発生する排ガスを処理するジェッ
トスクラバ方式の装置における洗浄液噴出ノズル筒体の
改良に関する。
（従来の技術） 光ファイバの製造ラインからは、SiH2Cl2,SiCl4,Si
F4,SiH4,のような含ハロゲンケイ素化合物やHCl,HF,Cl2
のような酸分を含む排ガスが発生する。この排ガスは、
主として、アルカリ洗浄液で洗浄されてから大気中に放
出される。
F4,SiH4,のような含ハロゲンケイ素化合物やHCl,HF,Cl2
のような酸分を含む排ガスが発生する。この排ガスは、
主として、アルカリ洗浄液で洗浄されてから大気中に放
出される。
この排ガスの処理は、従来から、充填式スクラバや多
孔板式スクラバなどの装置を用いて行なわれているが、
本発明者らは、これら従来装置の不備を解決するため
に、新たな処理装置を開発し、これを既に特願昭61−20
3993号として出願した。
孔板式スクラバなどの装置を用いて行なわれているが、
本発明者らは、これら従来装置の不備を解決するため
に、新たな処理装置を開発し、これを既に特願昭61−20
3993号として出願した。
この装置は、第３図に概略図を示すように、大きく
は、シェットスクラバ本体Ａ、洗浄液を貯留する受液槽
Ｂおよび発生ミストの除去装置Ｃから構成されている。
は、シェットスクラバ本体Ａ、洗浄液を貯留する受液槽
Ｂおよび発生ミストの除去装置Ｃから構成されている。
ジェットスクラバ本体Ａは、側壁に排ガス導入口11が
形成されている洗浄室12と、該洗浄室12の頂部から垂設
され、受液槽Ｂから配管P1によって供給される洗浄液21
を洗浄室12内の下方に向かって高速ジェット噴霧する洗
浄液噴出ノズル筒体13と、洗浄室12の下部から縮径して
連設されるスロート部14と、このスロート部14に連設さ
れ受液槽Ｂに向かって拡径するスカート部15から成って
いる。
形成されている洗浄室12と、該洗浄室12の頂部から垂設
され、受液槽Ｂから配管P1によって供給される洗浄液21
を洗浄室12内の下方に向かって高速ジェット噴霧する洗
浄液噴出ノズル筒体13と、洗浄室12の下部から縮径して
連設されるスロート部14と、このスロート部14に連設さ
れ受液槽Ｂに向かって拡径するスカート部15から成って
いる。
排ガス導入口11に接続する導入管11aからは排ガスが
洗浄室12内に導入される。そして、ノズル筒体13からア
ルカリ洗浄液21が噴出される。洗浄液の高速ジェット噴
霧と排ガスは、高効率で気一液接触反応を起す。
洗浄室12内に導入される。そして、ノズル筒体13からア
ルカリ洗浄液21が噴出される。洗浄液の高速ジェット噴
霧と排ガスは、高効率で気一液接触反応を起す。
例えば、排ガスが含ハロゲンケイ素化合物を含んでい
る場合、次式:nSiH2Cl2＋H2O→（SiOH2）ｎ＋2HCl,3SiF
4＋H2O→2H2SiF6＋SiO2,SiF4＋2H2O→SiO2＋4HFのよう
な加水分解反応によって、微細な粉塵や酸成分が発生す
る。
る場合、次式:nSiH2Cl2＋H2O→（SiOH2）ｎ＋2HCl,3SiF
4＋H2O→2H2SiF6＋SiO2,SiF4＋2H2O→SiO2＋4HFのよう
な加水分解反応によって、微細な粉塵や酸成分が発生す
る。
これら微細な粉塵は、洗浄液の噴霧液滴と接触しこの
液滴に捕捉されて受液槽Ｂに落下し、また酸成分は洗浄
液で中和されて同じく受液槽Ｂに回収される。
液滴に捕捉されて受液槽Ｂに落下し、また酸成分は洗浄
液で中和されて同じく受液槽Ｂに回収される。
処理後の排ガスは、受液槽Ｂの上部を通ってミスト除
去装置Ｃに到り、この除去装置を通過する過程で含有さ
れているミストが除去されたのち、大気中に放出され
る。
去装置Ｃに到り、この除去装置を通過する過程で含有さ
れているミストが除去されたのち、大気中に放出され
る。
この装置において、洗浄室12の頂部に垂設されている
洗浄液噴出ノズル筒体13には、その先端に、下方に向か
って洗浄液を噴出するノズル孔が形成されている。それ
ゆえ、洗浄液はこのノズル孔から洗浄室の下方に向かっ
てのみ放射状に噴出する。
洗浄液噴出ノズル筒体13には、その先端に、下方に向か
って洗浄液を噴出するノズル孔が形成されている。それ
ゆえ、洗浄液はこのノズル孔から洗浄室の下方に向かっ
てのみ放射状に噴出する。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記した装置の場合、装置運転が長期
化すると、ノズル筒体の周壁には、SiO2を主成分とする
白色のスラリーが堆積してくる。
化すると、ノズル筒体の周壁には、SiO2を主成分とする
白色のスラリーが堆積してくる。
このスラリーの堆積量が増加すると、洗浄室空間の減
少に伴なう排気圧の変動、または、堆積物の落下、堆積
の繰り返しによる洗浄空間の減少に伴なう排気圧の変動
のような問題が起って、装置の正常運転が阻害されるの
で、所定の期間経過後、この洗浄室を分解してノズル筒
体から上記スラリーを除去するという作業が必要にな
る。
少に伴なう排気圧の変動、または、堆積物の落下、堆積
の繰り返しによる洗浄空間の減少に伴なう排気圧の変動
のような問題が起って、装置の正常運転が阻害されるの
で、所定の期間経過後、この洗浄室を分解してノズル筒
体から上記スラリーを除去するという作業が必要にな
る。
本発明は、上記したSiO2等の堆積現象を起こすことの
ない構造の洗浄液噴出ノズル筒体を備えた排ガス処理装
置の提供を目的とする。
ない構造の洗浄液噴出ノズル筒体を備えた排ガス処理装
置の提供を目的とする。
（課題を解決するための手段） 上記目的に達成するために、本発明においては、側壁
に排ガス導入口が形成されている洗浄室と、該洗浄室の
頂部に垂設されている洗浄液噴出ノズル筒体と、前記洗
浄室の下部に連設されている縮径のスロート部と、該ス
ロート部から拡径して連設されているスカート部とから
成るジェットスクラバ本体を有する排ガス処理装置にお
いて、前記洗浄液噴出ノズル筒体が、その先端部には下
方に開口するノズル孔、および、中間部には周方向に開
口する複数のノズル孔を有し、かつ前記中間部のノズル
孔を含む周壁には洗浄液噴出ノズル筒体の先端部までス
カート部が付設されていることを特徴とする排ガス処理
装置が提供される。
に排ガス導入口が形成されている洗浄室と、該洗浄室の
頂部に垂設されている洗浄液噴出ノズル筒体と、前記洗
浄室の下部に連設されている縮径のスロート部と、該ス
ロート部から拡径して連設されているスカート部とから
成るジェットスクラバ本体を有する排ガス処理装置にお
いて、前記洗浄液噴出ノズル筒体が、その先端部には下
方に開口するノズル孔、および、中間部には周方向に開
口する複数のノズル孔を有し、かつ前記中間部のノズル
孔を含む周壁には洗浄液噴出ノズル筒体の先端部までス
カート部が付設されていることを特徴とする排ガス処理
装置が提供される。
（作用） 中間部のノズル孔から噴出される洗浄液は、この中間
部から先端部までを包むスカート部との間の空間に同じ
く一種の水カーテンを形成するようになり、この部分へ
の白色スラリーの堆積を防止するようになる。
部から先端部までを包むスカート部との間の空間に同じ
く一種の水カーテンを形成するようになり、この部分へ
の白色スラリーの堆積を防止するようになる。
（実施例） 以下に、本発明装置の要部である洗浄液噴出ノズル筒
体の実施例につき、添付図面に基づいて説明する。第１
図は、本発明にかかるノズル筒体を洗浄室の頂部に垂設
した状態を示す縦断面図である。
体の実施例につき、添付図面に基づいて説明する。第１
図は、本発明にかかるノズル筒体を洗浄室の頂部に垂設
した状態を示す縦断面図である。
図において、ノズル本体１は１本の円筒体で、その上
部は洗浄室の頂部２に取付けられた洗浄液導入管３と螺
着され、着脱自在になっている。ノズル本体１の下部に
は、下方に向かって開口するノズル孔5aを備えた先端ノ
ズル４が螺着されている。
部は洗浄室の頂部２に取付けられた洗浄液導入管３と螺
着され、着脱自在になっている。ノズル本体１の下部に
は、下方に向かって開口するノズル孔5aを備えた先端ノ
ズル４が螺着されている。
ノズル本体１の上端部には、周方向に放射状に開口す
る複数個のノズル孔5bが形成されている。また、ノズル
本体において先端ノズル４の上部とノズル孔5bの中間の
位置には、同じく、周方向に放射状に開口する複数個の
ノズル孔5cが形成されている。
る複数個のノズル孔5bが形成されている。また、ノズル
本体において先端ノズル４の上部とノズル孔5bの中間の
位置には、同じく、周方向に放射状に開口する複数個の
ノズル孔5cが形成されている。
そして、ノズル本体１において、このノズル孔5cの形
成個所よりも若干上方の個所から先端ノズル４の先端部
までの周囲は、ノズル本体１の外周壁と所定の感覚を置
いてスカート部６で覆われている。
成個所よりも若干上方の個所から先端ノズル４の先端部
までの周囲は、ノズル本体１の外周壁と所定の感覚を置
いてスカート部６で覆われている。
つぎに作用について説明する。
第１図に示したノズル筒体を装着する本発明装置にお
いて、排ガス処理を目的として洗浄液導入管３から所定
の圧力で洗浄液を流入すると、第２図に示したように、
先端ノズル４のノズル孔5aからは洗浄室の下方に向かっ
て洗浄液が噴出するが、スカート部６内に位置するノズ
ル孔5cからも洗浄液が噴出し、スカート部６とノズル本
体１および先端ノズル４との間に存在する間隙内に水カ
ーテンが形成され、この個所への白色スラリーの堆積も
防止される。
いて、排ガス処理を目的として洗浄液導入管３から所定
の圧力で洗浄液を流入すると、第２図に示したように、
先端ノズル４のノズル孔5aからは洗浄室の下方に向かっ
て洗浄液が噴出するが、スカート部６内に位置するノズ
ル孔5cからも洗浄液が噴出し、スカート部６とノズル本
体１および先端ノズル４との間に存在する間隙内に水カ
ーテンが形成され、この個所への白色スラリーの堆積も
防止される。
したがって、洗浄室空間の減少に伴う排気圧の変動、
または、堆積物の落下、堆積の繰り返しによる洗浄空間
の減少に伴う排気圧の変動のような問題が起らず、装置
の正常運転が維持され、またノズル筒体から上記スラリ
ーを除去する作業が不要となり保守が容易となる。な
お、ノズル本体１の上端部のノズル孔5bは洗浄室の内壁
上部にスラリーが堆積することを防止するために設けた
ものであるが、スラリーの堆積が少ない場合には設ける
必要がない。
または、堆積物の落下、堆積の繰り返しによる洗浄空間
の減少に伴う排気圧の変動のような問題が起らず、装置
の正常運転が維持され、またノズル筒体から上記スラリ
ーを除去する作業が不要となり保守が容易となる。な
お、ノズル本体１の上端部のノズル孔5bは洗浄室の内壁
上部にスラリーが堆積することを防止するために設けた
ものであるが、スラリーの堆積が少ない場合には設ける
必要がない。
かくして、洗浄液による排ガスの処理過程そのもの
が、白色スラリーの堆積防止処理の過程となる。
が、白色スラリーの堆積防止処理の過程となる。
なお、実施例では、ノズル筒体について螺着構造のも
のを示したが、ノズル筒体はその構造に限定されるもの
ではなく、全体を一体にした構造のものであってもよ
い。また、ノズル筒体は、耐食性の材料、例えば塩化ビ
ニル樹脂のようなもので形成することが好ましい。
のを示したが、ノズル筒体はその構造に限定されるもの
ではなく、全体を一体にした構造のものであってもよ
い。また、ノズル筒体は、耐食性の材料、例えば塩化ビ
ニル樹脂のようなもので形成することが好ましい。
（発明の効果） 以上の説明で明らかなように、本発明装置は、その構
成が、側壁に排ガス導入口が形成されている洗浄室と、
該洗浄室の頂部に垂設されている洗浄液噴出ノズル筒体
と、前記洗浄室の下部に連設されている縮径のスロート
部と、該スロート部から拡径して連設されているスカー
ト部とから成るジェットスクラバ本体を有する排ガス処
理装置において、前記洗浄噴出ノズル筒体が、その先端
部には下方に開口するノズル孔、および、中間部には周
方向に開口する複数のノズル孔を有し、かつ前記中間部
のノズル孔を含む周壁には洗浄液噴出ノズル筒体の先端
部までスカート部が付設されているようにしたので、排
ガス処理時に洗浄液をノズル筒体に供給すると、排ガス
処理が進むと同時に、白色スラリーがノズル筒体の周壁
に付着・堆積するという問題を解決することができる。
それゆえ、洗浄室の分解・掃除を頻繁に行なうことな
く、長期に亘り安定した装置運転が可能となる。
成が、側壁に排ガス導入口が形成されている洗浄室と、
該洗浄室の頂部に垂設されている洗浄液噴出ノズル筒体
と、前記洗浄室の下部に連設されている縮径のスロート
部と、該スロート部から拡径して連設されているスカー
ト部とから成るジェットスクラバ本体を有する排ガス処
理装置において、前記洗浄噴出ノズル筒体が、その先端
部には下方に開口するノズル孔、および、中間部には周
方向に開口する複数のノズル孔を有し、かつ前記中間部
のノズル孔を含む周壁には洗浄液噴出ノズル筒体の先端
部までスカート部が付設されているようにしたので、排
ガス処理時に洗浄液をノズル筒体に供給すると、排ガス
処理が進むと同時に、白色スラリーがノズル筒体の周壁
に付着・堆積するという問題を解決することができる。
それゆえ、洗浄室の分解・掃除を頻繁に行なうことな
く、長期に亘り安定した装置運転が可能となる。
第１図は本発明の要部である洗浄液噴出ノズル筒体を洗
浄室の頂部に装着した状態を示す縦断面図、第２図はノ
ズル筒体の作用を示す縦断面図、第３図は本発明にかか
るノズル筒体を組込む排ガス処理装置の概略図である。 １……ノズル本体、２……洗浄室の頂部、３……洗浄液
導入管、４……先端ノズル、5a,5b,5c……ノズル孔、６
……スカート部。
浄室の頂部に装着した状態を示す縦断面図、第２図はノ
ズル筒体の作用を示す縦断面図、第３図は本発明にかか
るノズル筒体を組込む排ガス処理装置の概略図である。 １……ノズル本体、２……洗浄室の頂部、３……洗浄液
導入管、４……先端ノズル、5a,5b,5c……ノズル孔、６
……スカート部。
Claims (2)
- 【請求項１】側壁に排ガス導入口が形成されている洗浄
室と、該洗浄室の頂部に垂設されている洗浄液噴出ノズ
ル筒体と、前記洗浄室の下部に連設されている縮径のス
ロート部と、該スロート部から拡径して連設されている
スカート部とから成るジェットスクラバ本体を有する排
ガス処理装置において、前記洗浄液噴出ノズル筒体が、
その先端部には下方に開口するノズル孔、および、中間
部には周方向に開口する複数のノズル孔を有し、かつ前
記中間部のノズル孔を含む周壁には洗浄液噴出ノズル筒
体の先端部までスカート部が付設されていることを特徴
とする排ガス処理装置。 - 【請求項２】前記排ガスが含ハロゲンケイ素化合物を含
み、前記洗浄液がアルカリ水溶液である請求項１記載の
排ガス処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63293478A JP2608124B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 排ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63293478A JP2608124B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 排ガス処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02144116A JPH02144116A (ja) | 1990-06-01 |
| JP2608124B2 true JP2608124B2 (ja) | 1997-05-07 |
Family
ID=17795260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63293478A Expired - Fee Related JP2608124B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 排ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2608124B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE512546C2 (sv) * | 1998-07-02 | 2000-04-03 | Flaekt Ab | Vätskefördelning i en kontaktapparat |
| JP4522895B2 (ja) * | 2005-03-16 | 2010-08-11 | 日鉱金属株式会社 | 排ガス洗浄冷却塔 |
| JP6188033B2 (ja) * | 2015-03-13 | 2017-08-30 | 三菱重工業株式会社 | スクラバ、排ガス処理装置、船舶 |
| CN212017370U (zh) * | 2020-03-16 | 2020-11-27 | 上海晶盟硅材料有限公司 | 用于处理外延炉尾气的水洗管 |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP63293478A patent/JP2608124B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02144116A (ja) | 1990-06-01 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |