JP2564038B2 - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JP2564038B2 JP2564038B2 JP2402429A JP40242990A JP2564038B2 JP 2564038 B2 JP2564038 B2 JP 2564038B2 JP 2402429 A JP2402429 A JP 2402429A JP 40242990 A JP40242990 A JP 40242990A JP 2564038 B2 JP2564038 B2 JP 2564038B2
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- Japan
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- rotor
- casing
- base
- cooling
- bearing
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポンプ内のロータ
の下端を含む内周／外周からそれらの対向面にかけての
領域にプロセスガスによる反応生成物が付着するのを防
止することができるターボ分子ポンプに関する。
の下端を含む内周／外周からそれらの対向面にかけての
領域にプロセスガスによる反応生成物が付着するのを防
止することができるターボ分子ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来のターボ分子ポンプを示して
いる。筒状ケーシング１と、このケーシング１を支持す
るベース２と、前記ケーシング内にあって前記ベース２
に固設されモータハウジング３と、このモータハウジン
グ３内に装着した軸受たるベアリング４，５を介して支
承されたシャフト６と、このシャフト６に一体回転可能
に固着された内周７ａに前記モータハウジング３を収容
してなるロータ７と、このロータ７の外周７ｂと前記ケ
ーシング１の内周１ａとの間に構成されたポンプ機構た
るタービン８と、前記ベース２の底部に取り付けられた
オイルタンク９とを具備してなる。そして、吸気口１０
から吸い込んだガスをタービン８で圧縮し、排気口１１
に向かって強制排気し得るようになっている。
いる。筒状ケーシング１と、このケーシング１を支持す
るベース２と、前記ケーシング内にあって前記ベース２
に固設されモータハウジング３と、このモータハウジン
グ３内に装着した軸受たるベアリング４，５を介して支
承されたシャフト６と、このシャフト６に一体回転可能
に固着された内周７ａに前記モータハウジング３を収容
してなるロータ７と、このロータ７の外周７ｂと前記ケ
ーシング１の内周１ａとの間に構成されたポンプ機構た
るタービン８と、前記ベース２の底部に取り付けられた
オイルタンク９とを具備してなる。そして、吸気口１０
から吸い込んだガスをタービン８で圧縮し、排気口１１
に向かって強制排気し得るようになっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したよ
うな従来のターボ分子ポンプでは、プロセスガスを排気
する場合に、反応生成物がポンプ内に付着・堆積するこ
とを防止できず、シビアなクリアランスで設計され組み
込まれているロータにこうした反応生成物が付着・堆積
することによる固体接触や破損、故障、さらにはその修
理に伴うメンテナンスや稼働効率の低下等、多くの不都
合を引き起こしてしまう。同様にモータハウジングの外
面への反応生成物の付着・堆積もメンテナンス等不都合
が多い。
うな従来のターボ分子ポンプでは、プロセスガスを排気
する場合に、反応生成物がポンプ内に付着・堆積するこ
とを防止できず、シビアなクリアランスで設計され組み
込まれているロータにこうした反応生成物が付着・堆積
することによる固体接触や破損、故障、さらにはその修
理に伴うメンテナンスや稼働効率の低下等、多くの不都
合を引き起こしてしまう。同様にモータハウジングの外
面への反応生成物の付着・堆積もメンテナンス等不都合
が多い。
【０００４】具体的に説明すると、ターボ分子ポンプで
はベアリング４，５の冷却のために水冷パイプ１２ａを
半田等によって埋設した冷却金具１２がベース２及びオ
イルタンク９に密着させて配設してある。これによりベ
ース２を直接冷却して下部ベアリング５を冷却すると共
に、オイルタンク９内のオイルを冷却し、これをノズル
６ａにより吸い上げてシャフト６に沿って下部ベアリン
グ５と上部ベアリング４に供給しこれを冷却するように
している。
はベアリング４，５の冷却のために水冷パイプ１２ａを
半田等によって埋設した冷却金具１２がベース２及びオ
イルタンク９に密着させて配設してある。これによりベ
ース２を直接冷却して下部ベアリング５を冷却すると共
に、オイルタンク９内のオイルを冷却し、これをノズル
６ａにより吸い上げてシャフト６に沿って下部ベアリン
グ５と上部ベアリング４に供給しこれを冷却するように
している。
【０００５】しかしながら、図示の如くベース２はケー
シング１の内周１ａをなすスペーサ１ｂやモータハウジ
ング３等が金属接触させてあり、しかもこれらは通常、
熱伝導率の良好なアルミ合金で作られているため、ベー
ス２に伝わる冷熱の多くはこれらの部位にも伝達され、
その後輻射によってロータ下端７ａ乃至ロータ外周７ｂ
にも伝達されて、即ち打点図示領域Ａに蓄冷され易く、
従ってこの領域Ａがポンプ運転時に比較的低い温度に保
たれることが多くなる。然してこのポンプを例えば半導
体デバイスのアルミニウムドライエッチング等を行う半
導体製造装置に適用すると、この種の装置ではエッチン
グに必要な若干量の塩素系プロセスガス（ＣＣｌ4 ，Ｂ
Ｃｌ3 ，Ｃｌ2 等）を処理室内に定常的に流しながら処
理を行うため、アルミニウムをエッチングした際に生じ
る反応生成物（塩化アルミニウム：ＡｌＣｌ3 等）が未
反応プロセスガスと共にポンプ内に流れ込んでくる。か
かるＡｌＣｌ3 等は、図６の蒸気圧曲線に示すように圧
力に応じてある温度以上で気相となりその温度以下で固
相となる性質があり、前述した領域Ａの温度は通常の使
用条件でＡｌＣｌ3 等の固相温度以下に下がることが多
いことから、このＡｌＣｌ3 等が領域Ａを通過する間に
冷却され、図５に示すごとく固体状となって領域Ａに付
着することになる。実用レベルにおいて一定の使用期間
内に３〜４mmにまで堆積することも少なくない。
シング１の内周１ａをなすスペーサ１ｂやモータハウジ
ング３等が金属接触させてあり、しかもこれらは通常、
熱伝導率の良好なアルミ合金で作られているため、ベー
ス２に伝わる冷熱の多くはこれらの部位にも伝達され、
その後輻射によってロータ下端７ａ乃至ロータ外周７ｂ
にも伝達されて、即ち打点図示領域Ａに蓄冷され易く、
従ってこの領域Ａがポンプ運転時に比較的低い温度に保
たれることが多くなる。然してこのポンプを例えば半導
体デバイスのアルミニウムドライエッチング等を行う半
導体製造装置に適用すると、この種の装置ではエッチン
グに必要な若干量の塩素系プロセスガス（ＣＣｌ4 ，Ｂ
Ｃｌ3 ，Ｃｌ2 等）を処理室内に定常的に流しながら処
理を行うため、アルミニウムをエッチングした際に生じ
る反応生成物（塩化アルミニウム：ＡｌＣｌ3 等）が未
反応プロセスガスと共にポンプ内に流れ込んでくる。か
かるＡｌＣｌ3 等は、図６の蒸気圧曲線に示すように圧
力に応じてある温度以上で気相となりその温度以下で固
相となる性質があり、前述した領域Ａの温度は通常の使
用条件でＡｌＣｌ3 等の固相温度以下に下がることが多
いことから、このＡｌＣｌ3 等が領域Ａを通過する間に
冷却され、図５に示すごとく固体状となって領域Ａに付
着することになる。実用レベルにおいて一定の使用期間
内に３〜４mmにまで堆積することも少なくない。
【０００６】このため、ターボ分子ポンプをかかるＡｌ
Ｃｌ3 やこれと同様の現象を生じるプロセスガスの排気
に用いると、通常の場合に比べてより頻繁な分解清掃作
業が必要となり、メンテナンス上と稼働効率上とにおい
て大きな不都合を強いられることになる。また、特にロ
ータ外周７ｂとケーシング内周１ａとの間では、１mm前
後の極少間隔にシビアに保たれているため、堆積した反
応生成物により両者が固体接触し易く、ポンプ自体の損
傷又は破損を招いてしまう。
Ｃｌ3 やこれと同様の現象を生じるプロセスガスの排気
に用いると、通常の場合に比べてより頻繁な分解清掃作
業が必要となり、メンテナンス上と稼働効率上とにおい
て大きな不都合を強いられることになる。また、特にロ
ータ外周７ｂとケーシング内周１ａとの間では、１mm前
後の極少間隔にシビアに保たれているため、堆積した反
応生成物により両者が固体接触し易く、ポンプ自体の損
傷又は破損を招いてしまう。
【０００７】このような不都合は、ベアリングを採用す
るものに限らず、例えば磁気軸受を採用するもの等であ
っても、発熱要因が小さくポンプ運転時に領域Ａの温度
が反応生成物に対して固相温度以下になるものに共通し
た課題となっている。また、磁気軸受を採用したターボ
分子ポンプにおいても、ガスと翼との摩擦熱やガス負荷
の増大によるモータ発熱などの発熱要因が大きいもので
は、やはりボールベアリング方式と同様に軸受保護の見
地からその冷却手段が設けられ、反応生成物の付着問題
を生じている。
るものに限らず、例えば磁気軸受を採用するもの等であ
っても、発熱要因が小さくポンプ運転時に領域Ａの温度
が反応生成物に対して固相温度以下になるものに共通し
た課題となっている。また、磁気軸受を採用したターボ
分子ポンプにおいても、ガスと翼との摩擦熱やガス負荷
の増大によるモータ発熱などの発熱要因が大きいもので
は、やはりボールベアリング方式と同様に軸受保護の見
地からその冷却手段が設けられ、反応生成物の付着問題
を生じている。
【０００８】本発明はこのような課題を提起してなされ
たものであって、領域Ａの位置への反応生成物の付着を
有効に防止し、且つ軸受の昇温を防止して適性な機能を
保障することにより、ターボ分子ポンプの信頼性、耐久
性、メンテナンス性等を良好なものとすることを目的と
している。
たものであって、領域Ａの位置への反応生成物の付着を
有効に防止し、且つ軸受の昇温を防止して適性な機能を
保障することにより、ターボ分子ポンプの信頼性、耐久
性、メンテナンス性等を良好なものとすることを目的と
している。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係るターボ分子ポンプでは、その一般的な
構成よりなるものにおいて、領域Ａ、即ちロータの下端
を含む内周・外周からそれらの対向面にかけての領域を
加熱する加熱手段と、この加熱手段による軸受への影響
を無くすために軸受を冷却するための冷却手段とを設け
たことを特徴とする。
め、本発明に係るターボ分子ポンプでは、その一般的な
構成よりなるものにおいて、領域Ａ、即ちロータの下端
を含む内周・外周からそれらの対向面にかけての領域を
加熱する加熱手段と、この加熱手段による軸受への影響
を無くすために軸受を冷却するための冷却手段とを設け
たことを特徴とする。
【００１０】なお、これらの加熱手段と冷却手段とを効
果的に使用するためには、領域Ａの温度を検出するセン
サと、このセンサの検出値に基づいてそれが目標値に保
持されるように前記冷却手段又は前記加熱手段の少なく
とも一方を制御する制御手段を設けることが望ましい。
果的に使用するためには、領域Ａの温度を検出するセン
サと、このセンサの検出値に基づいてそれが目標値に保
持されるように前記冷却手段又は前記加熱手段の少なく
とも一方を制御する制御手段を設けることが望ましい。
【００１１】このような構成によれば、加熱手段によっ
て領域Ａを固相温度以上に加熱することにより反応生成
物が領域Ａに付着することを防止することができると共
に、冷却手段によって軸受を冷却することにより軸受を
焼損等から保護することができる。
て領域Ａを固相温度以上に加熱することにより反応生成
物が領域Ａに付着することを防止することができると共
に、冷却手段によって軸受を冷却することにより軸受を
焼損等から保護することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を用
いて説明する。なお、図５と共通する部分には同一符号
を付し、その説明を省略する。
いて説明する。なお、図５と共通する部分には同一符号
を付し、その説明を省略する。
【００１３】図１に本発明に係るターボ分子ポンプの１
実施例を示す。これは、図５の構成において、ベース２
に添設していた冷却金具１２及び水冷パイプ１２ａを除
去し、代わりにベースに添設される加熱手段２１と、オ
イルタンク９に埋設される冷却手段２２と、領域Ａの温
度を測定するための温度センサ２３と、温度センサ２３
からの信号に基づいて領域Ａを所定の温度に設定するた
めの制御手段２４とを設けてなる。
実施例を示す。これは、図５の構成において、ベース２
に添設していた冷却金具１２及び水冷パイプ１２ａを除
去し、代わりにベースに添設される加熱手段２１と、オ
イルタンク９に埋設される冷却手段２２と、領域Ａの温
度を測定するための温度センサ２３と、温度センサ２３
からの信号に基づいて領域Ａを所定の温度に設定するた
めの制御手段２４とを設けてなる。
【００１４】加熱手段２１は、オイルタンク９との直接
の接触を避けてベース２底部に密着させたヒータ（例え
ばシーズヒータ）である。このヒータ２１が発熱する
と、先ずベース２が加熱し、これが該ベース２に金属接
触させてある熱伝導率の良好なモータハウジング３及び
スペーサ１ｂに伝達され、さらに輻射によってロータ７
の下端７ｃを含む内周７ａ並びに外周７ｂに熱伝達さ
れ、結果として領域Ａ全体がほぼ均一に加熱されるよう
に構成されている。
の接触を避けてベース２底部に密着させたヒータ（例え
ばシーズヒータ）である。このヒータ２１が発熱する
と、先ずベース２が加熱し、これが該ベース２に金属接
触させてある熱伝導率の良好なモータハウジング３及び
スペーサ１ｂに伝達され、さらに輻射によってロータ７
の下端７ｃを含む内周７ａ並びに外周７ｂに熱伝達さ
れ、結果として領域Ａ全体がほぼ均一に加熱されるよう
に構成されている。
【００１５】冷却手段２２は、オイルタンク９の底壁下
面に密着させた冷却板２２ａと、この冷却板２２ａに凹
設した溝２２ｂと、この溝２２ｂ内に半田等を流し込ん
で埋設固定した螺旋状の冷水パイプ２２ｃとからなり、
水冷パイプ２２ｃに接続した配管２２ｄ及びこの配管２
２ｄに介設した電磁バルブ２２ｅを通じて外部から所要
流量の冷却水を導入すると、オイルタンク９内に充填さ
れているオイルが冷却され、これが強制循環によって上
下両ベアリング４，５に供給された際に潤滑と冷却効果
の双方をもたらす。
面に密着させた冷却板２２ａと、この冷却板２２ａに凹
設した溝２２ｂと、この溝２２ｂ内に半田等を流し込ん
で埋設固定した螺旋状の冷水パイプ２２ｃとからなり、
水冷パイプ２２ｃに接続した配管２２ｄ及びこの配管２
２ｄに介設した電磁バルブ２２ｅを通じて外部から所要
流量の冷却水を導入すると、オイルタンク９内に充填さ
れているオイルが冷却され、これが強制循環によって上
下両ベアリング４，５に供給された際に潤滑と冷却効果
の双方をもたらす。
【００１６】センサ２３は、ベース２の肉厚内であって
領域Ａの直下位置に側方から挿入した測温抵抗器であ
る。この測温抵抗器２３は、領域Ａの温度を電気信号に
変換して取り出すことができるようになっている。
領域Ａの直下位置に側方から挿入した測温抵抗器であ
る。この測温抵抗器２３は、領域Ａの温度を電気信号に
変換して取り出すことができるようになっている。
【００１７】制御手段２４は、前記測温抵抗器２３の検
出値ａに基づいてそれが予め設定した目標値ｂに保持さ
れるように前記電磁バルブ２２ｅ又は前記ヒータ２１の
うち少なくとも一方を制御する信号ｃ，ｄを出力するよ
うに構成されている。即ち、この制御手段２４はマイク
ロコンピュータらやシーケンサ等を構成要素とした比較
出力機能を有するものであり、例えば目標値ｂとして６
０℃が入力されると、前記測温抵抗器２３から入力され
る検出値ａがこの６０℃を下回るときに前記ヒータ２１
を作動させ、６０℃を上回るときに前記電磁バルブ２２
ｅを作動させることで、領域Ａの温度を６０℃に収束さ
せようとするものである。その際の制御は、電磁バルブ
２２ｅに対しては通常のＯＮ，ＯＦＦ制御により、ヒー
タ２１に対してはこのＯＮ，ＯＦＦ制御の他、行き過ぎ
を無くすためにＰＩＤ制御（比例、積分、微分の各補償
要素からなる直列補償制御）によることも有効となる。
出値ａに基づいてそれが予め設定した目標値ｂに保持さ
れるように前記電磁バルブ２２ｅ又は前記ヒータ２１の
うち少なくとも一方を制御する信号ｃ，ｄを出力するよ
うに構成されている。即ち、この制御手段２４はマイク
ロコンピュータらやシーケンサ等を構成要素とした比較
出力機能を有するものであり、例えば目標値ｂとして６
０℃が入力されると、前記測温抵抗器２３から入力され
る検出値ａがこの６０℃を下回るときに前記ヒータ２１
を作動させ、６０℃を上回るときに前記電磁バルブ２２
ｅを作動させることで、領域Ａの温度を６０℃に収束さ
せようとするものである。その際の制御は、電磁バルブ
２２ｅに対しては通常のＯＮ，ＯＦＦ制御により、ヒー
タ２１に対してはこのＯＮ，ＯＦＦ制御の他、行き過ぎ
を無くすためにＰＩＤ制御（比例、積分、微分の各補償
要素からなる直列補償制御）によることも有効となる。
【００１８】このような構成によれば、領域Ａは反応生
成物の固相温度以上に保たれて、反応生成物が固体状と
なって領域Ａに付着・堆積することが防止もしくは軽減
される。同時にベアリング４，５は冷却手段２２によっ
て前記熱的影響が阻止され、焼損等から有効に保護され
る。特に、この実施例ではヒータ２１と冷却手段２２と
を制御手段２４によって制御可能としているので、領域
Ａの温度管理を迅速且つ適切に行うと同時に、設定可能
温度範囲も広い。
成物の固相温度以上に保たれて、反応生成物が固体状と
なって領域Ａに付着・堆積することが防止もしくは軽減
される。同時にベアリング４，５は冷却手段２２によっ
て前記熱的影響が阻止され、焼損等から有効に保護され
る。特に、この実施例ではヒータ２１と冷却手段２２と
を制御手段２４によって制御可能としているので、領域
Ａの温度管理を迅速且つ適切に行うと同時に、設定可能
温度範囲も広い。
【００１９】
【実施例】上述した本発明の構成の内、加熱手段（ヒー
タ、温水等）はベース又はケーシング外周面又はロータ
ハウジング外周面の部位に少なくとも１ケ所に付設され
ていれば良い。ベース２に付設したものが図１の構成例
や図２の想像線で示す構成例であり、ケーシング外周面
に付設したものが図３の構成例であり、ロータハウジン
グ外周面に付設したものが図２の実線構成例である。
タ、温水等）はベース又はケーシング外周面又はロータ
ハウジング外周面の部位に少なくとも１ケ所に付設され
ていれば良い。ベース２に付設したものが図１の構成例
や図２の想像線で示す構成例であり、ケーシング外周面
に付設したものが図３の構成例であり、ロータハウジン
グ外周面に付設したものが図２の実線構成例である。
【００２０】冷却手段（冷却水、空冷ファン等）は、ベ
アリングを熱的影響から保護できる位置であれば特に制
限はない。例えば、図４ではラジアル磁気軸受５１，５
２を用い、ベース５４の底板部にヒータ５５を配設して
領域Ａを加熱すると共に、このヒータ５５の内周に冷水
パイプ５６を巻回して磁気軸受５１，５２を冷却するよ
うにしている。なお、冷水パイプ５６の代わりに底板５
７にこれを冷却するウオータージャケット５８を穿設し
ても良い。このウオータージャケット５８の入口、出口
にねじをきって、外部の冷却水管を簡単に縲着できるよ
うにすることがさらに望ましい。
アリングを熱的影響から保護できる位置であれば特に制
限はない。例えば、図４ではラジアル磁気軸受５１，５
２を用い、ベース５４の底板部にヒータ５５を配設して
領域Ａを加熱すると共に、このヒータ５５の内周に冷水
パイプ５６を巻回して磁気軸受５１，５２を冷却するよ
うにしている。なお、冷水パイプ５６の代わりに底板５
７にこれを冷却するウオータージャケット５８を穿設し
ても良い。このウオータージャケット５８の入口、出口
にねじをきって、外部の冷却水管を簡単に縲着できるよ
うにすることがさらに望ましい。
【００２１】
【発明の効果】本発明に係るターボ分子ポンプは、以上
のような構成であるから、領域への反応生成物の付着を
有効に防止し、且つ軸受の適性な機能を保護することを
通じて、ターボ分子ポンプの信頼性、耐久性、メンテナ
ンス性等を有効に向上させることができる。特に、領域
Ａにおける温度を最適値にコントロールするようにした
場合には、これらの一層顕著な効果を得ることができ
る。
のような構成であるから、領域への反応生成物の付着を
有効に防止し、且つ軸受の適性な機能を保護することを
通じて、ターボ分子ポンプの信頼性、耐久性、メンテナ
ンス性等を有効に向上させることができる。特に、領域
Ａにおける温度を最適値にコントロールするようにした
場合には、これらの一層顕著な効果を得ることができ
る。
【図１】本発明に係るターボ分子ポンプの一実施例の全
体断面図である。
体断面図である。
【図２】本発明に係るターボ分子ポンプの他の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】本発明に係るターボ分子ポンプの他の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図４】本発明に係るターボ分子ポンプの他の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】従来のターボ分子ポンプの構成例を示す断面図
である。
である。
【図６】ＡｌＣｌ3 等の蒸気圧線図。
１ … ケーシング １ａ… ケーシング内周 ２ … ベース ３ … モータハウジング ４，５…軸受（ベアリング） ７ … ロータ ７ａ …ロータ内周 ７ｂ …ロータ外周 ７ｃ …ロータ下端 ２１，３１，４１，５５ …加熱手段（ヒータ） ２２，３２，４２，５８ …冷却手段 ５１，５２ …磁気軸受 Ａ …領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−70994（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−91796（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−167497（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−19198（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−197794（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】ケーシングと、このケーシングを支持する
ベースと、前記ケーシング内にあって前記ベースに固設
されたモータハウジングと、このモータハウジング内に
装着した軸受を介して支承されたシャフトと、このシャ
フトに一体回転可能に固着され内周に前記モータハウジ
ングを収容してなるロータと、このロータの外周と前記
ケーシングの内周との間に構成されたポンプ機構とを具
備してなるターボ分子ポンプにおいて、前記ロータの下
端を含む内周／外周からそれらの対向面にかけての領域
を加熱するためにベース又はケーシング外周面又はロー
タハウジング外周面の少なくとも１ケ所に付設される加
熱手段と、軸受を冷却するための冷却手段とを設けたこ
とを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2402429A JP2564038B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-12-14 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-50606 | 1990-02-28 | ||
| JP5060690 | 1990-02-28 | ||
| JP25855690 | 1990-09-26 | ||
| JP2-258556 | 1990-09-26 | ||
| JP2402429A JP2564038B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-12-14 | ターボ分子ポンプ |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27457195A Division JP3167102B2 (ja) | 1990-02-28 | 1995-10-23 | ターボ分子ポンプ |
| JP17135896A Division JP2930015B2 (ja) | 1996-07-01 | 1996-07-01 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03290092A JPH03290092A (ja) | 1991-12-19 |
| JP2564038B2 true JP2564038B2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=27294016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2402429A Expired - Fee Related JP2564038B2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-12-14 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2564038B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3057486B2 (ja) * | 1997-01-22 | 2000-06-26 | セイコー精機株式会社 | ターボ分子ポンプ |
| US6926493B1 (en) * | 1997-06-27 | 2005-08-09 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| JP2002048088A (ja) | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Seiko Instruments Inc | 真空ポンプ |
| US6793466B2 (en) | 2000-10-03 | 2004-09-21 | Ebara Corporation | Vacuum pump |
| JP4528019B2 (ja) * | 2004-04-27 | 2010-08-18 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 分子ポンプの温度制御装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5591796A (en) * | 1978-12-29 | 1980-07-11 | Shimadzu Corp | High speed rotary machine |
| JPS6186866A (ja) * | 1984-10-03 | 1986-05-02 | Canon Inc | ワ−ドプロセツサ装置 |
| JPS6419198A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-23 | Hitachi Ltd | Vacuum pump |
-
1990
- 1990-12-14 JP JP2402429A patent/JP2564038B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03290092A (ja) | 1991-12-19 |
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