JP2546246B2 - 螢光面形成装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、陰極線管の螢光面形成装置、特に螢光面形
成工程においてパネル内面に溶液あるいはスラリーを塗
布した後の塗布膜の乾燥に適した真空乾燥装置に関す
る。

〔発明の概要〕

本発明の螢光面形成装置は、陰極線管のパネルを支持
するパレットと、パネルの内面に吸引空間を形成し複数
の調節弁を有する吸引部と、調節弁に接続された吸引手
段と、吸引部に設けられたリーク弁と、パネルの内面に
対向して吸引部に載置された均一吸引板とを有する構成
により、陰極線管の螢光面形成に際し、その所定工程後
の濡れた状態にあるパネル内の乾燥において、短時間で
且つ均一に乾燥できるようにしたものである。

〔従来の技術〕

通常、カラー陰極線管における螢光面、例えば赤、緑
及び青の各色螢光体ストライプ間に黒色ストライプ（光
吸収層）を形成したカラー螢光面は次のようにして形成
される。スラリー法を用いる場合、先ず、陰極線管のパ
ネル内面を水洗浄し、乾燥後、パネル内面に感光液例え
ばPVA感光液を塗布し、乾燥する。そしてこのPVA感光膜
に対して所要の光学用マスク（例えば色選択電極）を用
いて紫外線露出し、水洗等で現像処理して各色に対応し
た位置にPVAストライプを形成する。次に硬膜剤（例え
ばホウ酸など）を塗布してPVAストライプに対する硬膜
処理をする。次にPVAストライプを含む全面にカーボン
スラリーを塗布し、乾燥後、PVAストライプと共にその
上のカーボン層をリフトオフし、所定パターンのカーボ
ンストライプ即ち黒色ストライプを形成する。次に、第
１色目の螢光体スラリー、例えば緑色の螢光体スラリー
を塗布し、乾燥後、光学用マスクを介して露光し、現像
処理して所定のカーボンストライプ間の所謂白抜き部分
に緑色螢光体ストライプを形成し、以下同様にして夫々
他の白抜き部分に第２色及び第３色の螢光体ストライプ
例えば青色及び赤色螢光体ストライプを形成してカラー
螢光面が形成される。

第４図は陰極線管における一般的なスラリーの注入、
乾燥工程のフローチャートを示す。螢光体スラリーの注
入、乾燥に例をとれば、カーボンストライプ形成後、螢
光体スラリーの塗布前にカーボン膜表面のごみを洗浄し
て第１の乾燥工程（１）で乾燥して後、スラリー注入工
程（２）で第１色目の螢光体スラリーをパネル内面に注
入し、次にエージング、回収工程（３）で螢光体を沈着
させ、余剰スラリーを排出して回収し、次にスピン工程
（４）で、パネルを高速回転させながら膜面を均一に
し、次にスカート・トリミング工程（５）でパネルスカ
ート部まで付着した螢光体スラリーを水洗いで除去し、
次で第２の乾燥工程（６）で、螢光体スラリーの塗布膜
を乾燥する。この第１の乾燥工程（１）〜第２の乾燥工
程（６）のプロセスは螢光体スラリーに限らず、カーボ
ンスラリー、PVA感光液等に対しても同じである。

そして、従来、乾燥工程での乾燥方法としては、遠赤
外ヒータあるいはヒータと送風を用いて行われるもの
で、第５図に示すように塗布機（７）に吸着保持された
パネル（11）の内面に対向するようにヒータ（８）を配
し、パネル（11）を回転させながら乾燥するようになさ
れる。この方式では第２の乾燥（６）を４〜５ステーシ
ョン使用し乾燥している。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし乍ら、螢光面形成工程において、上述した従来
の乾燥方法を用いた場合には、次のような欠点を有して
いた。

（ｉ）乾燥時間が長く、塗布膜の均一性が欠け、多種類
の塗布むらが発生する。この為に陰極線管の螢光面の品
質を低下させる。

（ii）乾燥時のパネル温度が高くなりがちで室温との差
が大きくなり、製造過程で温度コントロールが難しい。

（iii）スピン機構、乾燥ヒータ等の設備が大型になり
やすく設置場所、設備投資額が増大する。

（iv）乾燥ヒータに使用する電気量が莫大である。

（ｖ）一般に螢光面形成に使われるPVA−ADC系の感光液
は45℃を越えると暗反応を起こして所謂カブリ等を生じ
る。

本発明は、上述の点に鑑み、常温域にて短時間乾燥を
可能にし、また塗布膜の均一性向上、製造条件の制御の
容易化、乾燥設備の小型化、電気使用量削減等を可能に
した螢光面形成装置を提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明装置は、陰極線管の螢光面形成装置であって、
陰極線管のパネル（11）を支持するパレット（12）と、
パネル（11）の内面に吸引空間（14）を形成し複数の調
節弁（16）を有する吸引部（15）と、調節弁（16）に接
続された例えばロータリーポンプ等の吸引手段（17）
と、吸引部（15）に設けられたリーク弁（18）と、パネ
ル（11）の内面に対向して吸引部（15）に載置された均
一吸引板（21）とを有する構成である。

この装置は、第４図の第２の乾燥工程（６）に対応す
る感光液、硬膜剤、カーボンスラリー、あるいは螢光体
スラリー等の塗布膜の乾燥に適用できる。又第４図の第
１の乾燥工程（１）に対応するカーボンストライプ表面
の洗浄、各現像処理、あるいは他の水洗などの後の乾燥
にも適用可能である。

〔作用〕

所定作業後の濡れた状態のパネル（11）を吸引部（1
5）に気密的に配し、真空引きすることにより、パネル
（11）の内部気圧が降下し、パネル内が短時間で均一に
乾燥される。特に感光液、カーボン、螢光体等の溶液あ
るいはスラリーによる塗布膜の乾燥の場合には乾燥むら
の発生がなく均一な乾燥塗布膜が得られる。

又、乾燥は常温域で行うことができるので製造過程で
の温度コントロールが容易となる。

塗布膜の材料によっては一気に真空引きすると塗布膜
に空孔ができるため、真空にするスケジュールの制御が
必要である。このため、真空引きするときの調節弁（1
6）を複数設け、その複数の調節弁（16）の開閉を制御
して行う。

又、パルス内面と対向する中央部に均一吸引板（21）
を配することにより、パネル内を周辺より真空引きし
て、より均一な乾燥を行うことができる。

〔実施例〕

まず、本発明の螢光面形成装置、即ち真空乾燥装置の
理解を容易にするために、第２図の参考例について説明
する。これはパネルをパレット上に移載してパレット搬
送上にて乾燥させる場合である。

同図中、（11）はパレット（12）上に載置されたパネ
ル、（13）はパネル（11）内を乾燥するための真空乾燥
装置の全体を示す。真空乾燥装置（13）は、パネル（1
1）との間で吸引空間、即ち気密空間（14）を形成する
吸引部（15）を有し、この吸引部（15）に複数の調節弁
（16）〔（16a）（16b）及び（16c）〕を介してロータ
リポンプ（17）が連結されている。（18）はリーク弁、
（19）は真空度計を示す。

スラリー塗布膜の乾燥の場合を例にとる。第４図のフ
ローチャートで示すようにパネル（11）内へのスラリー
注入後、高速回転を行ってパネル（11）内面のスラリー
塗布膜を均一にし、パネルスカート部のスラリー残液を
除去する。その後、パネル（11）をパレット（12）上に
移載し、これを真空乾燥装置の吸引部（15）上に搬送す
る。パネル（11）とパレット（12）と吸引部（15）との
相互間をシール部材（20）によって密封し、パネル（1
1）と吸引部（15）間に気密空間（14）を形成する。次
で調節弁（16）を開き、ロータリーポンプ（17）を作動
して気密空間（14）の気圧を降下させて塗布膜を乾燥す
る。スラリー材料によっては真空にするスケジュールの
制御が必要になる為、調節弁（16a）〜（16c）の開閉に
よりコントロールする。例えば一気に短時間で真空に引
くと塗布膜内より泡が出て塗布膜に大きな空孔（ピンホ
ール）が生じる懼がある。従って、最初は例えば第１の
調節弁（16a）のみを開いて泡を成長させないようゆっ
くりと真空に引き、次で第１、第２及び第３の調節弁
（16a）〜（16c）を開放して一気に真空に引いて乾燥す
る。乾燥終了後、リーク弁（18）を開いてパネル（11）
を次工程へ移載する。カーボンストライプ作製用材料及
び緑、青、赤の各螢光体スラリーは、成分及び含水率が
異なり、各材料に適合した条件設定が必要となる。第３
図に９インチパネルを使用した場合の各材料についての
真空度と乾燥時間の関係を示す。同図において曲線
（Ｉ）は螢光体スラリー（常温）の場合、曲線（II）は
螢光体スラリー（40℃）の場合、曲線（III）はカーボ
ンスラリーの場合、曲線（IV）は感光液の場合、曲線
（Ｖ）は硬膜剤の場合である。この場合、乾燥ライン
（ａ）は4Torr程度であり、真空度が4Torr程度以下とな
れば乾燥されたと見なされる。この第３図から明らかな
ように各材料とも60秒以内の乾燥が可能である。又、乾
燥直前にパネルを予熱しておくか、真空度を高める等に
より、乾燥時間をより短縮することができる。なお、乾
燥時間は気密空間（14）の容量で決まる。

本真空乾燥装置によれば、短時間で乾燥されるために
乾燥むらがなく、均一な乾燥塗布膜が得られる。従って
生産時間の短縮及び陰極線管の螢光面の品質向上が可能
となる。又、常温域で乾燥できるので、製造時の温度コ
ントロールが容易であり、電気使用量の削減ができる。
特にPVA−ADC糸の感光液は前述したように45℃を越える
と暗反応を起してカブリ等を生じるが、本真空乾燥装置
では常温で乾燥されるので、そのような心配はない。さ
らに、従来の乾燥ヒータを用いる場合に比較して乾燥設
備の小型化ができるので設置場所が小さくて済み量産シ
ステムラインの構成が容易となる。又設備投資額の削減
が図れる。

本発明は、上記構成に加えて更なる均一乾燥を可能に
したものである。次に第１図を用いて、本発明による真
空乾燥装置の一実施例を説明する。同図中、第２図と対
応する部分には同一符号を付して示すも、特に本例にお
いては前述と同様にパネル（11）との間で気密空間（1
4）を形成する吸引部（15）を有し、この吸引部（15）
に複数の調節弁（16）を介してロータリーポンプ（17）
を連結し、さらに気密空間（14）内にパネル（11）に対
向して即ち少なくとも中央部分に対向して均一吸引板
（21）を配置する。又、パネル（11）を被冠する如く外
部カバー（22）を配し、この外部カバー（22）とパレッ
ト（12）と吸引部（15）とを相互に密封して気密空間
（14）を形成するようになす。このとき、パネル（11）
はそのシール端面（11a）の全面をパレット（12）に接
触させずに複数個所で接触支持するようになす。（23）
はロータリーポンプ（17）に水分が入らないように途中
で水分を吸収するための水抜き手段、（24）はフィルタ
ーである。その他の構成は、第２図と同様であるので、
説明を省略する。

この装置では、まず、前述と同じように、複数の調節
弁（16）の開閉により気密空間（14）内の真空吸引がコ
ントロールされる。即ち、例えば最初は第１の調節弁
（16）のみを開いて泡を成長させないようにゆっくりと
真空に引き、次いで、複数の調節弁（16）を同時に開放
して一気に真空に引いて乾燥する。これによって、塗布
膜内より泡が出ない状態で乾燥することができる。更
に、ロータリーポンプ（17）を駆動させて気密空間（1
4）を真空に引くとき、均一吸引板（21）によってパネ
ル周辺より均一に吸引されるため、パネル内はより均一
に乾燥することができる。又、外部カバー（22）にて真
空状態が保たれるので、パネル（11）はパレット（12）
に対して複数個所で支持するだけでよく、爾後ファンネ
ルと封着するパネル（11）のシール端面（11a）を汚す
ことがない。

〔発明の効果〕

本発明装置によれば、螢光面形成工程中の溶液あるい
はスラリーの塗布、さらには現像処理、水洗い等の所定
工程後の濡れた状態にあるパネルの乾燥に際し、パネル
内を真空引きして乾燥することにより、短時間で且つ均
一に乾燥することができる。特に塗布膜に対する乾燥に
おいては塗布膜より泡が出て空孔が発生するを防止し、
乾燥むらがなく均一な乾燥塗布膜が得られる。このた
め、生産時間の短縮及び螢光面の品質の向上が可能とな
る。又、乾燥時のパネル温度は常温とすることができ
る。従って室温に近い状態での生産が可能で、製造過程
での温度コントロールが容易であり、電気使用量の削減
が出来る。

更に、パネルの内面に吸引空間を形成した吸引部が複
数の調節弁を有することにより、複数の調節弁の開閉を
制御して、真空引きのスケジュールの制御ができ、塗布
膜に空孔が発生することを防止できる。

又、パネルの内面に対向して吸引部に均一吸引板が載
置されたことにより、パネル内の吸引空間を周辺より真
空引きして、均一に乾燥を行うことが出来る。

又、乾燥設備の小型化が可能となるので乾燥設備の設
置場所が縮小でき量産システムラインの構成が容易とな
る。又設備投資額の削減も図れる。

そして本螢光面形成装置は、特に小型管の乾燥に適す
るものである。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の螢光面形成装置、即ち真空乾燥装置の
実施例を示す要部の断面図、第２図は本発明の螢光面形
成装置の説明に供する参考例を示す断面図、第３図は本
発明の説明に供する各材料の真空度と乾燥時間の関係を
示すグラフ、第４図は一般的なスラリーの注入、乾燥の
工程図、第５図は従来の乾燥方法を示す側面図である。 （11）はパネル、（12）はパレット、（14）は気密空
間、（15）は吸引部、（16a）（16b）（16c）は調節
弁、（17）はロータリポンプである。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】陰極線管の螢光面形成装置であって、 陰極線管のパネルを支持するパレットと、 前記パネルの内面に吸引空間を形成し、複数の調節弁を
   有する吸引部と、 前記調節弁に接続された吸引手段と、 前記吸引部に設けられたリーク弁と、 前記パネルの内面に対向して、前記吸引部に載置された
   均一吸引板とを有することを特徴とする螢光面形成装
   置。