JP2533979Y2 - 振動形圧力測定装置 - Google Patents
振動形圧力測定装置Info
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- JP2533979Y2 JP2533979Y2 JP1982391U JP1982391U JP2533979Y2 JP 2533979 Y2 JP2533979 Y2 JP 2533979Y2 JP 1982391 U JP1982391 U JP 1982391U JP 1982391 U JP1982391 U JP 1982391U JP 2533979 Y2 JP2533979 Y2 JP 2533979Y2
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- Japan
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- vibrating beam
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- yoke
- yoke holder
- magnet
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、磁石と振動梁の相対位
置を精度よく設定出来る振動形圧力測定装置に関するも
のである。
置を精度よく設定出来る振動形圧力測定装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図４，図５は、従来より一般に使用され
ている従来例の構成説明図で、例えば、本願出願人の出
願した、特開昭６４−１０１３９号に示されている。図
６は、図４の要部詳細図、図７は、図６のＡ−Ａ断面図
である。
ている従来例の構成説明図で、例えば、本願出願人の出
願した、特開昭６４−１０１３９号に示されている。図
６は、図４の要部詳細図、図７は、図６のＡ−Ａ断面図
である。
【０００３】図において、 １は半導体単結晶からなるセンサチップである。 ２は、センサチップ１に設けられた凹部３により形成さ
れ測定圧Ｐｍを受圧する測定ダイアフラムである。 ４は測定ダイアフラム２に埋込み設けられた歪み検出セ
ンサで、振動梁が使用されている。 ５は封止用の半導体エピタキシャル成長層からなるシェ
ルで、振動梁４を測定ダイアフラム３に封止する。 ６は、振動梁４の周囲の、振動梁４と、測定ダイアフラ
ム２およびシェル５との間に設けられた真空室である。
れ測定圧Ｐｍを受圧する測定ダイアフラムである。 ４は測定ダイアフラム２に埋込み設けられた歪み検出セ
ンサで、振動梁が使用されている。 ５は封止用の半導体エピタキシャル成長層からなるシェ
ルで、振動梁４を測定ダイアフラム３に封止する。 ６は、振動梁４の周囲の、振動梁４と、測定ダイアフラ
ム２およびシェル５との間に設けられた真空室である。
【０００４】振動梁４は、永久磁石７による磁場と、振
動梁４に接続された閉ループ自励発振回路（図示せず）
とにより、振動梁４の固有振動で発振するように構成さ
れている。永久磁石７は、ヨーク８、ヨ―クホルダ９、
スペ―サ１１を介して、振動梁４に対向して配置され、
図４に示す如く、捻子１２によるか、図５に示す如く、
接着剤１３により、支持体１４に固定されている。
動梁４に接続された閉ループ自励発振回路（図示せず）
とにより、振動梁４の固有振動で発振するように構成さ
れている。永久磁石７は、ヨーク８、ヨ―クホルダ９、
スペ―サ１１を介して、振動梁４に対向して配置され、
図４に示す如く、捻子１２によるか、図５に示す如く、
接着剤１３により、支持体１４に固定されている。
【０００５】以上の構成において、測定ダイアフラム２
に測定圧力Ｐｍが加わると、振動梁４の軸力が変化し、
固有振動数が変化するため、発振周波数の変化により測
定圧力Ｐｍの測定が出来る。
に測定圧力Ｐｍが加わると、振動梁４の軸力が変化し、
固有振動数が変化するため、発振周波数の変化により測
定圧力Ｐｍの測定が出来る。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、（１）ねじ止めを使用した場合に
は、捩子１２は少なくとも２本は必要である。また、ヨ
―クホルダ９のねじ孔には、捩子１２を挿入するための
隙間が必要であり、振動梁４と永久磁石７の位置決め精
度が低下し、装置の出力特性が悪くなる。（２）接着剤
１３を使用した場合には、経年変化、あるいは温度変化
等により、振動梁４と永久磁石７との相対位置が変化
し、位置決め精度が低下し、装置の出力特性が悪くな
る。
な装置においては、（１）ねじ止めを使用した場合に
は、捩子１２は少なくとも２本は必要である。また、ヨ
―クホルダ９のねじ孔には、捩子１２を挿入するための
隙間が必要であり、振動梁４と永久磁石７の位置決め精
度が低下し、装置の出力特性が悪くなる。（２）接着剤
１３を使用した場合には、経年変化、あるいは温度変化
等により、振動梁４と永久磁石７との相対位置が変化
し、位置決め精度が低下し、装置の出力特性が悪くな
る。
【０００７】本考案は、この問題点を、解決するもので
ある。本考案の目的は、磁石と振動梁の相対位置を精度
よく設定出来る振動形圧力測定装置を提供するにある。
ある。本考案の目的は、磁石と振動梁の相対位置を精度
よく設定出来る振動形圧力測定装置を提供するにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本考案は、ダイアフラムに設けられた振動梁と、該
振動梁に直流磁場を加える直流磁場印加手段とを具備す
る振動形圧力測定装置において、支持体にが固定された
シリコン単結晶よりなるセンサチップと、該センサチッ
プに設けられた凹部により形成され測定圧を受圧するダ
イアフラムと、該ダイアフラムに設けられた振動梁と、
前記支持体に一面が固定され前記センサチップの周囲に
設けられたスペ―サと、前記振動梁に対向して設けられ
た磁石と、該磁石を保持するヨ―クと、該ヨ―クを保持
するヨ―クホルダと、底部側に該ヨ―クホルダがすきま
嵌めされ前記振動梁の方向に該底部が該ヨ―クホルダを
前記スペ―サに押圧し開口部側に前記支持体がすきま嵌
めされ開口縁部において前記支持体に溶接固定され該ヨ
―クホルダ―と該支持体に対して熱膨脹係数が近い材料
からなり前記振動梁と前記磁石との相対位置を精度よく
設定する弾性を有する断面Ｕ字形状のキャップ体とを具
備したことを特徴とする振動形圧力測定装置を構成した
ものである。
に、本考案は、ダイアフラムに設けられた振動梁と、該
振動梁に直流磁場を加える直流磁場印加手段とを具備す
る振動形圧力測定装置において、支持体にが固定された
シリコン単結晶よりなるセンサチップと、該センサチッ
プに設けられた凹部により形成され測定圧を受圧するダ
イアフラムと、該ダイアフラムに設けられた振動梁と、
前記支持体に一面が固定され前記センサチップの周囲に
設けられたスペ―サと、前記振動梁に対向して設けられ
た磁石と、該磁石を保持するヨ―クと、該ヨ―クを保持
するヨ―クホルダと、底部側に該ヨ―クホルダがすきま
嵌めされ前記振動梁の方向に該底部が該ヨ―クホルダを
前記スペ―サに押圧し開口部側に前記支持体がすきま嵌
めされ開口縁部において前記支持体に溶接固定され該ヨ
―クホルダ―と該支持体に対して熱膨脹係数が近い材料
からなり前記振動梁と前記磁石との相対位置を精度よく
設定する弾性を有する断面Ｕ字形状のキャップ体とを具
備したことを特徴とする振動形圧力測定装置を構成した
ものである。
【０００９】
【作用】以上の構成において、測定ダイアフラムに測定
圧力が加わると、振動梁の軸力が変化し、固有振動数が
変化するため、発振周波数の変化により測定圧力の測定
が出来る。この様な装置を組立てるには、支持体にシリ
コン単結晶よりなるセンサチップを取付ける。この場合
にガラス等の介在物を介して支持体に取付けても良い。
センサチップの周囲に設けられるスペ―サを支持体に固
定する。永久磁石を、ヨ―ク，ヨ―クホルダ，スペ―サ
を介して、支持体に配置する。振動梁と磁石との相対位
置を精度よく設定出来るように、キャップ体の底部側に
ヨ―クホルダがすきま嵌めされ、振動梁の方向に底部が
ヨ―クホルダをスペ―サに押圧するようにし、開口部側
に支持体がすきま嵌めされる。以下、実施例に基づき詳
細に説明する。
圧力が加わると、振動梁の軸力が変化し、固有振動数が
変化するため、発振周波数の変化により測定圧力の測定
が出来る。この様な装置を組立てるには、支持体にシリ
コン単結晶よりなるセンサチップを取付ける。この場合
にガラス等の介在物を介して支持体に取付けても良い。
センサチップの周囲に設けられるスペ―サを支持体に固
定する。永久磁石を、ヨ―ク，ヨ―クホルダ，スペ―サ
を介して、支持体に配置する。振動梁と磁石との相対位
置を精度よく設定出来るように、キャップ体の底部側に
ヨ―クホルダがすきま嵌めされ、振動梁の方向に底部が
ヨ―クホルダをスペ―サに押圧するようにし、開口部側
に支持体がすきま嵌めされる。以下、実施例に基づき詳
細に説明する。
【００１０】
【実施例】図１は本考案の一実施例の要部構成説明図で
ある。
ある。
【００１１】図において、図４と同一記号の構成は同一
機能を表わす。以下、図４と相違部分のみ説明する。２
１は、底部２２側にヨ―クホルダ９がすきま嵌めされ、
振動梁４の方向に底部２２がヨ―クホルダ９をスペ―サ
１１に押圧し、開口部２３側に支持体１４がすきま嵌め
され、開口縁部２４において支持体１４に溶接２５固定
され、ヨ―クホルダ９と支持体１４に対して熱膨脹係数
が近い材料からなり、振動梁４と磁石７との相対位置を
精度よく設定する弾性を有する断面Ｕ字形状のキャップ
体である。
機能を表わす。以下、図４と相違部分のみ説明する。２
１は、底部２２側にヨ―クホルダ９がすきま嵌めされ、
振動梁４の方向に底部２２がヨ―クホルダ９をスペ―サ
１１に押圧し、開口部２３側に支持体１４がすきま嵌め
され、開口縁部２４において支持体１４に溶接２５固定
され、ヨ―クホルダ９と支持体１４に対して熱膨脹係数
が近い材料からなり、振動梁４と磁石７との相対位置を
精度よく設定する弾性を有する断面Ｕ字形状のキャップ
体である。
【００１２】以上の構成において、測定ダイアフラム２
に測定圧力Ｐｍが加わると、振動梁４の軸力が変化し、
固有振動数が変化するため、発振周波数の変化により測
定圧力の測定が出来る。この様な装置を組立てるには、
支持体１４にシリコン単結晶よりなるセンサチップ１を
取付ける。この場合にガラス等の介在物を介して支持体
に取付けても良い。センサチップ１の周囲に設けられた
スペ―サ１１を支持体１４に固定する。永久磁石７を、
ヨ―ク８，ヨ―クホルダ９，スペ―サ１１を介して、支
持体１４に配置する。振動梁４と磁石７の相対位置を精
度よく設定出来るように、キャップ体２１の底部２２側
にヨ―クホルダ９がすきま嵌めされ、振動梁４の方向に
底部２２がヨ―クホルダ９をスペ―サ１１に押圧するよ
うにし、開口部２３側に支持体１４がすきま嵌めされ
る。キャップ体２１の開口縁部２４を支持体１４に溶接
２５固定する。
に測定圧力Ｐｍが加わると、振動梁４の軸力が変化し、
固有振動数が変化するため、発振周波数の変化により測
定圧力の測定が出来る。この様な装置を組立てるには、
支持体１４にシリコン単結晶よりなるセンサチップ１を
取付ける。この場合にガラス等の介在物を介して支持体
に取付けても良い。センサチップ１の周囲に設けられた
スペ―サ１１を支持体１４に固定する。永久磁石７を、
ヨ―ク８，ヨ―クホルダ９，スペ―サ１１を介して、支
持体１４に配置する。振動梁４と磁石７の相対位置を精
度よく設定出来るように、キャップ体２１の底部２２側
にヨ―クホルダ９がすきま嵌めされ、振動梁４の方向に
底部２２がヨ―クホルダ９をスペ―サ１１に押圧するよ
うにし、開口部２３側に支持体１４がすきま嵌めされ
る。キャップ体２１の開口縁部２４を支持体１４に溶接
２５固定する。
【００１３】この結果、キャップ体２１に、支持体１４
とヨ―クホルダ９がすきま嵌めされ、かつ、振動梁４の
方向に底部２２がヨ―クホルダ９をスペ―サ１１に押圧
するようにし、キャップ体２１の開口縁部２４を支持体
１４に溶接２５固定したので、溶接２５の部分の収縮力
により、キャップ体２１が、ヨ―クホルダ９を支持体１
４に押付ける事が出来るので、支持体１４とヨ―クホル
ダ９との相対位置は正確に確保出来る。したがって、キ
ャップ体２１の軸と直角方向における、振動梁４と磁石
７との相対位置を精度よく正確に組立て出来る。このた
め、装置の出力特性の向上を図ることができ、測定圧力
の精度を向上する事が出来る。また、キャップ体２１の
底部２２による、押付け固定は、ヨ―クホルダ９とスペ
―サ１１と支持体１４との間に、接合あるいは接着等の
箇所が無いので、温度等の外乱に対して、有害な応力集
中、歪み等を全く生じない。すなわち、長期間にわたり
強固で安定な特性を確保する事が出来る。
とヨ―クホルダ９がすきま嵌めされ、かつ、振動梁４の
方向に底部２２がヨ―クホルダ９をスペ―サ１１に押圧
するようにし、キャップ体２１の開口縁部２４を支持体
１４に溶接２５固定したので、溶接２５の部分の収縮力
により、キャップ体２１が、ヨ―クホルダ９を支持体１
４に押付ける事が出来るので、支持体１４とヨ―クホル
ダ９との相対位置は正確に確保出来る。したがって、キ
ャップ体２１の軸と直角方向における、振動梁４と磁石
７との相対位置を精度よく正確に組立て出来る。このた
め、装置の出力特性の向上を図ることができ、測定圧力
の精度を向上する事が出来る。また、キャップ体２１の
底部２２による、押付け固定は、ヨ―クホルダ９とスペ
―サ１１と支持体１４との間に、接合あるいは接着等の
箇所が無いので、温度等の外乱に対して、有害な応力集
中、歪み等を全く生じない。すなわち、長期間にわたり
強固で安定な特性を確保する事が出来る。
【００１４】図２は本考案の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、底部２２の中央部に孔
２６が設けられたものである。 （１）ヨ―クホルダ９に磁石のＮ−Ｓ方向を表示してお
けば、振動梁４と磁石７とのキャップ体２１の軸に対す
る回転によるずれを無くす事が出来る。 （２）キャップ体２１内に封入液を満たす場合に、封入
液の注入に便利となる。
図である。本実施例においては、底部２２の中央部に孔
２６が設けられたものである。 （１）ヨ―クホルダ９に磁石のＮ−Ｓ方向を表示してお
けば、振動梁４と磁石７とのキャップ体２１の軸に対す
る回転によるずれを無くす事が出来る。 （２）キャップ体２１内に封入液を満たす場合に、封入
液の注入に便利となる。
【００１５】図３は本考案の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、底部２２の中央部に凸
部２７が設けられたもので、力Ｆで図の上方からキャッ
プ体２１を押付けて溶接２５をおこなうようにしたもの
である。 （１）ヨ―クホルダ９の中央部からかならず押圧が行な
われるので、片当たり等を防止する事が出来る。 （２）凸部２７により、キャップ体２１の撓み量が大き
くとれるで、ヨ―クホルダ９とスペ―サ１１と支持体１
４の熱膨脹係数の差が大きい場合等キャップ体２１の相
対寸法変化が大きい場合でも、安定した軸方向の押え力
を確保出来る。
図である。本実施例においては、底部２２の中央部に凸
部２７が設けられたもので、力Ｆで図の上方からキャッ
プ体２１を押付けて溶接２５をおこなうようにしたもの
である。 （１）ヨ―クホルダ９の中央部からかならず押圧が行な
われるので、片当たり等を防止する事が出来る。 （２）凸部２７により、キャップ体２１の撓み量が大き
くとれるで、ヨ―クホルダ９とスペ―サ１１と支持体１
４の熱膨脹係数の差が大きい場合等キャップ体２１の相
対寸法変化が大きい場合でも、安定した軸方向の押え力
を確保出来る。
【００１６】
【考案の効果】以上説明したように、本考案は、ダイア
フラムに設けられた振動梁と、該振動梁に直流磁場を加
える直流磁場印加手段とを具備する振動形圧力測定装置
において、支持体にが固定されたシリコン単結晶よりな
るセンサチップと、該センサチップに設けられた凹部に
より形成され測定圧を受圧するダイアフラムと、該ダイ
アフラムに設けられた振動梁と、前記支持体に一面が固
定され前記センサチップの周囲に設けられたスペ―サ
と、前記振動梁に対向して設けられた磁石と、該磁石を
保持するヨ―クと、該ヨ―クを保持するヨ―クホルダ
と、底部側に該ヨ―クホルダがすきま嵌めされ前記振動
梁の方向に該底部が該ヨ―クホルダを前記スペ―サに押
圧し開口部側に前記支持体がすきま嵌めされ開口縁部に
おいて前記支持体に溶接固定され該ヨ―クホルダ―と該
支持体に対して熱膨脹係数が近い材料からなり前記振動
梁と前記磁石との相対位置を精度よく設定する弾性を有
する断面Ｕ字形状のキャップ体とを具備したことを特徴
とする振動形圧力測定装置を構成した。
フラムに設けられた振動梁と、該振動梁に直流磁場を加
える直流磁場印加手段とを具備する振動形圧力測定装置
において、支持体にが固定されたシリコン単結晶よりな
るセンサチップと、該センサチップに設けられた凹部に
より形成され測定圧を受圧するダイアフラムと、該ダイ
アフラムに設けられた振動梁と、前記支持体に一面が固
定され前記センサチップの周囲に設けられたスペ―サ
と、前記振動梁に対向して設けられた磁石と、該磁石を
保持するヨ―クと、該ヨ―クを保持するヨ―クホルダ
と、底部側に該ヨ―クホルダがすきま嵌めされ前記振動
梁の方向に該底部が該ヨ―クホルダを前記スペ―サに押
圧し開口部側に前記支持体がすきま嵌めされ開口縁部に
おいて前記支持体に溶接固定され該ヨ―クホルダ―と該
支持体に対して熱膨脹係数が近い材料からなり前記振動
梁と前記磁石との相対位置を精度よく設定する弾性を有
する断面Ｕ字形状のキャップ体とを具備したことを特徴
とする振動形圧力測定装置を構成した。
【００１７】この結果、キャップ体２１に、支持体１４
とヨ―クホルダ９がすきま嵌めされ、かつ、振動梁４の
方向に底部２２がヨ―クホルダ９をスペ―サ１１に押圧
するようにし、キャップ体２１の開口縁部２４を支持体
１４に溶接２５固定したので、溶接２５の部分の収縮力
により、キャップ体２１が、ヨ―クホルダ９を支持体１
４に押付ける事が出来るので、支持体１４とヨ―クホル
ダ９との相対位置は正確に確保出来る。したがって、キ
ャップ体２１の軸と直角方向における、振動梁４と磁石
７との相対位置を精度よく正確に組立て出来る。このた
め、装置の出力特性の向上を図ることができ、測定圧力
の精度を向上する事が出来る。また、キャップ体２１の
底部２２による、押付け固定は、ヨ―クホルダ９とスペ
―サ１１と支持体１４との間に、接合あるいは接着等の
箇所が無いので、温度等の外乱に対して、有害な応力集
中、歪み等を全く生じない。すなわち、長期間にわたり
強固で安定な特性を確保する事が出来る。
とヨ―クホルダ９がすきま嵌めされ、かつ、振動梁４の
方向に底部２２がヨ―クホルダ９をスペ―サ１１に押圧
するようにし、キャップ体２１の開口縁部２４を支持体
１４に溶接２５固定したので、溶接２５の部分の収縮力
により、キャップ体２１が、ヨ―クホルダ９を支持体１
４に押付ける事が出来るので、支持体１４とヨ―クホル
ダ９との相対位置は正確に確保出来る。したがって、キ
ャップ体２１の軸と直角方向における、振動梁４と磁石
７との相対位置を精度よく正確に組立て出来る。このた
め、装置の出力特性の向上を図ることができ、測定圧力
の精度を向上する事が出来る。また、キャップ体２１の
底部２２による、押付け固定は、ヨ―クホルダ９とスペ
―サ１１と支持体１４との間に、接合あるいは接着等の
箇所が無いので、温度等の外乱に対して、有害な応力集
中、歪み等を全く生じない。すなわち、長期間にわたり
強固で安定な特性を確保する事が出来る。
【００１８】従って、本考案によれば、磁石と振動梁の
相対位置を精度よく設定出来る振動形圧力測定装置を実
現することが出来る。
相対位置を精度よく設定出来る振動形圧力測定装置を実
現することが出来る。
【図１】本考案の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】本考案の他の実施例の要部構成説明図である。
【図３】本考案の他の実施例の要部構成説明図である。
【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
【図５】従来より一般に使用されている他の従来例の構
成説明図である。
成説明図である。
【図６】図４の詳細説明図である。
【図７】図６のＡ−Ａ断面図である。
１…センサチップ ２…測定ダイアフラム ３…凹部 ４…振動梁 ５…シエル ６…真空室 ７…磁石 ８…ヨ―ク ９…ヨ―クホルダ １１…スペ―サ １２…捩子 １３…接着剤 １４…支持体 ２１…キャップ体 ２２…底部 ２３…開口部 ２４…開口縁部 ２５…溶接 ２６…孔 ２７…凸部
Claims (1)
- 【請求項１】ダイアフラムに設けられた振動梁と、該振
動梁に直流磁場を加える直流磁場印加手段とを具備する
振動形圧力測定装置において、支持体にが固定されたシ
リコン単結晶よりなるセンサチップと、該センサチップ
に設けられた凹部により形成され測定圧を受圧するダイ
アフラムと、該ダイアフラムに設けられた振動梁と、前
記支持体に一面が固定され前記センサチップの周囲に設
けられたスペ―サと、 前記振動梁に対向して設けられ
た磁石と、該磁石を保持するヨ―クと、該ヨ―クを保持
するヨ―クホルダと、底部側に該ヨ―クホルダがすきま
嵌めされ前記振動梁の方向に該底部が該ヨ―クホルダを
前記スペ―サに押圧し開口部側に前記支持体がすきま嵌
めされ開口縁部において前記支持体に溶接固定され該ヨ
―クホルダ―と該支持体に対して熱膨脹係数が近い材料
からなり前記振動梁と前記磁石との相対位置を精度よく
設定する弾性を有する断面Ｕ字形状のキャップ体とを具
備したことを特徴とする振動形圧力測定装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982391U JP2533979Y2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 振動形圧力測定装置 |
| DE69105809T DE69105809T2 (de) | 1990-05-10 | 1991-04-23 | Druckaufnehmer mit schwingendem Element. |
| EP91106472A EP0456029B1 (en) | 1990-05-10 | 1991-04-23 | Vibrating type pressure measuring device |
| DE199191106472T DE456029T1 (de) | 1990-05-10 | 1991-04-23 | Druckaufnehmer mit schwingendem element. |
| US07/694,709 US5123282A (en) | 1990-05-10 | 1991-05-02 | Vibrating type pressure measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982391U JP2533979Y2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 振動形圧力測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04116748U JPH04116748U (ja) | 1992-10-20 |
| JP2533979Y2 true JP2533979Y2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=31906012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982391U Expired - Fee Related JP2533979Y2 (ja) | 1990-05-10 | 1991-03-29 | 振動形圧力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2533979Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010121957A (ja) * | 2008-11-17 | 2010-06-03 | Yokogawa Electric Corp | 圧力測定装置 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP1982391U patent/JP2533979Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04116748U (ja) | 1992-10-20 |
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