JP2588565B2 - Continuity inspection device for printed wiring boards - Google Patents

Continuity inspection device for printed wiring boards

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JP2588565B2
JP2588565B2 JP63031737A JP3173788A JP2588565B2 JP 2588565 B2 JP2588565 B2 JP 2588565B2 JP 63031737 A JP63031737 A JP 63031737A JP 3173788 A JP3173788 A JP 3173788A JP 2588565 B2 JP2588565 B2 JP 2588565B2
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 印刷配線板の導通検査を行なうための装置に関し、 印刷配線板の導通検査のための配線構造を簡素化する
ことができ、検出ピッチ間隔を狭めて導通検査精度を高
めることができ、しかも、室内等の通常環境内で容易に
検査を行なうことができる印刷配線板の導通検査装置を
提供することを目的とし、 電圧の印加によってその電圧印加箇所が光学的変化を
起こす液晶セル等の電気光学的表示セルと、電気光学的
表示セルの一側に配設された共通の透明電極と、電気光
学的表示セルの他側に配設されて印刷配線板の導体パタ
ーン形成面に直接又は感圧導電シートを介して間接的に
押し当てられる絶縁基板と、絶縁基板を貫通する多数の
互いに独立した測定電極と、一端が透明電極に接続され
他端が印刷配線板に接続される電圧印加装置とを備え、
絶縁基板を印刷配線板の導体パターン形成面に直接又は
間接的に押し当てたときに導体パターンに対応する箇所
の測定電極が導体パターンと導通することにより、電圧
印加回路に電気的に接続された導体パターンに対応する
箇所の測定電極と共通の透明電極との間に電圧が印加さ
れるように構成する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Summary] The present invention relates to an apparatus for inspecting the continuity of a printed wiring board. An object of the present invention is to provide a continuity inspection device for a printed wiring board that can improve inspection accuracy and can easily perform inspection in a normal environment such as a room. Electro-optical display cell such as a liquid crystal cell that causes a change in temperature, a common transparent electrode disposed on one side of the electro-optical display cell, and a printed wiring board disposed on the other side of the electro-optical display cell An insulating substrate pressed directly or indirectly through a pressure-sensitive conductive sheet onto the conductive pattern forming surface, a large number of independent measurement electrodes penetrating the insulating substrate, and one end connected to the transparent electrode and the other end printed For wiring boards And a voltage applying device to be continued,
When the insulating substrate was directly or indirectly pressed against the conductor pattern forming surface of the printed wiring board, the measurement electrode at a position corresponding to the conductor pattern was electrically connected to the conductor pattern, thereby being electrically connected to the voltage application circuit. The configuration is such that a voltage is applied between the measurement electrode at a location corresponding to the conductor pattern and the common transparent electrode.

〔産業上の利用分野〕[Industrial applications]

本発明は印刷配線板の導通検査装置に関し、更に詳し
くは、電圧の印加によってその電圧印加箇所が光学的変
化を起こす液晶セル、エレクトロクロミック・セル、エ
レクトロルミネセンス・セル、放電管セル等の電気光学
的表示セルを利用して印刷配線板の導通検査を行なう装
置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a continuity inspection device for a printed wiring board, and more particularly, to an electric device such as a liquid crystal cell, an electrochromic cell, an electroluminescent cell, and a discharge tube cell in which a voltage application portion undergoes an optical change by application of a voltage. The present invention relates to an apparatus for performing a continuity test on a printed wiring board using an optical display cell.

近年、電子機器の高機能化及び小型軽量化の要請、或
いは、電子部品の小型化、リードレス化、高密度集積化
等による接続リードの高密度化等に伴い、印刷配線板の
高密度配線及び多層化が急速に進み、その付加価値が非
常に高くなっている。したがって、印刷配線板の導通検
査にも印刷配線板の高密度配線及び多層化に対応できる
検査装置が必要となっている。
In recent years, high-density wiring of printed wiring boards has been demanded due to demands for higher functionality and smaller size and lighter weight of electronic devices, or higher density of connection leads due to miniaturization, leadlessness, and higher density integration of electronic components. In addition, multi-layering has progressed rapidly, and its added value has become extremely high. Therefore, there is a need for an inspection device capable of coping with the high-density wiring and multilayering of the printed wiring board for the continuity inspection of the printed wiring board.

〔従来技術及び発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the prior art and the invention]

従来、印刷配線板の配線パターンの導通不良や異常導
通等を検査する方法として、支持基板に多数のピン状の
プローブを配設した検査用治具が広く用いられていた。
この種の検査用治具においては、各ピン状のプローブが
測定対象である個々の印刷配線板の配線パターンに対応
するように、或いは、印刷配線板の部品配置基準に合わ
せて汎用的に例えば2.54mmのピッチ間隔で格子状に配設
されており、各プローブは支持基板に設けられた配線に
よって導通測定装置に接続されている。このような検査
用治具を用いた場合、印刷配線板の一方の配線パターン
形成面或いは信号出力部を導通測定装置に接続し、検査
用治具に配設されたプローブの先端がコンタクトばねの
ばね力を利用して印刷配線板の他方の配線パターン形成
面に押し当てると、配線パターンに対応する箇所にある
プローブが配線パターンに接触するので、どのプローブ
に電流が流れたかを調べることによって印刷配線板の配
線パターンの断線や異常導通の有無を調べることができ
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for inspecting a conduction failure or abnormal conduction of a wiring pattern of a printed wiring board, an inspection jig having a large number of pin-shaped probes provided on a support substrate has been widely used.
In this type of inspection jig, for example, each pin-shaped probe is generally used so as to correspond to a wiring pattern of an individual printed wiring board to be measured, or according to a component arrangement standard of the printed wiring board. The probes are arranged in a grid at a pitch of 2.54 mm, and each probe is connected to a continuity measuring device by wiring provided on a support substrate. When such an inspection jig is used, one of the wiring pattern forming surfaces or the signal output section of the printed wiring board is connected to a continuity measuring device, and the tip of the probe arranged on the inspection jig is a contact spring. When the probe is pressed against the other wiring pattern forming surface of the printed wiring board using the spring force, the probe at the location corresponding to the wiring pattern comes into contact with the wiring pattern. The presence or absence of disconnection or abnormal conduction of the wiring pattern of the wiring board can be checked.

しかしながら、上述した従来の検査用治具の構造の場
合、ピン状のプローブ自体を細くすることや、ピン状の
プローブの配設ピッチ間隔を上述した基準ピッチ間隔
(2.54mm)よりも狭めることは、強度上、構造上、及び
各プローブに対する配線上の制約から困難であるため、
高密度の配線パターンを有する近年の印刷配線板の導通
検査には対応できなくなっている。
However, in the case of the above-described conventional inspection jig structure, it is not possible to make the pin-shaped probe thinner or to narrow the arrangement pitch of the pin-shaped probe from the above-mentioned reference pitch interval (2.54 mm). , Strength, structure, and difficulties due to wiring restrictions for each probe,
In recent years, it has become impossible to cope with a continuity test of a printed wiring board having a high-density wiring pattern.

そこで、ピン状のプローブに代えて、支持基板に固定
電極端子を設け、固定電極端子を異方性導電ゴムからな
る感圧導電シートを介して印刷配線板の配線パターン形
成面に押し当てるようにした検査用治具が考えられてい
る。このような検査用治具を用いた場合、感圧導電シー
トが圧縮されることにより、印刷配線板上の配線パター
ンに対応する箇所の固定電極端子が感圧導電シートを介
して配線パターンと導通するので、印刷配線板と各固定
電極端子とを配線によって導通測定装置に接続すること
により、印刷配線板上の配線パターンの導通状態を調べ
ることができる。
Therefore, instead of the pin-shaped probe, a fixed electrode terminal is provided on the support substrate, and the fixed electrode terminal is pressed against the wiring pattern forming surface of the printed wiring board via a pressure-sensitive conductive sheet made of anisotropic conductive rubber. Inspection jigs have been considered. When such an inspection jig is used, the pressure-sensitive conductive sheet is compressed, so that the fixed electrode terminals corresponding to the wiring pattern on the printed wiring board are electrically connected to the wiring pattern via the pressure-sensitive conductive sheet. Therefore, by connecting the printed wiring board and each fixed electrode terminal to the continuity measuring device by wiring, the continuity of the wiring pattern on the printed wiring board can be checked.

固定電極端子と感圧導電シートとを用いた上述の検査
用治具の場合、ピン状のプローブとコンタクトばねとを
組合せた検査用治具に比べると、固定電極端子の配設ピ
ッチ間隔すなわち検出ピッチ間隔を狭めることができる
が、個々の固定電極端子と導通測定装置との間の接続の
ための配線を省略することは原理的に不可能であるた
め、固定電極端子に対する配線上の制約のために、検出
ピッチ間隔を狭めることに限界がある。例えば、200mm
×300mmの基板を用いて検出ピッチ間隔をピン状プロー
ブ方式の検出ピッチ間隔の半分(1.74mm)にするために
は、約3700本の固定電極端子と同数の配線が必要となる
ため、検査用治具の製造は非常に困難となる。
In the case of the above-described inspection jig using the fixed electrode terminals and the pressure-sensitive conductive sheet, the arrangement pitch of the fixed electrode terminals, that is, the detection pitch, that is, the detection pitch is smaller than that of the inspection jig combining the pin-shaped probe and the contact spring. Although the pitch interval can be reduced, it is impossible in principle to omit wiring for connection between each fixed electrode terminal and the continuity measuring device. Therefore, there is a limit in narrowing the detection pitch interval. For example, 200mm
In order to make the detection pitch interval half (1.74 mm) of the detection pitch interval of the pin-shaped probe method using a × 300 mm substrate, about 3700 fixed electrode terminals and the same number of wires are required. Manufacturing of the jig becomes very difficult.

一方、印刷配線板の表層の配線パターンやスルーホー
ル内のメッキ欠損等を光学的手段により漏光検査する方
法が知られているが、このような方法では、多層印刷配
線板の内層の接続不良等を検査することはできない。
On the other hand, there is known a method of optically inspecting a wiring pattern on the surface layer of a printed wiring board or a plating defect in a through hole by optical means. Cannot be inspected.

更に、最近では、印刷配線板の裏面を共通アースと
し、高真空容器内で印刷配線板の表面側に電子ビームを
当てて配線パターンから電流を流し、アースへの漏れ電
流の有無を検査することにより印刷配線板の導通を検査
する方法や、アルゴンガス等の不活性ガス雰囲気(10-2
〜10-3Torr)内で印刷配線板の配線パターンとカソード
間との間にコロナ放電を発生させることにより導通を検
査する方法等が提案されている。これら2つの検査方法
の場合、検出ピッチ間隔がほぼ無制限になるという利点
があるが、検査を行なうためには特殊な環境(真空減圧
システム)が必要になるため、検査装置の大型複雑化及
び検査工程の長時間化を招くという問題が生じるととも
に、印刷配線板の素材からのガスの発生等により検査に
支障が生じる等の問題が生じる。
Furthermore, recently, the back side of the printed wiring board is used as a common ground, and an electron beam is applied to the front side of the printed wiring board in a high vacuum vessel to allow current to flow from the wiring pattern and to check for leakage current to the ground. To inspect the continuity of the printed wiring board by using a method such as an argon gas or other inert gas atmosphere (10 -2
A method of inspecting continuity by generating a corona discharge between a wiring pattern of a printed wiring board and a cathode within 10 -3 Torr) has been proposed. In the case of these two inspection methods, there is an advantage that the detection pitch interval is almost unlimited, but a special environment (vacuum decompression system) is required to perform the inspection, so that the inspection apparatus becomes large and complicated and the inspection is performed. In addition to the problem that the process is lengthened, there is a problem that the inspection is hindered by the generation of gas from the material of the printed wiring board.

上記問題点に鑑み、本発明は、印刷配線板の導通検査
のための配線構造を簡素化することができ、検出ピッチ
間隔を狭めて導通検査精度を高めることができ、しか
も、室内等の通常環境内で容易に検査を行なうことがで
きる印刷配線板の導通検査装置を提供することを目的と
する。
In view of the above problems, the present invention can simplify the wiring structure for the continuity inspection of a printed wiring board, can reduce the detection pitch interval to improve the continuity inspection accuracy, and furthermore, can improve the continuity inspection accuracy. An object of the present invention is to provide a continuity inspection device for a printed wiring board that can easily perform an inspection in an environment.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明に従う印刷配線板の導通検査装置は、電圧の印
加によってその電圧印加箇所が光学的変化を起こす電気
光学的表示セルと、電気光学的表示セルの一側に配設さ
れた共通の透明電極と、電気光学的表示セルの他側に配
設されて印刷配線板の導体パターン形成面に直接又は感
圧導電シートを介して間接的に押し当てられる絶縁基板
と、絶縁基板を貫通する多数の互いに独立した測定電極
と、一端が透明電極に接続され他端が印刷配線板に接続
される電圧印加装置とを備え、絶縁基板を印刷配線板の
導体パターン形成面に直接又は感圧導電シートを介して
間接的に押し当てたときに導体パターンに対応する箇所
の測定電極が導体パターンと直接又は感圧導電シートを
介して間接的に導通することにより、電圧印加回路に電
気的に接続された導体パターンに対応する箇所の測定電
極と共通の透明電極との間に電圧が印加されように構成
する。
The continuity inspection device for a printed wiring board according to the present invention includes an electro-optical display cell in which a voltage applied portion undergoes an optical change when a voltage is applied, and a common transparent electrode disposed on one side of the electro-optical display cell. And an insulating substrate disposed on the other side of the electro-optical display cell and directly or indirectly pressed through a conductive pattern forming surface of the printed wiring board via a pressure-sensitive conductive sheet, and a large number of insulating substrates penetrating the insulating substrate. A measuring electrode independent of each other, a voltage applying device having one end connected to the transparent electrode and the other end connected to the printed wiring board, and the insulating substrate is directly or pressure-sensitive conductive sheet formed on the conductive pattern forming surface of the printed wiring board. When the measurement electrode at the position corresponding to the conductor pattern is indirectly pressed through the conductor pattern, the measurement electrode is electrically connected to the voltage application circuit directly or indirectly through the pressure-sensitive conductive sheet. Guidance The voltage configured to be applied between the measuring electrode portion corresponding to the pattern and the common transparent electrode.

〔作 用〕(Operation)

本発明による印刷配線板の導通検査装置においては、
絶縁基板を印刷配線板の導体パターン形成面に直接又は
感圧導電シートを介して間接的に押し当てたときに導体
パターンに対応する箇所の測定電極が導体パターンと直
接又は感圧導電シートを介して間接的に導通し、電圧印
加回路に電気的に接続された導体パターンに対応する箇
所の測定電極と共通の透明電極との間に電圧が印加され
るので、電気光学的表示セルにおける電圧印加箇所が光
学的な変化を起こす。
In the printed wiring board continuity inspection device according to the present invention,
When the insulating substrate is pressed directly or indirectly via the pressure-sensitive conductive sheet on the conductive pattern forming surface of the printed wiring board, the measurement electrode at the position corresponding to the conductive pattern is directly or via the pressure-sensitive conductive sheet. Voltage is applied between the measurement electrode and the common transparent electrode at a location corresponding to the conductor pattern electrically connected to the voltage application circuit, so that the voltage is applied to the electro-optical display cell. The location causes an optical change.

電気光学的表示セルが液晶セル或いはエレクトロクロ
ミック・セルの場合、個々の測定電極に対応する箇所が
電圧の印加により例えば黒色変化を起こす。また、電気
光学的表示セルがエレクトロルミネセンス・セル或いは
放電管セルの場合、個々の測定電極に対応する箇所が電
圧の印加により発光する。したがって、電気光学的表示
セルに光学的変化が生じた箇所を観測することにより、
印刷配線板上の導体パターンと電圧印加回路に対する印
刷配線板の接続箇所との間の配線が正常な導通状態にあ
るか否かを目視或いは光学観測装置を利用して容易に調
べることができる。印刷配線板は真空減圧容器内等の特
殊環境に置く必要がないので、印刷配線板の導通検査を
簡単に且つ安価に行なうことができる。
When the electro-optical display cell is a liquid crystal cell or an electrochromic cell, a portion corresponding to each measurement electrode undergoes, for example, a black color change by application of a voltage. When the electro-optical display cell is an electroluminescence cell or a discharge tube cell, a portion corresponding to each measurement electrode emits light by applying a voltage. Therefore, by observing the place where the optical change has occurred in the electro-optical display cell,
Whether or not the wiring between the conductor pattern on the printed wiring board and the connection point of the printed wiring board to the voltage application circuit is in a normal conduction state can be easily checked visually or by using an optical observation device. Since the printed wiring board does not need to be placed in a special environment such as in a vacuum depressurized container, the continuity inspection of the printed wiring board can be performed easily and inexpensively.

絶縁基板を貫通する多数の独立した測定電極には電圧
印加回路に対する接続配線の必要がなく、しかも、共通
の透明電極と電圧印加回路との間の接続は1本の配線で
足りるので、印刷配線板の導通検査装置の配線構造が極
めて簡素になる。
A large number of independent measurement electrodes penetrating through the insulating substrate do not require connection wiring to the voltage application circuit, and one connection is sufficient between the common transparent electrode and the voltage application circuit. The wiring structure of the board continuity inspection device becomes extremely simple.

一方、絶縁基板には測定電極を形成するための多数の
独立した貫通孔を形成する必要があるが、各貫通孔の直
径は例えばレーザー加工等により0.1mm以下とすること
が可能であり、また、貫通孔のピッチ間隔は測定電極に
対する配線の必要が全くないことから例えば1mm以下と
することが可能である。また、絶縁基板に貫通孔を形成
した後、例えば無電解メッキ等の化学的方法、或いは、
真空蒸着、スパッタリング等の物理的方法により貫通孔
内が導体で埋まるように絶縁基板の表面に導体を付着形
成し、次いで、フォトエッチング等により、絶縁基板上
の不要な導体膜を除去することにより、絶縁基板に測定
電極を高精度に形成することができる。したがって、絶
縁基板に対する測定電極の配設ピッチ間隔を狭めて検出
精度を高めることができる。
On the other hand, it is necessary to form a large number of independent through holes for forming measurement electrodes on the insulating substrate, but the diameter of each through hole can be made 0.1 mm or less by, for example, laser processing, The pitch interval between the through holes can be set to, for example, 1 mm or less because there is no need for wiring for the measurement electrode. Also, after forming a through hole in the insulating substrate, for example, a chemical method such as electroless plating, or
By depositing a conductor on the surface of the insulating substrate so that the inside of the through hole is filled with the conductor by a physical method such as vacuum evaporation or sputtering, and then removing an unnecessary conductor film on the insulating substrate by photo etching or the like. In addition, the measurement electrodes can be formed on the insulating substrate with high accuracy. Therefore, it is possible to improve the detection accuracy by narrowing the arrangement pitch of the measurement electrodes with respect to the insulating substrate.

〔実施例〕〔Example〕

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例を示したものである。第1
図を参照すると、測定対象である印刷配線板1は5層印
刷配線板であり、その表側の配線パターン1aと裏側の配
線パターン1bとがスルーホール1cを介して導通されてい
る。導通検査装置は印刷配線板1の例えば表側の配線パ
ターン形成面1dに押し当てられる測定治具10と、印刷配
線板1の例えば裏側の配線パターン形成面1eに押し当て
られる接続治具11とを備えている。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. First
Referring to the figure, the printed wiring board 1 to be measured is a five-layer printed wiring board, and the wiring pattern 1a on the front side and the wiring pattern 1b on the back side thereof are electrically connected through the through hole 1c. The continuity inspection device includes a measurement jig 10 pressed against, for example, the wiring pattern forming surface 1d on the front side of the printed wiring board 1 and a connection jig 11 pressed against, for example, the wiring pattern forming surface 1e on the back side of the printed wiring board 1. Have.

接続治具11は導体基板12とその一面に付設された異方
性導電ゴムからなる感圧導電シート13とを備えており、
感圧導電シート13を印刷配線板1の裏側の配線パターン
形成面1eに押し付けることにより印刷配線板1の裏側の
配線パターン1bが感圧導電シート13及び導体基板12を介
して相互に短絡される。
The connection jig 11 includes a conductive substrate 12 and a pressure-sensitive conductive sheet 13 made of anisotropic conductive rubber attached to one surface thereof,
By pressing the pressure-sensitive conductive sheet 13 against the wiring pattern forming surface 1e on the back side of the printed wiring board 1, the wiring pattern 1b on the back side of the printed wiring board 1 is short-circuited to each other via the pressure-sensitive conductive sheet 13 and the conductive substrate 12. .

測定治具10は電圧の印加によってその電圧印加箇所が
光学的変化を起こす電気光学的表示セル14を備えてい
る。ここでは、電気光学的表示セル14として、電圧の印
加によってその電圧印加箇所が例えば黒色変化を起こす
液晶セルが用いられている。
The measuring jig 10 is provided with an electro-optical display cell 14 in which a voltage application portion undergoes an optical change when a voltage is applied. Here, as the electro-optical display cell 14, a liquid crystal cell in which a voltage application portion changes black, for example, when a voltage is applied is used.

電気光学的表示セルすなわち液晶セル14は透明ガラス
等からなる表側の透明絶縁板15とセラミック等からなる
裏側の絶縁基板16との間に封止されており、表側の透明
絶縁板15の下面には液晶セル14に電圧を印加するための
一方の共通の透明電極17が形成されている。この透明電
極17は例えば酸化インジウム(InO)等を表側透明絶縁
板15の下面全体に蒸着或いはスパッタリング等によって
メタライズすることにより、形成することができる。
The electro-optical display cell, i.e., the liquid crystal cell 14, is sealed between a front transparent insulating plate 15 made of transparent glass or the like and a rear insulating substrate 16 made of ceramic or the like. Is formed with one common transparent electrode 17 for applying a voltage to the liquid crystal cell 14. The transparent electrode 17 can be formed, for example, by metallizing indium oxide (InO) or the like on the entire lower surface of the front transparent insulating plate 15 by vapor deposition or sputtering.

この実施例においては、液晶セル14の裏側の絶縁基板
16は異方性導電ゴムからなる感圧導電シート18を介して
印刷配線板1の配線パターン形成面1dに間接的に押し当
てられるようになっている。
In this embodiment, the insulating substrate on the back side of the liquid crystal cell 14
16 is indirectly pressed against the wiring pattern forming surface 1d of the printed wiring board 1 via a pressure-sensitive conductive sheet 18 made of anisotropic conductive rubber.

液晶セル14の裏側の絶縁基板16には絶縁基板16を貫通
する多数の互いに独立した測定電極19が例えば格子状に
配設されている。個々の測定電極19と共通の透明電極17
との間にパルス電圧が印加されると液晶セル14内の測定
電極19に対応した箇所が光学的変化(黒色変化)を起こ
す。
On the insulating substrate 16 on the back side of the liquid crystal cell 14, a large number of independent measurement electrodes 19 penetrating the insulating substrate 16 are arranged, for example, in a lattice shape. Transparent electrode 17 common to individual measurement electrodes 19
When a pulse voltage is applied between the two, a portion corresponding to the measurement electrode 19 in the liquid crystal cell 14 causes an optical change (black change).

絶縁基板16には測定電極19を形成するための多数の独
立した貫通孔16aを予め形成する必要があるが、各貫通
孔16aの直径は例えばレーザー加工等により0.1mm以下と
することが可能であり、また、貫通孔16aの配設ピッチ
間隔は測定電極19に対する配線の必要が全くないことか
ら例えば1mm以下とすることが可能である。
It is necessary to previously form a large number of independent through holes 16a for forming the measurement electrodes 19 on the insulating substrate 16, but the diameter of each through hole 16a can be reduced to 0.1 mm or less by, for example, laser processing. In addition, the arrangement pitch of the through-holes 16a can be set to, for example, 1 mm or less because there is no need to provide wiring for the measurement electrode 19.

絶縁基板16に貫通孔16aを形成した後、例えば無電解
メッキ等の化学的方法、或いは、真空蒸着、スパッタリ
ング等の物理的方法により貫通孔16a内が導体で埋まる
ように絶縁基板16の表面に導体を付着形成し、次いで、
フォトエッチング等によって絶縁基板16上の不要な導体
膜を除去することにより、絶縁基板16に測定電極19を高
精度に形成することができる。
After forming the through-hole 16a in the insulating substrate 16, for example, a chemical method such as electroless plating, or a vacuum deposition, a physical method such as sputtering, on the surface of the insulating substrate 16 so that the through-hole 16a is filled with a conductor. Deposit a conductor and then
By removing unnecessary conductor films on the insulating substrate 16 by photoetching or the like, the measurement electrodes 19 can be formed on the insulating substrate 16 with high accuracy.

測定治具10の共通の透明電極17は1本の配線21を介し
て電圧印加装置としてのパルス電圧信号発生器20の一方
の信号出力端に接続されており、接続治具11の導体基板
11は1本の配線22を介してパルス電圧発生器20の他方の
信号出力単に接続されている。
The common transparent electrode 17 of the measuring jig 10 is connected to one signal output terminal of a pulse voltage signal generator 20 as a voltage applying device via one wire 21,
11 is simply connected to the other signal output of the pulse voltage generator 20 via one wiring 22.

上記構成を有する印刷配線板の導通検査装置によって
印刷配線板1の導通検査を行なう場合、接続治具11の感
圧導電シート13を印刷配線板1の裏側配線パターン形成
面1eに押し当て、測定治具10の感圧導電シート18を印刷
配線板1の表側配線パターン形成面1dに押し当てる。こ
れにより、接続治具11の導体基板12は感圧導電シート13
を介して印刷配線板1の裏側の配線パターン1bと導通状
態になり、また、測定治具10の測定電極19のうち印刷配
線板1の表側の配線パターン1aに対応する箇所の測定電
極19が感圧導電シート18を介して配線パターン1aと導通
状態になる。
When conducting continuity inspection of the printed wiring board 1 by the printed wiring board continuity inspection device having the above-described configuration, the pressure-sensitive conductive sheet 13 of the connection jig 11 is pressed against the back side wiring pattern forming surface 1e of the printed wiring board 1 for measurement. The pressure-sensitive conductive sheet 18 of the jig 10 is pressed against the front-side wiring pattern forming surface 1 d of the printed wiring board 1. As a result, the conductor board 12 of the connection jig 11 is
Through the wiring pattern 1b on the back side of the printed wiring board 1, and the measurement electrode 19 of the measurement electrode 19 of the measuring jig 10 corresponding to the wiring pattern 1a on the front side of the printed wiring board 1 It becomes conductive with the wiring pattern 1a via the pressure-sensitive conductive sheet 18.

したがって、パルス電圧発生器20により透明電極17と
導体基板11との間にパルス電圧を印加すると、印刷配線
板1の表側配線パターン1aと裏側配線パターン1bとの間
の正常な又は異常な導通により、表側配線パターン1bに
対し導通状態にある表側配線パターン1aに対応する測定
電極19と共通の透明電極17との間にパルス電圧が印加さ
れることとなり、その電圧印加箇所の液晶セル14が光学
的に黒色変化を起こすこととなる。したがって、外部か
ら液晶セル14の黒色変化パターンを観察することによ
り、印刷配線板1における配線パターン1a,1b間の導通
状態が正常か否かを調べることができる。
Therefore, when a pulse voltage is applied between the transparent electrode 17 and the conductive substrate 11 by the pulse voltage generator 20, a normal or abnormal conduction between the front wiring pattern 1a and the back wiring pattern 1b of the printed wiring board 1 occurs. A pulse voltage is applied between the common transparent electrode 17 and the measurement electrode 19 corresponding to the front-side wiring pattern 1a that is in a conductive state with respect to the front-side wiring pattern 1b. This causes a black color change. Therefore, by observing the black color change pattern of the liquid crystal cell 14 from the outside, it is possible to check whether the conduction state between the wiring patterns 1a and 1b in the printed wiring board 1 is normal.

第2図は上記導通検査装置と組み合わされる光学的観
測装置の構成を概略的に示したものである。第2図を参
照すると、光学的観測装置は、撮像装置31によって液晶
セル14に発生した黒色変化パターンを撮像し、その映像
信号を画像変換部32により二値図形データに変換し、一
方、予め例えばCADデータ入力部33によって基準パター
ン画像を作成するためのデータを入力し、その入力デー
タを画像変換部34により二値図形データに変換し、両画
像変換部32,34で得られた二値図形データを比較部35に
より比較して、両者の不一致箇所を不具合検出部36によ
り検出する。不一致箇所が検出された場合には、印刷配
線板1に配線パターンの断線或いは異常な短絡が生じて
いることとなり、不良品として処理することができる。
FIG. 2 schematically shows the configuration of an optical observation device combined with the above-described continuity inspection device. Referring to FIG. 2, the optical observation device takes an image of a black change pattern generated in the liquid crystal cell 14 by the imaging device 31 and converts the video signal into binary graphic data by the image conversion unit 32. For example, data for creating a reference pattern image is input by the CAD data input unit 33, the input data is converted into binary graphic data by the image conversion unit 34, and the binary data obtained by the two image conversion units 32 and 34 are obtained. The graphic data is compared by the comparing unit 35, and a mismatch portion between the two is detected by the defect detecting unit 36. If a mismatched portion is detected, it means that the printed wiring board 1 has a broken wiring pattern or an abnormal short circuit, and can be processed as a defective product.

第3図は本発明による印刷配線板の導通検査装置の他
の実施例を示したものである。第3図において上記実施
例と同一の構成要素には同一の参照符号が付されてい
る。
FIG. 3 shows another embodiment of the printed wiring board continuity inspection apparatus according to the present invention. In FIG. 3, the same components as those in the above embodiment are denoted by the same reference numerals.

この実施例は、厚膜法等で多層配線を行なったセラミ
ック多層基板2を測定対象物とする場合に好適なもので
あり、セラミック多層基板2には出力端子部2aが形成さ
れている。そこで、上記実施例と同一の構成を有する測
定治具10をセラミック多層基板2の配線パターン形成面
2bに押し当て、セラミック多層基板2の出力端子部2aを
配線22を介してパルス電圧発生器20の一方の信号出力端
に接続し、測定治具10の透明電極17を配線21を介してパ
ルス電圧発生器20の他方の信号出力端に接続することに
より、上記実施例と同様の方法で、セラミック多層基板
2の配線パターン2cと出力端子部2aとの間の導通を検査
することができる。
This embodiment is suitable for a case where a ceramic multilayer substrate 2 on which multilayer wiring is performed by a thick film method or the like is to be measured, and the ceramic multilayer substrate 2 is provided with an output terminal portion 2a. Therefore, the measuring jig 10 having the same configuration as that of the above embodiment is connected to the wiring pattern forming surface of the ceramic multilayer substrate 2.
2b, the output terminal 2a of the ceramic multilayer substrate 2 is connected to one signal output terminal of the pulse voltage generator 20 via the wiring 22, and the transparent electrode 17 of the measuring jig 10 is pulsed via the wiring 21. By connecting to the other signal output terminal of the voltage generator 20, the conduction between the wiring pattern 2c of the ceramic multilayer substrate 2 and the output terminal 2a can be inspected in the same manner as in the above embodiment.

第4図は透明絶縁板15の下面に形成される透明電極17
のパターン形状の変形例を示したものである。第4図を
参照すると、透明電極17の格子状パターンの各交差部17
aは測定電極19(第1図参照)の格子状配列と対応して
いる。透明電極17の格子状パターンの各交差部17aの面
積が局部的に大きくなっていることにより、透明電極17
による駆動電圧の影響領域を明確化することができるの
で、液晶セル14の電圧印加による光学的変化領域をより
明確化することができる。
FIG. 4 shows a transparent electrode 17 formed on the lower surface of the transparent insulating plate 15.
5 shows a modified example of the pattern shape of FIG. Referring to FIG. 4, each intersection 17 of the grid pattern of the transparent electrode 17 is shown.
a corresponds to the grid-like arrangement of the measurement electrodes 19 (see FIG. 1). Since the area of each intersection 17a of the lattice pattern of the transparent electrode 17 is locally increased, the transparent electrode 17
Therefore, the region affected by the driving voltage due to the above can be clarified, so that the optically changed region of the liquid crystal cell 14 due to the voltage application can be further clarified.

以上、図示実施例につき説明したが、本発明は図示実
施例の態様のみに限定されるものではない。例えば、電
気光学的表示セル14としては液晶セルの他に、電圧の印
加箇所が化学的変化により光学的変化を起こすエレクト
ロクロミック・セル等や、電圧印加箇所が発光するエレ
クトロルミネセンス・セル、放電管セル等を用いること
ができる。また、第1図に示した測定治具10の感圧導電
シート18や接続治具11の感圧導電シート13等を省略し
て、測定電極19及び導体基板11を直接印刷配線板11の配
線パターン1a,1b等に接触させるようにしてもよい。
Although the illustrated embodiment has been described above, the present invention is not limited to the illustrated embodiment. For example, as the electro-optical display cell 14, in addition to a liquid crystal cell, an electrochromic cell or the like in which a voltage application location causes an optical change due to a chemical change, an electroluminescence cell in which a voltage application location emits light, a discharge A tube cell or the like can be used. In addition, the pressure-sensitive conductive sheet 18 of the measurement jig 10 and the pressure-sensitive conductive sheet 13 of the connection jig 11 shown in FIG. You may make it contact pattern 1a, 1b, etc.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、印
刷配線板上の配線パターンに対応する箇所の測定電極と
共通の透明電極との間に印加される駆動電圧により電気
光学的表示セルの電圧印加箇所に光学的な変化を起こさ
せることにより、印刷配線板の導通を光学的に検査する
ことができる印刷配線板の導通検査装置を提供すること
ができる。しかも、個々の測定電極への配線が不要で共
通の透明電極を1本の配線で電圧発生装置に接続すれば
よく、したがって、配線上の制約を受けることなく測定
電極の配設ピッチ間隔を狭くすることができるので、検
出精度の高い印刷配線板の導通検査装置を提供できるこ
ととなる。また、印刷配線板を真空減圧容器内等の特殊
環境に置く必要がないので、印刷配線板の導通検査を簡
単に且つ安価に行なうことができることとなる。
As apparent from the above description, according to the present invention, the driving voltage applied between the measurement electrode and the common transparent electrode at a position corresponding to the wiring pattern on the printed wiring board causes the electro-optical display cell to be driven. By providing an optical change at the voltage application point, it is possible to provide a printed wiring board continuity inspection device capable of optically inspecting the continuity of the printed wiring board. Moreover, it is not necessary to provide wiring to individual measurement electrodes, and it is sufficient to connect a common transparent electrode to the voltage generator with one wiring. Therefore, the arrangement pitch of measurement electrodes can be reduced without being restricted by wiring. Therefore, it is possible to provide a printed wiring board continuity inspection device with high detection accuracy. Further, since it is not necessary to place the printed wiring board in a special environment such as in a vacuum depressurized container, the continuity inspection of the printed wiring board can be performed easily and inexpensively.

【図面の簡単な説明】 第1図は本発明の一実施例を示す印刷配線板の導通検査
装置の概略断面図、 第2図は第1図に示す導通検査装置と組み合わせた光学
観測装置の構成例を示す図、 第3図は本発明の他の実施例を示す印刷配線板の導通検
査装置の概略断面図、 第4図は透明電極のパターン形状の変形例を示す図であ
る。 図において、1は印刷配線板、2はセラミック多層配線
板、14は電気光学的表示セルとしての液晶セル、16は絶
縁基板、17は透明電極、18は感圧導電シート、19は測定
電極、20は電圧印加装置をそれぞれ示す。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic sectional view of a continuity inspection device for a printed wiring board showing one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an optical observation device combined with the continuity inspection device shown in FIG. FIG. 3 is a diagram showing a configuration example, FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a printed wiring board continuity inspection device showing another embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a diagram showing a modification of the pattern shape of the transparent electrode. In the figure, 1 is a printed wiring board, 2 is a ceramic multilayer wiring board, 14 is a liquid crystal cell as an electro-optical display cell, 16 is an insulating substrate, 17 is a transparent electrode, 18 is a pressure-sensitive conductive sheet, 19 is a measurement electrode, Reference numeral 20 denotes a voltage application device.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】電圧の印加によってその電圧印加箇所が光
学的変化を起こす電気光学的表示セル(14)と、電気光
学的表示セルの一側に配設された共通の透明電極(17)
と、電気光学的表示セルの他側に配設されて印刷配線板
(1)の導体パターン形成面に直接又は感圧導電シート
(18)を介して間接的に押し当てられる絶縁基板(16)
と、絶縁基板を貫通する多数の互いに独立した測定電極
(19)と、一端が透明電極に接続され他端が印刷配線板
に接続される電圧印加装置(20)とを備え、 絶縁基板(16)を印刷配線板(1)の導体パターン形成
面に直接又は感圧導電シート(18)を介して間接的に押
し当てたときに導体パターンに対応する箇所の測定電極
(19)が導体パターンと直接又は感圧導電シート(18)
を介して間接的に導通することにより、電圧印加回路
(20)に電気的に接続された導体パターンに対応する箇
所の測定電極(19)と共通の透明電極(17)との間に電
圧が印加されるようにしたことを特徴とする印刷配線板
の導通検査装置。
1. An electro-optical display cell (14) in which a voltage application portion changes optically by application of a voltage, and a common transparent electrode (17) disposed on one side of the electro-optical display cell.
And an insulating substrate (16) disposed on the other side of the electro-optical display cell and pressed directly or indirectly through a pressure-sensitive conductive sheet (18) on the conductive pattern forming surface of the printed wiring board (1).
A plurality of independent measurement electrodes (19) penetrating the insulating substrate, and a voltage applying device (20) having one end connected to the transparent electrode and the other end connected to the printed wiring board. ) Is pressed directly or indirectly via a pressure-sensitive conductive sheet (18) onto the surface of the printed wiring board (1) on which the conductive pattern is formed. Direct or pressure-sensitive conductive sheet (18)
Is indirectly conducted through the electrode, a voltage is applied between the measurement electrode (19) and the common transparent electrode (17) at a location corresponding to the conductor pattern electrically connected to the voltage application circuit (20). A continuity inspection device for a printed wiring board, wherein the continuity is applied.
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