JP2588854Y2 - Glass substrate rotation holding device - Google Patents
Glass substrate rotation holding deviceInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本考案はガラス基板回転保持装置
に関するものであり、特に、複数サイズのガラス基板を
回転させつつ保持することができるアームを有するガラ
ス基板回転保持装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass substrate rotating and holding apparatus, and more particularly, to a glass substrate rotating and holding apparatus having an arm capable of rotating and holding a plurality of sizes of glass substrates.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体、ガラス、セラミック等の基板上
に薄膜を形成する場合に、ガラス基板上に必要なパター
ンを形成したマスクまたはレティクルが使用されること
は知られている。2. Description of the Related Art It is known that when a thin film is formed on a substrate made of a semiconductor, glass, ceramic or the like, a mask or a reticle having a required pattern formed on a glass substrate is used.
【0003】ところで、繰り返し使用するうちに、この
ガラス基板(以下、マスクという)にごみもしくはパー
ティクルが付着する。このごみもしくはパーティクルを
そのまま放置しておいたのでは、基板上に品質の高い薄
膜を形成することが困難となる。したがって、通常は、
ある程度の時間または回数だけ使用した後、これらのご
みもしくはパーティクルを除去するために洗浄が行われ
ている。By the way, dust and particles adhere to this glass substrate (hereinafter, referred to as a mask) during repeated use. If this dust or particles is left as it is, it becomes difficult to form a high quality thin film on the substrate. Therefore, usually
After being used for a certain time or number of times, cleaning is performed to remove these dusts or particles.
【0004】洗浄装置の一例として、マスクを装着する
回転装置と、該回転装置に装着されたマスクの表面に対
向して設けられ、該表面を洗浄してごみもしくはパーテ
ィクルを除去するスクラブヘッドとを有するものが知ら
れている。スクラブヘッドの、前記マスクとの対向面に
はブラシまたはスポンジ状の洗浄用部品が設けられてい
る。As an example of a cleaning device, a rotating device for mounting a mask and a scrub head provided opposite to a surface of the mask mounted on the rotating device and cleaning the surface to remove dust or particles are provided. Are known. The scrub head is provided with a brush or a sponge-like cleaning component on a surface facing the mask.
【0005】この洗浄装置では、前記回転装置によって
マスクを回転させると共に、前記スクラブヘッドの洗浄
用部品をマスクの表面に接触させた状態で回転させ、マ
スク表面全体をむらなく洗浄できるように構成されてい
る。[0005] In this cleaning apparatus, the mask is rotated by the rotating device, and the cleaning part of the scrub head is rotated while being in contact with the surface of the mask, so that the entire mask surface can be cleaned evenly. ing.
【0006】[0006]
【考案が解決しようとする課題】上記の洗浄装置には次
のような問題点があった。洗浄装置の前記回転装置に
は、回転中、マスクを保持するための回転保持装置が設
けられる。ところで、マスクの形状・寸法はさまざまで
ある。例えば、一辺がそれぞれ4.5インチ(約114
mm)、5インチ(約127mm)、6インチ(152
mm)、7インチ(約180mm)の正方形のマスクが
ある。The above-mentioned cleaning apparatus has the following problems. The rotating device of the cleaning device is provided with a rotation holding device for holding the mask during rotation. By the way, the shape and dimensions of the mask are various. For example, each side is 4.5 inches (about 114 inches).
mm), 5 inches (about 127 mm), 6 inches (152 mm)
mm), 7 inch (about 180 mm) square masks.
【0007】したがって、従来は、これらの各寸法のマ
スクを保持できるように、寸法の異なる複数の保持枠を
準備し、洗浄の対象となるマスクの大きさに合わせて適
当な保持枠に交換して対処していた。このために、洗浄
の対象となるマスクの大きさが変わる毎に、前記保持枠
をその回転駆動軸に対して着脱する操作が必要となり、
工程数が増大して作業能率の低下を招くという問題点が
あった。Therefore, conventionally, a plurality of holding frames having different dimensions are prepared so as to hold the masks of these dimensions, and are replaced with appropriate holding frames according to the size of the mask to be cleaned. Was dealing with. For this reason, every time the size of the mask to be cleaned changes, an operation of attaching and detaching the holding frame to and from the rotary drive shaft is required,
There has been a problem that the number of steps is increased and the working efficiency is reduced.
【0008】本考案の目的は、上記の問題点を解消し、
保持装置の保持枠を交換することなく複数種類の寸法を
有するマスクを保持することができる回転保持装置を提
供することにある。[0008] The object of the present invention is to solve the above problems,
An object of the present invention is to provide a rotation holding device that can hold a mask having a plurality of types of dimensions without replacing a holding frame of the holding device.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】 上記の課題を解決し、
目的を達成するための本考案は、共通する回転中心を有
した複数の回転台と、各回転台に設けられ、それぞれに
互いに他の回転台に保持されるのとは異なる外形のガラ
ス基板を保持するため、該ガラス基板の外形に適合する
ように前記回転中心から予定距離をおいて互いに対向し
て配置された複数の保持部材と、前記複数の回転台の1
つに対して他の回転台を前記回転中心の延長方向で移動
させて予定位置に位置決めするための位置決め手段とを
具備した点に第1の特徴がある。Means for Solving the Problems The above problems are solved,
Present invention to achieve the object, a plurality of the turntable having a center of rotation in common, provided at each turntable, each
Gala of different shape from each other held on other turntable
Fits the outer shape of the glass substrate to hold the glass substrate
A plurality of retaining members wherein from the center of rotation at a scheduled distance are arranged opposite to each other as one of the plurality of the turntable
Positioning means for moving the other turntable relative to one in the direction of extension of the rotation center and positioning it at a predetermined position.
There is a first feature in that provided.
【0010】また、本考案は、前記保持部材が、前記各
回転台のそれぞれにおいて複数組設けられ、互いに異な
る距離をおいて前記回転中心に関して対向して配置され
ている点に第2の特徴がある。The present invention has a second feature in that a plurality of the holding members are provided in each of the rotary tables, and the holding members are opposed to each other with respect to the rotation center at different distances from each other. is there.
【0011】さらに、本考案は、前記回転台の回転時に
遠心力でその一端が外側に偏倚し、他端が内側に偏倚し
て該回転台上に載置された被回転物の端部に係合するよ
うに前記回転台の端部に揺動自在に設けられた固定具を
さらに具備した点に第3の特徴がある。Further, according to the present invention, one end of the rotating table is biased outward by centrifugal force when the rotating table is rotated, and the other end is biased inward, and the rotating table is attached to the end of the rotating object placed on the rotating table. A third feature is that a fixing device is further provided so as to be swingably provided at an end of the turntable so as to be engaged.
【0012】[0012]
【作用】上記の特徴を有する本考案によれば、複数の回
転台では、それぞれ異なる距離をおいて保持部材が対向
配置されているので、該保持部材によって、それぞれの
回転台上に寸法の異なる被回転物を保持することができ
る。According to the present invention having the above features, the holding members are arranged opposite to each other at different distances in the plurality of turntables, so that the holding members have different dimensions on the respective turntables. The object to be rotated can be held.
【0013】特に、第2の特徴を有する本考案によれ
ば、各回転台のそれぞれに、互いに配置間隔の異なる複
数組の保持部材を対向して設けたので、寸法の異なるさ
らに多くの種類の被回転物を保持することができる。In particular, according to the present invention having the second feature, since a plurality of sets of holding members having different arrangement intervals are provided to face each of the turntables, more types of holding members having different dimensions are provided. The object to be rotated can be held.
【0014】また、第3の特徴を有する本考案によれ
ば、回転台が回転している間は、遠心力によって固定具
が被回転物に係合し、回転の停止中は前記遠心力が開放
され、被回転物に対する固定具の係合が解除される。According to the third aspect of the present invention, while the turntable is rotating, the fixture is engaged with the object to be rotated by the centrifugal force, and the centrifugal force is reduced while the rotation is stopped. It is released, and the engagement of the fixture with the rotating object is released.
【0015】[0015]
【実施例】以下、図面を参照して本考案を詳細に説明す
る。図1は本考案の一実施例を示す回転保持装置の平面
図であり、図2は同部分断面正面図である。該回転保持
装置は回転軸に関して対称的な形状であるので、図1に
おいては一部の図示を省略する。また、図2では、回転
保持装置の回転軸およびその駆動手段は図示を省略す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a rotation holding device showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a partial sectional front view of the same. Since the rotation holding device has a symmetrical shape with respect to the rotation axis, a part of the rotation holding device is not shown in FIG. Further, in FIG. 2, the rotating shaft of the rotation holding device and its driving means are not shown.
【0016】図1および図2において、第1回転台1
は、8本のアーム10を含み、第2回転台2も同様に8
本のアーム20を含んでいる(一部図示を省略)。第1
回転台1は、ボルト4によって回転軸3と結合され、第
2回転台2は、キー5によって中空状の回転軸6と結合
されている。止めねじ7は、第2回転台2とキー5との
軸方向の動きを固定するために設けられる。In FIG. 1 and FIG.
Includes eight arms 10, and the second turntable 2
It includes a book arm 20 (partially omitted). First
The turntable 1 is connected to a rotary shaft 3 by bolts 4, and the second turntable 2 is connected to a hollow rotary shaft 6 by a key 5. The set screw 7 is provided to fix the axial movement between the second turntable 2 and the key 5.
【0017】前記回転軸3は中空の回転軸6に嵌挿さ
れ、該回転軸6に対して軸方向に摺動自在に設定されて
いる。第1回転台1の凹所1aに挿入されてボルト8で
固定されたピン9は、第2回転台2の孔2aに対して摺
動自在に挿入されている。このピン9によって第1およ
び第2回転台1,2の回転方向での相互の動きは規制さ
れ、回転軸3,6の軸方向にのみ相対位置が変動可能と
なる。The rotating shaft 3 is inserted into a hollow rotating shaft 6 and is set to be slidable in the axial direction with respect to the rotating shaft 6. The pin 9 inserted into the recess 1 a of the first turntable 1 and fixed with the bolt 8 is slidably inserted into the hole 2 a of the second turntable 2. The movement of the first and second turntables 1 and 2 in the rotation direction is restricted by the pin 9, and the relative position can be changed only in the axial direction of the rotation shafts 3 and 6.
【0018】アーム10および20の先端には、それぞ
れ1対のストッパすなわち保持部材15a〜15dが設
けられている。アーム10および20の長さは、ボルト
4、つまり回転軸3もしくは6(すなわち回転中心)と
前記保持部材15a〜15dとの距離が次のような関係
になるように決定されている。At the tips of the arms 10 and 20, a pair of stoppers, that is, holding members 15a to 15d are provided, respectively. The lengths of the arms 10 and 20 are determined so that the distance between the bolt 4, that is, the rotating shaft 3 or 6 (that is, the center of rotation) and the holding members 15a to 15d has the following relationship.
【0019】すなわち、隣接するアーム10および20
のそれぞれにおいて、隣接するもの同士に固定されてい
る保持部材15a〜15dと前記回転中心との距離は異
なるようにし、回転中心に対して対称位置にあるアーム
10および20に固定されている保持部材15a〜15
d同士は前記回転中心からの距離が同じになるようにす
る。そして、図1から理解されるように、第2回転台2
のすべてのアーム20は、第1回転台1のすべてのアー
ム10より長くなるようにしてある。That is, the adjacent arms 10 and 20
In each of the above, the distance between the holding members 15a to 15d fixed to the adjacent ones and the rotation center is different, and the holding members fixed to the arms 10 and 20 symmetrically positioned with respect to the rotation center. 15a-15
The distances d are the same from the rotation center. Then, as understood from FIG.
Of all the arms 20 of the first turntable 1 are longer than all the arms 10 of the first turntable 1.
【0020】具体的には、前記回転中心との距離が最も
小さい位置に設けられている保持部材15bは、一辺
4.5インチの正方形のマスク11の4角に当接して該
マスク11を保持する。また、その次に前記回転中心と
の距離が小さい位置に設けられている保持部材15a
は、一辺5インチの正方形のマスク12の4角に当接し
て該マスク12を保持する。More specifically, the holding member 15b provided at a position where the distance from the rotation center is the shortest is in contact with the four corners of the 4.5-inch square mask 11 to hold the mask 11. I do. Further, the holding member 15a provided at a position where the distance from the rotation center is next smaller
Holds the mask 12 in contact with the four corners of a square mask 12 having a side of 5 inches.
【0021】さらに、第2回転台2のアーム20に設け
られた保持部材15c,15dは、一辺6インチおよび
一辺7インチの正方形のマスク13,14の4角に当接
して該マスク13,14をそれぞれ保持する。Further, holding members 15c and 15d provided on the arm 20 of the second turntable 2 are in contact with the four corners of the square masks 13 and 14 having a side of 6 inches and a side of 7 inches to contact the masks 13 and 14. Are respectively held.
【0022】以上のように構成された回転保持装置を前
記マスクの洗浄装置に組込んで使用する場合の動作を説
明する。The operation in the case where the rotation holding device configured as described above is used by being incorporated in the mask cleaning device will be described.
【0023】まず、寸法の大きいマスク13または14
を洗浄するために第2回転台2を使用する場合は、図2
に示した状態でマスク13または14をアーム20に載
置し、回転軸6に駆動源を接続してアーム20を回転さ
せる。その状態で、スクラブヘッドに装着されたブラシ
またはスポンジ状の洗浄用部品16をマスク13または
14の表面に接触させる。First, a mask 13 or 14 having a large size is used.
When the second turntable 2 is used to wash the
The mask 13 or 14 is placed on the arm 20 in the state shown in FIG. In this state, the brush or sponge-like cleaning component 16 attached to the scrub head is brought into contact with the surface of the mask 13 or 14.
【0024】洗浄用部品16もその軸16aを中心に回
転させられるので、該洗浄用部品16によってマスク1
3の表面の全体が洗浄される。なお、洗浄に際しては、
洗浄用の水をマスク13の両面に噴射するのがよい。Since the cleaning part 16 is also rotated about its axis 16a, the mask 1 is
The entire surface of No. 3 is cleaned. When cleaning,
Cleaning water is preferably sprayed on both sides of the mask 13.
【0025】また、寸法の小さいマスク11または12
を洗浄するために第1回転台1を使用する場合は、図示
しない押上手段を操作して、マスク11または12が前
記マスク13または14と同一レベル以上になるように
回転軸3を押上げて洗浄位置にセットする。Further, the mask 11 or 12 having a small size is used.
When the first turntable 1 is used for cleaning the surface, the lifting shaft (not shown) is operated to push up the rotating shaft 3 so that the mask 11 or 12 is at the same level or higher as the mask 13 or 14. Set to the washing position.
【0026】前記図示しない押上手段は、カムまたはリ
ンク機構によって構成でき、このカムまたはリンク機構
は、モータまたは電磁ソレノイドで自動的に駆動しても
よいし、手動によってもよい。The lifting means (not shown) can be constituted by a cam or a link mechanism. The cam or the link mechanism may be automatically driven by a motor or an electromagnetic solenoid, or may be manually operated.
【0027】ところで、前記アーム10または20上に
載置されたマスクは、洗浄用部品16で下向きに押さえ
られているので、通常は、特に上からの押さえ手段は要
しないが、マスクをさらに確実にアーム10および20
に保持するために、次のような手段を設けることもでき
る。By the way, the mask placed on the arm 10 or 20 is pressed downward by the cleaning part 16, so that normally no pressing means from above is required, but the mask can be more securely held. Arms 10 and 20
The following means may be provided to hold the information.
【0028】図3はマスクの押さえ手段を示す要部平面
図であり、図4は要部断面図である。同図において、第
1回転台1のアーム10の垂直部材10aには、軸17
によって揺動自在にクランプ18が取付けられている。
該クランプ18には、テール部18aとヘッド部18b
とが形成されている。FIG. 3 is a plan view of an essential part showing a mask pressing means, and FIG. 4 is a sectional view of an essential part. In the figure, a vertical member 10a of the arm 10 of the first turntable 1 has a shaft 17
The clamp 18 is attached so as to be swingable.
The clamp 18 has a tail portion 18a and a head portion 18b.
Are formed.
【0029】前記クランプ18は、通常はテール部18
aとヘッド部18bの重量の不均衡ならびに軸17の位
置によるモーメントの差によって矢印19の方向に振ら
れ、ヘッド部18bはマスク11上から退避している。
そして、回転台が回転駆動されると、その遠心力によっ
てテール部18aは矢印19とは反対方向つまり外向き
に振り上げられて図示の状態となり、マスク11はヘッ
ド部18bで押さえられる。こうして、アーム10に載
置されたマスク11は、回転中はクランプ18でアーム
10に確実に保持された状態に維持できる。The clamp 18 is usually provided with a tail 18
The head 18 b is retracted from above the mask 11 by being swung in the direction of the arrow 19 due to the weight imbalance between the a and the head 18 b and the difference in moment due to the position of the shaft 17.
When the turntable is driven to rotate, the centrifugal force causes the tail portion 18a to be swung up in a direction opposite to the arrow 19, that is, outwardly, to the state shown in the drawing, and the mask 11 is pressed by the head portion 18b. In this way, the mask 11 placed on the arm 10 can be maintained in a state where it is securely held on the arm 10 by the clamp 18 during rotation.
【0030】前記クランプ18はすべてのアーム10に
取付けるのが望ましいが、少なくとも回転軸3,6を中
心として対向する2本のアームに取付けるようにしても
よい。また、クランプ18はアーム20に対しても同様
に取付けることができるのはもちろんである。The clamp 18 is desirably attached to all the arms 10, but may be attached to at least two opposing arms about the rotation shafts 3 and 6. The clamp 18 can of course be mounted on the arm 20 in the same manner.
【0031】なお、本実施例では、第1および第2回転
台1,2をピン9で連結して一体的に回転させるように
したが、第1および第2回転台1,2の双方に駆動手段
を個別に設けるか、クラッチを用いた切換え手段で選択
的に駆動源を接続するかして、洗浄すべきマスクを載置
した回転台のみを回転させるようにしてもよい。In this embodiment, the first and second turntables 1 and 2 are connected by the pin 9 and are rotated integrally. However, both the first and second turntables 1 and 2 are rotated. The drive means may be provided individually, or a drive source may be selectively connected by switching means using a clutch, so that only the turntable on which the mask to be cleaned is mounted is rotated.
【0032】また、第1回転台1を第2回転台2に対し
て昇降させるのではなく、その逆に、第2回転台2を第
1回転台1に対して昇降させるように構成してもよい。Also, instead of moving the first turntable 1 up and down with respect to the second turntable 2, the second turntable 2 is moved up and down with respect to the first turntable 1. Is also good.
【0033】[0033]
【考案の効果】以上の説明から明らかなように、本考案
によれば、回転台を取り替えることなく、複数種類のマ
スクを保持して回転させることができる。したがって、
寸法の異なる複数のマスクを取り扱う工程において、回
転台交換の工程を省ことができ、能率向上に貢献するこ
とができる。As is apparent from the above description, according to the present invention, it is possible to hold and rotate a plurality of types of masks without replacing the turntable. Therefore,
In the process of handling a plurality of masks having different dimensions, the step of replacing the turntable can be omitted, which can contribute to an improvement in efficiency.
【0034】また、クランプによって、回転台の回転中
にのみ被回転物を補助的に押さえることができるので、
回転台に対する被回転物の載置作業や取外しの際に該ク
ランプが障害となることがない。したがって被回転物の
載置作業や取外しの自動化が容易となる。Further, since the object to be rotated can be assisted only by the clamp only during the rotation of the turntable,
The clamp does not hinder the work of placing or removing the rotating object on the turntable. Therefore, the work of placing and removing the rotating object can be easily automated.
【図1】 本考案の実施例を示す回転保持装置の平面図
である。FIG. 1 is a plan view of a rotation holding device showing an embodiment of the present invention.
【図2】 本考案の実施例を示す回転保持装置の断面図
である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the rotation holding device showing the embodiment of the present invention.
【図3】 クランプの取付状態を示す要部平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view of a main part showing a mounting state of a clamp.
【図4】 クランプの取付状態を示す要部断面図であ
る。FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part showing a mounting state of a clamp.
1…第1回転台、 2…第2回転台、 3…回転軸、
6…中空回転軸、10,20…アーム、 11〜14…
マスク、 15…保持部材、18…クランプReference numeral 1 denotes a first turntable, 2 denotes a second turntable, 3 denotes a rotation axis,
6 hollow hollow shaft, 10, 20 arm, 11-14 ...
Mask, 15: Holding member, 18: Clamp
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−153839(JP,A) 特開 昭62−195663(JP,A) 特開 平5−64775(JP,A) 特開 平6−155213(JP,A) 実開 平1−71447(JP,U) 実開 昭63−6728(JP,U) 実開 昭63−164989(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B08B 11/00 - 11/04 H01L 21/68──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-63-153839 (JP, A) JP-A-62-156663 (JP, A) JP-A-5-64775 (JP, A) JP-A-6-196 155213 (JP, A) Japanese Utility Model 1-71447 (JP, U) Japanese Utility Model 63-6728 (JP, U) Japanese Utility Model 63-1664989 (JP, U) (58) Fields surveyed (Int. 6 , DB name) B08B 11/00-11/04 H01L 21/68
Claims (6)
ガラス基板を保持して回転させるガラス基板回転保持装
置において、 共通する回転中心を有した複数の回転台と、 各回転台に設けられ、それぞれに互いに他の回転台に保
持されるのとは異なる外形のガラス基板を保持するた
め、該ガラス基板の外形に適合するように前記回転中心
から予定距離をおいて互いに対向して配置された複数の
保持部材と、 前記複数の回転台の1つに対して他の回転台を前記回転
中心の延長方向で移動させて予定位置に位置決めするた
めの位置決め手段とを具備したことを特徴とするガラス
基板回転保持装置。1. A glass substrate rotation holding device for holding and rotating a glass substrate in order to perform a predetermined process on the glass substrate, comprising: a plurality of rotation tables having a common rotation center; , Each on the other turntable
Holds a glass substrate of a different shape than that held
The rotation center is adjusted to fit the outer shape of the glass substrate.
A plurality of <br/> retaining member disposed to face each other with a planned distance from, will move the other turntable in the extension direction of the rotation center for one of the plurality of the turntable It was positioned in the position
Glass substrate rotating holding apparatus characterized by comprising a fit of the positioning means.
ガラス基板を保持して回転させるガラス基板回転保持装
置において、前記ガラス基板の外形に適合するように 回転中心から予
定距離をおいて互いに対向する複数の保持部材を有する
第1回転台と、前記第1回転台上に保持するものとは異なる外形のガラ
ス基板に適合するように 前記回転中心から前記予定距離
とは異なる距離をおいて互いに対向する複数の保持部材
を有する第2回転台と、 前記第1回転台と第2回転台とは同一回転軸上に設けら
れ、該第1および第2回転台の一方を、他方に対して前
記回転中心の延長方向で移動させて予定の位置に位置決
めするための位置決め手段とを具備したことを特徴とす
るガラス基板回転保持装置。2. A glass substrate rotation holding device for holding and rotating a glass substrate in order to perform a predetermined process on the glass substrate, wherein a predetermined rotation angle is adjusted from the center of rotation so as to conform to the outer shape of the glass substrate. a first turntable having a plurality of retaining members that are opposed to each other at a distance, gala different profile from that held on the first turntable
A second turntable having a plurality of holding members facing each other at a distance different from the predetermined distance from the center of rotation so as to conform to the rotation center; and the first turntable and the second turntable rotate in the same direction. Positioning means provided on a shaft for moving one of the first and second turntables relative to the other in the direction in which the rotation center extends, and positioning it at a predetermined position. Glass substrate rotation holding device.
れに複数組設けられ、各組の保持部材は、他の組で保持
するのとは異なる外形のガラス基板に適合するように前
記回転中心から互いに他の組とは異なる距離をおいて対
向して配置されていることを特徴とする請求項1または
2記載のガラス基板回転保持装置。3. A plurality of sets of the holding members are provided on each of the rotary tables, and the holding members of each set are held by another set.
To fit a glass substrate with a different outline
3. The glass substrate rotation holding device according to claim 1, wherein the glass substrate rotation holding device is arranged so as to be opposed to the rotation center at a distance different from that of the other sets .
して該被回転物を保持するように回転台に立設されてい
る突起状部材であることを特徴とする請求項1〜3のい
ずれかに記載のガラス基板回転保持装置。4. The device according to claim 1, wherein the holding member is a protruding member that is provided upright on a turntable so as to contact the four corners of the rotating object and hold the rotating object. 4. The glass substrate rotation holding device according to any one of items 3 to 3.
が外側に偏倚し、他端が内側に偏倚して該回転台上に載
置された被回転物の端部に係合するように各回転台の端
部に揺動自在に設けられた固定具をさらに具備したこと
を特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のガラス基
板回転保持装置。5. One end of the rotary table is biased outward by centrifugal force during rotation of the rotary table, and the other end is biased inward to engage with an end of a rotating object placed on the rotary table. The glass substrate rotation holding device according to any one of claims 1 to 4, further comprising a fixture provided at the end of each turntable so as to be swingable.
アームからなり、前記保持部材が該アームの先端に配設
されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに
記載のガラス基板回転保持装置。6. The apparatus according to claim 1, wherein each of the rotating tables includes a plurality of sets of arms having different lengths, and the holding member is disposed at a tip of the arms. The glass substrate rotation holding device according to the above.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993003979U JP2588854Y2 (en) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | Glass substrate rotation holding device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP1993003979U JP2588854Y2 (en) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | Glass substrate rotation holding device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0657476U JPH0657476U (en) | 1994-08-09 |
JP2588854Y2 true JP2588854Y2 (en) | 1999-01-20 |
Family
ID=11572170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP1993003979U Expired - Lifetime JP2588854Y2 (en) | 1993-01-19 | 1993-01-19 | Glass substrate rotation holding device |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2588854Y2 (en) |
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JP5609089B2 (en) * | 2009-12-08 | 2014-10-22 | 凸版印刷株式会社 | Photomask cleaning apparatus and method |
JP7092556B2 (en) * | 2018-05-29 | 2022-06-28 | 株式会社クレオ | Cleaning equipment, container fixtures with lids and cleaning methods |
-
1993
- 1993-01-19 JP JP1993003979U patent/JP2588854Y2/en not_active Expired - Lifetime
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