JP2552187B2 - 高精度接着方法 - Google Patents
高精度接着方法Info
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- JP2552187B2 JP2552187B2 JP1273247A JP27324789A JP2552187B2 JP 2552187 B2 JP2552187 B2 JP 2552187B2 JP 1273247 A JP1273247 A JP 1273247A JP 27324789 A JP27324789 A JP 27324789A JP 2552187 B2 JP2552187 B2 JP 2552187B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は光部品等、高精度が要求される各種部品の接
着方法に関する。
着方法に関する。
（従来の技術） 従来、部品の接着では一方の部品の接着面上に接着剤
を塗布し、この上に他方の部品の接着面を重ねて両者を
接着する方法が一般的に行われている。
を塗布し、この上に他方の部品の接着面を重ねて両者を
接着する方法が一般的に行われている。
（発明が解決しようとする課題） 叙上の方法は作業が簡単であるという点で優れている
が、２つの接着面の間に接着剤が存在するため、接着部
品の厚さ精度は、必然的に接着剤の厚さに依存し、接着
剤の厚さが厚くなるほどその厚さ精度は低下するという
欠点がある。
が、２つの接着面の間に接着剤が存在するため、接着部
品の厚さ精度は、必然的に接着剤の厚さに依存し、接着
剤の厚さが厚くなるほどその厚さ精度は低下するという
欠点がある。
そこで接着剤の厚さを薄くするため、接着剤を適当な
溶媒に溶かし、その濃度を薄めた接着剤を直接部品の接
着面上に置いて、この部品を高速で回転することにより
接着剤の厚さを薄くしたり、あるいはこの接着剤を噴霧
状にして、接着面上に薄く均一に堆積する方法が開発さ
れ、厚さ１μｍ以下の接着層が容易に得られるようにな
り、従来法の問題解決に効果をあげている。ただし、こ
の方法も従来法と同じく一方の部品に接着剤を塗布して
から他方の部品を重ねてるため、接着剤を塗布した後、
接着剤の上に粒子等の異物が付着するのを避けるため、
クリーンルームやクリーンブース等の清浄な環境下で作
業しなければならない。また厚さが薄くなっても接着面
の間に接着層が存在するために、接着層の厚さに相当す
る誤差が残るという問題がある。
溶媒に溶かし、その濃度を薄めた接着剤を直接部品の接
着面上に置いて、この部品を高速で回転することにより
接着剤の厚さを薄くしたり、あるいはこの接着剤を噴霧
状にして、接着面上に薄く均一に堆積する方法が開発さ
れ、厚さ１μｍ以下の接着層が容易に得られるようにな
り、従来法の問題解決に効果をあげている。ただし、こ
の方法も従来法と同じく一方の部品に接着剤を塗布して
から他方の部品を重ねてるため、接着剤を塗布した後、
接着剤の上に粒子等の異物が付着するのを避けるため、
クリーンルームやクリーンブース等の清浄な環境下で作
業しなければならない。また厚さが薄くなっても接着面
の間に接着層が存在するために、接着層の厚さに相当す
る誤差が残るという問題がある。
本発明は上記の欠点を改善するために提案されたもの
で、その目的は、相互に接着する部品の一方の接着面に
溝を形成することにより、従来法と同様の簡単な作業
で、かつ接着層の厚さの影響を受けない高精度接着方法
を提供することにある。
で、その目的は、相互に接着する部品の一方の接着面に
溝を形成することにより、従来法と同様の簡単な作業
で、かつ接着層の厚さの影響を受けない高精度接着方法
を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明は部品相互の幾何
学的位置決めを行って接着固定する場合、少なくとも一
方の第１の部品は、その接着面において、他方の第２の
部品と直接接触する第１の部分と接触しないで、はみ出
す第２の部分とを有し、かつ前記の第１の部品には前記
第２の部品と直接接触する第１の部分と、はみ出す第２
の部分とに、またがる溝を形成し、部品相互の位置決め
を行った後、はみ出し部分の溝の上に流動性接着剤を付
着させ、この流動性接着剤が溝を伝わって２つの部品の
間にできた溝空間へ浸透せしめ、これによって第１の部
品と第２の部品とを接着せしめることを特徴とする高精
度接着方法を発明の要旨とするものである。
学的位置決めを行って接着固定する場合、少なくとも一
方の第１の部品は、その接着面において、他方の第２の
部品と直接接触する第１の部分と接触しないで、はみ出
す第２の部分とを有し、かつ前記の第１の部品には前記
第２の部品と直接接触する第１の部分と、はみ出す第２
の部分とに、またがる溝を形成し、部品相互の位置決め
を行った後、はみ出し部分の溝の上に流動性接着剤を付
着させ、この流動性接着剤が溝を伝わって２つの部品の
間にできた溝空間へ浸透せしめ、これによって第１の部
品と第２の部品とを接着せしめることを特徴とする高精
度接着方法を発明の要旨とするものである。
（作用） 叙上のように本発明においては、接着すべき面の一方
の部品に溝を形成し、両部品を接合した後、前記の溝に
接着剤を流し込み、両部品を接合するので、接着剤表面
への異物の付着や２つの部品の接着面の間に接着剤が介
在することがないので、本発明は高精度の接着が可能で
ある。
の部品に溝を形成し、両部品を接合した後、前記の溝に
接着剤を流し込み、両部品を接合するので、接着剤表面
への異物の付着や２つの部品の接着面の間に接着剤が介
在することがないので、本発明は高精度の接着が可能で
ある。
（実施例） 次に本発明の実施例について説明する。なお、実施例
は一つの例示であって、本発明の精神を逸脱しない範囲
で、種々の変更あるいは改良を行い得ることは言うまで
もない。
は一つの例示であって、本発明の精神を逸脱しない範囲
で、種々の変更あるいは改良を行い得ることは言うまで
もない。
次に本発明の実施例を示す。この場合、光導波路を形
成したLiNbO3基板と光ファイバを高精度で保持接続する
ためのＶ溝基板とを高精度で接着した例について述べ
る。この組立では光ファイバのコアとLiNbO3基板の光導
波路との高精度位置合わせが目的である。
成したLiNbO3基板と光ファイバを高精度で保持接続する
ためのＶ溝基板とを高精度で接着した例について述べ
る。この組立では光ファイバのコアとLiNbO3基板の光導
波路との高精度位置合わせが目的である。
第１図はLiNbO3基板と光ファイバおよびＶ溝基板の組
立構成を示したもので、それぞれ（Ａ）は正面から、
（Ｂ）は側面から、（Ｃ）は上面から見た図を示す。
立構成を示したもので、それぞれ（Ａ）は正面から、
（Ｂ）は側面から、（Ｃ）は上面から見た図を示す。
シリコン単結晶のＶ溝基板１（第１の部品）の中に異
方性エッチングでＶ溝２が形成されており、Ｖ溝２の２
つの斜面に接触するように光ファイバ３が保持されてい
る。Ｖ溝２の２つの斜面はシリコン単結晶の（111）結
晶面でＶ溝基板１の表面に対して正確に54.7度の傾斜角
となり、かつＶ溝２の幅は寸法精度の優れたホトエッチ
ングで加工されているので、Ｖ溝基板１の表面に対する
光ファイバのコア４のＺ方向の位置は高精度で決定され
ている。７は溝であって、この溝には接着剤が流し込ま
れるためのものである。
方性エッチングでＶ溝２が形成されており、Ｖ溝２の２
つの斜面に接触するように光ファイバ３が保持されてい
る。Ｖ溝２の２つの斜面はシリコン単結晶の（111）結
晶面でＶ溝基板１の表面に対して正確に54.7度の傾斜角
となり、かつＶ溝２の幅は寸法精度の優れたホトエッチ
ングで加工されているので、Ｖ溝基板１の表面に対する
光ファイバのコア４のＺ方向の位置は高精度で決定され
ている。７は溝であって、この溝には接着剤が流し込ま
れるためのものである。
一方、LiNbO3基板５（第２の部品）は光導波路６の形
成してある面とＶ溝基板１のＶ溝２が形成された面とが
接触するように構成する。ここで両者の表面は、ともに
高精度の平坦性を有する研磨面になっているので、光フ
ァイバ３と同様にＶ溝基板１の表面としてＺ方向におけ
る光導波路６の位置が正確に決められる。ＸおよびＹ方
向の位置決めは、予めＶ溝基板１とLiNbO3基板５とに形
成しておいた位置合わせ用マークを用いることにより、
高精度が確保できる。
成してある面とＶ溝基板１のＶ溝２が形成された面とが
接触するように構成する。ここで両者の表面は、ともに
高精度の平坦性を有する研磨面になっているので、光フ
ァイバ３と同様にＶ溝基板１の表面としてＺ方向におけ
る光導波路６の位置が正確に決められる。ＸおよびＹ方
向の位置決めは、予めＶ溝基板１とLiNbO3基板５とに形
成しておいた位置合わせ用マークを用いることにより、
高精度が確保できる。
なお、溝７は第１の部品であるＶ溝基板１と第２の部
品であるLiNbO3基板５とが互いに接触する部分Ａと、Ｖ
溝基板１がLiNbO3基板５よりはみ出す部分Ｂとを有して
いる。
品であるLiNbO3基板５とが互いに接触する部分Ａと、Ｖ
溝基板１がLiNbO3基板５よりはみ出す部分Ｂとを有して
いる。
第１図では光ファイバのコア４と光導波路６の位置
は、ともにＶ溝基板１の同一表面を基準としてＺ方向の
位置が決まるため、両者の部品を高精度で位置決めでき
る構成になっている。このままの状態で、LiNbO3基板５
からはみ出している溝７の一部に流動性の紫外線硬化形
接着剤を滴下すると、接着剤はこの溝７を伝わってＶ溝
基板１とLiNbO3基板５との間にできている溝空間に浸み
込んでゆき、この後、LiNbO3基板５の上から紫外線を照
射すると、２つの基板はそのままの状態で接着固定され
る。
は、ともにＶ溝基板１の同一表面を基準としてＺ方向の
位置が決まるため、両者の部品を高精度で位置決めでき
る構成になっている。このままの状態で、LiNbO3基板５
からはみ出している溝７の一部に流動性の紫外線硬化形
接着剤を滴下すると、接着剤はこの溝７を伝わってＶ溝
基板１とLiNbO3基板５との間にできている溝空間に浸み
込んでゆき、この後、LiNbO3基板５の上から紫外線を照
射すると、２つの基板はそのままの状態で接着固定され
る。
（発明の効果） 叙上のように本発明によれば、部品相互の幾何学的位
置決めを行って接着固定する場合、少なくとも一方の第
１の部品は、その接着面において、他方の第２の部品と
直接接触する第１の部分と接触しないで、はみ出す第２
の部分とを有し、かつ前記の第１の部品には前記第２の
部品と直接接触する第１の部分と、はみ出す第２の部分
とに、またがる溝を形成し、部品相互の位置決めを行っ
た後、はみ出し部分の溝の上に流動性接着剤を付着さ
せ、この流動性接着剤が溝を伝わって２つの部品の間に
できた溝空間へ浸透せしめ、これによって第１の部品と
第２の部品とを接着せしめることにより、接着剤の塗布
が極めて簡単で、しかも接着剤表面への異物の付着や２
つの部品の接着面の間に接着剤が介在するといった問題
がなく、高い精度が得られる。ここで使用する接着剤は
溝を伝わって浸み込むための流動性を持つものであれば
何でもよく、紫外線硬化形接着剤に限定されることはな
い。さらに、第１図の部品組立構成において、Ｚ方向の
位置決めは２つの部品を接触させるだけでよいので、組
立作業も簡単になるという効果がある。
置決めを行って接着固定する場合、少なくとも一方の第
１の部品は、その接着面において、他方の第２の部品と
直接接触する第１の部分と接触しないで、はみ出す第２
の部分とを有し、かつ前記の第１の部品には前記第２の
部品と直接接触する第１の部分と、はみ出す第２の部分
とに、またがる溝を形成し、部品相互の位置決めを行っ
た後、はみ出し部分の溝の上に流動性接着剤を付着さ
せ、この流動性接着剤が溝を伝わって２つの部品の間に
できた溝空間へ浸透せしめ、これによって第１の部品と
第２の部品とを接着せしめることにより、接着剤の塗布
が極めて簡単で、しかも接着剤表面への異物の付着や２
つの部品の接着面の間に接着剤が介在するといった問題
がなく、高い精度が得られる。ここで使用する接着剤は
溝を伝わって浸み込むための流動性を持つものであれば
何でもよく、紫外線硬化形接着剤に限定されることはな
い。さらに、第１図の部品組立構成において、Ｚ方向の
位置決めは２つの部品を接触させるだけでよいので、組
立作業も簡単になるという効果がある。
第１図はLiNbO3基板と光ファイバとＶ溝基板の組立構成
を示したもので、Ａは正面図、Ｂは側面図、Ｃは上面図
を示す。 １……Ｖ溝基板 ２……Ｖ溝 ３……光ファイバ ４……光ファイバコア ５……LiNbO3基板 ６……光導波路 ７……溝
を示したもので、Ａは正面図、Ｂは側面図、Ｃは上面図
を示す。 １……Ｖ溝基板 ２……Ｖ溝 ３……光ファイバ ４……光ファイバコア ５……LiNbO3基板 ６……光導波路 ７……溝
Claims (1)
- 【請求項１】部品相互の幾何学的位置決めを行って接着
固定する場合、少なくとも一方の第１の部品は、その接
着面において、他方の第２の部品と直接接触する第１の
部分と接触しないで、はみ出す第２の部分とを有し、か
つ前記の第１の部品には前記第２の部品と直接接触する
第１の部分と、はみ出す第２の部分とに、またがる溝を
形成し、部品相互の位置決めを行った後、はみ出し部分
の溝の上に流動性接着剤を付着させ、この流動性接着剤
が溝を伝わって２つの部品の間にできた溝空間へ浸透せ
しめ、これによって第１の部品と第２の部品とを接着せ
しめることを特徴とする高精度接着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1273247A JP2552187B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 高精度接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1273247A JP2552187B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 高精度接着方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03134603A JPH03134603A (ja) | 1991-06-07 |
| JP2552187B2 true JP2552187B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=17525175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1273247A Expired - Fee Related JP2552187B2 (ja) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | 高精度接着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2552187B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003025647A1 (en) * | 2001-08-31 | 2003-03-27 | Microsolutions, Inc. | Optical device and method for fabricating the same |
| JP3667689B2 (ja) * | 2001-12-10 | 2005-07-06 | 三菱電機株式会社 | 光ファイバ保持装置、光分散等化器及び光ファイバ保持装置の製造方法 |
| JP5156502B2 (ja) * | 2007-06-26 | 2013-03-06 | パナソニック株式会社 | 光モジュール |
-
1989
- 1989-10-20 JP JP1273247A patent/JP2552187B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03134603A (ja) | 1991-06-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |