JP2570650B2 - Substrate inspection device and substrate inspection method - Google Patents

Substrate inspection device and substrate inspection method

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JP2570650B2
JP2570650B2 JP7208351A JP20835195A JP2570650B2 JP 2570650 B2 JP2570650 B2 JP 2570650B2 JP 7208351 A JP7208351 A JP 7208351A JP 20835195 A JP20835195 A JP 20835195A JP 2570650 B2 JP2570650 B2 JP 2570650B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板をTVカ
メラにより撮像して検査を行う基板検査装置及び基板検
査方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a board inspection apparatus and a board inspection method for inspecting a printed board by taking an image of the printed board with a TV camera.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来この種の基板検査装置及び基板検査
方法は、被検査プリント基板全域を所定の一定倍率で撮
像し、画像信号をA/D変換して基板状の各部品の特徴
パラメータなどの被検査パターンを抽出し、基準パター
ン(基準特徴パラメータ)と比較し、部品が基板状の正
しい位置に実装されているか否かを検査していた。
2. Description of the Related Art Conventionally, a board inspection apparatus and a board inspection method of this kind take an image of an entire printed board to be inspected at a predetermined fixed magnification, and A / D convert an image signal to obtain characteristic parameters of each board-shaped component. The pattern to be inspected is extracted and compared with a reference pattern (reference characteristic parameter) to check whether the component is mounted at a correct position on the board.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
装置及び方法にあっては、一定の倍率で撮像して判定す
るために、例えば基板上のチップ部品が高密度実装され
たエリアなどの細部の判定が困難となる問題点がある。
However, in the conventional apparatus and method, in order to judge by imaging at a fixed magnification, for example, details such as an area where chip components are densely mounted on a substrate are determined. There is a problem that determination is difficult.

【0004】他方、上記の細部判定のためには基板上を
高倍率で撮像する必要があるが、この場合には基板全域
を判定することは時間がかかり、現実の部品実装ライン
では実際的ではないという問題点がある。
On the other hand, in order to determine the above details, it is necessary to take an image of the substrate at a high magnification. In this case, it takes time to determine the entire area of the substrate, and it is not practical in an actual component mounting line. There is a problem that there is no.

【0005】本発明は上記問題点に鑑み、短時間で被検
査プリント基板の細部を検査することができる基板検査
装置及び基板検査方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a board inspection apparatus and a board inspection method capable of inspecting details of a printed circuit board to be inspected in a short time.

【0006】[0006]

【問題点を解決するための手段】上記問題点を解決する
ために、本発明の基板検査装置は、部品が実装された被
検査基板を撮像して得られる画像データを処理して前記
検査基板上の部品の実装状態を検査する基板検査装置
において、異なる撮像倍率を選択可能な撮像手段と、前
記被検査基板上の所定の撮像エリアを、同一撮像倍率毎
に抽出する抽出手段と、前記抽出手段により同一撮像倍
率について抽出された前記所定の撮像エリアを撮像する
ように制御する制御手段と、を有することを特徴とす
る。
Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, a board inspection apparatus according to the present invention processes image data obtained by capturing an image of a board to be inspected on which components are mounted, and processes the image data.
In a board inspection apparatus for inspecting a mounting state of components on a board to be inspected, an imaging unit capable of selecting different imaging magnifications, and an extraction unit for extracting a predetermined imaging area on the inspected board for each same imaging magnification. And control means for controlling the imaging so as to image the predetermined imaging area extracted for the same imaging magnification by the extraction means.

【0007】また、本発明の基板検査方法は、異なる複
数の撮像倍率を選択可能な撮像手段を備え、予め前記撮
像倍率毎に被検査基板上を複数の撮像エリアに分割し、
当該撮像エリアを同一倍率毎にグループ分けし、これら
各グループに適合した撮像倍率を記憶しておき、前記撮
像手段により予め記憶された前記同一撮像倍率について
記憶された所定の撮像エリアを順次撮像して、この撮像
によって得られた画像データに基づいて実装部品の実装
状態を検査することを特徴とする。
Further, the board inspection method of the present invention includes an image pickup means capable of selecting a plurality of different image pickup magnifications, and divides a substrate to be inspected into a plurality of image pickup areas for each of the image pickup magnifications in advance.
The imaging areas are divided into groups for the same magnification, imaging magnifications suitable for these groups are stored, and a predetermined imaging area stored for the same imaging magnification stored in advance by the imaging unit is sequentially imaged. The mounting state of the mounted component is inspected based on the image data obtained by the imaging.

【0008】[0008]

【作用】本発明は、部品が実装された被検査基板を撮像
して得られる画像データを処理して被検査基板上の部品
の実装状態を検査する場合、同一撮像倍率での撮像エリ
アをまとめて撮像して検査することとなる。
According to the present invention, when inspecting the mounting state of components on a substrate to be inspected by processing image data obtained by imaging the substrate to be inspected on which the components are mounted, the imaging areas at the same imaging magnification are combined. The image is inspected.

【0009】また、本発明は、同一撮像倍率での撮像エ
リアを撮像する場合、基準特徴パラメータのうち少なく
とも部品の座標と部品の識別情報を、部品搭載工程の部
品搭載データから使用して、撮像倍率のグループ分け時
に被検査基板を見ながらグループ分けする必要がない。
Further, according to the present invention, when an image of an imaging area at the same imaging magnification is taken, at least the coordinates of the part and the identification information of the part among the reference feature parameters are used from the part mounting data in the part mounting step. When the magnification is divided into groups, there is no need to perform grouping while looking at the substrate to be inspected.

【0010】[0010]

【実施例】以下、図面を参照して本発明の基板検査装置
及び基板検査方法を説明する。第1図は本発明に係る基
板検査装置の一実施例を示すブロック図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A substrate inspection apparatus and a substrate inspection method according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of a substrate inspection apparatus according to the present invention.

【0011】本装置は、チップ部品Cが搭載された被検
査基板であるプリント基板Pを撮像する撮像手段である
TVカメラ1を有し、TVカメラ1はズーミング機構及
びオートフォーカス機構を備え、異なる複数の撮像倍率
が選択可能となっている。尚、このTVカメラ1は、カ
ラーTVカメラでも白黒TVカメラでもよい。
This apparatus has a TV camera 1 which is an image pickup means for picking up an image of a printed board P which is a board to be inspected on which a chip component C is mounted. The TV camera 1 has a zooming mechanism and an autofocus mechanism. A plurality of imaging magnifications can be selected. Note that the TV camera 1 may be a color TV camera or a black and white TV camera.

【0012】本装置はまた、プリント基板Pを載置・固
定してXY方向に移動させるXYステージ2と、後述す
る処理部3と、プリント基板Pを検査する際の基準とな
る各部品Cの識別番号や座標、面積、形状、重心などの
特徴パラメータより構成される基準データを入力した
り、また第2図に示すようにTVカメラ1の撮像倍率
(A倍、3A倍、5A倍)毎のプリント基板Pの撮像エ
リアの位置情報である座標(x1 ,y2 )〜(xn ,y
n )や各倍率のフォーカシングを行う位置座標(後述)
を入力したり、各処理手順を入力する入力部4と、プリ
ンタやCRTディスプレイなどの検査結果や入力データ
を出力する出力部5を有する。
The present apparatus also includes an XY stage 2 for mounting and fixing the printed circuit board P and moving it in the XY directions, a processing unit 3 to be described later, and each component C serving as a reference when inspecting the printed circuit board P. Input reference data composed of characteristic parameters such as an identification number, coordinates, area, shape, and center of gravity, and, as shown in FIG. 2, for each imaging magnification (A, 3A, 5A) of the TV camera 1 (X 1 , y 2 ) to (x n , y) which are position information of the imaging area of the printed circuit board P
n ) and position coordinates for focusing at each magnification (described later)
And an input unit 4 for inputting each processing procedure, and an output unit 5 for outputting test results and input data such as a printer and a CRT display.

【0013】前述した処理部3は、制御手段である中央
処理装置(CPU)3aと、TVカメラ1により撮像さ
れたプリント基板P上の各部品Cの画像信号をA/D変
換して各部品Cの特徴腹メータを抽出する画像処理部3
bを有する。
The above-described processing unit 3 performs A / D conversion of a central processing unit (CPU) 3a as a control means and an image signal of each component C on the printed circuit board P captured by the TV camera 1, and converts each component into a digital signal. Image processing unit 3 for extracting characteristic belly meter of C
b.

【0014】尚、プリント基板Pを検査するための基準
データは前述したような入力部4を介して入力する代り
に、XYステージ2上に基準基板を予め載置し、画像処
理部3bにより各部品Cの基準特徴パラメータを抽出し
て入力するようにしてもよい。また、この基準特徴パラ
メータは、本検査行程の前の部品搭載工程で用いられる
マウント装置の部品搭載データを用いてもよい。
In addition, instead of inputting the reference data for inspecting the printed circuit board P through the input unit 4 as described above, a reference substrate is previously mounted on the XY stage 2 and each data is output by the image processing unit 3b. The reference characteristic parameters of the component C may be extracted and input. Further, as the reference feature parameter, component mounting data of a mounting device used in a component mounting process before the main inspection process may be used.

【0015】処理部3はまた、データメモリ3cとCP
U3aの実行プログラムを格納したプログラムメモリ3
dと、その他不図示のXYステージ2の駆動制御部など
を有する。データメモリ3cには、前述した基準特徴パ
ラメータや、第2図に示すようにTVカメラ1の撮像倍
率(A倍、3A倍、5A倍)毎の基板Pの所定の領域で
ある撮像エリアの位置情報が予め記憶される。すなわ
ち、このデータメモリ3cは、TVカメラ1の撮像倍率
及び撮像領域の位置情報(これらを一括して撮像倍率情
報という)を記憶する撮像倍率情報記憶手段としての役
割を担う。
The processing unit 3 also includes a data memory 3c and a CP.
Program memory 3 storing the execution program of U3a
and a drive control unit for the XY stage 2 (not shown). In the data memory 3c, the above-mentioned reference feature parameters and, as shown in FIG. 2, the position of the imaging area which is a predetermined area of the substrate P for each imaging magnification (A, 3A, 5A) of the TV camera 1 Information is stored in advance. That is, the data memory 3c plays a role as an imaging magnification information storage unit that stores the imaging magnification of the TV camera 1 and the position information of the imaging area (collectively referred to as imaging magnification information).

【0016】第2図の撮像倍率毎の撮像エリアを第3図
を参照して説明して、本発明の基板検査方法を説明する
こととする。まず、第3図(イ)において、図示矢印は
TVカメラ1がプリント基板P上を順次撮像して行く所
謂ラスタスキャン方式による撮像方向を示し、実際には
TVカメラ1は固定されてプリント基板Pを載置したX
Yステージ2が移動する。
The imaging area for each imaging magnification in FIG. 2 will be described with reference to FIG. 3, and the substrate inspection method of the present invention will be described. First, in FIG. 3 (a), the illustrated arrows indicate an imaging direction by a so-called raster scan method in which the TV camera 1 sequentially captures an image on the printed circuit board P. In practice, the TV camera 1 is fixed and the printed circuit board P is fixed. X with
The Y stage 2 moves.

【0017】第3図において、図示実線のエリアは部品
が比較的粗に搭載され、図示破線のエリアは比較的密に
搭載され、図示点線のエリアは最も密に実装されてお
り、したがって第3図(ロ)に示すようにまず最も近傍
のフォーカシングマークf1 でTVカメラ1をA倍でズ
ーミングするとともに合焦し、比較的粗のエリアを撮像
する。次いで第3図(ハ)に示すようにA倍撮像後最も
近傍のフォーカシングマークf2 でTVカメラ1を3A
倍にズーミングするとともに合焦し、比較的密なエリア
を撮像する。同様に、3A倍撮像後に最も近傍のフォー
カシングマークf3 でTVカメラ1を5A倍にズーミン
グするとともに合焦し、最も密なエリアを撮像する。
In FIG. 3, the area indicated by the solid line in the drawing is relatively loosely mounted, the area indicated by the broken line in the drawing is mounted relatively densely, and the area indicated by the dotted line in the drawing is most densely mounted. As shown in FIG. 2B, first , the TV camera 1 is zoomed by A times at the nearest focusing mark f1 and focused, and a relatively coarse area is imaged. 3A the TV camera 1 then with focusing mark f 2 of the nearest post A times imaging as shown in FIG. 3 (c)
It zooms in and focuses twice, and images a relatively dense area. Similarly, focusing while zooming the TV camera 1 to 5A times most near the focusing mark f 3 after 3A doubled imaging, imaging the densest area.

【0018】尚、TVカメラの合焦方法は、プリント基
板P上に複数のフォーカシングマーク(f1 〜f2 )を
設けてもよいが、プリント基板Pの配線パターンや部品
を撮像して行ってもよい。また、変倍率はA倍、3A
倍、5A倍率に限らず他の倍率でもよいことは勿論であ
る。
In the focusing method of the TV camera, a plurality of focusing marks (f 1 to f 2 ) may be provided on the printed circuit board P. Is also good. The magnification is A, 3A
It is needless to say that the magnification is not limited to the magnification of 5A and may be other magnifications.

【0019】したがって、上述の如くA倍ズーミング及
び合焦後撮像、3A倍ズーミング及び合焦後撮像、5A
倍ズーミング及び合焦後撮像を行う場合、第2図に示す
ようにA倍の撮像エリア、3A倍の撮像エリア及び5A
倍の撮像エリアを予め入力部4を介してデータメモリ3
cに記憶する。尚、第2図における座標(x1 ,y2
〜(xn ,yn )はプリント基板P上におけるTVカメ
ラ1の視野の中心を示し、この座標によりTVカメラ1
の撮像エリアが特定される。また、第3図(ハ)
(ニ)において拡大倍率で撮像する場合、撮像エリアは
第3図(イ)のA倍撮像エリアに比べて小さくなるた
め、当該エリア全てを撮像するように行う。
Therefore, as described above, A-time zooming and in-focus imaging, 3A-time zooming and in-focus imaging, and 5A
In the case of performing double zooming and imaging after focusing, as shown in FIG. 2, an imaging area of A times, an imaging area of 3A times, and 5A
The double imaging area is previously stored in the data memory 3 via the input unit 4.
Stored in c. The coordinate in the second view (x 1, y 2)
~ (X n, y n) represents the center of the field of view of the TV camera 1 on the printed circuit board P, the TV camera 1 by the coordinate
Are specified. Fig. 3 (c)
In the case of imaging at the magnification in (d), the imaging area is smaller than the A-times imaging area in FIG. 3 (a), so that the entire area is imaged.

【0020】第4図は処理部3のCPU3aの概略動作
を説明するためのフローチャートであり、まず、それぞ
れステップ(以下、STという。)1,2において、第
2図に示すようなデータメモリ3cの設定倍率の読み込
み、各倍率のエリア(座標)の抽出を行う。
FIG. 4 is a flowchart for explaining the schematic operation of the CPU 3a of the processing unit 3. First, in steps (hereinafter referred to as ST) 1 and 2, respectively, a data memory 3c as shown in FIG. The set magnification is read, and the area (coordinates) of each magnification is extracted.

【0021】次いでST3において読出した倍率(A
倍)がTVカメラ1の現在の設定倍率と一致しているか
否かを判別し、一致しない場合にはST4へ分岐する。
ST4では第3図(イ)に示すように、XYステージ2
を移動してTVカメラ1をプリント基板Pのフォーカシ
ングマークf1 (又は当該倍率の最初の撮像エリア内の
配線パターンや部品)を撮像させて当該倍率(A倍)に
ズーミングし、また続くST5においてフォーカシング
を行う。
Next, the magnification (A) read in ST3
Is determined to be equal to the currently set magnification of the TV camera 1, and if not, the process branches to ST4.
In ST4, as shown in FIG.
The by imaging a moving TV camera 1 a printed board P of the focusing mark f 1 (or the first wiring pattern and parts of the imaging area of the magnification) and zooming the magnification (A times), also in the subsequent ST5 Perform focusing.

【0022】ST5においてフォーカシングが完了する
とST6へ進み、当該倍率(A倍)のエリアを順次TV
カメラ1により撮像して画像信号を取込み、画像処理部
3bにより画像信号をA/D変換後各部品の特徴パラメ
ータを抽出し、データメモリ3cに記憶する。
When the focusing is completed in ST5, the process proceeds to ST6, and the area of the magnification (A times) is sequentially set on the TV.
An image signal is captured by the camera 1, and the image processing unit 3b extracts the characteristic parameters of each component after A / D conversion of the image signal, and stores the extracted characteristic parameters in the data memory 3c.

【0023】ST7では、プリント基板Pの全域の撮像
が完了したかどうかを判別し、NOの場合にはST3へ
戻って新たな倍率(3A倍)について処理を行う。以
下、各倍率についてそれぞれズーミング(ST4)、フ
ォーカシング(ST5)を行った後、当該倍率の撮像
(第3図(ハ)の破線、第3図(ニ)の点線)を行い、
基板Pの全域における部品Cのデータ(特徴パラメー
タ)を得る。
In ST7, it is determined whether or not imaging of the entire area of the printed circuit board P has been completed. If NO, the process returns to ST3 to perform processing for a new magnification (3A). Hereinafter, zooming (ST4) and focusing (ST5) are performed for each magnification, and imaging (the broken line in FIG. 3 (c) and the dotted line in FIG. 3 (d)) at the magnification are performed.
Data (feature parameters) of the component C in the entire area of the board P is obtained.

【0024】上記の如く、プリント基板P上の全ての部
品Cについて特徴パラメータを抽出するとST7からS
T8へ進み、データメモリ3cに予め記憶されている各
部品Cの基準パラメータと比較し、続くST9において
入力部4から指示があれば検査結果を出力部5を介して
出力する。
As described above, when the characteristic parameters are extracted for all the parts C on the printed circuit board P, the process proceeds from ST7 to S.
Proceeding to T8, the comparison is made with the reference parameter of each component C stored in the data memory 3c in advance, and if there is an instruction from the input unit 4 in the subsequent ST9, the inspection result is output via the output unit 5.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、同一撮像
倍率での撮像エリアをまとめて撮像して検査するので、
撮像エリアを変更する毎に倍率の設定動作が不要にな
り、短時間で効率良く被検査基板状の細部まで部品の実
装状態を検査することができる。
As described above, according to the present invention, the imaging areas at the same imaging magnification are collectively imaged and inspected.
Each time the imaging area is changed, the operation of setting the magnification is not required, and the mounting state of the component can be inspected in a short time and efficiently to the details of the substrate to be inspected.

【0026】また、本発明は、同一撮像倍率での撮像エ
リアを撮像する場合、基準特徴パラメータのうち少なく
とも部品の座標と部品の識別情報を、部品搭載工程の部
品搭載データから使用するようにしたので、撮像倍率の
グループ分け時に被検査基板を見ながらグループ分けせ
ずに、グループ分けの判断基準に基準パラメータのうち
少なくとも部品の座標と部品の識別情報を簡単に使用で
きる。
Further, according to the present invention, when imaging an imaging area with the same imaging magnification, at least the coordinates of the component and the identification information of the component among the reference feature parameters are used from the component mounting data in the component mounting process. Therefore, at the time of grouping the imaging magnification, at least the coordinates of the component and the component identification information among the reference parameters can be easily used as the criterion for the grouping without performing the grouping while looking at the substrate to be inspected.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る基板検査装置の一実施例を示すブ
ロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of a substrate inspection apparatus according to the present invention.

【図2】図1におけるデータメモリの要部記憶内容説明
図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of main part storage contents of a data memory in FIG. 1;

【図3】図1の装置の撮像手順を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing an imaging procedure of the apparatus in FIG. 1;

【図4】図2におけるCPUの概略動作を説明するため
のフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart for explaining a schematic operation of a CPU in FIG. 2;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 TVカメラ(撮像手段) 3a 中央処理装置(CPU)(制御手段) 3b 処理部(抽出手段) 3c データメモリ(撮像倍率情報記憶手段) P プリント基板(被検査基板) Reference Signs List 1 TV camera (imaging means) 3a Central processing unit (CPU) (control means) 3b Processing section (extraction means) 3c Data memory (imaging magnification information storage means) P Printed board (substrate to be inspected)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 立石 義雄 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 立石電機株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−241605(JP,A) ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Yoshio Tateishi 10 Tatemachi, Hanazono-cho, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Tateishi Electric Co., Ltd. (56) References JP-A-61-241605

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 部品が実装された被検査基板を撮像して
得られる画像データを処理して前記被検査基板上の部品
の実装状態を検査する基板検査装置において、 異なる撮像倍率を選択可能な撮像手段と、 前記被検査基板上の所定の撮像エリアを、被検査基板に
搭載された各部品の基準特徴パラメータのうち少なくと
も部品の座標および部品の識別情報を部品搭載工程の部
品搭載データに基づいて使用して、同一撮像倍率毎に抽
出する抽出手段と、 前記抽出手段により同一撮像倍率について抽出された前
記所定の撮像エリアを撮像するように制御する制御手段
と、 を有することを特徴とする基板検査装置。
1. A board inspection apparatus that processes image data obtained by imaging a board to be inspected on which components are mounted and inspects a mounting state of the components on the board to be inspected, wherein different imaging magnifications can be selected. Imaging means, and a predetermined imaging area on the substrate to be inspected, based on component mounting data of a component mounting step, based on at least component coordinates and component identification information among reference feature parameters of each component mounted on the substrate to be inspected. Extracting means for extracting the same image pickup magnification for each of the same image pickup magnifications, and control means for controlling the image pickup apparatus to take an image of the predetermined image pickup area extracted for the same image pickup magnification by the extractor. Board inspection equipment.
【請求項2】 部品が実装された被検査基板を撮像して
得られる画像データを処理して前記検査基板上の部品の
実装状態を検査する基板検査方法において、 異なる複数の撮像倍率を選択可能とする撮像手段を備
え、予め前記撮像倍率毎に被検査基板上を複数の撮像エ
リアに分割し、当該撮像エリアを、予め被検査基板に搭
載された各部品の基準特徴パラメータのうち少なくとも
部品の座標および部品の識別情報を部品搭載工程の部品
搭載データに基づいて使用して、同一倍率毎にグループ
分けし、これら各グループに適合した撮像倍率を記憶し
ておき、前記撮像手段により記憶された前記同一撮像倍
率について記憶された所定の撮像エリアを順次撮像し
て、この撮像によって得られた画像データに基づいて実
装部品の実装状態を検査することを特徴とする基板検査
方法。
2. A board inspection method for inspecting a mounting state of components on an inspection board by processing image data obtained by imaging a board to be inspected on which components are mounted, wherein a plurality of different imaging magnifications can be selected. The imaging substrate is divided into a plurality of imaging areas in advance for each of the imaging magnifications, and the imaging area is defined as at least one of the reference feature parameters of the components mounted on the inspection substrate in advance. Coordinates and component identification information are used on the basis of component mounting data in the component mounting process, grouped for each same magnification, and imaging magnifications suitable for each group are stored and stored by the imaging means. Sequentially imaging a predetermined imaging area stored for the same imaging magnification, and inspecting a mounting state of a mounted component based on image data obtained by the imaging; Substrate inspection method according to claim.
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