JP2584315B2 - ボンダ用ツールクリーニング機構 - Google Patents
ボンダ用ツールクリーニング機構Info
- Publication number
- JP2584315B2 JP2584315B2 JP1165254A JP16525489A JP2584315B2 JP 2584315 B2 JP2584315 B2 JP 2584315B2 JP 1165254 A JP1165254 A JP 1165254A JP 16525489 A JP16525489 A JP 16525489A JP 2584315 B2 JP2584315 B2 JP 2584315B2
- Authority
- JP
- Japan
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- tool
- duct
- cleaning
- cleaning member
- fixed
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はインナーリードボンダ、アウターリードボン
ダ、バンプ転写ボンダ、ペレットボンダ等に用いるボン
ダ用ツールクリーニング機構に関する。
ダ、バンプ転写ボンダ、ペレットボンダ等に用いるボン
ダ用ツールクリーニング機構に関する。
［従来の技術］ 従来、ボンダ用ツールクリーニング機構で、かつツー
ルのクリーニングによって生じた異物の粉塵を吸引する
ダクトを備えたものとして、例えば特開昭63−16956号
公報に示すものが知られている。
ルのクリーニングによって生じた異物の粉塵を吸引する
ダクトを備えたものとして、例えば特開昭63−16956号
公報に示すものが知られている。
この機構は、クリーニング部材（砥石）の側方よりク
リーニング部材に空気を吹き付けるブロアーパイプと、
クリーニング部材を中心としてブロアーパイプの反対側
に配設されたダクトとを備えている。
リーニング部材に空気を吹き付けるブロアーパイプと、
クリーニング部材を中心としてブロアーパイプの反対側
に配設されたダクトとを備えている。
ブロアーパイプによる空気の吹き付けは、クリーニン
グ部材にツールが圧接した状態で一方側から吹き付けら
れる。従って、ブロアーパイプから供給された空気は、
クリーニング部材に当たってダクトの方向に流れないで
左右方向に流れる。このため、ダクトにより有効に粉塵
が吸引されなく、周囲に飛び散るという問題があった。
また吸引のための真空装置の外に空気を吹き付けるコン
プレッサーを必要とする。
グ部材にツールが圧接した状態で一方側から吹き付けら
れる。従って、ブロアーパイプから供給された空気は、
クリーニング部材に当たってダクトの方向に流れないで
左右方向に流れる。このため、ダクトにより有効に粉塵
が吸引されなく、周囲に飛び散るという問題があった。
また吸引のための真空装置の外に空気を吹き付けるコン
プレッサーを必要とする。
本発明の課題は、ツールのクリーニングによって生じ
た異物の粉塵を有効に効率良く吸引することができ、ま
た特にコンプレッサーを必要としないボンダ用ツールク
リーニング機構を提供することにある。
た異物の粉塵を有効に効率良く吸引することができ、ま
た特にコンプレッサーを必要としないボンダ用ツールク
リーニング機構を提供することにある。
上記課題を解決するための本発明の手段は、バンプ等
を位置決め載置するボンドステージと、フイルムキヤリ
アのリードとバンプとを圧着させるツールと、前記ボン
ドステージの近傍に設けられ、ツールをクリーニングす
るクリーニング部材と、このクリーニング部材で除去さ
れた異物の粉塵を吸引するダクトとを備えたボンダにお
いて、前記ダクトは、真空装置に接続され、周囲が密閉
された吸引路と、前記ツールの先端側が挿入されるよう
に貫通したツール挿入穴とを有し、前記クリーニング部
材の上方に上下動可能に配設され、前記ツールがダクト
の前記ツール挿入穴に挿入されて下降する時に該ツール
と共に下降させられるように構成されていることを特徴
とする。
を位置決め載置するボンドステージと、フイルムキヤリ
アのリードとバンプとを圧着させるツールと、前記ボン
ドステージの近傍に設けられ、ツールをクリーニングす
るクリーニング部材と、このクリーニング部材で除去さ
れた異物の粉塵を吸引するダクトとを備えたボンダにお
いて、前記ダクトは、真空装置に接続され、周囲が密閉
された吸引路と、前記ツールの先端側が挿入されるよう
に貫通したツール挿入穴とを有し、前記クリーニング部
材の上方に上下動可能に配設され、前記ツールがダクト
の前記ツール挿入穴に挿入されて下降する時に該ツール
と共に下降させられるように構成されていることを特徴
とする。
ツールはダクトのツール挿入穴に挿入され、ツールが
クリーニング部材に圧接するように下降すると、ダクト
も共に下降してクリーニング部材と僅かな隙間を保つ。
この状態でツールのクリーニングが行われる。このよう
に、クリーニング状態においてはクリーニング部材とダ
クトは近接しており、またダクトはツールの周りを囲っ
ているので、粉塵を効率良く有効に吸引できる。またダ
クトは上下動可能でツールがダクトのツール挿入穴に挿
入されていない時は、上昇した状態にあるので、クリー
ニング部材の交換及び清掃を容易に行うことができる。
またコンプレッサーを必要としない。
クリーニング部材に圧接するように下降すると、ダクト
も共に下降してクリーニング部材と僅かな隙間を保つ。
この状態でツールのクリーニングが行われる。このよう
に、クリーニング状態においてはクリーニング部材とダ
クトは近接しており、またダクトはツールの周りを囲っ
ているので、粉塵を効率良く有効に吸引できる。またダ
クトは上下動可能でツールがダクトのツール挿入穴に挿
入されていない時は、上昇した状態にあるので、クリー
ニング部材の交換及び清掃を容易に行うことができる。
またコンプレッサーを必要としない。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。図示し
ない駆動手段でXY方向に駆動される周知構造のXYテーブ
ル１上には、支持ブロック２が固定されている。支持ブ
ロック２には、垂直に配設されたクロスローラ３を介し
て上下動ブロック４が上下動自在に取付けられている。
上下動ブロック４には垂直に配設されたステージ支持軸
５が軸受６を介して回転自在に支承されており、ステー
ジ支持軸５の上面にはボンドステージ７が固定されてい
る。
ない駆動手段でXY方向に駆動される周知構造のXYテーブ
ル１上には、支持ブロック２が固定されている。支持ブ
ロック２には、垂直に配設されたクロスローラ３を介し
て上下動ブロック４が上下動自在に取付けられている。
上下動ブロック４には垂直に配設されたステージ支持軸
５が軸受６を介して回転自在に支承されており、ステー
ジ支持軸５の上面にはボンドステージ７が固定されてい
る。
また上下動ブロック４には軸ホルダ10が固定されてお
り、軸ホルダ10には水平に配設された上下調整可能な偏
心軸11が回転自在に支承されている。偏心軸11の端部に
は調整レバー12が固定されており、調整レバー12には縦
溝12aが形成されている。縦溝12aにはロックねじ13の軸
部が挿入されており、ロックねじ13のねじ部はナット14
に螺合されている。ナット14は前記上下動ブロック４に
固定された支持板15の横溝15aに遊嵌されている。また
前記偏心軸11には、カムフオロア16が固定されている。
カムフオロア16は、上面にカム面を有するリニアカム17
に当接しており、リニアカム17はXYテーブル１に固定さ
れたエアシリンダ18で水平動させられる。またリニアカ
ム17に対応したXYテーブル１上にはリニアカム17の底面
をガイドするガイドブロック19が固定され、このガイド
ブロック19上にはリニアカム17の両側側面をガイドする
ガイドローラ20が回転自在に支承されている。
り、軸ホルダ10には水平に配設された上下調整可能な偏
心軸11が回転自在に支承されている。偏心軸11の端部に
は調整レバー12が固定されており、調整レバー12には縦
溝12aが形成されている。縦溝12aにはロックねじ13の軸
部が挿入されており、ロックねじ13のねじ部はナット14
に螺合されている。ナット14は前記上下動ブロック４に
固定された支持板15の横溝15aに遊嵌されている。また
前記偏心軸11には、カムフオロア16が固定されている。
カムフオロア16は、上面にカム面を有するリニアカム17
に当接しており、リニアカム17はXYテーブル１に固定さ
れたエアシリンダ18で水平動させられる。またリニアカ
ム17に対応したXYテーブル１上にはリニアカム17の底面
をガイドするガイドブロック19が固定され、このガイド
ブロック19上にはリニアカム17の両側側面をガイドする
ガイドローラ20が回転自在に支承されている。
従って、ロックねじ13を緩めて調整レバー12を回す
と、偏心軸11が回転し、上下動ブロック４と共にステー
ジ支持軸５及びボンドステージ７が上下動するので、ボ
ンドステージ７の上下位置を調整することができる。ま
たエアシリンダ18を作動させると、リニアカム17のカム
面に従ってカムフオロア16と共に上下動ブロック４が上
下動し、ボンドステージ７が上下動する。
と、偏心軸11が回転し、上下動ブロック４と共にステー
ジ支持軸５及びボンドステージ７が上下動するので、ボ
ンドステージ７の上下位置を調整することができる。ま
たエアシリンダ18を作動させると、リニアカム17のカム
面に従ってカムフオロア16と共に上下動ブロック４が上
下動し、ボンドステージ７が上下動する。
前記ステージ支持軸５の上方側及びボンドステージ７
にはペレット25を真空吸着する吸着孔5a、7aが形成され
ており、吸着孔5aには図示しない真空源により真空引き
されるパイプ26が固定されている。また前記ステージ支
持軸５にはペレット25の回転方向を調整する調整レバー
27が固定されており、この調整レバー27の端部側の底面
には垂直に下方に伸びた軸28が固定され、この軸28の下
端側にはローラ29が回転自在に支承されている。
にはペレット25を真空吸着する吸着孔5a、7aが形成され
ており、吸着孔5aには図示しない真空源により真空引き
されるパイプ26が固定されている。また前記ステージ支
持軸５にはペレット25の回転方向を調整する調整レバー
27が固定されており、この調整レバー27の端部側の底面
には垂直に下方に伸びた軸28が固定され、この軸28の下
端側にはローラ29が回転自在に支承されている。
一方、上下動ブロック４にはモータブラケット30が固
定されており、このモータブラケット30にはモータ31が
固定されている。モータ31の出力軸にはブロック32が固
定されており、このブロック32には前記ローラ29を挟持
する形で２個のローラ33（第１図には一方のみ図示）が
回転自在に支承されている。また調整レバー27の端部上
面にはスリット34aを有する検出板34が固定されてい
る。またこの検出板34、即ち調整レバー27の回転範囲を
規制するために、前記モータブラケット30には前記検出
板34のスリット34aを検出する２個のホトセンサー35、3
6が固定されている。
定されており、このモータブラケット30にはモータ31が
固定されている。モータ31の出力軸にはブロック32が固
定されており、このブロック32には前記ローラ29を挟持
する形で２個のローラ33（第１図には一方のみ図示）が
回転自在に支承されている。また調整レバー27の端部上
面にはスリット34aを有する検出板34が固定されてい
る。またこの検出板34、即ち調整レバー27の回転範囲を
規制するために、前記モータブラケット30には前記検出
板34のスリット34aを検出する２個のホトセンサー35、3
6が固定されている。
従って、モータ31を回転させると、ブロック32、ロー
ラ33を介してローラ29、軸28及び調整レバー27がステー
ジ支持軸５の軸心を中心として回動し、ステージ支持軸
５が回動させられ、ペレット25の回転方向の位置を補正
することができる。
ラ33を介してローラ29、軸28及び調整レバー27がステー
ジ支持軸５の軸心を中心として回動し、ステージ支持軸
５が回動させられ、ペレット25の回転方向の位置を補正
することができる。
そこで、接合動作は、ボンドステージ７にペレット25
が図示しない手段で載置されると、吸着孔7aが真空引き
されてペレット25はボンドステージ７に保持される。そ
して、ペレット25の位置が図示しないカメラで検出さ
れ、図示しないフイルムキヤリアに設けられたリード40
に対するペレット25の回転方向の位置が前記したように
モータ31が回転させられて補正される。またXYテーブル
１がXY方向に駆動され、リード40に対するペレット25の
XY方向の位置が補正される。次に図示しない駆動手段で
上下動及びXY方向に移動させられるツール41が下降させ
られ、またエアシリンダ18が作動して前記のようにボン
ドステージ７が上昇してリード40をペレット25のバンプ
に接合する。その後ツール41は上昇、ボンドステージ７
は下降する。
が図示しない手段で載置されると、吸着孔7aが真空引き
されてペレット25はボンドステージ７に保持される。そ
して、ペレット25の位置が図示しないカメラで検出さ
れ、図示しないフイルムキヤリアに設けられたリード40
に対するペレット25の回転方向の位置が前記したように
モータ31が回転させられて補正される。またXYテーブル
１がXY方向に駆動され、リード40に対するペレット25の
XY方向の位置が補正される。次に図示しない駆動手段で
上下動及びXY方向に移動させられるツール41が下降させ
られ、またエアシリンダ18が作動して前記のようにボン
ドステージ７が上昇してリード40をペレット25のバンプ
に接合する。その後ツール41は上昇、ボンドステージ７
は下降する。
次に本発明の特徴とするツールクリーニング機構につ
いて説明する。前記上下動ブロック４は前記ステージ支
持軸５の側方にクリーニング部4aを有し、このクリーニ
ング部4a上にはクリーニング台50が固定されている。ク
リーニング台50上には、例えばシリコンカーバイトのよ
うな粒度の粗い粗砥石51と、例えばセラミックのように
粒度の細かい仕上砥石52と、ワイヤブラシ53とが固定さ
れている。またクリーニング部4aの下面に対応して前記
XYテーブル１上にはシリンダ54が固定されている。
いて説明する。前記上下動ブロック４は前記ステージ支
持軸５の側方にクリーニング部4aを有し、このクリーニ
ング部4a上にはクリーニング台50が固定されている。ク
リーニング台50上には、例えばシリコンカーバイトのよ
うな粒度の粗い粗砥石51と、例えばセラミックのように
粒度の細かい仕上砥石52と、ワイヤブラシ53とが固定さ
れている。またクリーニング部4aの下面に対応して前記
XYテーブル１上にはシリンダ54が固定されている。
前記粗砥石51、仕上砥石52、ワイヤブラシ53の上方に
は周囲が密閉された吸引路60aを有するダクト60が配設
されている。ダクト60には、ツール41の先端側が挿入さ
れるように貫通したツール挿入穴60bと、吸引路60aに連
通した開口穴60cとが形成されている。開口穴60cの部分
には連結ブロック61を介してホース接続用パイプ62が固
定されており、ホース接続用パイプ62は図示しないドレ
ンホースを介して真空装置に接続されている。前記ダク
ト60はダクト支持板63に固定されており、ダクト支持板
63はクロスローラ64を介して固定板65に上下動自在に設
けられている。そして、ダクト支持板63はスプリング66
で上方に付勢されている。またダクト支持板63は前記支
持ブロック２に固定されている。
は周囲が密閉された吸引路60aを有するダクト60が配設
されている。ダクト60には、ツール41の先端側が挿入さ
れるように貫通したツール挿入穴60bと、吸引路60aに連
通した開口穴60cとが形成されている。開口穴60cの部分
には連結ブロック61を介してホース接続用パイプ62が固
定されており、ホース接続用パイプ62は図示しないドレ
ンホースを介して真空装置に接続されている。前記ダク
ト60はダクト支持板63に固定されており、ダクト支持板
63はクロスローラ64を介して固定板65に上下動自在に設
けられている。そして、ダクト支持板63はスプリング66
で上方に付勢されている。またダクト支持板63は前記支
持ブロック２に固定されている。
次に作用について説明する。前記したようにフイルム
キヤリアのリード40をペレット25のバンプに接合する動
作を一定回数行った後、ツール41をダクト60のツール挿
入穴60bの上方に位置させ、またXYテーブル１を駆動し
て粗砥石51を前記ツール挿入穴60bの下方に位置させ
る。次にシリンダ54が作動して上下動ブロック４のクリ
ーニング部4aをわずかに押上げる。またツール41が下降
してツール41の下端は粗砥石51に当接する。このツール
41が下降する時に、ツール41を保持しているツールホル
ダ42によってダクト支持板63、即ちダクト60は押し下げ
られ、ダクト60の下面は粗砥石51とわずかな隙間を保
つ。この状態でXYテーブル１がXY方向に一定時間往復駆
動され、ツール41の下面に付着している酸化物の目詰り
を防ぐ。
キヤリアのリード40をペレット25のバンプに接合する動
作を一定回数行った後、ツール41をダクト60のツール挿
入穴60bの上方に位置させ、またXYテーブル１を駆動し
て粗砥石51を前記ツール挿入穴60bの下方に位置させ
る。次にシリンダ54が作動して上下動ブロック４のクリ
ーニング部4aをわずかに押上げる。またツール41が下降
してツール41の下端は粗砥石51に当接する。このツール
41が下降する時に、ツール41を保持しているツールホル
ダ42によってダクト支持板63、即ちダクト60は押し下げ
られ、ダクト60の下面は粗砥石51とわずかな隙間を保
つ。この状態でXYテーブル１がXY方向に一定時間往復駆
動され、ツール41の下面に付着している酸化物の目詰り
を防ぐ。
次にツール41は上昇し、またXYテーブル１が駆動され
て仕上砥石52がツール挿入穴60bの下方に位置させられ
る。そして、再びツール41が下降させられ、前記したと
同様にXYテーブル１がYY方向に一定時間往復駆動され、
ツール41の下面の仕上げクリーニングが行われる。その
後、再びツール41は上昇、XYテーブル１が駆動されてワ
イヤブラシ53がツール挿入穴60bの下方に位置され、そ
してツール41が下降させられる。そしてXYテーブル１が
XY方向に一定時間往復駆動され、前記した粗砥石51及び
仕上砥石52のクリーニングによってツール41の側面及び
下面に付着した酸化物が除去される。その後、ツール41
は上昇及びXY方向に駆動されてボンデイングステーショ
ンの上方に位置させられる。またシリンダ54の作動ロツ
ドが引込み、上下動ブロック４は下降させられ、またXY
テーブル１が駆動してボンドステージ７はボンデイング
ステーションに位置させられる。
て仕上砥石52がツール挿入穴60bの下方に位置させられ
る。そして、再びツール41が下降させられ、前記したと
同様にXYテーブル１がYY方向に一定時間往復駆動され、
ツール41の下面の仕上げクリーニングが行われる。その
後、再びツール41は上昇、XYテーブル１が駆動されてワ
イヤブラシ53がツール挿入穴60bの下方に位置され、そ
してツール41が下降させられる。そしてXYテーブル１が
XY方向に一定時間往復駆動され、前記した粗砥石51及び
仕上砥石52のクリーニングによってツール41の側面及び
下面に付着した酸化物が除去される。その後、ツール41
は上昇及びXY方向に駆動されてボンデイングステーショ
ンの上方に位置させられる。またシリンダ54の作動ロツ
ドが引込み、上下動ブロック４は下降させられ、またXY
テーブル１が駆動してボンドステージ７はボンデイング
ステーションに位置させられる。
ところで、前記のように粗砥石51、仕上砥石52、ワイ
ヤブラシ53で除去された異物の粉塵は、ダクト60によっ
て吸引されるので、粉塵の飛散が防止される。この場
合、ダクト60はツール41の周りをかこっているので、粉
塵は有効にダクト60によって吸引される。
ヤブラシ53で除去された異物の粉塵は、ダクト60によっ
て吸引されるので、粉塵の飛散が防止される。この場
合、ダクト60はツール41の周りをかこっているので、粉
塵は有効にダクト60によって吸引される。
なお、上記実施例は、クリーニング部4aは上下動ブロ
ック４に設けたが、クリーニング部4aは上下動ブロック
４と別体で構成し、前記XYテーブル１と別のXYテーブル
で駆動するようにしてもよい。また上記実施例は、内部
リード接合に適用した場合について説明したが、外部リ
ード接合、転写バンプ接合等にも同様に適用できること
はいうまでもない。また砥石として、粗砥石51と仕上砥
石52を２個設けたが、この外に中間砥石を追加して設け
てもよい。
ック４に設けたが、クリーニング部4aは上下動ブロック
４と別体で構成し、前記XYテーブル１と別のXYテーブル
で駆動するようにしてもよい。また上記実施例は、内部
リード接合に適用した場合について説明したが、外部リ
ード接合、転写バンプ接合等にも同様に適用できること
はいうまでもない。また砥石として、粗砥石51と仕上砥
石52を２個設けたが、この外に中間砥石を追加して設け
てもよい。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ダ
クトは、真空装置に接続され、周囲が密閉された吸引路
と、前記ツールの先端側が挿入されるように貫通したツ
ール挿入穴とを有し、前記クリーニング部材の上方に上
下動可能に配設され、前記ツールがダクトの前記ツール
挿入穴に挿入されて下降する時に該ツールと共に下降さ
せられるように構成されているので、ツールのクリーニ
ングによって生じた異物の粉塵を有効に効率良く吸引す
ることができ、また特にコンプレッサーを必要としな
い。
クトは、真空装置に接続され、周囲が密閉された吸引路
と、前記ツールの先端側が挿入されるように貫通したツ
ール挿入穴とを有し、前記クリーニング部材の上方に上
下動可能に配設され、前記ツールがダクトの前記ツール
挿入穴に挿入されて下降する時に該ツールと共に下降さ
せられるように構成されているので、ツールのクリーニ
ングによって生じた異物の粉塵を有効に効率良く吸引す
ることができ、また特にコンプレッサーを必要としな
い。
第１図は本発明の一実施例を示す一部断面正面図、第２
図は第１図の平面図、第３図は第１図のＡ−Ａ線断面図
である。 4:上下動ブロック、4a:クリーニング部、 5:ステージ支持軸、7:ボンドステージ、 25:ペレット、40:リード、 41:ツール、50:クリーニング台、 51:粗砥石、52:仕上砥石、 53:ワイヤブラシ。
図は第１図の平面図、第３図は第１図のＡ−Ａ線断面図
である。 4:上下動ブロック、4a:クリーニング部、 5:ステージ支持軸、7:ボンドステージ、 25:ペレット、40:リード、 41:ツール、50:クリーニング台、 51:粗砥石、52:仕上砥石、 53:ワイヤブラシ。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−16956（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−250829（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−246643（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−213954（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−250829（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−44766（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】バンプ等を位置決め載置するボンドステー
ジと、フイルムキヤリアのリードとバンプとを圧着させ
るツールと、前記ボンドステージの近傍に設けられ、ツ
ールをクリーニングするクリーニング部材と、このクリ
ーニング部材で除去された異物の粉塵を吸引するダクト
とを備えたボンダにおいて、前記ダクトは、真空装置に
接続され、周囲が密閉された吸引路と、前記ツールの先
端側が挿入されるように貫通したツール挿入穴とを有
し、前記クリーニング部材の上方に上下動可能に配設さ
れ、前記ツールがダクトの前記ツール挿入穴に挿入され
て下降する時に該ツールと共に下降させられるように構
成されていることを特徴とするボンダ用ツールクリーニ
ング機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165254A JP2584315B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ボンダ用ツールクリーニング機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1165254A JP2584315B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ボンダ用ツールクリーニング機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332041A JPH0332041A (ja) | 1991-02-12 |
| JP2584315B2 true JP2584315B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=15808823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1165254A Expired - Fee Related JP2584315B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | ボンダ用ツールクリーニング機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2584315B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2827060B2 (ja) * | 1991-05-20 | 1998-11-18 | 株式会社新川 | ボンデイング装置 |
| JP2009130033A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Nidec Tosok Corp | ボンディング装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59100557U (ja) * | 1982-11-30 | 1984-07-06 | リョービ株式会社 | 研磨盤における砥石反転装置 |
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1989
- 1989-06-29 JP JP1165254A patent/JP2584315B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH0332041A (ja) | 1991-02-12 |
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