JP2597390B2 - 振動波モータ駆動回路 - Google Patents

振動波モータ駆動回路

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    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/14Drive circuits; Control arrangements or methods

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、振動波モータを駆動する振動波モータ駆
動回路に関する。
[従来の技術] 振動波モータ、即ち超音波モータは90度位相がずれ、
同振幅および同周波数の駆動信号がモータ電極に供給さ
れることにより発生する進行波によって回転されるモー
タである。このような振動波モータを駆動する振動波モ
ータ駆動回路は例えば特開昭62−189981などに開示され
ている。
従来の振動波モータ駆動回路は振動波モータを駆動す
る駆動信号を出力する駆動基本回路部および駆動信号の
周波数を最適駆動周波数に追尾させる帰還回路部とによ
り構成される。駆動基本回路部は第6図に示されるよう
に電圧制御発振器(VCO)1、分周・移相器2およびパ
ワーアンプ3により構成され、帰還回路部は基準位相器
5、波形整形回路6、駆動点検出回路7、UP/DNカウン
タ8およびD−Aコンバータ9により構成される。
第6図の駆動回路において、VCO1の出力信号はリング
カウンタにより構成される分周・移相器2によって4つ
の信号φ1〜φ4に分周される。信号φ1〜φ4は順次
90度位相がずれ、1/4周期分だけHレベルとなるパルス
信号である。これらのパルス信号φ1〜φ4はパワーア
ンプ3により電力増幅される。この場合、パルス信号φ
1およびφ3がプッシュプル増幅され、第1信号に変換
され、パルス信号φ2およびφ4がプッシュプル増幅さ
れ、第2信号に変換される。これら第1および第2信号
は互いに90度位相がずれ、同振幅および同周波数の駆動
信号として振動波モータ4の電極4−aおよび4−bに
供給される。入力された駆動信号により振動波モータ4
に進行波が生じ、振動波モータ4が回転する。
振動波モータ4の誘導起電力VEBはモニタ信号として
電極4−cを介して波形整形回路6に入力され、第7図
に示す信号V′EBに整形される。この信号V′EBは駆動
点検出回路7に入力され、基準位相器5からの基準位相
信号(第7図)と比較される。駆動点検出回路7は入力
信号V′EBが基準位相信号より位相が進んでいるときに
はHレベル信号を出力し、遅れている時にはLレベル信
号を出力する。
駆動点検出回路7からのHまたはLレベル信号はUP/D
Nカウンタ8に入力され、このカウンタ8をUPカウント
またはDNカウントに切換え、カウンタ8は分周・移相器
2の出力信号をクロックCLKとしてカウント動作する。
第7図において、クロックCLK〜においては、
V′EBが基準位相より進んでいるので、カウンタ8はUP
カウントを行ない、CLK〜においては、V′EBが基
準位相より遅れているので、カウンタ8はDNカウントを
行なう。カウンタ8のカウント出力はD−Aコンバータ
9によりアナログ信号に変換され、駆動基準回路のVCO1
に帰還される。このような帰還により、信号V′EBの立
上りが基準位相の立上りと一致するように駆動回路が動
作し、駆動信号の周波数が最適駆動周波数に自動追従す
る。
[発明が解決しようとする課題] 上記の振動波モータ駆動回路により、振動波モータが
一定温度および一定負荷の条件で回転されていても、モ
ータの加圧力を完全に均一にできないこと、または回転
体の僅かな偏心により駆動信号の駆動周波数が周期的に
最適駆動周波数から僅かに変化している。この駆動周波
数の僅かな変化に対して帰還回路は追尾しており、この
追尾動作、即ちカウンタのUPおよびDNカウント動作が第
7図のCLKおよびにおいて繰返し行われる。このよ
うなUP/DN繰返し動作状態において、駆動信号よりも低
い周波数の繰返し動作信号が駆動信号に混入し、駆動信
号がFM波(周波数変調された波)に類似した信号とな
る。このFM波化駆動信号により振動が発生し、可聴音が
生じる。また、変調を受けた駆動信号により振動波モー
タが駆動されると、振動波モータの応答性が低下し、振
動波モータに回転むらが生じる。従って、この発明の目
的は、最適駆動周波数付近での駆動周波数の変化に対し
ては追従動作を禁止し、不所望な可聴音の発生を防止し
た振動波モータ駆動回路を提供することにある。
[問題点を解決するための手段及び作用] この発明によると、振動体に固着された電気一機械エ
ネルギー変換素子に周波電圧を印加することにより該駆
動体に振動波を発生させ、この振動波により被駆動体を
駆動する振動波モータの駆動回路において、駆動波モー
タの振動状態をモニターするためのモニター信号出力手
段と、モニター信号より抽出されるパラメータ値に基づ
き、このパラメータ値が所定の値になるように周波電圧
の周波数をアップもしくはダウンして駆動周波数を追尾
する周波数追尾手段と、パラメータ値が所定値を含む所
定の範囲内にある場合には、周波数追尾手段の動作を禁
止する禁止手段とを具備することを特徴とする振動波モ
ータ駆動回路が提供される。
上述のように、駆動周波数f0が最適駆動周波数fα対
して許容変動分±Δf0だけ変動しても、即ち駆動周波数
にf0±Δf0内の変動が生じても、VCOへの帰還信号は一
定に保たれる。従って、駆動信号が周期的に最適周波数
付近において変動しても、許容変動範囲においては駆動
周波数f0は一定に保たれ、不所望な可聴音の発生が防止
される。
[実施例] 第1図に第6図に示される振動波モータ駆動回路の帰
還回路部をこの発明に従って改良して示している。同図
において、駆動点検出回路7は第6図と同様に波形整形
回路6から出力されるモニタ信号V′EBと基準位相器5
から出力される基準位相信号とに基づいて駆動点を検出
する回路である。この駆動点検出回路7の出力端子は第
6図の回路と同様にUP/DNカウンタ8を介してD−Aコ
ンバータ9に接続され、更にカウント禁止回路10に接続
される。このカウント禁止回路は更に基準位相器5およ
び波形整形回路6の出力端子に接続される。カウント禁
止回路10は基準位相信号、モニタ信号および駆動点検出
信号の相互関係によりカウンタ8のカウント動作を禁止
する信号を出力する回路である。カウント禁止回路10の
出力端子はゲートAN1の第1入力端子に接続される。こ
のゲートAN1の第2入力端子は第6図の回路に示される
分周・移相器2の出力端子に接続される。
第2図は第1図の駆動点検出回路7およびカウント禁
止回路10を更に具体的に示す帰還回路図である。この図
によると、カウント禁止回路10は遅延回路を構成するイ
ンバータIN1およびIN2、抵抗R1およりキャパシタC1、並
びにDフリップフロップ回路D−FF2およびゲートAN2に
よって構成される。この回路において、インバータIN2
の入力端子は基準位相器5の出力端子に接続され、その
出力端子は抵抗R1を介してインバータIN1の入力端子に
接続される。インバータIN1の入力端子はキャパシタC1
を介して接地される。インバータIN1およびゲートAN2の
出力端子はD−フリップフロップD−FF2のクロック端
子およびD端子に夫々接続される。ゲートAN2に正入力
端子は波形整形回路6の出力端子に接続される。
駆動点検出回路7はD−フリップフロップD−FF1に
て構成され、このD−FF1のクロック端子は基準位相器
5の出力端子に接続され、その出力端子はカウンタ8の
UP/DN端子およびゲートAN2の負入力端子に接続される。
第1図および第2図に示す回路において、基準位相器
5から基準位相信号が駆動点検出回路7およびカウント
禁止回路10に供給されると、駆動点検出回路を構成する
D−フリップフロップD−FF1およびカウント禁止回路1
0のD−フリップフロップD−FF2のクロックタイミング
は第3図に示すようになる。即ち、D−フリップフロッ
プD−FF2はD−フリップフロップD−FF1からクロック
タイミングがBだけ遅延している。この遅延分Bはカウ
ント禁止回路10の遅延回路によって決まる。第3図に示
すD−FF1およびD−FF2のタイミング関係において、領
域Aにて、モニタ信号V′EBの立上り信号が入力される
と、D−FF1の出力QはHレベルとなる。この時、ゲー
トAN2の出力はLレベルであるので、D−FF2の出力Qは
Lレベルとなる。従って、ゲートAN1は開放し、分周・
移相器2からのクロックCLKを通過させる。このクロッ
クCKLによりカウンタ8はカウントアップする。第3図
のB領域にて、V′EBが立上ると、D−FF1の出力Qは
Lレベルとなる。この結果、ゲートAN2は開放し、モニ
タ信号V′EBがD−FF2のD端子に入力される。D−FF2
の出力QはHレベルとなり、ゲートAN1は閉成する。従
って、カンウタ8のカウント動作は禁止される。第3図
の領域Cにて、モニタ信号V′EBが立上ると、D−FF1
およびD−FF2の両方とも出力QがLレベルとなる。従
って、ゲートAN1は開き、カウンタ8はダウンカウント
に設定され、カウンタ8がカウントダウンする。
上記の動作を第4図のタイムチャートを参照して説明
する。
先ず、モニタ信号V′EBがD−FF1およびゲートAN2に
入力されると、D−FF1の出力QはHレベルとなり、カ
ウンタ8はUPカウントに設定される。この時、ゲートAN
2の正入力および負入力はHレベルとなるので、このゲ
ートAN2の出力QはLレベルとなる。従って、D−FF1の
出力QはLレベルとなり、ゲートAN1は開成する。
上記状態において、基準位相信号がD−FF1のクロッ
ク端子およびカウント禁止回路10の遅延回路に入力され
ると、D−FF1の出力QはHレベルで変わらない。カウ
ント禁止回路10の遅延回路の遅延時間の後にD−FF2に
クロックが入力され、その後に分周・移相器2よりクロ
ックCLKがゲートAN1に入力されると、カウンタ8はカ
ウントアップする。この後、次のモニタ信号V′EB、基
準位相信号(D−FF1CLK)および遅延信号(D−FF2CL
K)が順次回路7および10に供給されると、次のクロッ
クCLKに応答してカウンタ8はカウントアップされ
る。
上記のようなカウントアップはクロックCLKまで行
われるが、クロックに対応する信号DFF1CLK、DFF2CLK
およびV′EBの関係においては、基準位相信号DFF1CLK
の立上り後でかつクロックDFF2CLKの立上り前にモニタ
信号V′EBが立上っているので、D−FF1の出力QはL
レベル、D−FF2の出力QはHレベルとなる。このと
き、カウンタ8はDNに設定されるが、ゲートAN1は閉成
状態となるので、カウンタ8はカウント禁止状態とな
る。従って、CLKが分周・移相器2から出力されて
も、カウンタ8はカウントダウンせず、直前のカウント
値に保持される。このカウント値がD−Aコンバータ9
によりアナログ信号に変換され、第6図に示すVCO1に供
給されたとき、振動波モータ4へ供給される駆動信号の
周波数は変化しない。この状態は次のクロックCLKま
で続く。即ち、CLK、およびにおいては駆動周波
数が一定の周波数に維持される。
クロックCLKでは、モニタ信号V′EBはクロックDFF
1CLKおよびDFF2CLKの立上りの後に立上っているので、
カウンタ8はDNカウントに設定され、ゲートAN1は開成
される。従って、この時にはカウンタ8はCLKにより
カウントダウンされる。カウンドダウンのカウント値が
D−Aコンバータ9によりアナログ信号に変換され、VC
O1に入力されることにより、振動波モータ4には、駆動
周波数が低下された駆動信号が入力される。振動波モー
タ4の回転速度が減少する。
上記のような帰還回路による振動波モータの動作を第
5図により説明する。
f01およびf02は振動波モータの負荷、加圧力、温度の
変化に応じて決まる最適駆動周波数fαに対応する駆動
周波数を示し、2Δf0は回転体の僅かな偏心等により最
適駆動周波数に対応する駆動周波数f01およびf02の付近
にて生じる周波数の微細変化分を示す。この発明では、
時間t1以前の駆動周波数の変化がf01−Δf0〜f01+Δf0
の範囲では、駆動周波数が上述のようにカウンタ8のカ
ウント動作を禁止することにより最適駆動周波数f01
固定される。同様に駆動周波数の変化がf02−Δf0〜f02
+Δf0の範囲では、駆動周波数はカウント禁止により最
適駆動周波数f02に固定される。このΔf0の変化を除く
ようにカウント禁止回路10の遅延岐路の遅延時間が決め
られている。即ち、一般に、振動波モータは20KHz〜100
KHzにて駆動され、最適駆動周波数に対応する駆動周波
数f01、f02間の変化分Δfは1KHz〜5KHzであり、これに
おける微細変化分Δf0は0.1KHz〜0.2KHzの範囲にある。
従って、この微細変化Δf0の影響を除去するようにカウ
ント禁止回路10の遅延回路の遅延時間が決められる。
尚、時間t1〜t2においては、外部条件、即ち温度変
化、加圧力の変化並びに負荷の変化による最適駆動周波
数の変化であるのでこの変化に対しては帰還回路は追従
動作をする。
上記実施例において、モータ回転のスタート時または
最適周波数のトビ越し時(なんらかの理由により駆動周
波数が共振点から外れて全く別の周波数に飛んでしまう
現象)にも、必ず最適駆動周波数に調整できる。何故な
らば、カウンタが(Q1…Qn)=(1…1)であるときに
は、次のUPカウントにて(0…0)に復帰され、または
(Q1…Qn)=(0…0)のとき、次のDNカウントで(1
…1)に設定されるので、(Q1…Qn)=(0…0)の時
をf minとし、(1…1)のときf maxとすると、回路が
最適駆動周波数f0が検出できなくても、f max→f minま
たはf min→f maxのようにf0が検出できるまでスイープ
すれば、最適駆動周波数に復帰できる。
[発明の効果] 上記のように振動波モータの駆動点が最適駆動周波数
付近に対応するとき追従動作が禁止されるので、最適駆
動周波数付近における微細な繰返し追従が生じなく、モ
ータの音なりまたは回転ムラが抑制される。しかも最適
駆動周波数が大きく外れても、自動的に追従動作ができ
るので、最適駆動周波数への復帰に複雑な制御が必要と
しなくなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明に従った振動波モータ駆動回路の帰
還回路の回路図、第2図は第1図の帰還回路の詳細な回
路図、第3図は駆動点検出回路およびカウント禁止回路
のD−フリップフロップの動作タイミングを示すタイミ
ングチャート図、第4図は第2図の動作を説明するタイ
ミングチャート図、第5図は追従波形の図、第6図は従
来の振動波モータ駆動回路の回路図、そして第7図は第
6図の動作タイミングチャート図である。 7……駆動点検出回路、8……UP/DNカウンタ、9……
D−Aコンバータ、10……カウント禁止回路。

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】振動体に固着された電気一機械エネルギー
    変換素子に周波電圧を印加することにより該駆動体に振
    動波を発生させ、該振動波により被駆動体を駆動する振
    動波モータの駆動回路において、 上記駆動波モータの振動状態をモニターするためのモニ
    ター信号出力手段と、 上記モニター信号により抽出されるパラメータ値に基づ
    き、該パラメータ値が所定の値になるように上記周波電
    圧の周波数をアップもしくはダウンして駆動周波数を追
    尾する周波数追尾手段と、 上記パラメータ値が上記所定値を含む所定の範囲内にあ
    る場合には、上記周波数追尾手段の動作を禁止する禁止
    手段と、 を具備することを特徴とする振動波モータ駆動回路。
  2. 【請求項2】上記パラメータ値における所定の範囲は、
    上記振動波モータを一定負荷かつ一定温度下で同一の駆
    動状態を維持する場合における、該パラメータ値の変動
    範囲よりも広いことを特徴とする請求項1に記載の振動
    波モータ駆動回路。
  3. 【請求項3】上記パラメータ値における所定の範囲は、
    少なくとも上記周波電圧の周波数を±0.1kHzの範囲で変
    動させた際における、該バラメータ値の変動範囲を含む
    ことを特徴とする請求項1に記載の振動波モータ駆動回
    路。
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