JP2591601B2 - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

ワイヤボンディング装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】この発明は、金線、アルミニ
ウム線等のワイヤを挿通したボンディングツールを駆動
させてボンディングするワイヤボンディング装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】超音波ホーンを備えたワイヤボンディン
グ装置は、一般に第４図乃至第６図に示すように構成さ
れている。すなわち、１はフレームであり、このフレー
ム１には回転軸２を有した支持部材３が収納され、前記
回転軸２をフレーム１の側壁に回動自在に軸支すること
により支持部材３がフレーム１内で回動するようになっ
ている。そして、この支持部材３には超音波ホーン４の
基部が固定され、この超音波ホーン４の先端にはボンデ
ィングツール５が設けられてる。そして、前記回転軸２
を回動することにより、支持部材３を介して超音波ホー
ン４が円弧運動し、その先端のボンディングツール５が
上下動するようになっている。このボンディングツール
５には金線、アルミニウム線等のワイヤ６が挿通され、
ワイヤ６によってペレット７のパッド８とリード９とを
結線するようになっている。
【０００３】ところで、前記ボンディングツール５の上
下動によってボンディングする際、ボンディングツール
５をペレット７に対して垂直に当接させることが最適な
位置関係である。そこで、ボンディングツール５の先端
高さｈと前記回転軸２の軸心ｏとを一致させ、ボンディ
ングツール５がペレット７に対して垂直に当接するよう
にしているが、そのためには回転軸２と支持部材３とを
ラップさせる必要がある。したがって、従来において
は、支持部材３の側壁から回転軸２を突設し、つまり支
持部材３と回転軸２とを一体物で形成していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、従来
においては、回転軸２と支持部材３とを一体物で形成し
ていたため、全体を回転軸２に適した材料、例えば鉄鋼
材料によって形成している。このため、支持部材３の慣
性モーメントが大きく、ボンディング動作が高速化され
てくるとボンディングツール５がペレット７やリード８
の被ボンディング部材に当接したときの衝撃荷重が大き
くなり、被ボンディング部材を破損させる恐れがある。
また、回転軸２と支持部材３を一体で製作するためには
機械加工等の加工費が高価になるとともに、また重量が
大きくなることから駆動モータも出力の大きいものを必
要とする。
【０００５】この発明は、前記事情に着目してなされた
もので、その目的とするところは、ボンディング動作時
に被ボンディング部材への衝撃荷重を小さくすることが
できるワイヤボンディング装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、前記目的を
達成するために、先端にボンディングツールを有する超
音波ホーンと、この超音波ホーンを支持するとともに回
転軸を中心として回動する支持部材により前記ボンディ
ングツールを駆動させてワイヤボンディングするワイヤ
ボンディング装置において、前記回転軸に切欠部を設
け、この切欠部と前記超音波ホーンの中途部を嵌合する
ことにより、前記回転軸の軸心と超音波ホーンの長さ方
向中心軸との軸間距離を近接したことを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて説明する。第１図乃至第３図において、１
１は先端にボンディングツール１２を有する超音波ホー
ンであり、この超音波ホーン１１の基部１３（中途部）
は支持部材１４に支持されている。この支持部材１４は
アルミニウム合金などの軽金属材料によって形成されて
おり、この支持部材１４には前記超音波ホーン１１の基
部１３と直交する方向に貫通穴１５が穿設されている。
そして、この貫通穴１５には回転軸１６が挿入されてい
る。この回転軸１６は鉄鋼材料によって形成され、この
軸方向中間部、つまり前記超音波ホーン１１の基部１３
と対向する部分には円弧状の切欠部１７が設けられてい
る。そして、この切欠部１７に基部１３を嵌合させるこ
とによって超音波ホーン１１の軸心ａと回転軸１６の軸
心ｂとの軸間距離を近接させている。さらに、前記支持
部材１４には前記貫通穴１５と直交し、貫通穴１５に連
通する複数のねじ穴１８…が穿設されていて、これらね
じ穴１８…には締付けブッシュ１９を介して連結部材と
しての締付けボルト２０がねじ込まれている。これら締
付けボルト２０…は先端が斜めにカットした押え面２０
ａを有しており、前記回転軸１６をこれと直交し、かつ
両側から押圧することによって回転軸１６を支持部材１
４に対して締付け固定している。
【０００８】このように構成されたワイヤボンディング
装置の支持部材１４は回転軸１６の軸心を中心として回
動し、この回動に伴って超音波ホーン１１が円弧運動し
てボンディングツール１２が上下動する。このとき、超
音波ホーン１１の軸心ａと回転軸１６の軸心ｂとは、超
音波ホーン１１と回転軸１６とを深くラップさせたこと
から近接した位置にあり、ボンディングツール１２を被
ボンディング部材に対して垂直に当接させることができ
るとともに、慣性モーメントを小さくできる。しかも、
支持部材１４は軽金属材料によって形成されているた
め、回転軸１６の駆動源として出力の小さいモータで駆
動できる。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、超音波ホーンを支持する回転軸に切欠部を設け、こ
の切欠部と超音波ホーンの中途部を嵌合することによ
り、回転軸の軸心と超音波ホーンの長さ方向中心軸との
軸間距離を近接させることにより、慣性モーメントを小
さくでき、被ボンディング部材に対する衝撃荷重を軽減
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例を示すワイヤボンディング
装置の縦断側面図。
【図２】図１のII−II線に沿う断面図。
【図３】同実施形態のワイヤボンディング装置の全体の
斜視図。
【図４】従来のワイヤボンディング装置の全体の斜視
図。
【図５】同ワイヤボンディング装置の縦断側面図。
【図６】図５のVI−VI線に沿う断面図。
【符号の説明】
１１…超音波ホーン １２…ボンディングツール １４…支持部材 １６…回転軸 １７…切欠部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭53−49947（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−67927（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−51475（ＪＰ，Ａ) 実開 昭55−47726（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−68034（ＪＰ，Ｕ)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 先端にボンディングツールを有する超音
    波ホーンと、この超音波ホーンを支持するとともに回転
    軸を中心として回動する支持部材により前記ボンディン
    グツールを駆動させてワイヤボンディングするワイヤボ
    ンディング装置において、前記回転軸に切欠部を設け、
    この切欠部と前記超音波ホーンの中途部を嵌合すること
    により、前記回転軸の軸心と超音波ホーンの長さ方向中
    心軸との軸間距離を近接したことを特徴とするワイヤボ
    ンディング装置。
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