JP2602870B2 - Ceramic plate grinding machine - Google Patents

Ceramic plate grinding machine

Info

Publication number
JP2602870B2
JP2602870B2 JP63003971A JP397188A JP2602870B2 JP 2602870 B2 JP2602870 B2 JP 2602870B2 JP 63003971 A JP63003971 A JP 63003971A JP 397188 A JP397188 A JP 397188A JP 2602870 B2 JP2602870 B2 JP 2602870B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic plate
grinding
transfer conveyor
suction
transfer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP63003971A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH01183350A (en
Inventor
英治 原
泰彦 服部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Noritake Co Ltd
Original Assignee
Noritake Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Noritake Co Ltd filed Critical Noritake Co Ltd
Priority to JP63003971A priority Critical patent/JP2602870B2/en
Publication of JPH01183350A publication Critical patent/JPH01183350A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2602870B2 publication Critical patent/JP2602870B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は、アルミナ基板などのセラミックス板の表
裏面を研削するための研削装置に関するものである。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a grinding device for grinding front and back surfaces of a ceramic plate such as an alumina substrate.

(従来の技術) 従来の技術としては例えば特開昭61−178170号公報、
特開昭58−192745号公報、特公昭61−13947号公報等が
ある。
(Prior Art) As a conventional technique, for example, JP-A-61-178170,
There are JP-A-58-192745 and JP-B-61-13947.

上記各公報には被研削物を研削砥粒とともに槽乃至容
器内に装入してこの槽や容器を回転手段等によって回転
および振動させ、被研削物と研削砥粒との摩擦接触によ
って被研削物を研削するバレル型研削方法が開示されて
いる。
In each of the above publications, the object to be ground is charged together with the abrasive grains into a tank or a container, and the tank or container is rotated and vibrated by a rotating means or the like, and the object to be ground is subjected to frictional contact between the object to be ground and the abrasive grains. A barrel-type grinding method for grinding an object is disclosed.

(発明が解決しようとする問題点) 上記バレル型研削方法の場合には1回の研削工程で研
削しうる被研削物の数量が制限されるとともに、被研削
物を槽内や容器内へ装入したり、取出す作業のために煩
雑な手数や時間が必要で、研削能率が極めて悪くなる問
題点があった。
(Problems to be Solved by the Invention) In the case of the above barrel type grinding method, the number of objects to be ground in one grinding step is limited, and the objects to be ground are mounted in a tank or a container. There is a problem in that complicated work and time are required for the work of inserting and removing, and the grinding efficiency is extremely deteriorated.

本発明は上記問題点を解消して研削能率を向上するこ
とを課題とするものである。
An object of the present invention is to improve the grinding efficiency by solving the above problems.

(問題点を解決するための手段) 上記問題点を解決するために、請求項1に係る発明
は、セラミックス板を移送しつつそのセラミックス板の
両面を研削するセラミックス板研削装置であって、多数
の通気孔を有し前記セラミックス板の第1面の側に位置
する第1移送コンベアと、前記通気孔を通して前記セラ
ミックス板を前記第1移送コンベアに吸着させる第1吸
引装置と、前記第1移送コンベアに吸着された前記セラ
ミックス板の第2の面の研削を行う第1研削砥石と、多
数の通気孔を有し前記第1移送コンベアの下流側におい
て前記セラミックス板の第2の面の側に位置する第2移
送コンベアと、前記通気孔を通して前記セラミックス板
を前記第2移送コンベアに吸着させる第2吸引装置と、
前記第2移送コンベアに吸着された前記セラミックス板
の第1の面の研削を行う第2研削砥石とを有し、前記第
1・第2研削砥石の各上流側近傍には、前記セラミック
ス板の研削部位に対して研削液を供給する第1・第2研
削液吐出ノズルが設けられ、前記第1・第2吸引装置
は、ダクトを介して接続されたブロワの吸引力によって
吸引するものであり、そのダクトの途中には、当該第1
・第2吸引装置によって吸引された研削液をエアから分
離するタンクが設けられていることを特徴とする。
(Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the invention according to claim 1 is a ceramic plate grinding apparatus for grinding both surfaces of a ceramic plate while transferring the ceramic plate. A first transfer conveyer having a vent hole on the first surface side of the ceramic plate, a first suction device for adsorbing the ceramic plate on the first transfer conveyer through the vent hole, and the first transfer A first grinding wheel for grinding the second surface of the ceramic plate adsorbed on the conveyor, and a plurality of air holes having a downstream side of the first transfer conveyor on a side of the second surface of the ceramic plate; A second transfer conveyor located, a second suction device for adsorbing the ceramics plate to the second transfer conveyor through the ventilation hole,
A second grinding wheel that grinds the first surface of the ceramic plate adsorbed to the second transfer conveyor, and near each upstream side of the first and second grinding wheels, First and second grinding fluid discharge nozzles for supplying a grinding fluid to a grinding portion are provided, and the first and second suction devices suction by a suction force of a blower connected via a duct. In the middle of the duct,
-A tank for separating the grinding fluid sucked by the second suction device from the air is provided.

また、請求項2に係る発明は、セラミックス板を移送
しつつそのセラミックス板の両面を研削するセラミック
ス板研削装置であって、多数の通気孔を有し前記セラミ
ックス板の第1面の側に位置する第1移送コンベアと、
前記通気孔を通して前記セラミックス板を前記第1移送
コンベアに吸着させる第1吸引装置と、前記第1移送コ
ンベアに吸着された前記セラミックス板の第2の面の研
削を行う第1研削砥石と、多数の通気孔を有し前記第1
移送コンベアの下流側において前記セラミックス板の第
2の面の側に位置する第2移送コンベアと、前記通気孔
を通して前記セラミックス板を前記第2移送コンベアに
吸着させる第2吸引装置と、前記第2移送コンベアに吸
着された前記セラミックス板の第1の面の研削を行う第
2研削砥石とを有し、前記第1・第2吸引装置は、ダク
トを介して接続されたブロワの吸引力によって吸引する
ものであり、前記第1・第2吸引装置は、前記第1・第
2移送コンベアに対して接触するプレートを有してお
り、当該各プレートの当該各移送コンベアに接触する面
には、当該各移送コンベアの移動方向とは斜めの方向に
延びる多数の溝が形成され、それらの溝には、前記ダク
トに連通する吸気孔が多数形成されていることを特徴と
する。
The invention according to claim 2 is a ceramic plate grinding apparatus for grinding both surfaces of a ceramic plate while transferring the ceramic plate, the device having a large number of ventilation holes and being positioned on the first surface side of the ceramic plate. A first transfer conveyor,
A first suction device for adsorbing the ceramic plate to the first transfer conveyor through the ventilation hole, a first grinding wheel for grinding a second surface of the ceramic plate adsorbed on the first transfer conveyor, The first
A second transfer conveyor located on the side of the second surface of the ceramic plate downstream of the transfer conveyor, a second suction device for adsorbing the ceramic plate to the second transfer conveyor through the vent hole, A second grinding wheel for grinding the first surface of the ceramic plate adsorbed on the transfer conveyor, wherein the first and second suction devices are suctioned by a suction force of a blower connected via a duct. The first and second suction devices have a plate that comes into contact with the first and second transfer conveyors, and a surface of each of the plates that comes into contact with each of the transfer conveyors includes: A large number of grooves extending in a direction oblique to the moving direction of each transfer conveyor are formed, and a large number of intake holes communicating with the duct are formed in these grooves.

(作用・効果) 請求項1及び請求項2に係る発明においては、第1移
送コンベアの通気孔を通して第1吸引装置によって当該
第1移送コンベアにセラミックス板を吸着した状態で、
当該第1移送コンベアによってセラミックス板を移送し
つつ、第1研削砥石によってセラミックス板の第2の面
の研削が行われる。そして、その後に、第2移送コンベ
アの通気孔を通して第2吸引装置によって当該第2移送
コンベアにセラミックス板を吸着した状態で、当該第2
移送コンベアによってセラミックス板を移送しつつ、第
2研削砥石によってセラミックス板の第1の面の研削が
行われる。このようにして、セラミックス板の両面の研
削を容易に行うことができる。
(Operation / Effect) In the invention according to claim 1 and claim 2, in a state in which the ceramic plate is suctioned to the first transfer conveyor by the first suction device through the ventilation hole of the first transfer conveyor,
While the ceramic plate is transferred by the first transfer conveyor, the second surface of the ceramic plate is ground by the first grinding wheel. Then, after that, in a state where the ceramic plate is adsorbed to the second transfer conveyor by the second suction device through the ventilation hole of the second transfer conveyor,
While transferring the ceramics plate by the transfer conveyor, the first surface of the ceramics plate is ground by the second grinding wheel. Thus, both sides of the ceramic plate can be easily ground.

また、そのセラミックス板の各面の研削の際には、各
研削砥石の上流側近傍に設けられた第1・第2研削液吐
出ノズルから、そのセラミックス板の研削部位に対して
研削液が供給される。このため、セラミックス板の研削
を円滑に行うことができる。
Also, when grinding each surface of the ceramic plate, the grinding liquid is supplied to the grinding portion of the ceramic plate from first and second grinding liquid discharge nozzles provided near the upstream side of each grinding wheel. Is done. For this reason, the ceramic plate can be smoothly ground.

また、請求項1に係る発明においては、次の特有の作
用効果が得られる。すなわち、各吸引装置はブロワの吸
引力によって吸引するものであり、その吸引の際には、
エアのみでなく研削液も同時に吸引されてしまうことが
多い。そして、その研削液がブロワに到ると、ブロワの
性能を低下させてしまう。しかしながら、ブロワに到る
までの途中にはタンクが設けられており、そのタンクに
おいて研削液が分離される。このため、研削液がブロワ
に到ることが防止され、ブロワによる吸引力が確保さ
れ、確実な研削が担保される。
Further, in the invention according to claim 1, the following specific operation and effect can be obtained. That is, each suction device suctions by the suction force of the blower.
In many cases, not only air but also grinding fluid is sucked at the same time. When the grinding fluid reaches the blower, the performance of the blower is reduced. However, a tank is provided on the way to the blower, and the grinding fluid is separated in the tank. Therefore, the grinding fluid is prevented from reaching the blower, the suction force of the blower is secured, and reliable grinding is ensured.

また、請求項2に係る発明においては、次の特有の作
用効果が得られる。すなわち、ブロワの吸引力に基づい
て、各吸引装置のプレートの各吸気孔及び各移送コンベ
アの通気孔を通して、セラミックス板の各移送コンベア
への吸着が行われる。この際、各吸引装置の各プレート
においては、多数の吸気孔は、各溝部に対して複数個ご
とに設けられているため、それら複数個の吸気孔は溝部
を介して連通していることになる。また、その各溝部
は、各プレートにおいて、各移送コンベアの移動方向と
は斜めの方向に延びている。
Further, in the invention according to claim 2, the following specific operation and effect can be obtained. That is, based on the suction force of the blower, the ceramic plate is suctioned to each transfer conveyor through each suction hole of the plate of each suction device and the ventilation hole of each transfer conveyor. At this time, in each plate of each suction device, a large number of intake holes are provided for each of the plurality of grooves, so that the plurality of intake holes communicate with each other through the grooves. Become. Each groove extends in each plate in a direction oblique to the moving direction of each transfer conveyor.

このため、移送コンベアが仮に蛇行等をして所定の走
行をしない場合にも、吸引装置の吸気孔と移送コンベア
の通気孔との間に連通状態が各溝部を介してより確かに
担保されることになり、各移送コンベアに対して確実に
セラミックス板の吸着を行うことができることになり、
確実な研削を行うことができる。
For this reason, even when the transfer conveyor does meandering or the like and does not perform a predetermined traveling, the communication state between the suction hole of the suction device and the ventilation hole of the transfer conveyor is more reliably ensured through each groove. This means that the ceramic plate can be reliably attracted to each transfer conveyor,
Reliable grinding can be performed.

(実施例) 次に、本発明の実施に使用する装置の一実施例を図面
にしたがって説明する。
(Embodiment) Next, an embodiment of an apparatus used for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.

多重に重ね合わされて焼成されたセラミックス板の表
裏面に付着する目砂を除去してセラミックス板の表裏面
を平滑化するときに適用され、とくに、厚さが約0.6〜
1.6mmの薄形で小形のセラミックス板に適用される研削
装置Kにおいて、この研削装置Kには目砂が付着した未
処理のセラミックス板を1個づつ乃至複数個づつ研削ラ
イン内へ自動的に搬入するための搬入ステーションS1
と、未処理のセラミックス板の上下面を連続的に研削す
るための研削ステーションS2と、研削されたセラミック
ス板を洗滌するための洗滌ステーションS3と、洗滌され
たセラミックス板を乾燥するための乾燥ステーションS4
と、乾燥したセラミックス板を移送ライン外へ搬出する
ための搬出ステーションS5とが前から配列されている。
It is applied when smoothing the front and back surfaces of the ceramic plate by removing the sand that adheres to the front and back surfaces of the ceramic plate that has been stacked and fired in multiple layers.
In a grinding machine K applied to a 1.6 mm thin and small ceramic plate, this grinding machine K automatically puts one or more unprocessed ceramic plates with grain sand into the grinding line. Loading station S1 for loading
A grinding station S2 for continuously grinding the upper and lower surfaces of the untreated ceramic plate, a cleaning station S3 for cleaning the ground ceramic plate, and a drying station for drying the washed ceramic plate. S4
And an unloading station S5 for unloading the dried ceramic plate out of the transfer line are arranged from the front.

搬送ステーションS1において、ベース1に取付けられ
た支持部材2には無端状のベルト3が循回動可能に掛装
されるとともに、支持部材2の下端に取着されたリニア
モータ4に連結されてベルト3に固定された受け板5上
にはそれぞれ多数個のセラミックス板Cを重ね合わせた
適数列のセラミックス板列が載置され(本例では1列乃
至3列のセラミックス板列が載置される)、最上端のセ
ラミックス板Cが1枚ずつ吸着移載される動作が反復さ
れて最上端のセラミックス板が所定位置まで下降すると
図示しないセンサがこれを検出して受け板5が一定時間
だけ上昇する。一方、ベース1上には上端にハンド6が
組付けられた4節リンク機構7が前後方向への傾動可能
に装着されるとともに、ハンド6にはセラミックス板を
吸着するために図示しない吸引装置にそれぞれ連通され
た適数個(本例で3個)の吸盤9がそれぞれアーム10を
介して取着されている。ハンド6はこのハンド6の垂立
部6aに枢支された上エアシリンダ11のピストン軸に連結
されるとともに、4節リンク機構7の後側リンク7aは下
エアシリンダ12のピストン軸に連結されていて、両エア
シリンダ11,12のピストン軸の進退動動作によってハン
ド6が前上方および後下方へ往復傾動し、ハンド6の往
復傾動毎に受け板5上のセラミックス板列中最上端のセ
ラミックス板Cが吸盤9で特上げられて研削ステーショ
ンS2に始端部へ移載される。
In the transfer station S1, an endless belt 3 is circulated around a support member 2 attached to a base 1 and connected to a linear motor 4 attached to a lower end of the support member 2. On the receiving plate 5 fixed to the belt 3, an appropriate number of ceramic plate rows each of which a plurality of ceramic plates C are superimposed are placed (in this example, one to three ceramic plate rows are placed. The operation in which the uppermost ceramic plate C is sucked and transferred one by one is repeated, and when the uppermost ceramic plate descends to a predetermined position, a sensor (not shown) detects this and the receiving plate 5 moves for a predetermined time. To rise. On the other hand, a four-bar linkage 7 having a hand 6 attached to the upper end thereof is mounted on the base 1 so as to be tiltable in the front-rear direction. An appropriate number (three in this example) of suction cups 9 respectively connected to each other are attached via arms 10 respectively. The hand 6 is connected to a piston shaft of an upper air cylinder 11 pivotally supported by an upright portion 6a of the hand 6, and a rear link 7a of the four-bar linkage 7 is connected to a piston shaft of a lower air cylinder 12. The hand 6 reciprocates in the forward and backward and downward directions by the reciprocating movement of the piston shafts of the air cylinders 11 and 12, and the uppermost ceramic in the ceramic plate row on the receiving plate 5 every time the hand 6 reciprocates The plate C is picked up by the suction cup 9 and transferred to the starting end at the grinding station S2.

研削ステーションS2には箱形状の機台14が設置される
とともに、機台14上には機台14を密封状に覆蓋する箱形
状のカバー15が乗置されている。機台14の上端にはコン
ベアローラ16a〜16aに対し楯回動可能に掛架されかつ水
平方向へ直進走行する移送面17が上側に形成された無端
状の第1移送コンベア16と、コンベアローラ18a〜18aに
対し循回動可能に掛架されて第1移送コンベア16に対し
て上下反転した状態で設置され、かつ第1移送コンベア
16の移送面17とほぼ同一水平レベルで直進走行する移送
面19が下側に形成された無端状の第2移送コンベア18と
が両移送面17,19の一部が重合された状態で前後に配列
されている。両移送コンベア16,18には縦横方向及び移
送方向に対して45゜傾斜した方向へそれぞれ等間隔で配
列された多数個の通気孔20〜20がそれぞれ貫設されてい
る。
A box-shaped machine base 14 is installed in the grinding station S2, and a box-shaped cover 15 that covers the machine base 14 in a sealed manner is mounted on the machine base 14. At the upper end of the machine base 14, an endless first transfer conveyor 16 having a transfer surface 17 which is hung rotatably on the conveyor rollers 16a to 16a so as to be rotatable and travels straight in the horizontal direction, is formed on the upper side; The first transfer conveyor 16 is installed so as to be rotatably circulated around 18a to 18a and installed upside down with respect to the first transfer conveyor 16, and
An endless second transfer conveyor 18 formed on the lower side with a transfer surface 19 that travels straight at substantially the same horizontal level as the transfer surface 17 of the front and back 16 with both transfer surfaces 17, 19 partially overlapped. Are arranged. Each of the transfer conveyors 16 and 18 is provided with a plurality of ventilation holes 20 to 20 arranged at equal intervals in the vertical and horizontal directions and in a direction inclined at 45 ° to the transfer direction.

第1移送コンベア16の移送面17の下側にはセラミック
ス板Cを移送面17に真空吸着させるために機台14に固定
された中空状の第1吸引ボックス21が移送面17に沿って
添設される一方、第2移送コンベア18の移送面19の上側
にはセラミックス板Cを移送面19に真空吸着させるため
に機台14に固定された中空状の第2吸引ボックス22が移
送面19に沿って添設されている。両吸引ボックス21,22
は両吸引ボックス21,22内のエアを吸引するために移送
ラインの一側に設置されたブロア32に対し、エアととも
に吸引された水分を分離するためのタンク33が途中に配
設されたダクト34,34を介して接続されている。第1吸
引ボックス21の上端および第2吸引ボックス22の下端に
それぞれ形成された多孔プレート21a,22aにはそれぞれ
斜め方向に沿って凹設された複数個の連通溝23〜23がそ
れぞれ等間隔で並行状に配列されるとともに、両多孔プ
レート21a,22aにはそれぞれ連通溝23を貫通する位置に
配設されてそれぞれ等間隔で配列された多数個の吸気孔
24〜24が貫設され、各連通溝23の中心線に沿って斜めに
配列された吸気孔列内の各吸気孔24は連通溝23によって
相互に連通されている。両移送コンベア16,18の通気孔2
0はセラミックス板の面積に相当する両移送面17,19の面
積内、すなわち、セラミックス板Cの輪郭で囲まれた両
移送面17,19を面積内においてセラミックス板Cによっ
て閉塞された各通気孔20の一部が多孔プレート21a,22a
の連通溝23の一部と常に重なり合って相互に連通され、
連通溝23と重なった通気孔20の総面積が常に少くとも通
気孔30のN個分(本例ではN=4)の面積N×π(D/
2)以上となるように設定され(Dは通気孔20の孔
径)、セラミックス板Cは吸気孔24、連通溝23、通気孔
20を通じて両吸引ボックス21,22側へ吸引されて移送面1
7,19に吸着した状態で水平移送される。そして、本例で
は各通気孔20および各吸気孔24の孔径Dをそれぞれ4m
m、連通孔23の溝幅Hを4mm、連通溝23の傾斜角度Aを2
2.5゜、斜め方向へ配列された通気孔列の傾斜角度を45
゜、通気孔20の縦方向の配列間隔K1および横方向の配列
間隔K2をそれぞれ17mm、吸気孔24の縦方向の配列間隔K3
をそれぞれ8.5mm、吸気孔24の横方向の配列間隔K4を17m
mにそれぞれ設定し、また、移送方向に配列された各通
気孔列の位置が移送方向に配列された縦各吸気孔列の位
置とそれぞれ一致し若しくは隣合う縦吸気孔列の中間部
に配置されるように設定してある(第5図参照)。
Below the transfer surface 17 of the first transfer conveyor 16, a hollow first suction box 21 fixed to the machine base 14 is attached along the transfer surface 17 so that the ceramics plate C is vacuum-sucked to the transfer surface 17. On the other hand, above the transfer surface 19 of the second transfer conveyor 18, a hollow second suction box 22 fixed to the machine base 14 for vacuum adsorbing the ceramics plate C to the transfer surface 19 is provided. It is attached along. Both suction boxes 21, 22
Is a duct in which a tank 33 for separating moisture sucked together with air is provided on the way to a blower 32 installed on one side of the transfer line for sucking air in both suction boxes 21 and 22. They are connected via 34,34. A plurality of communication grooves 23 to 23 recessed along the oblique direction are respectively formed at equal intervals in the porous plates 21a and 22a formed at the upper end of the first suction box 21 and the lower end of the second suction box 22, respectively. While being arranged in parallel, a large number of intake holes are arranged in the two perforated plates 21a and 22a at positions respectively penetrating the communication grooves 23 and arranged at equal intervals.
24 to 24 are penetrated, and the respective intake holes 24 in the intake hole array obliquely arranged along the center line of each communication groove 23 are connected to each other by the communication groove 23. Ventilation holes 2 on both conveyors 16, 18
0 is an area of both transfer surfaces 17, 19 corresponding to the area of the ceramic plate, that is, each ventilation hole closed by the ceramic plate C within the area of both transfer surfaces 17, 19 surrounded by the outline of the ceramic plate C. Part of 20 is perforated plate 21a, 22a
And always communicate with each other by overlapping part of the communication groove 23,
The total area of the air holes 20 overlapping the communication groove 23 is always at least N (N = 4 in this example) N × π (D /
2) It is set so as to be 2 or more (D is the hole diameter of the ventilation hole 20), and the ceramic plate C has the intake hole 24, the communication groove 23, the ventilation hole
The transfer surface 1 is sucked to both suction boxes 21 and 22 through
It is transferred horizontally while being adsorbed on 7,19. In this example, the hole diameter D of each ventilation hole 20 and each intake hole 24 is 4 m.
m, the groove width H of the communication hole 23 is 4 mm, and the inclination angle A of the communication groove 23 is 2
2.5 ゜, 45 ° diagonal array of vent holes
゜, the vertical arrangement interval K1 and the horizontal arrangement interval K2 of the ventilation holes 20 are each 17 mm, and the vertical arrangement interval K3 of the intake holes 24.
8.5 mm each, 17 m of the horizontal arrangement interval K4 of the intake holes 24
m, and the position of each air hole array arranged in the transfer direction is the same as the position of each vertical air hole array arranged in the transfer direction, or it is arranged in the middle part of the adjacent vertical air hole array. (See FIG. 5).

第1移送コンベア16の移送面17に吸着して移送される
セラミックス板Cの上面を研削するために第1移送コン
ベア16に対設されて半径方向に弾性をもつ軟質円盤状に
形成された第1研削砥石26は移送面17の上側に設置さ
れ、また、第2移送コンベア18の移送面19に吸着して移
送されるセラミックス板Cの下面を前記上面の研削直後
連続して研削するために半径方向に弾性をもつ軟質円盤
状に形成された第2研削砥石27は移送面19の下側に設置
されている。両研削砥石26,27は例えば研削砥粒を含浸
した不織布が多重に巻回されたロール体を輪切り状に切
断して形成されている。第1研削砥石26はモータ29で駆
動されるオシレーション機構28に連結されて軸方向へ往
復移動しながらモータ30によってベルトを介して回転駆
動され、また第2研削砥石27はモータ31によってベルト
を介して回転駆動される。
In order to grind the upper surface of the ceramic plate C which is adsorbed and transferred to the transfer surface 17 of the first transfer conveyor 16, the second transfer conveyor 16 is formed to have a radially elastic soft disk-like shape opposed to the first transfer conveyor 16 for grinding. The first grinding wheel 26 is provided above the transfer surface 17 and is used to continuously grind the lower surface of the ceramic plate C which is sucked and transferred to the transfer surface 19 of the second transfer conveyor 18 immediately after grinding the upper surface. A second grinding wheel 27 formed in the shape of a soft disk having elasticity in the radial direction is provided below the transfer surface 19. The grinding wheels 26 and 27 are formed by cutting a roll body in which a nonwoven fabric impregnated with grinding abrasive grains is wound in multiple layers, for example. The first grinding wheel 26 is connected to an oscillation mechanism 28 driven by a motor 29 and is rotationally driven via a belt by a motor 30 while reciprocating in the axial direction. Is driven to rotate.

両研削砥石26,27のそれぞれ後側に近接して配設され
た吐出ノズル36,37はセラミックス板の研削中研削液を
研削部位へ向ってそれぞれ吐出してワークを湿潤状態で
研削するために設置され、また、吐出ノズル38,39は研
削液を吐出して研削屑をセラミックス板から除去するた
めにそれぞれ設置されている。研削ステーションS2へ搬
入されたセラミックス板Cはその上下面が第1および第
2の研削砥石26,27によって湿潤状態で連続的に研削さ
れて洗滌ステーションS3へ搬入される。
Discharge nozzles 36 and 37 arranged close to the rear side of both grinding wheels 26 and 27 respectively discharge grinding fluid toward the grinding part during grinding of the ceramic plate to grind the workpiece in a wet state. The discharge nozzles 38 and 39 are provided to discharge the grinding fluid to remove grinding chips from the ceramic plate. The upper and lower surfaces of the ceramic plate C carried into the grinding station S2 are continuously ground in a wet state by the first and second grinding wheels 26 and 27, and are carried into the cleaning station S3.

洗滌ステーションS3には研削ステーションS2の終端付
近から搬出ステーションS5にわたって循回動可能に掛架
された下側ネットコンベア40の始端部付近と、洗滌ステ
ーションS3から搬出ステーションS5にわたって循回動可
能に掛架された上側ネットコンベア41の始端部付近とが
セラミックス板を挟持して移送するために重合状態で設
置されている。下側ネットコンベア40の上側循回部と、
上側ネットコンベア41の下側循回部とは多数対のピンチ
ローラ間に挟持されて循回し、両ネットコンベア40,41
間に挟持されて移送されるセラミックス板の移送路の上
下方には上下適数対の洗滌ノズル42〜42がそれぞれ洗滌
液をセラミックス板の上下面に向って噴射するためにそ
れぞれ配列され、また、洗滌ステーションS3の終端部に
はセラミックス板に付着した洗滌液を絞り取るための上
下1対の脱水ローラ43が設置されている。
The cleaning station S3 is rotatably circulated from the vicinity of the end of the grinding station S2 to the vicinity of the starting end of the lower net conveyor 40, which is rotatively wrapped around the unloading station S5, and from the rinsing station S3 to the unloading station S5. The vicinity of the starting end of the bridged upper net conveyor 41 is set in a superposed state in order to sandwich and transfer the ceramic plate. An upper circulating portion of the lower net conveyor 40,
The lower circulating portion of the upper net conveyor 41 circulates while being sandwiched between a number of pairs of pinch rollers, and both net conveyors 40, 41
An appropriate number of upper and lower pairs of cleaning nozzles 42 to 42 are arranged above and below the transfer path of the ceramic plate that is sandwiched and transferred between them so as to spray a cleaning liquid toward the upper and lower surfaces of the ceramic plate, respectively. At the end of the cleaning station S3, a pair of upper and lower dehydrating rollers 43 for squeezing the cleaning liquid adhered to the ceramics plate is provided.

洗滌ステーションS3に後続する乾燥ステーションS4に
は洗滌ステーションS3から搬出されて移送されるセラミ
ックス板の上下面にそれぞれ常温エアを吹きつけるため
に移送路の上下方に対し相対向状に配設されて移送路に
対して傾斜する適数個の吹出しノズル44a〜44aを備えた
上下1対の一次脱水ダクト44,44と、セラミックス板の
上下面に熱風を吹きつけるために両一次脱水ダクト44の
先方でワーク通路の上下方に対し相対向状に設置されて
適数個の吹出しノズル45a〜45aを備えた熱風ダクト45,4
5とが連設され、両一次脱水ダクト44はその下方に設置
されたブロア46に接続され、また両熱風ダクト45はその
下方に設置されたブロア47,47にヒータ48,48を介して接
続されている。
A drying station S4 subsequent to the washing station S3 is disposed opposite to the upper and lower sides of the transfer path to blow room temperature air onto the upper and lower surfaces of the ceramic plate carried out and transferred from the washing station S3. A pair of upper and lower primary dewatering ducts 44, 44 each having an appropriate number of blowing nozzles 44a to 44a inclined with respect to the transfer path, and the front of both primary dehydrating ducts 44 for blowing hot air onto the upper and lower surfaces of the ceramic plate. Hot air ducts 45, 4 which are installed opposite to each other at the top and bottom of the work passage and have an appropriate number of blowing nozzles 45a to 45a
5 are connected in series, both primary dewatering ducts 44 are connected to blowers 46 installed below them, and both hot air ducts 45 are connected to blowers 47, 47 installed below them via heaters 48, 48. Have been.

搬出ステーションS5には下側ネットコンベア40の終端
部と、上側ネットコンベア41の終端部のが喰違い状に配
設されるとともに、排出シュート49が研削処理されセラ
ミックス板を受容する受け箱50上に傾設されていて、セ
ラミックス板は下側ネットコンベア40上に終端部から排
出されて排出シュート49を通じて受け箱50内へ送入され
る。
In the unloading station S5, the end of the lower net conveyor 40 and the end of the upper net conveyor 41 are arranged in a staggered manner, and the discharge chute 49 is ground on the receiving box 50 for receiving the ceramic plate. The ceramics plate is discharged from the terminal end onto the lower net conveyor 40 and is fed into the receiving box 50 through the discharge chute 49.

そして、上記した構成をもつ装置を使用してセラミッ
クス板Cを研削処理するに際し、研削ステーションS2へ
搬入されたセラミックス板Cを移送する第1移送コンベ
ア16の移送面17にセラミックス板Cを吸着させて移送し
ながらセラミックス板Cの上面を第1移送コンベア16に
対設された第1研削砥石26で研削してから、セラミック
ス板Cを第1移送コンベア16に対して上下反転した状態
で設置された第2搬送コンベア18の移送面19に吸着させ
て移送しながらセラミックス板Cの下面を第2移送コン
ベア18に対設された第2研削砥石27で研削し、さらに、
セラミックス板Cを洗滌、乾燥してライン外へ搬出す
る。
When the ceramic plate C is ground using the apparatus having the above configuration, the ceramic plate C is adsorbed on the transfer surface 17 of the first transfer conveyor 16 for transferring the ceramic plate C carried into the grinding station S2. After the upper surface of the ceramics plate C is ground by the first grinding wheel 26 opposed to the first transfer conveyor 16 while transferring the ceramics plate C, the ceramics plate C is set upside down with respect to the first transfer conveyor 16. The lower surface of the ceramics plate C is ground by the second grinding wheel 27 provided on the second transfer conveyor 18 while being suctioned and transferred to the transfer surface 19 of the second transfer conveyor 18, and further,
The ceramic plate C is washed, dried and carried out of the line.

このため、セラミックス板の研削処理に際し、セラミ
ックス板Cを両移送コンベア16,18の移送面17,19にそれ
ぞれ固定してセラミックス板Cの位置ずれや不正動作を
規制した状態で、各セラミックス板Cを正確かつ安定に
移送してセラミックス板Cの上下両面をそれぞれ正確に
研削しうるとともに、セラミックス板Cを搬入、研削、
洗滌、乾燥および搬出する各工程を連続化および全自動
化してセラミックス板Cの研削処理工程を能率化しうる
効果がある。
For this reason, in the grinding process of the ceramic plates, the ceramic plates C are fixed to the transfer surfaces 17 and 19 of the two transfer conveyors 16 and 18, respectively, and each ceramic plate C Can be accurately and stably transferred so that the upper and lower surfaces of the ceramic plate C can be accurately ground, respectively.
The steps of washing, drying, and carrying out are made continuous and fully automated, so that the grinding process of the ceramic plate C can be efficiently performed.

また、セラミックス板Cを移送面17に吸着させた状態
でセラミックス板Cの上面を研削してから、セラミック
ス板Cを移送面19に吸着させた状態でのセラミックス板
の下面を連続的に研削するため、上下両面を連続研削す
るためにセラミックス板を上下反転する反転機構が不要
となってセラミックス板Cの上下両面の連続研削に要す
るスペースを縮少することができる。
Further, after the upper surface of the ceramic plate C is ground while the ceramic plate C is attracted to the transfer surface 17, the lower surface of the ceramic plate is continuously ground while the ceramic plate C is attracted to the transfer surface 19. Therefore, an inversion mechanism for inverting the ceramic plate upside down in order to continuously grind the upper and lower surfaces becomes unnecessary, and the space required for the continuous grinding of the upper and lower surfaces of the ceramic plate C can be reduced.

特に、本例ではセラミックス板Cで閉塞される第1,第
2移送コンベア16,18の各通気孔20の一部が第1,第2吸
引ボックス21,22の多孔プレート21a,21aの吸気孔24群の
一部と連通溝23を介して常に連通するように設定してあ
るため、セラミックス板Cが両移送面17,19にそれぞれ
的確かつ安定に吸着して移送され、セラミックス板の上
下両面をそれぞれ均整に研削してセラミックス板の上下
両面の研削精度を高めうる効果がある。
In particular, in this example, a part of each of the ventilation holes 20 of the first and second transfer conveyors 16 and 18 closed by the ceramic plate C is formed by the intake holes of the perforated plates 21a and 21a of the first and second suction boxes 21 and 22. Since it is set so as to always communicate with a part of the 24 group via the communication groove 23, the ceramic plate C is stably and accurately adsorbed and transferred to both transfer surfaces 17, 19, respectively. Has the effect of increasing the grinding accuracy of both the upper and lower surfaces of the ceramic plate.

また、仮に移送コンベア16,18の移送面17,19が蛇行し
たり、不正走行して各通気孔20の進行位置が変化して
も、斜め方向に配列された吸気孔列内の各吸気孔24が連
通溝によって相互に連通されているため、通気孔20の位
置ずれを吸収して常に所定の吸引力を確保することがで
きる。
Also, even if the transfer surfaces 17, 19 of the transfer conveyors 16, 18 meander, or run incorrectly, and the traveling position of each of the ventilation holes 20 changes, each of the intake holes in the intake hole array arranged diagonally. Since the channels 24 are communicated with each other by the communication groove, the positional deviation of the ventilation holes 20 can be absorbed and a predetermined suction force can be always secured.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

図面は本発明の研削装置の一実施例を示すもので、第1
図は第3図のX1−X1線拡大断面図、第2図は研削装置の
側面図、第3図は同じく平面図、第4図は搬入ステーシ
ョンの側面図、第5図は移送コンベアおよび吸引ボック
スの拡大平面図、第6図は第5図のX2−X2線断面図であ
る。 16……第1移送コンベア、17……移送面 18……第2移送コンベア、19……移送面 26……第1研削砥石、27……第2研削砥石 C……セラミックス板
The drawing shows an embodiment of the grinding device of the present invention,
FIG. 3 is an enlarged sectional view taken along line X1-X1 of FIG. 3, FIG. 2 is a side view of the grinding machine, FIG. 3 is a plan view of the same, FIG. 4 is a side view of the loading station, and FIG. FIG. 6 is an enlarged plan view of the box, and FIG. 6 is a sectional view taken along line X2-X2 in FIG. 16 First transfer conveyor, 17 Transfer surface 18 Second transfer conveyor, 19 Transfer surface 26 First grinding wheel, 27 Second grinding wheel C Ceramic plate

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】セラミックス板を移送しつつそのセラミッ
クス板の両面を研削するセラミックス板研削装置であっ
て、 多数の通気孔を有し前記セラミックス板の第1面の側に
位置する第1移送コンベアと、 前記通気孔を通して前記セラミックス板を前記第1移送
コンベアに吸着させる第1吸引装置と、 前記第1移送コンベアに吸着された前記セラミックス板
の第2の面の研削を行う第1研削砥石と、 多数の通気孔を有し前記第1移送コンベアの下流側にお
いて前記セラミックス板の第2の面の側に位置する第2
移送コンベアと、 前記通気孔を通して前記セラミックス板を前記第2移送
コンベアに吸着させる第2吸引装置と、 前記第2移送コンベアに吸着された前記セラミックス板
の第1の面の研削を行う第2研削砥石とを有し、 前記第1・第2研削砥石の各上流側近傍には、前記セラ
ミックス板の研削部位に対して研削液を供給する第1・
第2研削液吐出ノズルが設けられ、 前記第1・第2吸引装置は、ダクトを介して接続された
ブロワの吸引力によって吸引するものであり、そのダク
トの途中には、当該第1・第2吸引装置によって吸引さ
れた研削液をエアから分離するタンクが設けられている
ことを特徴とするセラミックス板研削装置。
1. A ceramic plate grinding apparatus for grinding both surfaces of a ceramic plate while transferring the ceramic plate, the first transfer conveyor having a number of air holes and being located on a first surface side of the ceramic plate. A first suction device for adsorbing the ceramic plate to the first transfer conveyor through the ventilation hole, and a first grinding wheel for grinding a second surface of the ceramic plate adsorbed to the first transfer conveyor. A second air passage having a plurality of air holes and located on the side of the second surface of the ceramic plate downstream of the first transfer conveyor;
A transfer conveyor, a second suction device that sucks the ceramic plate to the second transfer conveyor through the ventilation hole, and a second grinding that grinds a first surface of the ceramic plate sucked to the second transfer conveyor. A first and second grinding wheel, in the vicinity of each upstream side of the first and second grinding wheels, for supplying a grinding fluid to a grinding portion of the ceramic plate;
A second grinding fluid discharge nozzle is provided, and the first and second suction devices suction by a suction force of a blower connected via a duct, and the first and second suction devices are provided in the middle of the duct. (2) A ceramic plate grinding apparatus comprising a tank for separating a grinding fluid sucked by a suction device from air.
【請求項2】セラミックス板を移送しつつそのセラミッ
クス板の両面を研削するセラミックス板研削装置であっ
て、 多数の通気孔を有し前記セラミックス板の第1面の側に
位置する第1移送コンベアと、 前記通気孔を通して前記セラミックス板を前記第1移送
コンベアに吸着させる第1吸引装置と、 前記第1移送コンベアに吸着された前記セラミックス板
の第2の面の研削を行う第1研削砥石と、 多数の通気孔を有し前記第1移送コンベアの下流側にお
いて前記セラミックス板の第2の面の側に位置する第2
移送コンベアと、 前記通気孔を通して前記セラミックス板を前記第2移送
コンベアに吸着させる第2吸引装置と、 前記第2移送コンベアに吸着された前記セラミックス板
の第1の面の研削を行う第2研削砥石とを有し、 前記第1・第2吸引装置は、ダクトを介して接続された
ブロワの吸引力によって吸引するものであり、 前記第1・第2吸引装置は、前記第1・第2移送コンベ
アに対して接触するプレートを有しており、当該各プレ
ートの当該各移送コンベアに接触する面には、当該各移
送コンベアの移動方向とは斜めの方向に延びる多数の溝
が形成され、それらの溝には、前記ダクトに連通する吸
気孔が多数形成されていることを特徴とするセラミック
ス板研削装置。
2. A ceramic plate grinding apparatus for grinding both surfaces of a ceramic plate while transferring the ceramic plate, comprising: a first transfer conveyor having a number of air holes and located on a first surface side of the ceramic plate. A first suction device for adsorbing the ceramic plate to the first transfer conveyor through the vent hole, and a first grinding wheel for grinding a second surface of the ceramic plate adsorbed to the first transfer conveyor. A second air passage having a plurality of air holes and located on the side of the second surface of the ceramic plate downstream of the first transfer conveyor;
A transfer conveyor, a second suction device that sucks the ceramic plate to the second transfer conveyor through the ventilation hole, and a second grinding that grinds a first surface of the ceramic plate sucked to the second transfer conveyor. A whetstone, wherein the first and second suction devices suction by a suction force of a blower connected through a duct, and the first and second suction devices are the first and second suction devices. It has a plate that comes into contact with the transfer conveyor, and on a surface of the plate that contacts the transfer conveyor, a number of grooves that extend in a direction oblique to the direction of movement of the transfer conveyor are formed, A ceramic plate grinding apparatus, wherein a number of intake holes communicating with the duct are formed in those grooves.
JP63003971A 1988-01-12 1988-01-12 Ceramic plate grinding machine Expired - Lifetime JP2602870B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63003971A JP2602870B2 (en) 1988-01-12 1988-01-12 Ceramic plate grinding machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63003971A JP2602870B2 (en) 1988-01-12 1988-01-12 Ceramic plate grinding machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01183350A JPH01183350A (en) 1989-07-21
JP2602870B2 true JP2602870B2 (en) 1997-04-23

Family

ID=11571958

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63003971A Expired - Lifetime JP2602870B2 (en) 1988-01-12 1988-01-12 Ceramic plate grinding machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2602870B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007268638A (en) * 2006-03-30 2007-10-18 Tdk Corp Grinder and grinding method

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002327782A (en) * 2001-04-27 2002-11-15 Nsk Warner Kk Production method for friction board

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60217053A (en) * 1984-02-29 1985-10-30 Yoshinori Gotou Both-surface polishing machine for flexible sheet
JPS63278752A (en) * 1987-05-08 1988-11-16 Tokyo Kakoki Kk Polishing device for printed circuit board

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007268638A (en) * 2006-03-30 2007-10-18 Tdk Corp Grinder and grinding method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01183350A (en) 1989-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3027882B2 (en) Wafer chamfer polishing machine
TWI490086B (en) Polishing apparatus, polishing method, and pressing member for pressing polishing tool
KR101820667B1 (en) Semiconductor Package Processing Apparatus
CN113145569B (en) PCB board surface contactless cleaning device
KR20170065162A (en) Semiconductor Package Placing Device
CN111649574A (en) Agricultural processing drying device
WO2010113637A1 (en) Solar cell printing device
JP2602870B2 (en) Ceramic plate grinding machine
CN115132623A (en) Wafer grinding and polishing device and transmission method
US4753047A (en) Transferring and loading device for honeycomb structures
CN112251754B (en) Method for processing printed circuit board
JP2559797B2 (en) Flat plate suction transfer device
JP4229406B2 (en) Conveying apparatus, grinding apparatus using the same, and conveying method
JP4579879B2 (en) Polishing device
US6272769B1 (en) Apparatus and method for conveying of fruits over a rollerbed
CN113223982A (en) Substrate cleaning apparatus and substrate cleaning method
KR100274126B1 (en) Board Transfer Device
JP2022541861A (en) Fluid homogenization processing equipment for printed circuit boards
CN220975671U (en) Turning device is used in packing box production
JP3897507B2 (en) Polishing device
JP3098410B2 (en) Equipment for manufacturing ceramic substrates
JPH11146777A (en) Laver sheet feeder
JP2001150336A (en) Manufacturing method and polishing method for flat plate-shaped substrate
JPS6143585Y2 (en)
KR100355567B1 (en) Flat grinding device for flat panel for cathode ray tube