JP3401705B2 - 平面研削装置 - Google Patents
平面研削装置Info
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- JP3401705B2 JP3401705B2 JP94598A JP94598A JP3401705B2 JP 3401705 B2 JP3401705 B2 JP 3401705B2 JP 94598 A JP94598 A JP 94598A JP 94598 A JP94598 A JP 94598A JP 3401705 B2 JP3401705 B2 JP 3401705B2
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- grinding
- wafer
- grinding wheel
- grindstone
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は平面研削装置に係
り、特に半導体ウェーハ（ワーク）の製造工程で半導体
ウェーハの裏面を研削加工する平面研削装置に関する。
り、特に半導体ウェーハ（ワーク）の製造工程で半導体
ウェーハの裏面を研削加工する平面研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウェーハの裏面を研削する平面研
削装置は、チャックテーブルと研削砥石とを備えてお
り、このチャックテーブルでウェーハの表面を吸着保持
し、そして、ウェーハの裏面に研削砥石を押し付けると
共に、チャックテーブル及び研削砥石を回転させてウェ
ーハの裏面を研削する。
削装置は、チャックテーブルと研削砥石とを備えてお
り、このチャックテーブルでウェーハの表面を吸着保持
し、そして、ウェーハの裏面に研削砥石を押し付けると
共に、チャックテーブル及び研削砥石を回転させてウェ
ーハの裏面を研削する。
【０００３】このような平面研削装置は、研削加工前に
研削砥石の基準（０点）位置を予め登録し、この基準位
置に基づいて研削砥石の送り量を設定することにより、
研削量を制御している。従来の基準位置登録方法は、作
業者が手作業で研削砥石をチャックテーブルに向けて微
動送りして、研削砥石がチャックテーブルに接触したの
を目視で確認した位置を基準位置として登録している。
研削砥石の基準（０点）位置を予め登録し、この基準位
置に基づいて研削砥石の送り量を設定することにより、
研削量を制御している。従来の基準位置登録方法は、作
業者が手作業で研削砥石をチャックテーブルに向けて微
動送りして、研削砥石がチャックテーブルに接触したの
を目視で確認した位置を基準位置として登録している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
平面研削装置は、前記基準位置の登録を人手で行ってい
るので、手間がかかるという欠点がある。また、人手に
よる登録方法では、研削砥石がチャックテーブルに接触
した位置を正確に検出することができない場合があるの
で、正確な基準位置を登録できないという欠点がある。
平面研削装置は、前記基準位置の登録を人手で行ってい
るので、手間がかかるという欠点がある。また、人手に
よる登録方法では、研削砥石がチャックテーブルに接触
した位置を正確に検出することができない場合があるの
で、正確な基準位置を登録できないという欠点がある。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、研削砥石の基準位置の登録を自動で行うこと
により正確な基準位置を登録することができる平面研削
装置を提供することを目的とする。
たもので、研削砥石の基準位置の登録を自動で行うこと
により正確な基準位置を登録することができる平面研削
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、研削装置本体と、研削装置本体に設けられ
ると共にワークを保持するチャックテーブルと、チャッ
クテーブルに保持されたワークに押し付けられてワーク
を研削する研削砥石と、研削砥石をチャックテーブルに
対して進退移動させる砥石送り手段と、研削砥石の移動
位置を検出する位置検出手段と、前記研削砥石がチャッ
クテーブルに接触した時のチャックテーブルの軸方向変
位を検出して検出信号を出力する変位検出手段と、砥石
送り手段を制御して研削砥石をチャックテーブルに向け
て移動させることにより、研削砥石をチャックテーブル
に接触させて変位検出手段から検出信号が出力された時
の研削砥石の位置を基準位置として登録すると共に、変
位検出手段から検出信号が出力されると砥石送り手段を
制御して研削砥石の移動を停止する制御手段と、から成
ることを特徴としている。
するために、研削装置本体と、研削装置本体に設けられ
ると共にワークを保持するチャックテーブルと、チャッ
クテーブルに保持されたワークに押し付けられてワーク
を研削する研削砥石と、研削砥石をチャックテーブルに
対して進退移動させる砥石送り手段と、研削砥石の移動
位置を検出する位置検出手段と、前記研削砥石がチャッ
クテーブルに接触した時のチャックテーブルの軸方向変
位を検出して検出信号を出力する変位検出手段と、砥石
送り手段を制御して研削砥石をチャックテーブルに向け
て移動させることにより、研削砥石をチャックテーブル
に接触させて変位検出手段から検出信号が出力された時
の研削砥石の位置を基準位置として登録すると共に、変
位検出手段から検出信号が出力されると砥石送り手段を
制御して研削砥石の移動を停止する制御手段と、から成
ることを特徴としている。
【０００７】請求項１記載の平面研削装置による基準位
置登録方法によれば、制御手段で砥石送り手段を制御し
て研削砥石をチャックテーブルに向けて移動させ、そし
て、研削砥石がチャックテーブルに接触するとチャック
テーブルが軸方向に変位するため、変位検出手段から検
出信号が出力され、この検出信号が出力された時の研削
砥石の位置を基準位置として登録する。これにより、本
発明は、研削砥石の基準位置の登録を自動で行うことが
できるので、正確な基準位置を登録することができる。
また、本発明は、変位検出手段から検出信号が出力され
ると同時に研削砥石の移動を停止したので、チャックテ
ーブル、研削砥石、及び砥石送り手段の損傷を防止する
ことができる。
置登録方法によれば、制御手段で砥石送り手段を制御し
て研削砥石をチャックテーブルに向けて移動させ、そし
て、研削砥石がチャックテーブルに接触するとチャック
テーブルが軸方向に変位するため、変位検出手段から検
出信号が出力され、この検出信号が出力された時の研削
砥石の位置を基準位置として登録する。これにより、本
発明は、研削砥石の基準位置の登録を自動で行うことが
できるので、正確な基準位置を登録することができる。
また、本発明は、変位検出手段から検出信号が出力され
ると同時に研削砥石の移動を停止したので、チャックテ
ーブル、研削砥石、及び砥石送り手段の損傷を防止する
ことができる。
【０００８】請求項２記載の発明は、前記変位検出手段
として圧電素子を適用したので、チャックテーブルの微
小な軸方向変位でも検出することができる。よって、正
確な基準位置を取得することができる。
として圧電素子を適用したので、チャックテーブルの微
小な軸方向変位でも検出することができる。よって、正
確な基準位置を取得することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る平面研削装置の好ましい実施の形態について詳説す
る。図１は、本発明の実施の形態の平面研削装置の斜視
図であり、図２は平面図である。図１に示すように平面
研削装置１０の本体１２には、カセット収納ステージ１
４、アライメントステージ１６、粗研削ステージ１８、
仕上げ研削ステージ２０、及び洗浄ステージ２２が設け
られている。
る平面研削装置の好ましい実施の形態について詳説す
る。図１は、本発明の実施の形態の平面研削装置の斜視
図であり、図２は平面図である。図１に示すように平面
研削装置１０の本体１２には、カセット収納ステージ１
４、アライメントステージ１６、粗研削ステージ１８、
仕上げ研削ステージ２０、及び洗浄ステージ２２が設け
られている。
【００１０】前記カセット収納ステージ１４には、２台
のカセット２４、２４が着脱自在にセットされ、これら
のカセット２４、２４には裏面研削前の図２上点線で示
すウェーハ２６が多数枚収納されている。このウェーハ
２６は、カセット２４とカセット２４との間に設置され
た搬送用ロボット２８に１枚ずつ保持されて、次工程で
あるアライメントステージ１６に順次搬送される。
のカセット２４、２４が着脱自在にセットされ、これら
のカセット２４、２４には裏面研削前の図２上点線で示
すウェーハ２６が多数枚収納されている。このウェーハ
２６は、カセット２４とカセット２４との間に設置され
た搬送用ロボット２８に１枚ずつ保持されて、次工程で
あるアライメントステージ１６に順次搬送される。
【００１１】前記ロボット２８は、汎用の産業用ロボッ
トであり、その構成はウェーハ２６を吸着保持する馬蹄
形のアーム３０、及び３本のリンク３２、３４、３６等
から成っている。前記アーム３０の先端には、ウェーハ
２６を吸着する吸着パッド３１、３１が設けられる。ま
た、アーム３０は、リンク３２にその基端部が軸芯を中
心に回転自在に支持され、図示しないモータからの駆動
力で軸芯を中心に回転することができる。前記リンク３
２は、リンク３４に軸３８を介して回動自在に連結さ
れ、図示しないモータからの駆動力で軸３８を中心に回
転することができる。また、リンク３４は、軸４０を介
してリンク３６に回動自在に連結され、図示しないモー
タからの駆動力で軸４０を中心に回転することができ
る。さらに、リンク３６は、軸４２を介してモータ４４
の図示しない出力軸に連結されているので、モータ４４
を駆動することにより軸４２を中心に回転することがで
きる。したがって、前記ロボット２８によれば、アーム
３０及び３本のリンク３２、３４、３６の動作を各々の
モータで制御することにより、前記カセット２４に収納
されたウェーハ２６を取り出してアライメントステージ
１６に搬送することができる。なお、前記カセット２
４、２４はエレベータ装置４６、４６上に載置され、こ
のエレベータ装置４６、４６を駆動してカセット２４、
２４の高さ位置を調整することにより、ロボット２８を
昇降させることなく、カセット２４の所定の棚に収納さ
れたウェーハ２６をロボット２８で取り出すことができ
る。尚、ロボット２８に昇降機構をもたせ、エレベータ
装置を不要とすることもできる。
トであり、その構成はウェーハ２６を吸着保持する馬蹄
形のアーム３０、及び３本のリンク３２、３４、３６等
から成っている。前記アーム３０の先端には、ウェーハ
２６を吸着する吸着パッド３１、３１が設けられる。ま
た、アーム３０は、リンク３２にその基端部が軸芯を中
心に回転自在に支持され、図示しないモータからの駆動
力で軸芯を中心に回転することができる。前記リンク３
２は、リンク３４に軸３８を介して回動自在に連結さ
れ、図示しないモータからの駆動力で軸３８を中心に回
転することができる。また、リンク３４は、軸４０を介
してリンク３６に回動自在に連結され、図示しないモー
タからの駆動力で軸４０を中心に回転することができ
る。さらに、リンク３６は、軸４２を介してモータ４４
の図示しない出力軸に連結されているので、モータ４４
を駆動することにより軸４２を中心に回転することがで
きる。したがって、前記ロボット２８によれば、アーム
３０及び３本のリンク３２、３４、３６の動作を各々の
モータで制御することにより、前記カセット２４に収納
されたウェーハ２６を取り出してアライメントステージ
１６に搬送することができる。なお、前記カセット２
４、２４はエレベータ装置４６、４６上に載置され、こ
のエレベータ装置４６、４６を駆動してカセット２４、
２４の高さ位置を調整することにより、ロボット２８を
昇降させることなく、カセット２４の所定の棚に収納さ
れたウェーハ２６をロボット２８で取り出すことができ
る。尚、ロボット２８に昇降機構をもたせ、エレベータ
装置を不要とすることもできる。
【００１２】前記アライメントステージ１６は、カセッ
ト２４から搬送されたウェーハ２６を所定の位置に位置
合わせするステージであり、主としてアーム４８、位置
センサ（不図示）、移動機構（不図示）、及びこれらを
統括制御するＣＰＵ（不図示）から構成される。前記ア
ーム４８は、その先端部にウェーハ２６を吸着する吸着
パッド４９、４９が設けられ、この吸着パッド４９、４
９に、カセット２４から搬送されてきたウェーハ２６が
吸着保持される。アーム４８で保持されたウェーハ２６
は、前記位置センサによって位置が検出され、所定位置
に対するズレ量（搬送アーム５０の吸着位置に対するウ
ェーハ２６中心のズレ量）が前記ＣＰＵで算出される。
ＣＰＵは、前記ズレ量に基づいて前記移動機構を制御
し、ウェーハ２６の中心が搬送アーム５０の吸着位置
（図２上の吸着パッド５１の位置）に合致する位置にウ
ェーハ２６が位置するようアーム５０を移動させる。こ
れにより、ウェーハ２６のアライメントが終了する。
ト２４から搬送されたウェーハ２６を所定の位置に位置
合わせするステージであり、主としてアーム４８、位置
センサ（不図示）、移動機構（不図示）、及びこれらを
統括制御するＣＰＵ（不図示）から構成される。前記ア
ーム４８は、その先端部にウェーハ２６を吸着する吸着
パッド４９、４９が設けられ、この吸着パッド４９、４
９に、カセット２４から搬送されてきたウェーハ２６が
吸着保持される。アーム４８で保持されたウェーハ２６
は、前記位置センサによって位置が検出され、所定位置
に対するズレ量（搬送アーム５０の吸着位置に対するウ
ェーハ２６中心のズレ量）が前記ＣＰＵで算出される。
ＣＰＵは、前記ズレ量に基づいて前記移動機構を制御
し、ウェーハ２６の中心が搬送アーム５０の吸着位置
（図２上の吸着パッド５１の位置）に合致する位置にウ
ェーハ２６が位置するようアーム５０を移動させる。こ
れにより、ウェーハ２６のアライメントが終了する。
【００１３】アライメントされたウェーハ２６は、前述
したアーム５０の吸着パッド５１に吸着保持された後、
粗研削ステージ１８のチャックテーブル５２に向けて搬
送される。即ち、前記アーム５０は、その基端部が軸５
４を介してモータ５６の図示しない出力軸に連結されて
おり、このモータ５６の正転駆動によってウェーハ２６
をアライメントステージ１６から粗研削ステージ１８に
搬送することができる。前記モータ５６は、アライメン
トステージ１６でアライメントされたウェーハ２６の中
心にアーム５０の吸着パッド５１が合致する位置と、チ
ャックテーブル５２の中心に吸着パッド５１が合致する
位置との範囲内でアーム５０を往復揺動させるよう図示
しないＣＰＵによって制御されている。
したアーム５０の吸着パッド５１に吸着保持された後、
粗研削ステージ１８のチャックテーブル５２に向けて搬
送される。即ち、前記アーム５０は、その基端部が軸５
４を介してモータ５６の図示しない出力軸に連結されて
おり、このモータ５６の正転駆動によってウェーハ２６
をアライメントステージ１６から粗研削ステージ１８に
搬送することができる。前記モータ５６は、アライメン
トステージ１６でアライメントされたウェーハ２６の中
心にアーム５０の吸着パッド５１が合致する位置と、チ
ャックテーブル５２の中心に吸着パッド５１が合致する
位置との範囲内でアーム５０を往復揺動させるよう図示
しないＣＰＵによって制御されている。
【００１４】一方、アライメントステージ１６と粗研削
ステージ１８との間には、複数本のエアノズル５８、５
８…が設けられている。これらのエアノズル５８、５８
…はチャックテーブル５２の上面（吸着面）に向けて取
り付けられると共に、本体１２に内蔵された図示しない
エアポンプに接続されている。エアポンプは、ウェーハ
２６がチャックテーブル５２に吸着される直前に駆動さ
れるよう制御されており、これにより、ウェーハ２６の
吸着面（表面）やチャックテーブル５２の上面に付着し
た塵等をエアノズル５８、５８…からの圧縮エア又は高
圧エアによって吹き飛ばすことができる。また、エアー
に限らず水で吹き飛ばしても良い。又、圧縮エアーで吹
き飛ばす際にはチャックテーブルよりエアー又は水の吹
き上げを同時に行う。
ステージ１８との間には、複数本のエアノズル５８、５
８…が設けられている。これらのエアノズル５８、５８
…はチャックテーブル５２の上面（吸着面）に向けて取
り付けられると共に、本体１２に内蔵された図示しない
エアポンプに接続されている。エアポンプは、ウェーハ
２６がチャックテーブル５２に吸着される直前に駆動さ
れるよう制御されており、これにより、ウェーハ２６の
吸着面（表面）やチャックテーブル５２の上面に付着し
た塵等をエアノズル５８、５８…からの圧縮エア又は高
圧エアによって吹き飛ばすことができる。また、エアー
に限らず水で吹き飛ばしても良い。又、圧縮エアーで吹
き飛ばす際にはチャックテーブルよりエアー又は水の吹
き上げを同時に行う。
【００１５】チャックテーブル５２に吸着保持されたウ
ェーハ２６は、２本の厚み測定ゲージ６０、６２によっ
てその厚みが測定される。即ち、前記厚み測定ゲージ６
０が、ウェーハ２６の上面（裏面）に接触されると共
に、厚み測定ゲージ６２がチャックテーブル５２の上面
に接触される。そして、これらのゲージ６０、６２に接
続された図示しないＣＰＵは、各ゲージ６０、６２から
出力されたデータ（所定の基準位置からの高さデータ）
の差分を算出することでウェーハ２６の厚みを算出す
る。
ェーハ２６は、２本の厚み測定ゲージ６０、６２によっ
てその厚みが測定される。即ち、前記厚み測定ゲージ６
０が、ウェーハ２６の上面（裏面）に接触されると共
に、厚み測定ゲージ６２がチャックテーブル５２の上面
に接触される。そして、これらのゲージ６０、６２に接
続された図示しないＣＰＵは、各ゲージ６０、６２から
出力されたデータ（所定の基準位置からの高さデータ）
の差分を算出することでウェーハ２６の厚みを算出す
る。
【００１６】厚みが算出されたウェーハ２６は、粗研削
ステージ１８のカップ型砥石６４によって粗研削され
る。このカップ型砥石６４は図１に示すように、モータ
６６の図示しない出力軸に連結され、また、モータ６６
のサポート用ケーシング６８を介して砥石送り装置（砥
石送り手段）７０に取り付けられている。前記砥石送り
装置７０は、カップ型砥石６４をモータ６６と共に昇降
移動させるもので、この下降移動によりカップ型砥石６
４がウェーハ２６の裏面に押し付けられる。これによ
り、裏面研削が行われる。カップ型砥石６４の下降移動
量は、即ち、カップ型砥石６４による研削量は、予め登
録されたカップ型砥石６４の基準（０点）位置と、ウェ
ーハ２６の厚みとに基づいて制御される。前記基準位置
登録方法については後述する。
ステージ１８のカップ型砥石６４によって粗研削され
る。このカップ型砥石６４は図１に示すように、モータ
６６の図示しない出力軸に連結され、また、モータ６６
のサポート用ケーシング６８を介して砥石送り装置（砥
石送り手段）７０に取り付けられている。前記砥石送り
装置７０は、カップ型砥石６４をモータ６６と共に昇降
移動させるもので、この下降移動によりカップ型砥石６
４がウェーハ２６の裏面に押し付けられる。これによ
り、裏面研削が行われる。カップ型砥石６４の下降移動
量は、即ち、カップ型砥石６４による研削量は、予め登
録されたカップ型砥石６４の基準（０点）位置と、ウェ
ーハ２６の厚みとに基づいて制御される。前記基準位置
登録方法については後述する。
【００１７】粗研削ステージ１８で粗研削されたウェー
ハ２６は、ウェーハ２６からカップ型砥石６４が退避移
動した後に、図２に示すアーム７２の吸着パッド７３に
吸着される。そして、アーム７２の揺動動作によってウ
ェーハ２６は、仕上げ研削ステージ２０のチャックテー
ブル７４に搬送される。即ち、前記アーム７２は、その
基端部が軸７６を介してモータ７８の図示しない出力軸
に連結されており、このモータ７８の正転駆動によって
ウェーハ２６を粗研削ステージ１８から仕上げ研削ステ
ージ２０に搬送することができる。前記モータ７８は、
粗研削ステージ１８で研削されたウェーハ２６の中心に
アーム７２の先端中心７２Ａが合致する位置と、チャッ
クテーブル７４の中心に前記先端中心７２Ａが合致する
位置との範囲内でアーム７２を往復揺動させるよう図示
しないＣＰＵによって制御されている。また、アーム７
２のモータ７８と前述したアーム５０のモータ５６と
は、互いのアーム７８、５０で保持したウェーハ２６
が、搬送中に干渉しない最短のタイミングで駆動制御さ
れている。これにより、ウェーハ２６がアライメントス
テージ１６から粗研削ステージ１８へ、そして、粗研削
ステージ１８から仕上げ研削ステージ２０へ効率良く搬
送される。
ハ２６は、ウェーハ２６からカップ型砥石６４が退避移
動した後に、図２に示すアーム７２の吸着パッド７３に
吸着される。そして、アーム７２の揺動動作によってウ
ェーハ２６は、仕上げ研削ステージ２０のチャックテー
ブル７４に搬送される。即ち、前記アーム７２は、その
基端部が軸７６を介してモータ７８の図示しない出力軸
に連結されており、このモータ７８の正転駆動によって
ウェーハ２６を粗研削ステージ１８から仕上げ研削ステ
ージ２０に搬送することができる。前記モータ７８は、
粗研削ステージ１８で研削されたウェーハ２６の中心に
アーム７２の先端中心７２Ａが合致する位置と、チャッ
クテーブル７４の中心に前記先端中心７２Ａが合致する
位置との範囲内でアーム７２を往復揺動させるよう図示
しないＣＰＵによって制御されている。また、アーム７
２のモータ７８と前述したアーム５０のモータ５６と
は、互いのアーム７８、５０で保持したウェーハ２６
が、搬送中に干渉しない最短のタイミングで駆動制御さ
れている。これにより、ウェーハ２６がアライメントス
テージ１６から粗研削ステージ１８へ、そして、粗研削
ステージ１８から仕上げ研削ステージ２０へ効率良く搬
送される。
【００１８】一方、粗研削ステージ１８と仕上げ研削ス
テージ２０との間には、複数本のエアノズル８０、８０
…が設けられている。これらのエアノズル８０、８０…
はチャックテーブル７４の上面（吸着面）に向けて取り
付けられると共に、本体１２に内蔵された図示しないエ
アポンプに接続されている。エアポンプは、ウェーハ２
６がチャックテーブル７４に吸着される直前に駆動され
るよう制御されている。これにより、ウェーハ２６の吸
着面（表面）やチャックテーブル７４の上面に付着した
塵等をエアノズル８０、８０…からの圧縮エアによって
吹き飛ばすことができる。
テージ２０との間には、複数本のエアノズル８０、８０
…が設けられている。これらのエアノズル８０、８０…
はチャックテーブル７４の上面（吸着面）に向けて取り
付けられると共に、本体１２に内蔵された図示しないエ
アポンプに接続されている。エアポンプは、ウェーハ２
６がチャックテーブル７４に吸着される直前に駆動され
るよう制御されている。これにより、ウェーハ２６の吸
着面（表面）やチャックテーブル７４の上面に付着した
塵等をエアノズル８０、８０…からの圧縮エアによって
吹き飛ばすことができる。
【００１９】チャックテーブル７４に吸着保持されたウ
ェーハ２６は、２本の厚み測定ゲージ８２、８４によっ
てその厚みが測定される。即ち、前記厚み測定ゲージ８
２が、ウェーハ２６の上面（裏面）に接触されると共
に、厚み測定ゲージ８４がチャックテーブル７４の上面
に接触される。そして、これらのゲージ８２、８４に接
続された図示しないＣＰＵは、各ゲージ８２、８４から
出力されたデータ（所定の基準位置からの高さデータ）
の差分を算出することでウェーハ２６の厚みを算出す
る。
ェーハ２６は、２本の厚み測定ゲージ８２、８４によっ
てその厚みが測定される。即ち、前記厚み測定ゲージ８
２が、ウェーハ２６の上面（裏面）に接触されると共
に、厚み測定ゲージ８４がチャックテーブル７４の上面
に接触される。そして、これらのゲージ８２、８４に接
続された図示しないＣＰＵは、各ゲージ８２、８４から
出力されたデータ（所定の基準位置からの高さデータ）
の差分を算出することでウェーハ２６の厚みを算出す
る。
【００２０】厚みが算出されたウェーハ２６は、仕上げ
研削ステージ２０のカップ型砥石８６によって仕上げ研
削される。このカップ型砥石８６は図１に示すように、
モータ８８の図示しない出力軸に連結され、また、モー
タ８８のサポート用ケーシング９０を介して砥石送り装
置（砥石送り手段）９２に取り付けられている。前記砥
石送り装置９２は、カップ型砥石８６をモータ８８と共
に昇降移動させるもので、この下降移動によりカップ型
砥石８６がウェーハ２６の裏面に押し付けられる。これ
により、裏面研削が行われる。カップ型砥石８６の下降
移動量、即ち、カップ型砥石８６による研削量は、予め
登録されたカップ型砥石８６の基準（０点）位置と、ウ
ェーハ２６の厚みとに基づいて制御される。前記基準位
置登録方法については後述する。
研削ステージ２０のカップ型砥石８６によって仕上げ研
削される。このカップ型砥石８６は図１に示すように、
モータ８８の図示しない出力軸に連結され、また、モー
タ８８のサポート用ケーシング９０を介して砥石送り装
置（砥石送り手段）９２に取り付けられている。前記砥
石送り装置９２は、カップ型砥石８６をモータ８８と共
に昇降移動させるもので、この下降移動によりカップ型
砥石８６がウェーハ２６の裏面に押し付けられる。これ
により、裏面研削が行われる。カップ型砥石８６の下降
移動量、即ち、カップ型砥石８６による研削量は、予め
登録されたカップ型砥石８６の基準（０点）位置と、ウ
ェーハ２６の厚みとに基づいて制御される。前記基準位
置登録方法については後述する。
【００２１】仕上げ研削ステージ２０で仕上げ研削され
たウェーハ２６は、ウェーハ２６からカップ型砥石８６
が退避移動した後に、図２に示すアーム９４の吸着パッ
ド９５に吸着される。そして、アーム９４の揺動動作に
よってウェーハ２６は、洗浄ステージ２２のシンク９６
内に搬送され、シンク９６に溜められている洗浄水によ
って洗浄される。
たウェーハ２６は、ウェーハ２６からカップ型砥石８６
が退避移動した後に、図２に示すアーム９４の吸着パッ
ド９５に吸着される。そして、アーム９４の揺動動作に
よってウェーハ２６は、洗浄ステージ２２のシンク９６
内に搬送され、シンク９６に溜められている洗浄水によ
って洗浄される。
【００２２】前記アーム９４は、その基端部が軸９８を
介してモータ１００の図示しない出力軸に連結されてい
る。このモータ１００の正転駆動によってウェーハ２６
を仕上げ研削ステージ２０から洗浄ステージ２２に搬送
することができる。前記モータ１００は、仕上げ研削ス
テージ２０で研削されたウェーハ２６の中心にアーム７
２の吸着パッド９５が合致する位置と、シンク９６の中
心に前記吸着パッド９５が合致する位置との範囲内でア
ーム９６を往復揺動させるように図示しないＣＰＵによ
って制御されている。また、アーム９４のモータ１００
と前述したアーム７２のモータ７８とは、互いのアーム
９４、７２で保持したウェーハ２６が、搬送中に干渉し
ない最短のタイミングで駆動制御されている。これによ
り、ウェーハ２６が粗研削ステージ１８から仕上げ研削
ステージ２０へ、そして、仕上げ研削ステージ２０から
洗浄ステージ２２へ効率良く搬送される。
介してモータ１００の図示しない出力軸に連結されてい
る。このモータ１００の正転駆動によってウェーハ２６
を仕上げ研削ステージ２０から洗浄ステージ２２に搬送
することができる。前記モータ１００は、仕上げ研削ス
テージ２０で研削されたウェーハ２６の中心にアーム７
２の吸着パッド９５が合致する位置と、シンク９６の中
心に前記吸着パッド９５が合致する位置との範囲内でア
ーム９６を往復揺動させるように図示しないＣＰＵによ
って制御されている。また、アーム９４のモータ１００
と前述したアーム７２のモータ７８とは、互いのアーム
９４、７２で保持したウェーハ２６が、搬送中に干渉し
ない最短のタイミングで駆動制御されている。これによ
り、ウェーハ２６が粗研削ステージ１８から仕上げ研削
ステージ２０へ、そして、仕上げ研削ステージ２０から
洗浄ステージ２２へ効率良く搬送される。
【００２３】洗浄ステージ２２で洗浄されたウェーハ２
６は、ロボット２８で吸着保持される。そして、前記ア
ーム９４による吸着が解除された後、ロボット２８によ
って洗浄ステージ２２からカセット収納ステージ１４に
搬送されて所定のカセット２４の所定の棚に収納され
る。以上が、本実施の形態の平面研削装置１０によるウ
ェーハ処理工程の流れである。
６は、ロボット２８で吸着保持される。そして、前記ア
ーム９４による吸着が解除された後、ロボット２８によ
って洗浄ステージ２２からカセット収納ステージ１４に
搬送されて所定のカセット２４の所定の棚に収納され
る。以上が、本実施の形態の平面研削装置１０によるウ
ェーハ処理工程の流れである。
【００２４】次に、前記平面研削装置１０によるカップ
型砥石６４、８６の基準位置登録方法について説明す
る。カップ型砥石６４、８６の基準位置登録方法は同じ
なので、ここでは、カップ型砥石６４の基準位置登録方
法についてのみ説明し、カップ型砥石８６の基準位置登
録方法についてはその説明を省略する。まず、前記基準
位置を登録するために必要な構成を、図３を参照して説
明する。同図に示すように、チャックテーブル５２の下
面には、チャックテーブル５２の回転軸１０２が設けら
れ、この回転軸１０２には、モータ１０４の出力軸１０
６が連結されている。したがって、チャックテーブル５
２は、モータ１０４の駆動力によって図中矢印方向に回
転される。前記チャックテーブル５２の回転軸１０２
は、本体１２上に設置されたハウジング１０８の中空部
１０９に挿通されると共に、この中空部１０９に軸受１
１０、１１０を介して回転自在に支持されている。ま
た、チャックテーブル５２は、軸受１１２を介してハウ
ジング１０８に回転自在に支持されている。
型砥石６４、８６の基準位置登録方法について説明す
る。カップ型砥石６４、８６の基準位置登録方法は同じ
なので、ここでは、カップ型砥石６４の基準位置登録方
法についてのみ説明し、カップ型砥石８６の基準位置登
録方法についてはその説明を省略する。まず、前記基準
位置を登録するために必要な構成を、図３を参照して説
明する。同図に示すように、チャックテーブル５２の下
面には、チャックテーブル５２の回転軸１０２が設けら
れ、この回転軸１０２には、モータ１０４の出力軸１０
６が連結されている。したがって、チャックテーブル５
２は、モータ１０４の駆動力によって図中矢印方向に回
転される。前記チャックテーブル５２の回転軸１０２
は、本体１２上に設置されたハウジング１０８の中空部
１０９に挿通されると共に、この中空部１０９に軸受１
１０、１１０を介して回転自在に支持されている。ま
た、チャックテーブル５２は、軸受１１２を介してハウ
ジング１０８に回転自在に支持されている。
【００２５】ところで、前記ハウジング１０８は、複数
の圧電素子１１４、１１４を介して本体１２上に取り付
けられている。この圧電素子１１４は、図上矢印Ａで示
すチャックテーブル５２の軸方向の力を受けて歪んだ時
に起電力が発生するように取り付けられている。これら
の圧電素子１１４は図４に示すＣＰＵ１１６に接続さ
れ、ＣＰＵ１１６は圧電素子１１４から出力された電気
信号に基づいて基準位置を登録する。
の圧電素子１１４、１１４を介して本体１２上に取り付
けられている。この圧電素子１１４は、図上矢印Ａで示
すチャックテーブル５２の軸方向の力を受けて歪んだ時
に起電力が発生するように取り付けられている。これら
の圧電素子１１４は図４に示すＣＰＵ１１６に接続さ
れ、ＣＰＵ１１６は圧電素子１１４から出力された電気
信号に基づいて基準位置を登録する。
【００２６】次に、ＣＰＵ１１６による基準位置登録方
法について図３、図４を参照しながら説明する。先ず、
砥石送り装置７０を制御してカップ型砥石６４をチャッ
クテーブル５２に向けて移動させる。そして、カップ型
砥石６４がチャックテーブル５２に接触するとチャック
テーブル５２がカップ型砥石６４に押されて軸方向に変
位するため、圧電素子１１４から電気信号が出力され、
この電気信号が出力された時に位置センサ１２０から出
力されているカップ型砥石６４の位置を基準位置として
ＣＰＵ１１６のＲＡＭ１１８に登録する。そして、前記
電気信号が出力されると同時に砥石送り装置７０を制御
してカップ型砥石６４の移動を停止する。
法について図３、図４を参照しながら説明する。先ず、
砥石送り装置７０を制御してカップ型砥石６４をチャッ
クテーブル５２に向けて移動させる。そして、カップ型
砥石６４がチャックテーブル５２に接触するとチャック
テーブル５２がカップ型砥石６４に押されて軸方向に変
位するため、圧電素子１１４から電気信号が出力され、
この電気信号が出力された時に位置センサ１２０から出
力されているカップ型砥石６４の位置を基準位置として
ＣＰＵ１１６のＲＡＭ１１８に登録する。そして、前記
電気信号が出力されると同時に砥石送り装置７０を制御
してカップ型砥石６４の移動を停止する。
【００２７】これにより、前記基準位置登録方法によれ
ば、カップ型砥石６４の基準位置の登録を自動で行うこ
とができるので、正確な基準位置を登録することができ
る。また、本発明は、圧電素子１１４から電気信号が出
力されると同時にカップ型砥石６４の移動を停止したの
で、チャックテーブル５２、カップ型砥石６４、及び砥
石送り装置７０の損傷を防止することができる。
ば、カップ型砥石６４の基準位置の登録を自動で行うこ
とができるので、正確な基準位置を登録することができ
る。また、本発明は、圧電素子１１４から電気信号が出
力されると同時にカップ型砥石６４の移動を停止したの
で、チャックテーブル５２、カップ型砥石６４、及び砥
石送り装置７０の損傷を防止することができる。
【００２８】このようにカップ型砥石６４の基準位置が
登録されると、カップ型砥石６４によるウェーハ２６の
研削を開始する。この場合、ＣＰＵ１１６は、登録され
た前記基準位置と位置センサ１２０から出力されるカッ
プ型砥石６４の移動位置情報とに基づき、砥石送り装置
７０を制御してウェーハ２６を所定の研削代分だけ研削
する。
登録されると、カップ型砥石６４によるウェーハ２６の
研削を開始する。この場合、ＣＰＵ１１６は、登録され
た前記基準位置と位置センサ１２０から出力されるカッ
プ型砥石６４の移動位置情報とに基づき、砥石送り装置
７０を制御してウェーハ２６を所定の研削代分だけ研削
する。
【００２９】なお、本実施の形態では、圧電素子１１４
をハウジング１０８と本体１２との間に設けたが、これ
に限られるものではなく、チャックテーブル５２と回転
軸１０２との連結部や、回転軸１０２とモータ１０４の
出力軸１０６との連結部に設けても良い。即ち、チャッ
クテーブル５２の軸方向変位を検出する位置であれば、
その取付位置は問わない。
をハウジング１０８と本体１２との間に設けたが、これ
に限られるものではなく、チャックテーブル５２と回転
軸１０２との連結部や、回転軸１０２とモータ１０４の
出力軸１０６との連結部に設けても良い。即ち、チャッ
クテーブル５２の軸方向変位を検出する位置であれば、
その取付位置は問わない。
【００３０】本実施の形態では、ウェーハ裏面研削用の
平面研削装置に適用した例について述べたが、これに限
られるものではなく、他のワーク用平面研削装置に適用
しても良い。
平面研削装置に適用した例について述べたが、これに限
られるものではなく、他のワーク用平面研削装置に適用
しても良い。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る平面研
削装置によれば、研削砥石の基準位置の登録を自動で行
うことができ、正確な基準位置を登録することができ
る。そして、本発明は、変位検出手段から検出信号が出
力されると同時に砥石送り手段を制御して研削砥石の移
動を停止したので、チャックテーブル、研削砥石、及び
砥石送り手段の損傷を防止することができる。
削装置によれば、研削砥石の基準位置の登録を自動で行
うことができ、正確な基準位置を登録することができ
る。そして、本発明は、変位検出手段から検出信号が出
力されると同時に砥石送り手段を制御して研削砥石の移
動を停止したので、チャックテーブル、研削砥石、及び
砥石送り手段の損傷を防止することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る平面研削装置の全体
斜視図
斜視図
【図２】図１に示した平面研削装置の平面図
【図３】圧電素子の取付構造を示すチャックテーブル近
傍の縦断面図
傍の縦断面図
【図４】図１に示した平面研削装置の制御系を示すブロ
ック図
ック図
１０…平面研削装置
１２…本体
１４…カセット収納ステージ
１６…アライメントステージ
１８…粗研削ステージ
２０…仕上げ研削ステージ
２２…洗浄ステージ
２６…ウェーハ
５２、７４…チャックテーブル
１１４…圧電素子
１１６…ＣＰＵ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B24B 7/04
B24B 7/22
B24B 47/22
B24B 51/00
H01L 21/304 621
H01L 21/68
B23Q 15/00 - 15/28
Claims (2)
- 【請求項１】研削装置本体と、 研削装置本体に設けられると共にワークを保持するチャ
ックテーブルと、 チャックテーブルに保持されたワークに押し付けられて
ワークを研削する研削砥石と、 研削砥石をチャックテーブルに対して進退移動させる砥
石送り手段と、 研削砥石の移動位置を検出する位置検出手段と、前記研削砥石がチャックテーブルに接触した時の チャッ
クテーブルの軸方向変位を検出して検出信号を出力する
変位検出手段と、 砥石送り手段を制御して研削砥石をチャックテーブルに
向けて移動させることにより、研削砥石をチャックテー
ブルに接触させて変位検出手段から検出信号が出力され
た時の研削砥石の位置を基準位置として登録すると共
に、変位検出手段から検出信号が出力されると砥石送り
手段を制御して研削砥石の移動を停止する制御手段と、 から成ることを特徴とする平面研削装置。 - 【請求項２】前記変位検出手段は、前記研削装置本体と
前記チャックテーブルとの間に設けられた圧電素子であ
ることを特徴とする請求項１記載の平面研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP94598A JP3401705B2 (ja) | 1998-01-06 | 1998-01-06 | 平面研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP94598A JP3401705B2 (ja) | 1998-01-06 | 1998-01-06 | 平面研削装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11198008A JPH11198008A (ja) | 1999-07-27 |
| JP3401705B2 true JP3401705B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=11487824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP94598A Expired - Fee Related JP3401705B2 (ja) | 1998-01-06 | 1998-01-06 | 平面研削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3401705B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6518449B2 (ja) * | 2015-01-30 | 2019-05-22 | 株式会社東京精密 | ウェハ研削装置及びウェハ研削方法 |
-
1998
- 1998-01-06 JP JP94598A patent/JP3401705B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11198008A (ja) | 1999-07-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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