JP2583085B2 - Oil rotary vacuum pump - Google Patents

Oil rotary vacuum pump

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JP2583085B2
JP2583085B2 JP62321001A JP32100187A JP2583085B2 JP 2583085 B2 JP2583085 B2 JP 2583085B2 JP 62321001 A JP62321001 A JP 62321001A JP 32100187 A JP32100187 A JP 32100187A JP 2583085 B2 JP2583085 B2 JP 2583085B2
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    • F01CROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
    • F01C21/00Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
    • F01C21/08Rotary pistons
    • F01C21/0809Construction of vanes or vane holders

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はベーン型の油回転真空ポンプに関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a vane type oil rotary vacuum pump.

〔従来の技術及びその問題点〕[Conventional technology and its problems]

第5図は従来例の油回転真空ポンプを示すものである
が、ケーシング(1)にはシリンダ孔(2)が形成さ
れ、これにロータ(3)がその回転中心をシリンダ孔
(2)の中心から偏位させて、図示しない駆動機構によ
り矢印に示す方向に回転駆動されるように配設されてい
る。ロータ(3)の中心を通って径方向には溝(4)が
形成され、これに直列に一対のベーン(5a)(5b)が摺
動自在に嵌合しており、この相対向する内端部に穴を形
成させて、これにスプリング(6)を張設させている。
このスプリング(6)はベーン(5a)(5b)を径外方向
に付勢させて、図示するようにシリンダ孔(2)の内壁
にベーン(5a)(5b)の外端を当接させている。
FIG. 5 shows a conventional oil rotary vacuum pump, in which a casing (1) is formed with a cylinder hole (2), in which a rotor (3) has its center of rotation defined by the cylinder hole (2). It is arranged so as to be deviated from the center and to be rotationally driven in a direction indicated by an arrow by a drive mechanism (not shown). A groove (4) is formed in the radial direction through the center of the rotor (3), and a pair of vanes (5a) (5b) are slidably fitted in series with the groove (4). A hole is formed at the end, and a spring (6) is stretched over the hole.
The spring (6) urges the vanes (5a) and (5b) radially outward so that the outer ends of the vanes (5a) and (5b) abut against the inner wall of the cylinder hole (2) as shown. I have.

ケーシング(1)の一方には吸気口(7)が形成さ
れ、これは図示しないが排気されるべき容器に接続され
る。また、他方には排気口(8)が形成され、これは排
気弁(9)により通常はばね(10)の付勢力を受けて図
示するごとく閉塞されている。
An inlet (7) is formed in one of the casings (1), and is connected to a container (not shown) to be evacuated. On the other hand, an exhaust port (8) is formed, which is normally closed by an exhaust valve (9) under the urging force of a spring (10) as shown in the figure.

従来例の油回転真空ポンプは以上のように構成される
のであるが、公知のようにシリンダ孔(2)内のロータ
(3)の回転により少量ずつ油が供給されるようになっ
ており、従ってベーン(5a)(5b)の外端とシリンダ孔
(2)の内壁との間には油膜が形成されている。ロータ
(3)が矢印で示す方向に回転していくのであるが、図
示の回転位相においてはベーン(5a)の方は吸気口
(7)に近ずきつゝあるのであるがこのときには一方の
空間Aに吸気口(7)から排気すべき気体をAに吸い込
み、また、ベーン(5b)の方は空間Bにおける排気すべ
き気体を圧縮させている。ベーン(5a)が吸気口(7)
を通過し、図に示すようにD点を通過すると、このベー
ン(5a)も空間A内に吸い込んだ排気すべき気体を圧縮
状態におく。また他方のベーン(5b)が上述したように
空間Bにおける排気すべきガスを圧縮してゆくのである
が、この圧縮力が排気弁(9)を付勢するばね(10)の
付勢力に打ち勝つと排気弁(9)をばね力に抗して開弁
させ、この排気すべきガスを外方へと排出する。
The oil rotary vacuum pump of the conventional example is configured as described above. As is well known, oil is supplied little by little by rotation of the rotor (3) in the cylinder hole (2). Therefore, an oil film is formed between the outer ends of the vanes (5a) and (5b) and the inner wall of the cylinder hole (2). The rotor (3) rotates in the direction indicated by the arrow. In the illustrated rotation phase, the vane (5a) is closer to the intake port (7). The gas to be exhausted is sucked into A from the intake port (7), and the gas to be exhausted in the space B is compressed by the vane (5b). Vane (5a) is the inlet (7)
After passing through the point D as shown in the figure, the vane (5a) also keeps the gas to be exhausted sucked into the space A in a compressed state. Further, the other vane (5b) compresses the gas to be exhausted in the space B as described above, and this compressing force overcomes the urging force of the spring (10) for urging the exhaust valve (9). And the exhaust valve (9) is opened against the spring force, and the gas to be exhausted is discharged outward.

以上のようにしてロータ(3)の回転と共にベーン
(5a)(5b)のスプリング(6)によるばね力によりシ
リンダ孔(2)の内壁に摺接するのであるが、スプリン
グ(6)が問題なくばね作用をし、かつ適切にベーン
(5a)(5b)の穴に配設されていれば問題はないのであ
るが、このスプリング(6)が破損すれば、ベーン(5
a)(5b)の動きは不規則なものとなり、この回転ポン
プの真空作用は弱まるか、あるいは全くなくなる恐れが
ある。あるいは排気の能力の低下という問題もある。
As described above, when the rotor (3) rotates, the vanes (5a) and (5b) slide on the inner wall of the cylinder hole (2) by the spring force of the spring (6). There is no problem if the spring (6) is damaged if the spring (6) breaks when the spring (6) functions and is properly disposed in the holes of the vanes (5a) and (5b).
a) The movement of (5b) becomes irregular, and the vacuum effect of this rotary pump may be weakened or completely eliminated. Alternatively, there is a problem that the exhaust capacity is reduced.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

本発明は以上の問題に鑑みて成され、従来のようなス
プリングの配置が問題となったり、あるいはこのスプリ
ングの破損により真空作用が行われなくなるというよう
なことをなくし、かつ、到達圧力を低くすることができ
る油回転真空ポンプを提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and eliminates the problem that the conventional arrangement of the spring becomes a problem, or the breakage of the spring prevents the vacuum action from being performed, and reduces the ultimate pressure. It is an object of the present invention to provide an oil-sealed rotary vacuum pump.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

以上の目的は、気体圧縮側に、その重心が回転子を収
容しているケーシングの内壁側に偏位しているように凹
所を形成させている少なくとも2つの回転翼部材を各
々、前記回転子の溝に相離隔して摺動自在に嵌合させて
おり、前記凹所の巾が前記回転翼部材全体の巾に対して
40%以上であり、前記凹所の深さが前記回転翼部材全体
の厚さに対して30%以上であって、前記凹所の長さが前
記回転翼部材の先端が前記ケーシングに形成された吸気
口を通過した任意の位置で前記凹所が前記回転子の外周
より飛び出す程度に設けられていることを特徴とする油
回転真空ポンプによって達成される。
The above object is to provide at least two rotor blade members, each having a recess formed on the gas compression side such that the center of gravity is deviated to the inner wall side of the casing housing the rotor, Slidably fitted in the groove of the rotor, spaced apart from each other, and the width of the recess is larger than the width of the entire rotor blade member.
40% or more, the depth of the recess is 30% or more of the total thickness of the rotor blade member, and the length of the recess is formed at the tip of the rotor blade member in the casing. The oil rotary vacuum pump is characterized in that the recess is provided so as to protrude from the outer periphery of the rotor at an arbitrary position passing through the intake port.

〔作用〕[Action]

回転翼部材はその重心がケーシングの内壁側に偏位し
ているので、回転子の回転と共に充分に大きい遠心力を
受けてスプリングを用いなくてもケーシングの内壁に充
分に大きい押圧力で摺接して本来の到達圧力の低い真空
排気作用を行うことができる。
Since the center of gravity of the rotor blade member is deviated toward the inner wall of the casing, it receives a sufficiently large centrifugal force with the rotation of the rotor and slides against the inner wall of the casing with a sufficiently large pressing force without using a spring. As a result, a vacuum evacuation function with a low ultimate pressure can be performed.

また凹所を形成させているために全体としての重量を
小さくすることができ、回転子を駆動させる力も小さく
することができる。
In addition, since the recess is formed, the weight as a whole can be reduced, and the driving force of the rotor can be reduced.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の第1実施例による油回転真空ポンプに
ついて第1図及び第2図を参照して説明する。なお従来
例の第5図に対応する部分については同一の符号を付
し、その詳細な説明は省略する。
Hereinafter, an oil rotary vacuum pump according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 1 and FIG. Parts corresponding to those in FIG. 5 of the conventional example are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

本実施例においても、ロータ(3)は従来と同様な形
状を呈し、同様な溝(4)を有するのであるが、これに
は一対の第2図に明示するような形状のベーン(10a)
(10b)が摺動自在に嵌合している。そしてこれらベー
ン(10a)(10b)の間にはロータ(3)の回転中におい
ては第1図に示すように、これらの間に空間(12)を画
成するようになっている。本実施例では従来のようにス
プリングはこれらベーン(10a)(10b)の間に配設され
ていない。次に第2図を参照して本実施例のベーン(10
a)(10b)の形状について説明すると、これらベーンは
同じ形状を呈するので、一方のベーンについて説明する
と、ベーン(10a)には凹所(11)が形成され、これは
第1図に示されるように気体圧縮側に面して形成されて
いる。またその各部の寸法関係は次のようになってい
る。すなわち凹所(11)の巾aはベーン(10a)全体の
巾Aに対し40%以上であるように形成される。すなわち
a≧0.4A。または凹所(11)の深さbはベーン(10a)
の厚さBに対し30%以上であるように構成されている。
すなわちb≧0.3B。また凹所(11)の長さCは第1図に
おいてベーン(10a)はロータ(3)の矢印に示す方向
に回転して行くのであるが、この先端が吸気口(7)の
一端D点を通過した任意の位置で凹所(11)がロータ
(3)の外周より飛び出すように設定されている。すな
わち凹所(11)は第1図に示されるようにロータ(3)
の中心側に偏位して形成されているのであるが、D点を
通過した任意の位置でベーン(10a)がロータ(3)の
外周より突出して凹所(11)が空間Aと連通するように
Cが定められている。すなわちベーン(10a)(10b)間
の空間(12)と連通するように形成されている。なお、
凹所(11)の巾及び深さの上限はベーン(10a)の強度
との関係で決定される。
Also in this embodiment, the rotor (3) has the same shape as the conventional one and has the same groove (4), but this includes a pair of vanes (10a) having the shape shown in FIG.
(10b) is slidably fitted. As shown in FIG. 1, a space (12) is defined between the vanes (10a) and (10b) during rotation of the rotor (3). In this embodiment, the spring is not disposed between the vanes (10a) and (10b) as in the related art. Next, referring to FIG. 2, the vane (10
a) If the shape of (10b) is explained, these vanes have the same shape, so if one vane is explained, a recess (11) is formed in the vane (10a), which is shown in FIG. As shown in FIG. The dimensional relationship of each part is as follows. That is, the width a of the recess (11) is formed so as to be 40% or more of the width A of the entire vane (10a). That is, a ≧ 0.4A. Or the depth b of the recess (11) is the vane (10a)
Is configured to be 30% or more with respect to the thickness B.
That is, b ≧ 0.3B. The length C of the recess (11) is such that the vane (10a) rotates in the direction indicated by the arrow of the rotor (3) in FIG. The recess (11) is set so as to protrude from the outer periphery of the rotor (3) at an arbitrary position passing through. That is, the recess (11) is provided in the rotor (3) as shown in FIG.
The vane (10a) protrudes from the outer periphery of the rotor (3) at an arbitrary position passing through the point D, and the recess (11) communicates with the space A. Is determined as described above. That is, it is formed so as to communicate with the space (12) between the vanes (10a) and (10b). In addition,
The upper limit of the width and depth of the recess (11) is determined in relation to the strength of the vane (10a).

本発明の実施例による油回転真空ポンプは以上のよう
に構成されるのであるが、次にこの作用について説明す
る。
The oil rotary vacuum pump according to the embodiment of the present invention is configured as described above. Next, this operation will be described.

ロータ(3)が矢印に示す方向に回転するとベーン
(10a)(10b)はその遠心力により径外方へと付勢さ
れ、図示のような位置をとって回転する。すなわちこの
先端部がシリンダ孔(2)の内壁に当接しながら、かつ
従来と同様に油膜を介して摺接しながら矢印に示す方向
に回転する。なお、凹所(11)がロータ(3)の中心側
に偏位して形成されるのでベーン(10a)(10b)の重心
はこの反対側すなわちシリンダ孔(2)の内壁側に偏位
して、すなわちほとんど先端部(13)の領域の重心に一
致させているのでその遠心力は大きく、従来の形状のベ
ーンがスプリング(6)のばね力を必要としたのに比
べ、その遠心力が大きいのでスプリングを必要とせずと
も安定にその先端部(13)をシリンダ孔(2)の内壁に
十分な押圧力でもって当接させながら安定に回転する。
また、凹所(11)を介して空12とB領域が連通すること
により、このB領域内の圧力がベーン(10a)(10b)の
溝(4)からの突出運動に寄与する。ベーン(10a)(1
0b)が交互に図示するような位置を取るのであるが、
今、ベーン(10a)の方について説明すると、これが図
示の回転位相にあるときには吸気口(7)に接続されて
いる容器内のガスを吸い込んでA内にとり込み、そして
ベーン(10a)がD点を通過すると、領域A内にあるガ
スを圧縮していく。そしてD点を通過したある点でベー
ン(10a)がロータ(3)の溝(4)から大きく突出
し、その凹所(11)は空間Aと連通するようになる。す
なわちこの凹所(11)を介してベーン(10a)(10b)間
の空間(12)が連通することになる。そして、ベーン
(10a)が第1図に示す回転位置から他方の(10b)に示
す位置を取ると、第1図ではB領域にあるガスをさらに
その圧縮力を大きくして、ついには排気弁(9)をばね
(10)のばね力に抗して開弁させ、その圧縮していたガ
スを外方へと排気する。以上のような作動をくり返すこ
とにより吸気口(7)に接続されている容器内のガスが
排気されることになる。
When the rotor (3) rotates in the direction shown by the arrow, the vanes (10a) and (10b) are urged radially outward by the centrifugal force, and take a position as shown in the drawing and rotate. That is, the tip rotates in the direction indicated by the arrow while abutting against the inner wall of the cylinder hole (2) and slidingly contacting the oil film as in the conventional case. Since the recess (11) is formed so as to be deviated toward the center of the rotor (3), the center of gravity of the vanes (10a) and (10b) is deviated to the opposite side, that is, to the inner wall of the cylinder hole (2). In other words, the centrifugal force is large because it almost coincides with the center of gravity of the region of the tip (13), and the centrifugal force is smaller than that of the conventional vane which required the spring force of the spring (6). Because of its large size, the tip (13) can be stably rotated with a sufficient pressing force against the inner wall of the cylinder hole (2) without the need for a spring.
In addition, since the sky 12 and the B region communicate with each other through the recess (11), the pressure in the B region contributes to the protruding movement of the vanes (10a) and (10b) from the groove (4). Vane (10a) (1
0b) takes positions alternately as shown in the figure.
Now, the vane (10a) will be described. When the vane (10a) is in the illustrated rotation phase, the gas in the container connected to the intake port (7) is sucked and taken into A, and the vane (10a) is moved to the point D. , The gas in the region A is compressed. At a certain point after passing point D, the vane (10a) protrudes greatly from the groove (4) of the rotor (3), and the recess (11) communicates with the space A. That is, the space (12) between the vanes (10a) and (10b) communicates via the recess (11). When the vane (10a) moves from the rotational position shown in FIG. 1 to the position shown in the other (10b), the gas in the region B in FIG. The valve (9) is opened against the spring force of the spring (10), and the compressed gas is exhausted to the outside. By repeating the above operations, the gas in the container connected to the intake port (7) is exhausted.

本発明の実施例による油回転真空ポンプは以上のよう
な作用を行ない、また効果を奏するものであるが、さら
に次のような効果を奏するものである。
The oil rotary vacuum pump according to the embodiment of the present invention performs the above-described functions and exerts the above-mentioned effects, and further has the following effects.

すなわち、本実施例のベーン(10a)(10b)によれば
凹所(11)が形成されているので、上述したようにその
全体の重心がロータ(3)の回転中心から遠くなるので
遠心力が従来より十分に増大させることができ、よって
従来は一対のベーン間にこれらを相反する方向に付勢し
ていたばねを不要とする。またこの凹所(11)によりベ
ーン(10a)(10b)の重量が軽くなり、従ってロータ
(3)の駆動する駆動機構の負荷を小さくすることがで
き、またベーン(10a)(10b)の往復動によって発生す
る振動も小さくなる。さらにまた第1図に示すベーン
(10a)(10b)間の空間(12)はベーン(10a)(10b)
の移動により、その容積が変化するので圧力変動が発生
すると考えられ、この変動はベーンがシリンダ(2)の
内壁側に飛び出す力を減少させる場合も考えられるが、
しかしながらこの凹所(11)が一時的ではあるが、空間
(12)と連通する回転位相も設けたので圧力変動も軽減
して安定にベーン(10a)(10b)を往復動させる。よっ
て安定な真空作用を得ることができるのである。さらに
ベーン(10a)(10b)に凹所(11)が形成されるために
体積が減少し、よって材料費も低下させることができ
る。第3図は第1実施例におけるベーン(10a)(10b)
の変形例を示すものであるが、このようなベーン(20)
を直列に第1図に示すように設けてもよい。この場合に
は凹所が(21)(22)と2ヶ所、設けられているのであ
るが、この凹所(21)(22)の各幅a1、a2(a1=a2)の
合計はこのベーン(20)の全幅Aに対し、上述の実施例
のベーン(10a)(10b)のAとaと同様な関係を有する
ものであってa1+a2≧0.5Aとされている。第3図に示す
変形例のベーン(20)でも同様な効果を奏することは明
らかである。
That is, according to the vanes (10a) and (10b) of the present embodiment, since the concave portion (11) is formed, the center of gravity of the whole becomes far from the rotation center of the rotor (3) as described above. Can be sufficiently increased as compared with the prior art, so that a spring which conventionally urges the pair of vanes in opposite directions is not required. The recess (11) also reduces the weight of the vanes (10a) (10b), thereby reducing the load on the driving mechanism for driving the rotor (3) and reciprocating the vanes (10a) (10b). The vibration generated by the movement is also reduced. Furthermore, the space (12) between the vanes (10a) (10b) shown in FIG. 1 is the vane (10a) (10b).
Is considered to cause a pressure fluctuation due to a change in the volume thereof, and this fluctuation may reduce the force of the vane to protrude toward the inner wall side of the cylinder (2).
However, although the recess (11) is temporary, a rotational phase communicating with the space (12) is also provided, so that pressure fluctuation is reduced and the vanes (10a) (10b) are reciprocated stably. Therefore, a stable vacuum action can be obtained. Further, since the recesses (11) are formed in the vanes (10a) and (10b), the volume is reduced, so that the material cost can be reduced. FIG. 3 shows the vanes (10a) and (10b) in the first embodiment.
This is a modified example of such a vane (20)
May be provided in series as shown in FIG. In this case, two recesses (21) and (22) are provided. The widths a 1 and a 2 (a 1 = a 2 ) of the recesses (21) and (22) are provided. The sum has the same relationship as A and a of the vanes (10a) and (10b) of the above-described embodiment with respect to the entire width A of the vane (20), and a 1 + a 2 ≧ 0.5A. . It is clear that the same effect can be obtained with the vane (20) of the modification shown in FIG.

第4図は本発明の第2実施例による油回転真空ポンプ
を示すものであるが、次にこれについて説明する。なお
従来例及び第1実施例に対応する部分については同一の
符号を付し、その詳細な説明は省略する。
FIG. 4 shows an oil rotary vacuum pump according to a second embodiment of the present invention, which will now be described. Note that the same reference numerals are given to portions corresponding to the conventional example and the first embodiment, and detailed description thereof is omitted.

本実施例ではロータ(40)の回転中心Oに関し、両側
で上下相反する方向に溝(31a)(31b)が形成され、こ
れにベーン(30a)(30b)が摺動自在に嵌合している。
これらにはそれぞれ第1実施例と同様に気体圧縮側に面
し、かつそのベーンの重心がロータ(3)の回転中心O
より反対側、すなわちシリンダ孔(2)の内壁に向う側
に偏位して位置するように形成されている。このような
ベーンの形状装置においても第1実施例側と同様な効果
を奏することは明らかである。なお本実施例において
も、溝(31a)(31b)においてその底壁側においては
(33a)(33b)の空間を形成させているが、これはある
回転位相(第4図のベーン(30a)の位置)においては
凹所(32a)(32b)を介して空間A又はBと相連通する
ようになっているので、これら空間(33a)(33b)が常
に密閉状態におかれてベーン(30a)(30b)の往復動に
不都合な働きをするということをなくしているだけでな
く、第1実施例と同様に、空間A又はB内の圧力がベー
ン(30a)(30b)の溝(31a)(31b)からの突出に寄与
する。
In the present embodiment, grooves (31a) and (31b) are formed on both sides of the rotation center O of the rotor (40) in directions opposite to each other, and the vanes (30a) and (30b) are slidably fitted into the grooves. I have.
Each of them faces the gas compression side similarly to the first embodiment, and the center of gravity of the vane corresponds to the rotation center O of the rotor (3).
It is formed so as to be located on the opposite side, that is, on the side facing the inner wall of the cylinder hole (2). It is apparent that the same effect as that of the first embodiment can be obtained in such a vane shape device. In this embodiment, the spaces (33a) and (33b) are formed on the bottom wall side of the grooves (31a) and (31b), however, this is due to a certain rotational phase (the vane (30a) in FIG. 4). At the position (3), the space (33a) (33b) is always kept in a sealed state because the space (33a) (33b) is communicated with the space A or B via the recesses (32a) (32b). In addition to eliminating the disadvantageous effect of the reciprocation of (30b), as in the first embodiment, the pressure in the space A or B increases the groove (31a) of the vane (30a) (30b). ) Contributes to the protrusion from (31b).

以上、本発明の実施例について説明したがもちろん本
発明はこれに限定されることなく本発明の技術的思想に
基いて種々の変形が可能である。
Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made based on the technical idea of the present invention.

例えば以上の実施例においては、ベーン(10a)(10
b)または(20)において、凹所は1個又は2個形成さ
れたが、さらにこの凹所の数を増大させるようにしても
よい。すなわち、ベーンの凹所の巾が全体の巾に対して
40%以上、凹所の深さが全体の厚さに対して30%以上で
あって、凹所の長さがベーンの先端がポンプの吸気口を
通過した任意の位置で凹所がロータの外周より飛び出す
程度に設けられておれば、上述した各実施例と同等の効
果が得られる。
For example, in the above embodiment, the vane (10a) (10
In b) or (20), one or two recesses are formed, but the number of recesses may be further increased. That is, the width of the recess of the vane is
The depth of the recess is more than 40%, the depth of the recess is more than 30% of the total thickness, and the length of the recess is at any position where the tip of the vane passes through the pump inlet. If provided to such an extent that it protrudes from the outer periphery, the same effects as those of the above-described embodiments can be obtained.

また第2実施例では、1つの溝に直列にベーンを嵌合
させておらず、2つの溝(31a)(31b)がロータ(40)
に形成され、これらに言わばロータ(40)に関し並列の
状態で嵌合させているが、さらにこの溝の数を増大させ
て、これに応じてこれに嵌合するベーンの数を増やして
もよい。
In the second embodiment, the vanes are not fitted in series in one groove, and the two grooves (31a) (31b) are
And the rotors (40) are fitted in parallel with each other, but the number of grooves may be further increased, and the number of vanes fitted into the grooves may be increased accordingly. .

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上述べたように本発明の油回転真空ポンプによれ
ば、ベーン間にスプリングを用いていないのでスプリン
グの配設の仕方やその摩耗によって真空作用が劣化した
り、作用が不能になるということはなく、長期にわたっ
て安定に真空排気作用を保障するものである。また、ス
プリングを用いたときのと同程度の到達圧力が得られ
る。また、ベーンもしくは回転翼部材に凹所を形成させ
ているので、材料費を低下させると共にロータ駆動部の
負荷も小さくし、全体としての装置コストを低下させる
ことができる。
As described above, according to the oil rotary vacuum pump of the present invention, since the spring is not used between the vanes, the manner in which the spring is disposed and its wear deteriorates the vacuum action or makes the action impossible. In other words, the vacuum evacuation operation is stably guaranteed for a long time. Further, the same ultimate pressure as when a spring is used can be obtained. In addition, since the recess is formed in the vane or the rotary blade member, the material cost can be reduced, the load on the rotor drive unit can be reduced, and the overall apparatus cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の第1実施例による油回転真空ポンプの
概略断面図、第2図は第1図におけるベーンの斜視図、
第3図は第2図のベーンの変形例の斜視図、第4図は本
発明の第2実施例による油回転真空ポンプの概略断面図
及び第5図は従来例の油回転真空ポンプの概略断面図で
ある。 なお図において、 (10a)(10b)(20)(30a)(30b)……ベーン (11)(21)(22)(32a)(32b)……凹所
1 is a schematic sectional view of an oil rotary vacuum pump according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a vane in FIG. 1,
3 is a perspective view of a modification of the vane of FIG. 2, FIG. 4 is a schematic sectional view of an oil rotary vacuum pump according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a schematic view of a conventional oil rotary vacuum pump. It is sectional drawing. In the figures, (10a) (10b) (20) (30a) (30b) ... vane (11) (21) (22) (32a) (32b) ... recess

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】気体圧縮側に、その重心が回転子を収容し
ているケーシングの内壁側に偏位しているように凹所を
形成させている少なくとも2つの回転翼部材を各々、前
記回転子の溝に相離隔して摺動自在に嵌合させており、
前記凹所の巾が前記回転翼部材全体の巾に対して40%以
上であり、前記凹所の深さが前記回転翼部材全体の厚さ
に対して30%以上であって、前記凹所の長さが前記回転
翼部材の先端が前記ケーシングに形成された吸気口を通
過した任意の位置で前記凹所が前記回転子の外周より飛
び出す程度に設けられていることを特徴とする油回転真
空ポンプ。
At least two rotor blade members each having a recess formed on the gas compression side such that its center of gravity is deviated to the inner wall side of a casing accommodating the rotor. Slidably fitted in the groove of the child
The recess has a width of at least 40% with respect to the entire width of the rotor member, and the depth of the recess has a depth of at least 30% with respect to the thickness of the entire rotor member; Wherein the recess is provided such that the recess protrudes from the outer periphery of the rotor at an arbitrary position where the tip of the rotor blade member has passed through an intake port formed in the casing. Vacuum pump.
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