JP2561899B2 - Light processing device - Google Patents
Light processing deviceInfo
- Publication number
- JP2561899B2 JP2561899B2 JP62071561A JP7156187A JP2561899B2 JP 2561899 B2 JP2561899 B2 JP 2561899B2 JP 62071561 A JP62071561 A JP 62071561A JP 7156187 A JP7156187 A JP 7156187A JP 2561899 B2 JP2561899 B2 JP 2561899B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- illuminance
- light guide
- lamp
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Epidemiology (AREA)
- Public Health (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、移動可能な照度測定機構を有する項処理
装置に関するものである。The present invention relates to a term processing device having a movable illuminance measuring mechanism.
［従来の技術］ 例えば半導体ウエハのレジスト処理に対して、従来か
ら光処理装置が用いられている。この光処理装置は、高
圧水銀灯等のランプを光源として処理台上に載置された
半導体ウエハに光照射を行うことによってレジスト処理
を行うものである。この場合、ランプは使用するうちに
寿命により照度が落ちること等から、処理に必要な照度
を得ているか否か知る必要がある。また、このレジスト
処理は場合によって加熱処理を行う場合もあり、それに
光処理装置の内部はランプから照射される光と他に熱も
発生するので、処理台周辺の温度は500℃前後まで上昇
する。その上、この光処理装置の処理台における光の照
度分布はほぼ均一でなければならないという条件があ
る。[Prior Art] For example, an optical processing apparatus has been conventionally used for resist processing of a semiconductor wafer. This optical processing apparatus performs resist processing by irradiating a semiconductor wafer mounted on a processing table with light using a lamp such as a high pressure mercury lamp as a light source. In this case, it is necessary to know whether or not the lamp has the illuminance necessary for the processing, because the illuminance of the lamp decreases due to the life of the lamp. In addition, this resist treatment may be a heat treatment in some cases, and the light emitted from the lamp and other heat are also generated inside the light treatment device, so the temperature around the treatment table rises to around 500 ° C. . In addition, there is a condition that the illuminance distribution of light on the processing table of this optical processing device must be substantially uniform.
［発明が解決しようとする問題点］ 上述の如く、光処理装置において効率的な光処理を行
うためには、処理台の各点における照度を知ることが必
要であるが、従来は装置の内部が狭く、照度測定機構を
装置内部の処理台の各点の位置に出入りさせるのが困難
であり、かつ場合によっては高温のためにライトガイド
等で構成される照度測定機構が必要以上に加熱されてし
まい、装置内の処理台の各点における照度を測定するこ
とは困難であるという問題があった。[Problems to be Solved by the Invention] As described above, in order to perform efficient optical processing in an optical processing device, it is necessary to know the illuminance at each point on the processing table. Is so narrow that it is difficult to move the illuminance measuring mechanism into and out of each point on the processing table inside the device, and in some cases the high temperature causes the illuminance measuring mechanism, which is composed of a light guide, to be heated more than necessary. Therefore, there is a problem that it is difficult to measure the illuminance at each point on the processing table in the apparatus.
この発明はかかる従来の問題点を解決するためになさ
れたもので、装置の内部が狭く、かつ高温である場合に
おいても、照度測定機構を装置内部の処理台の各点の位
置に出入りさせ、該地点における照度測定が可能である
光照射装置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems. Even when the inside of the device is narrow and the temperature is high, the illuminance measurement mechanism is moved in and out of each position of the processing table inside the device, It is an object of the present invention to provide a light irradiation device capable of measuring illuminance at the point.
［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、この発明の光処理装置
は、処理台の照度を測定とするために光を導入するライ
トガイドと受光器とアンプとからなる照度測定機構を設
け、この照度測定機構を連結部を介して移動可能にする
駆動部と接続し、前記連結部にライトガイドを冷却する
冷却機構を設けた構成を有するものである。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the optical processing device of the present invention comprises a light guide for introducing light to measure the illuminance of the processing table, a light receiver, and an amplifier. The illuminance measuring mechanism is provided, the illuminance measuring mechanism is connected to a driving unit that is movable via a connecting unit, and the connecting unit is provided with a cooling mechanism that cools the light guide.
［作用］ 上記の構成を有することにより、ライトガイドを用い
て狭い空間の中を出入りできるので、装置の内部が狭い
場合でも装置内部の処理台の各点の照度測定が可能であ
る。さらに、装置が高温でもライトガイドを冷却する冷
却機構を有するので、ライトガイドが必要以上に加熱さ
れない。よって、ライトガイドからの熱伝導による受光
器の感度変化といった問題も生じない。[Operation] With the above configuration, the light guide can be used to move in and out of a narrow space. Therefore, even when the inside of the apparatus is narrow, it is possible to measure the illuminance at each point of the processing table inside the apparatus. Furthermore, since the device has a cooling mechanism that cools the light guide even at high temperatures, the light guide is not heated more than necessary. Therefore, the problem that the sensitivity of the light receiver changes due to heat conduction from the light guide does not occur.
［実施例］ 第１図（ａ）は本発明の一実施例である光処理装置に
おける、主として照度測定機構及び駆動部の概略を断面
図であり、１は高圧水銀灯等からなるランプ、２はラン
プの背後に設けられた集光ミラー、３は半導体ウエハ等
を載置するための処理台で、これらランプ１及び反射ミ
ラー２からなるランプハウスの処理台３によって光処理
装置の主要部を構成している。11はランプ１から処理台
３に照射される処理台３上の各点の照度を測定するため
に設けられた移動可能なライドガイド、12はこのライト
ガイド11を介して導入された光を光電変換するための受
光器、13はこの受光器12からの電気信号を増幅するため
のアンプで、14はこれらライトガイド11と受光器12及び
ランプ13からなる照度測定機構を移動させるために駆動
部と連結するための連結部である。また、この駆動部は
プーリ15とベルト16,レール17,モータ18からなり、19は
上記照度測定機構の移動位置を検知してモータのスイッ
チをオン−オフするためのセンサ、20は連結部14を停止
させるためのストッパである。また、第１図（ｂ）は同
図（ａ）の断面Ａ−Ａ′における側断面図で、21は連結
部14内に設けたライトガイド冷却用の冷却管である。[Embodiment] FIG. 1 (a) is a schematic cross-sectional view of an illuminance measuring mechanism and a drive section in an optical processing apparatus according to an embodiment of the present invention, where 1 is a lamp such as a high pressure mercury lamp and 2 is A condenser mirror 3 provided behind the lamp is a processing table for mounting a semiconductor wafer or the like, and the processing table 3 of the lamp house including the lamp 1 and the reflection mirror 2 constitutes a main part of the optical processing device. are doing. Reference numeral 11 denotes a movable ride guide provided for measuring the illuminance of each point on the processing table 3 irradiated from the lamp 1 to the processing table 3, and 12 denotes photoelectric conversion of light introduced through the light guide 11. A light receiver for conversion, 13 is an amplifier for amplifying an electric signal from the light receiver 12, and 14 is a drive unit for moving the illuminance measuring mechanism including the light guide 11, the light receiver 12 and the lamp 13. It is a connecting portion for connecting with. Further, this drive unit comprises a pulley 15, a belt 16, a rail 17, and a motor 18, 19 is a sensor for detecting the moving position of the illuminance measuring mechanism to turn on / off the switch of the motor, and 20 is a connecting unit 14. It is a stopper for stopping. 1 (b) is a side sectional view taken along the line AA 'in FIG. 1 (a), and 21 is a cooling pipe for cooling the light guide provided in the connecting portion 14.
また第２図はライトガイド11の詳細を示す断面図で、
26は熱伝導のよい金属（例えば銅）からなる管で端部に
開孔29を有し、この開孔29に対して45゜に設置された光
拡散板27を設け、この光拡散板27に照射するランプ１か
らの光を拡散し、反射して束ねられた光ファイバ28を光
を伝送する。FIG. 2 is a sectional view showing the details of the light guide 11,
Reference numeral 26 is a tube made of a metal (for example, copper) having good heat conductivity, which has an opening 29 at its end, and a light diffusing plate 27 installed at 45 ° to this opening 29. The light from the lamp 1 for irradiating the light is diffused, reflected, and transmitted through the bundled optical fiber 28.
いま、第１図の実線の状態からモータ18を逐次回転さ
せると、そのモータ18の回転に応じてプーリ15が回転
し、ベルト16を動かして連結部14がレール17上を移動す
る。それによって連結部14を紙面右から左へ矢印のよう
に移動させると同時に、ライトガイド11を光処理装置の
ランプハウス内に挿入する。Now, when the motor 18 is sequentially rotated from the state shown by the solid line in FIG. 1, the pulley 15 rotates according to the rotation of the motor 18, the belt 16 is moved, and the connecting portion 14 moves on the rail 17. Thereby, the connecting portion 14 is moved from the right side to the left side of the drawing as shown by the arrow, and at the same time, the light guide 11 is inserted into the lamp house of the light processing device.
また、このモータ18はリバーシブルモータであるが、
照度測定機構のストロークの長い移動をセンサ19によっ
てその都度検知してオン−オフを制御させれば、処理台
３の各点の照度を小刻みに測定することができる。ま
た、このモータ18としてリバーシブルモータでなくパル
スモータを用いれば、センサ19を設けなくても処理台３
の各点の照度を小刻みに測定することができる。さら
に、ストッパ20はセンサ１でモータ18のスイッチをオフ
した後、幾分移動する照度測定機構を確実に停止させる
ものである。Also, although this motor 18 is a reversible motor,
If the sensor 19 detects a long stroke movement of the illuminance measuring mechanism each time and controls on / off control, the illuminance at each point of the processing table 3 can be measured in small increments. If a pulse motor is used as the motor 18 instead of a reversible motor, the processing table 3 can be provided without the sensor 19.
The illuminance at each point can be measured in small steps. Further, the stopper 20 surely stops the illuminance measuring mechanism which moves somewhat after the sensor 18 switches off the motor 18.
そして、照度の測定が終了すると、モータ18は逆転し
て連結部14を移動することによってライトガイド11はラ
ンプハウス内から取出される。Then, when the measurement of the illuminance is completed, the motor 18 rotates in the reverse direction to move the connecting portion 14, so that the light guide 11 is taken out of the lamp house.
本実施例の光処理装置における測定機構は、処理台３
の照度測定を行なう場合、ランプハウス内に挿入される
ライトガイド11を高温から保護するための冷却機構を設
けている。The measuring mechanism in the optical processing apparatus of this embodiment is the processing table 3
When measuring the illuminance, the cooling mechanism is provided to protect the light guide 11 inserted into the lamp house from high temperature.
すなわち、本実施例の光処理装置は、ランプが光以外
にも熱を大量に出す場合もしくは処理台に加熱手段が設
けられている場合に、冷却管21内を介して主として水の
ような冷却液を連結部14内に通すことにより、ランプハ
ウス内で高温になったライトガイドを冷却する効果があ
る。即ち、ライトガイド11を構成する管26は熱伝導のす
ぐれた金属で構成されているので、冷却された連結部14
を介してライトガイド11の昇温を防止することができ
る。That is, the optical processing apparatus of the present embodiment is mainly cooled through water inside the cooling pipe 21 when the lamp emits a large amount of heat other than light or when the processing table is provided with a heating means. By passing the liquid through the connecting portion 14, there is an effect of cooling the light guide heated to a high temperature in the lamp house. That is, since the tube 26 constituting the light guide 11 is made of a metal having excellent heat conduction, the cooled connecting portion 14 is formed.
The temperature rise of the light guide 11 can be prevented via the.
尚、この実施例で述べた照度測定は可視光のみの照度
ではなく、紫外領域も含めた広い波長領域の照射光の照
度［W/m2］を測定することである。The illuminance measurement described in this embodiment is to measure not only the illuminance of visible light but the illuminance [W / m 2 ] of irradiation light in a wide wavelength range including the ultraviolet range.
また、ライトガイド11が処理台３上の照度を測定する
ために出入する径路は、レジスト処理のために処理台上
に半導体ウエハを搬送するための径路とは互いに直交す
る関係を有するのとする。従って、ウエハが処理第３上
にあるときはライトガイド１の挿入は行われない。Further, the path through which the light guide 11 moves in and out to measure the illuminance on the processing table 3 has a relationship orthogonal to the path for transporting a semiconductor wafer onto the processing table for resist processing. . Therefore, when the wafer is on the third process, the light guide 1 is not inserted.
［発明の効果］ 以上詳細に説明したとおり、この発明の光処理装置
は、処理第の照度を測定するために光を導入するライト
ガイドと受光器とアンプとからなる照度測定機構を設
け、この照度測定機構を連結部を介して移動可能にする
駆動部と接続し、前記連結部にライトガイドを冷却する
冷却機構を設けたので、ライトガイドを用いて狭い空間
の中を出入りすることが可能であり、装置の内部が狭い
場合でも装置内部の処理台の照度測定が可能である。ま
た、駆動機構を小刻みに動かすことにより処理台上の各
点の照度分布も容易に測定することができる。さらに、
装置が高温でもライトガイドを冷却する冷却機構を有す
るので、ライトガイドが必要以上に加熱されないという
利点がある。よって、ライトガイドからの熱伝導による
受光器の感度変化といった問題も生じない。[Effects of the Invention] As described in detail above, the optical processing device of the present invention is provided with an illuminance measuring mechanism including a light guide for introducing light to measure the processing illuminance, a light receiver, and an amplifier. The illuminance measurement mechanism is connected to the drive unit that can be moved through the connecting section, and a cooling mechanism that cools the light guide is provided in the connecting section, so you can use the light guide to enter and exit in a narrow space. Therefore, even when the inside of the apparatus is narrow, the illuminance of the processing table inside the apparatus can be measured. In addition, the illuminance distribution at each point on the processing table can be easily measured by moving the driving mechanism in small steps. further,
Since the device has a cooling mechanism for cooling the light guide even at a high temperature, there is an advantage that the light guide is not heated more than necessary. Therefore, the problem that the sensitivity of the light receiver changes due to heat conduction from the light guide does not occur.
第１図（ａ）は本発明の一実施例である光処理装置にお
ける、主として照度測定機構及び駆動部の概略を示す断
面図、第１図（ｂ）は同図（ａ）の断面Ａ−Ａ′におけ
る側断面図、第２図はライトガイドの詳細を示す断面図
である。 図中． 1:ランプ、2:集光ミラー 3:処理台、11:ライドガイド 12:受光器、13:アンプ 14:連結部、15:プーリ 16:ベルト、17:レール 18:モータ、19:センサ 20:ストッパ、21:冷却管FIG. 1 (a) is a cross-sectional view mainly showing the outline of an illuminance measuring mechanism and a drive section in an optical processing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1 (b) is a cross-section A- in FIG. FIG. 2 is a side sectional view of A ', and FIG. 2 is a sectional view showing details of the light guide. In the figure. 1: Lamp, 2: Condensing mirror 3: Processing table, 11: Ride guide 12: Light receiver, 13: Amplifier 14: Connection part, 15: Pulley 16: Belt, 17: Rail 18: Motor, 19: Sensor 20: Stopper, 21: Cooling pipe
Claims (2)
プハウスと、光照射処理のための処理台とからなる光処
理装置において、 前記処理台の照度を測定するために光を導入するライト
ガイドと受光器とアンプとからなる照度測定機構を設
け、 この照度測定機構を連結部を介して移動可能にする駆動
部と接続し、 前記連結部にライトガイドを冷却する冷却機構を設けた ことを特徴とする光処理装置。1. A light processing apparatus comprising a lamp house having at least one lamp therein and a processing table for light irradiation processing, wherein a light guide for introducing light to measure the illuminance of the processing table. An illuminance measuring mechanism including a light receiver and an amplifier is provided, the illuminance measuring mechanism is connected to a drive unit that is movable via a connecting portion, and a cooling mechanism that cools the light guide is provided at the connecting portion. Characterized light processing device.
して反射し拡散する光拡散板と、この光拡散板からの光
を導光する束ねられた光ファイバとそれぞれ内部に収納
する金属筒によって構成された ことを特徴とする特許請求の範囲（１）項記載の光処理
装置。2. The light guide receives a light from the lamp, reflects and diffuses the light, a bundled optical fiber for guiding the light from the light diffuser, and a metal tube housed therein. The optical processing device according to claim 1, wherein the optical processing device is configured by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62071561A JP2561899B2 (en) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | Light processing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62071561A JP2561899B2 (en) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | Light processing device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63238433A JPS63238433A (en) | 1988-10-04 |
| JP2561899B2 true JP2561899B2 (en) | 1996-12-11 |
Family
ID=13464252
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62071561A Expired - Fee Related JP2561899B2 (en) | 1987-03-27 | 1987-03-27 | Light processing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2561899B2 (en) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60111124A (en) * | 1983-11-21 | 1985-06-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Illumination measuring device |
| JPS61265535A (en) * | 1985-05-20 | 1986-11-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Apparatus for measuring luminous intensity |
| JPS63201536A (en) * | 1987-02-17 | 1988-08-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Ultraviolet-ray illuminance measuring instrument of ultraviolet-ray irradiation device for optical fiber drawing device |
-
1987
- 1987-03-27 JP JP62071561A patent/JP2561899B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63238433A (en) | 1988-10-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3746453B2 (en) | Double-sided multi-lamp online internal quality inspection system | |
| KR960038386A (en) | Optical detection device for chemical analysis measurement | |
| US9746435B2 (en) | Nondestructive inspection apparatus and inspection system of structure | |
| KR840009130A (en) | UV intensity tester | |
| TR199901922A2 (en) | Process and installation for measuring the diameter and trapezium of railway wheels | |
| JPS60131430A (en) | Measuring device of temperature of semiconductor substrate | |
| US4439039A (en) | Photometer | |
| EP1341223A4 (en) | Polishing progress monitoring method and device thereof, polishing device, semiconductor device production method, and semiconductor device | |
| PT1034422E (en) | APPARATUS AND PROCESS FOR THE MEDICATION OF OPTICAL PROPERTIES BY INTERMEDIATE FOR RETROACTIVE CONTROL | |
| JP2561899B2 (en) | Light processing device | |
| JPS6312938A (en) | Gas analyzer and gas analyzing method | |
| KR100655638B1 (en) | Light source and light intensity monitor for the same | |
| CN112033920A (en) | Biochemical analyzer | |
| JPS63182528A (en) | Ultraviolet-ray illuminance measuring instrument for ultraviolet-ray irradiating device for optical fiber drawing device | |
| JPH02204701A (en) | Optical system thermal deformation control device and its operating method | |
| JP3439286B2 (en) | Method and apparatus for heating sample for electron spin resonance | |
| KR970062723A (en) | Distance measuring method and device of high temperature object | |
| JP2706669B2 (en) | Infrared detector | |
| JP2000199731A (en) | Optical characteristics measuring device and film formation apparatus provided with the optical- characteristic measuring device | |
| JPH01296617A (en) | Quartz lamp heating device | |
| JPS61278265A (en) | Facsimile sensor unit | |
| JP3964983B2 (en) | Lamp house and light emitting device | |
| RU2036451C1 (en) | Flaw detector of optical cables | |
| KR960006785Y1 (en) | Dust measuring apparatus | |
| SU1127424A1 (en) | Lidar |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |